中微公司获得发明专利授权：“一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法”，专利申请号为CN202210403734.9，授权日为2026年3月17日。

专利摘要：本发明公开一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法，所述气体混合器用于气体喷淋装置，包括：设置于气体扩散腔上方的混合器本体，混合器本体的内部设置有一容纳腔，容纳腔与第一气体源连接，用于容置从第一气体源供应的至少一种气体；混合器本体的侧壁上围绕容纳腔盘设有螺旋形通道；螺旋形通道的进口与第二气体源连通，螺旋形通道的出口与气体扩散腔连通；螺旋形通道的侧壁上间隔设有若干个第一通孔，用于连通容纳腔和螺旋形通道，以使供应至容纳腔的至少一种气体和供应至螺旋形通道的至少一种气体在螺旋形通道内进行混合。本发明中不同气体在螺旋形通道内进行混合，使得气体混合路径较长，从而保证不同气体的混合均匀性和混合质量。

今年以来中微公司新获得专利授权31个，较去年同期减少了16.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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