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都盯上了中介层

来源:半导体行业观察

2025-09-08 09:03:00

(原标题:都盯上了中介层)

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最近几年来,中介层(Interposer)一词频繁的出现在大众的视线当中。中介层负责承载 GPU、存储等核心芯片并实现互联,原本并不起眼。但如今,无论是材料公司、设备公司,还是台积电、英伟达这样的巨头,都把目光聚焦到中介层。

一边是 Resonac(瑞萨)牵头的 JOINT3 联盟,集结27家全球材料、设备、EDA 巨头,瞄准面板级有机中介层;另一边,是英伟达掀起的SiC中介层风潮,台系厂商纷纷加码,试图突破功耗与散热的极限。这两条脉络,折射出一个事实:中介层已从“幕后配角”,成为产业链上下游争夺的焦点。

什么是interposer?

近年来,随着摩尔定律趋缓,单颗芯片继续微缩的难度和成本不断攀升,行业开始转向异构集成:把逻辑芯片、存储芯片、I/O 模块甚至模拟芯片组合在一起,形成一个系统级芯片(SiP)。而要让这些“芯粒”(Chiplet)可靠互连,就必须依靠一个具备超高布线密度和电气性能的平台——这正是 Interposer 的价值所在。

Interposer(中介层) 是一种位于芯片(逻辑/存储)与封装基板(Substrate)之间的中间层结构。在先进封装里,它扮演着“桥梁”的角色——将逻辑芯片(CPU、GPU、AI 加速器)与存储芯片(HBM)紧密相连,负责高密度互连、供电分布和信号传输。

简而言之,它就像一块“承重楼板+电路枢纽”,让多个芯片像拼积木一样被高效集成在一起,从而实现更高带宽、更低延迟和更高算力密度。


上图是一个硅中介层典型 2.5D 封装示意图,图中Silicon Interposer就是硅中介层,它提供了芯片之间(A1、A2)的高密度互连。(图片:Semiwiki)

目前量产中的中介层主要有两类:硅中介层(Silicon Interposer,亦称无机中介层)和有机中介层(Organic Interposer),也叫 RDL(Redistribution Layer,再布线层)

硅中介层相对较早一点,大约在2000年代末–2010 年初,台积电率先提出并量产 CoWoS(Chip-on-Wafer-on-Substrate) 工艺,利用硅中介层 + TSV(硅通孔)实现 GPU 与 HBM 的高带宽互连。2012 年,台积电为赛灵思(Xilinx)生产的 Virtex-7 FPGA 商用上市,成为产业内第一个大规模应用硅中介层的产品,也奠定了硅中介层在高性能计算封装中的地位。

进入 2010 年代中期,随着 Fan-Out 封装(如 InFO、FOPLP) 的发展,产业开始探索用有机材料做再布线层(RDL)来替代硅。其背后的原因主要有三点:硅中介层制造成本高、良率有限;AI/HPC 芯片面积越来越大,硅圆片切割损耗严重;市场需要更经济的大规模量产方案。

因此,有机中介层逐渐进入产业视野。它的优势在于工艺相对简单,材料和设备成本低,整体生产成本显著低于硅中介层;劣势则是布线精细度不足,线宽/线距较大,难以支撑极高密度互连。

于是,行业开始探索其他材料的中介层方案。

JOINT3:

27 家巨头盯上面板级的有机中介层

2025年9月 3 日,瑞萨官网宣布,成立由27名成员组成的“JOINT3”联盟,共同开发下一代半导体封装。这27家成员几乎覆盖了半导体封装的全产业链:从应用材料、Lam、TEL,到 Synopsys、佳能、Ushio,再到 3M、AGC、古河电工等。


JOINT3 参与公司(图源:瑞萨)

联盟将在日本茨城县结城市下馆工厂(南结城)内设立“高级面板级中介层中心 (APLIC)”,作为该项目的主要枢纽。APLIC计划2026年开始运营,重点开发 515×510mm 面板级有机中介层。

那么,为什么他们瞄准了有机中介层?其主要原因是硅中介层的瓶颈:传统做法是在 300 mm 圆片上切矩形 interposer。随着 interposer 尺寸增大,“圆切方”的几何损耗迅速放大,单位面积可切割数量下降,边角浪费 + 步进曝光次数上升 → 单位良品成本抬升。有机中介层的优势是,面板级生产可以显著提升产能利用率,同时降低成本。

作为对比,300 mm圆片面积约 70,685mm²。JOINT3 面板级目标是 515 × 510 mm ≈ 262,650 mm²,单板面积约为 300 mm 圆片的3.7倍。这意味着在同等缺陷密度下,面板级的“有效构图面积”显著更大,对大尺寸中介层更友好。


(图源:瑞萨)

市场驱动也是另外一大诱因,随着2.5D/3D封装需求飙升,AI/HPC 芯片+HBM 堆叠成为主流,呼唤更大面积、更高互连密度的中介层。

作为JOINT3联盟的牵头方,瑞萨将提出研发重点,管理原型生产线的运营,并推动该项目的整体进展。瑞萨还将通过与参与公司的共同创新,推动针对面板级有机中介层优化材料的开发。

Resonac CEO 高桥秀人直言:“JOINT3 汇聚了来自各个领域的世界一流企业。通过整合各公司互补的优势,我们能够共同应对过去无法触及的领域的挑战。”这句话透露出两个关键信号:1)产业协同:单一企业已难以独立突破,必须以联盟方式推动“事实标准”。2)战略意图:日本希望在先进封装这个“后摩尔时代第二战场”上重夺话语权。

从 JOINT(2019) 到 JOINT2(2021),再到面向北美客户的 US-JOINT(2023),如今走到 JOINT3(2025),Resonac试图搭建一个跨国、跨环节的先进封装“共研平台”:


  • JOINT 初代:聚焦封装材料,邀请日企设备商、材料商一起验证有机载板、再布线、树脂体系的可行性;

  • JOINT2:加入更多海外企业,把验证范围扩展到工艺与设计环节;

  • US-JOINT:面向美国市场,强调与应用方(EDA、设计公司)的协同;

  • JOINT3:首次把目标定在 面板级有机中介层,并设立专门研发生产中心(APLIC),让联盟成员能在统一产线和标准下共同试错。

这让人联想到台积电的 CoWoS/SoIC——但不同的是,台积电是以 Foundry 驱动的垂直路线,而JOINT3则是以联盟驱动的水平路线。这两种模式,未来会形成有趣的对照。

SiC中介层:新方向?

