3个月研发、6个月量产：苏磁科技如何用磁悬浮技术撕开半导体垄断缺口？

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对于半导体行业而言，“洁净”是头等大事。

在洁净车间内，哪怕一粒肉眼难辨的微尘，都可能让价值不菲的晶圆毁于一旦。正是这种对极致洁净的苛求，让“洁净”成为整个产业链的生命线。近年来，伴随着工艺制程的不断精进和国产替代浪潮的涌起，磁悬浮技术——这项诞生百余年却长期蛰伏的技术，终于在半导体舞台上迎来高光时刻。

许多人初识磁悬浮，或许源于上海那条备受瞩目的高速磁浮列车，而在交通行业之外，如今的磁悬浮技术正在转台、泵类等关键半导体零部件中大绽光彩，从减少污染到提升能效，其独特价值正获得越来越多企业和产线的验证。

苏磁科技荣誉证书

而在这轮技术变革的浪潮中，本土企业苏磁科技脱颖而出，作为率先实现产业化落地的先行者，其产品已成功切入多家国产半导体企业供应链。

这家企业为何能快速崛起？带着对磁悬浮技术在半导体领域应用的好奇，半导体行业观察与苏磁科技创始人兼CEO尹成科博士进行了深入交流。在这次对话中，一个关于技术突破与产业变革的故事逐渐清晰。

从百年技术到国产突围

“磁悬浮技术其实早在一百多年前就被提出，但长久未能真正走向产业化。”尹成科博士回忆，国内从1985年便在高校启动研究，直到2008年才有磁悬浮人工心脏、磁悬浮鼓风机这样的应用开始落地。而在半导体等高端制造领域，国外长期掌握核心产品，并对中国实行禁运。

真正的转折点出现在2020年前后。伴随贸易摩擦升级，半导体产业“卡脖子”问题暴露无遗。据统计，70多种关键零部件受制于人，其中约30%与磁悬浮相关。“那时行业一下子醒悟过来，原来磁悬浮不仅是前沿技术，更是产业安全的关键。” 那么，磁悬浮为何能成为半导体生产的关键？尹成科博士又从技术角度做了进一步解释。

“无接触，才是真洁净。”他指出，传统机械轴承因为摩擦产生碎屑，气动轴承也会带来杂质，而磁悬浮完全靠磁场支撑，避免了颗粒污染。这种“超洁净、超高精度”的特性，正好击中半导体制造的痛点。

苏磁科技磁悬浮高端装备

磁悬浮晶圆转台、磁悬浮液体泵、磁悬浮涡轮分子泵……几乎所有涉及旋转运动和流体输送的环节，都可能用上磁悬浮。“一个芯片要经过90多道工序，动辄30天甚至更久，潜在需求巨大。我们评估总体市场规模在几百亿量级。”尹成科博士强调。

值得关注的是，这一领域过去几乎完全被国外公司垄断。如快速热处理（RTP）、晶圆清洗中需要的磁悬浮转台、磁悬浮泵等关键部件长期被美、日、欧等国外公司牢牢掌控，国内长期处于空白状态。

为了抓住市场机遇，打破国外垄断，苏磁科技尽全力开始研发晶圆转台产品，仅用3个月就完成研发，6个月便进入产线试运行，创造了业内罕见的速度纪录，同时还在国外公司未涉及的MBE分子束外延设备方面实现了突破。

这样的效率，源自深厚的技术积累和清晰的战略抉择。

“公司成立之初，我们就决定要把磁悬浮技术落地到工业领域，曾经探索过磁悬浮鼓风机等十多个方向。”尹成科博士回忆道，“但随着2020年半导体设备国产化浪潮的兴起，我们果断暂停其他项目，把全部力量集中到半导体项目的攻关上。”

他总结高效突围的关键有两点：一是需求明确，“国产化过程中我们基于明确的应用场景，最核心的任务就是突破国外禁运产品的技术壁垒”；二是技术底子雄厚，“我们把过往研究探索中积累的磁悬浮系统集成设计与开发能力，迁移到转台的磁悬浮与电机控制中，又结合人工心脏研发中的磁悬浮控制技术和穿透金属传感器技术，满足了半导体的洁净要求。”

凭借这种跨领域的技术整合，苏磁科技迅速脱颖而出。据了解，目前苏磁科技推出的晶圆转台已经在十多家国内头部晶圆厂长期运行，打破了国外二十多年的垄断。

磁悬浮泵的替代效应

如果说转台产品因国外禁运而迎来了发展的机会，那么磁悬浮泵的兴起则更多得益于技术本身的优势。

长期以来，由于国外企业垄断以及价格高昂，行业不得不选择风囊泵、隔膜泵等替代方案，但这些产品存在固有缺陷。尹成科博士举例指出：“风囊泵会带来流量脉动，严重影响过滤器颗粒保持效率（retaining efficiency），不得不在液体管路中额外加装稳流装置（阻尼器）以降低脉动，但这又增加了体积、耗材物料，最终导致综合成本更高；而在大功率应用场景，即高流量、高压力，尤其是流量压力恒定的应用场景中，它们的性能难以满足需求。

苏磁科技SCP系列磁悬浮泵

如今，随着国产化的突破，局面发生了根本性改变。苏磁科技在2023年推出的磁悬浮泵不仅具备无脉动、高洁净等性能优势，而且在性价比上也显著提升，从而迅速触发了行业的替代需求。目前，部分国际客户已经开始考虑将现有泵类产品大规模更换为磁悬浮产品，市场爆发迹象愈发明显。

