扬杰科技获得发明专利授权：“一种光刻机版图对位标记方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示扬杰科技（300373）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光刻机版图对位标记方法”，专利申请号为CN202311318345.7，授权日为2026年10月30日。

专利摘要：一种光刻机版图对位标记方法。涉及半导体加工技术。包括以下步骤：步骤100，佳能步进式光刻机用光刻版的对位标记设计步骤，在十字街区放置对位图形一，作为套准图形;放置对位图形二，作为识别的唯一标记；步骤200，按扫描式光刻机的光刻版上的对位标记设计步骤，在十字街区放置对位图形三，作为对位图形一的套准图形；步骤300，产品流片，使用步进式光刻机作业前层图形，经过刻蚀后，在晶圆表面形成器件沟槽和对位图形一和二；步骤400，将对位标记三同晶圆上的对位标记进行套准。本发明便于作业员的操作，以及实现产品套准偏移量的精准控制，提高作业效率、增加机台的有效利用率、提升产品良率。

今年以来扬杰科技新获得专利授权42个，较去年同期减少了48.15%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.71亿元，同比增23.14%。

通过天眼查大数据分析，扬州扬杰电子科技股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目393次；财产线索方面有商标信息9条，专利信息817条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可252个。

数据来源：企查查

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。