就在日本忙着推有机中介层的同时,台湾供应链却因为碳化硅中介层热了起来。产业传言的源头,是英伟达下一代 Rubin GPU。

据部分渠道消息,Rubin 为了进一步提升效能,正在评估把 GPU 与 HBM 的互联基底,从传统硅中介层换成 SiC 中介层。虽然目前没有官方确认,但这一方向已经成为业内热议的未来解法。

这背后原因又是什么?主要有三点:

  • 功耗极限逼近:未来的高性能芯片,设计功耗可能突破 1000V,而对比之下,特斯拉的快充电压也只有 350V。如此极端的电流,对中介层的承载力提出了前所未有的挑战。

  • 散热瓶颈突出:Si的导热能力有限,已经难以满足这种极端电流下的热管理需求。而SiC的导热系数甚至超过铜,能够显著缓解芯片运行时的高热压力。

  • 架构需求倒逼:Rubin 仍将依赖 NVLink 技术,这要求 GPU 与 HBM 尽可能紧密耦合,以实现最大带宽和最低延迟。SiC凭借优越的绝缘性和散热性,成为几乎唯一的解决方案。

不过,这里的碳化硅与车用功率器件常见的衬底不同,必须是高绝缘的单晶碳化硅,这也带来了新的工艺挑战:

  • 切割难度极高:碳化硅硬度接近钻石,用传统方法切割容易出现波浪纹,日本 DISCO 正在研发专门的激光切割机台。

  • 大尺寸制造受限:为了兼容硅工艺,晶圆必须达到12寸以上,但目前多数中国厂商仍停留在6/8寸阶段,量产能力有限。

因此,业内普遍认为Rubin的第一代产品仍会采用硅中介层,但最晚到后年,碳化硅中介层就会进入先进封装。

这背后意味着两个重大趋势:第一是材料跨界,碳化硅有望从汽车功率器件跃升,首次进入 AI/HPC 芯片的金字塔顶端;第二,产业分化,台积电主导的研发联盟若率先攻克大尺寸和工艺难题,可能会与大陆厂商拉开代际差距。

三大中介层之争

如果把先进封装比作一场接力赛,中介层就是关键的“交接棒”。不同材料的选择,决定了性能、成本和量产的平衡点。

1

硅中介层

优势:工艺成熟、技术路径清晰,已经是台积电 CoWoS、英特尔 EMIB等 2.5D/3D 封装的主流方案。其在亚 10µm 互连和多层 TSV(硅通孔)工艺上积累深厚。

劣势:随着GPU+HBM 封装面积不断增大,硅晶圆的“几何损耗”问题日益突出,导致产能利用率下降、成本急剧上升。同时,硅的导热性能有限,成为高功耗 AI芯片的瓶颈。

2

有机中介层

优势:可以采用面板级生产(PLP),大幅提高产能利用率和单片尺寸利用率,显著降低成本。材料配方灵活,层数和布线可根据系统需求定制,适合大规模 AI 训练芯片和 HPC 封装。

劣势:材料热膨胀系数(CTE)与硅存在差异,翘曲与可靠性问题仍需长期验证;电性能相比硅存在一定差距。

3

SiC中介层

优势:导热性极佳,甚至超过铜,能够承受未来 AI/HPC 芯片的极端电流与功耗需求,是突破散热瓶颈的关键材料。同时具备良好的电绝缘性,支持更紧密的 GPU+HBM 集成。

劣势:制造难度极高——硬度接近钻石,切割工艺复杂;必须实现 ≥12 寸大尺寸晶圆才能兼容硅工艺,目前产业链尚在攻关中。产能和成本仍是巨大挑战。

从趋势来看,短期(1–2 年)硅中介层仍将是市场主流,支撑 AI/HPC 的量产。中期(3–5 年)有机中介层凭借成本与规模优势,会在 HPC 与 AI 训练芯片中大规模落地。长期(5 年以上)来看,碳化硅中介层一旦突破量产瓶颈,或将成为最尖端 AI/HPC 封装的标准配置。

结语

随着摩尔定律微缩放缓,先进封装已经成为半导体产业的“第二战场”。而在这场战役中,中介层正在重新定义封装的天花板。

日本的 JOINT3 代表着“合作造标准”的路径;英伟达推动的 SiC 中介层,则是“应用驱动新材料”的典型。两条路线殊途同归——最终都指向一个事实:中介层将决定未来 AI 芯片的性能极限。

这场关于中介层的“材料战争”远未结束。硅、有机、碳化硅各有优劣,未来十年大概率会形成分工互补的格局。

*免责声明:本文由作者原创。文章内容系作者个人观点,半导体行业观察转载仅为了传达一种不同的观点,不代表半导体行业观察对该观点赞同或支持,如果有任何异议,欢迎联系半导体行业观察。

今天是《半导体行业观察》为您分享的第4150期内容,欢迎关注。

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