对于未来3-5年的市场走势，尹成科博士判断颇为乐观：在转台领域，国内产品有望继续保持90%以上的市占率；在泵类领域，半导体装备中涉及洁净流体输送的环节，大部分将被磁悬浮泵替代，其市占率有望突破一半以上。

专注解决行业关键痛点

在创始人尹成科博士看来，苏磁的真正底气在于能精准解决行业的关键痛点。

尤其是在半导体行业，对于产品性能的严苛程度远高于其他行业，单个零部件的精度不足会影响到整条产线，最终波及芯片良率。以转台产品为例，它需要承载上千摄氏度的晶圆稳定旋转，一旦控制精度不够导致振动过大，就可能因摩擦产生颗粒，直接影响良率。

对此，苏磁通过软硬件协同设计与算法优化，将转台旋转中的振动控制到微米级，确保设备长期稳定运行。在材料与品控上，公司同样不敢有丝毫松懈：接触敏感药液的泵部件多采用超洁净PFA与PTFE材料，并在关键工艺环节配置百级洁净间，从源头上杜绝杂质渗入材料内部。

值得一提的是，半导体产线通常都有一个特点：24小时不间断运行，维护需提前申请停机窗口。这对供应商的服务能力提出了极高要求。

“我们采用‘驻场服务’模式，技术支持团队常驻客户现场，确保半小时内响应问题，快速协同处理。”尹成科博士介绍，这种服务模式让苏磁科技在客户心中建立了良好口碑。

技术理解的深度也是苏磁科技的优势。“团队对磁悬浮技术及半导体应用场景理解透彻，能精准分析问题根源，帮助客户改进工艺。除此之外，面对半导体行业快速迭代的需求，苏磁科技建立了灵活的响应机制：软件快速迭代满足精度提升需求，硬件按需开发应对客户定制化要求，充分沟通预判确保响应效率。

对痛点的解决，让苏磁科技的产品进入到更多Fab终端。

标准引领与国际化布局

作为行业先行者，苏磁科技还承担着推动行业标准制定的责任。早在2023年，他们就加入了磁悬浮标准化组织。

“我们牵头制定的‘超洁净磁悬浮自轴承泵技术规范’是国内外首个此类标准，吸引了国内顶尖高校和企业参与。”尹成科博士认为，企业在标准制定中的核心角色是“推动协同、搭建共识”。

“没有标准就没有统一的评价依据和测试方法，我们通过发起标准制定，让上下游企业、同行在‘接口统一、技术协同’的基础上，各自发挥创新优势，避免行业无序竞争。”

某国外Fab终端在苏磁审厂

在积极推动行业标准的同时，苏磁科技也在稳步推进国际化布局。据透露，目前某国外Fab已完成对苏磁的审厂并开始采购，但尹成科博士强调，国际化并非简单的产品输出，而是建立在差异化创新基础上的价值竞争。

“国内客户现阶段以‘平替国外产品’为核心，而国外客户更注重‘技术创新与差异化’。”他分析了国内外客户需求的差异，“比如某国外Fab长期依赖某国外品牌，因对技术服务不满转向我们，并且对泵的低发热等功能提出了新的需求。”

为了应对国际化挑战，苏磁科技建立了清晰的全球化协同机制：总部聚焦磁悬浮核心技术研发，分支机构负责应用层面的落地。“我们通过互联网远程技术手段实现高效协同，韩国、日本分支机构遇到技术难题时，可直接与总部连线，实时沟通解决。”

展望未来：从国产替代到主动创新

站在当前这个时间节点，尹成科博士对未来充满期待。短期来看，“当前是半导体国产化的关键窗口期，未来3-5年行业将逐步走向成熟。我们的核心目标是将磁悬浮转台、磁悬浮泵等产品打造成半导体领域的基础核心零部件，巩固并扩大市场份额。”

长期而言，苏磁科技的视野更加宽广：“待国产化模仿学习阶段完成后，结合客户对‘更高洁净度、稳定性’的需求，拓展磁悬浮技术的应用边界，开发差异化产品。除半导体领域外，将成熟的磁悬浮零部件技术拓展到生物医药、精细化工，能源核电等其他工业领域。”

当被问及对半导体生态建设的期待时，尹成科博士表达了三个愿望：更开放健康的竞争环境，减少行业内“站队式”封闭合作；更充分的信息交流，推动技术要求和客户需求的透明化；持续依托国产化红利，从被迫替代转向主动创新。

在这个充满挑战与机遇的时代，苏磁科技正用磁悬浮技术书写着中国半导体产业自主创新的新篇章。从百年技术到产业化应用，从国产替代到全球竞争，这家企业的发展轨迹折射出中国制造业转型升级的缩影。

未来，随着更多像苏磁科技这样的企业崛起，中国半导体产业链的自主可控程度将不断提升，有望真正实现从中国制造到中国“智造”的历史性跨越。

*免责声明：本文由作者原创。文章内容系作者个人观点，半导体行业观察转载仅为了传达一种不同的观点，不代表半导体行业观察对该观点赞同或支持，如果有任何异议，欢迎联系半导体行业观察。

今天是《半导体行业观察》为您分享的第4150期内容，欢迎关注。

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