恒运昌: 恒运昌：2025年年度报告

              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
公司代码：688785                                公司简称：恒运昌
  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                        重要提示
一、本公司董事会及董事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在
虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
二、 公司上市时未盈利且尚未实现盈利
□是√否
三、 重大风险提示
   公司已在本报告中详细阐述在经营过程中可能面临的各种风险及应对措施，敬请查阅本报告
“第三节管理层讨论与分析”之“四、风险因素”部分，敬请投资者注意投资风险。
四、 公司全体董事出席董事会会议。
五、 天健会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
六、公司负责人乐卫平、主管会计工作负责人郑悦佳及会计机构负责人（会计主管人员）张慧芳
声明：保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。
七、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
  截至2025年12月31日，公司母公司报表中期末未分配利润为人民币260,573,073.69元。公司
方案如下：
  公司拟向全体股东每10股派发现金红利8.00元(含税)。截至2026年3月31日，公司总股本
上述事项已经公司第一届董事会第十五次会议审议，尚需提交股东会审议。
母公司存在未弥补亏损
□适用 √不适用
八、 是否存在公司治理特殊安排等重要事项
□适用 √不适用
九、 前瞻性陈述的风险声明
√适用 □不适用
  本报告涉及的未来计划、发展战略等非既成事实前瞻性陈述，不构成公司对投资者的实质承
诺，请投资者注意相关风险。
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十、是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况
否
十一、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况
否
十二、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性
否
十三、其他
□适用 √不适用
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                         载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人（会计主管人
                         员）签名并盖章的财务报表
                         载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件
                         报告期内公开披露过的所有公司文件的正本及公告的原稿
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                       第一节            释义
一、 释义
在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：
常用词语释义
恒运昌/公司/本公司      指  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
百世达             指  深圳市百世达半导体设备有限公司，恒运昌子公司
沈阳恒运昌           指  恒运昌真空技术（沈阳）有限公司，恒运昌子公司
                   恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司，恒运昌子
北京恒运昌           指
                   公司
                   CSL Vacuum Science and Technology GmbH，恒运昌
德国恒运昌           指
                   子公司
恒运昌投资/控股股东      指  深圳市恒运昌投资有限公司
                   深圳市恒运昌投资中心（有限合伙），系公司员工持
投资中心            指
                   股平台及恒运昌股东
                   深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙），系公司员
投资发展中心          指
                   工持股平台及恒运昌股东
实际控制人           指  乐卫平
                   国投（广东）科技成果转化创业投资基金合伙企业（有
国投大湾区基金         指
                   限合伙），恒运昌股东
                   江苏瑞芯通宁基金半导体产业投资基金合伙企业（有
瑞芯基金            指
                   限合伙），恒运昌股东
                   拓荆科技股份有限公司（688072.SH）及其子公司，
拓荆科技            指
                   恒运昌股东、客户
                   上海岩泉科技有限公司，为拓荆科技全资子公司，恒
上海岩泉            指
                   运昌股东
                   北京光电融合产业投资基金（有限合伙），恒运昌股
北京光电            指
                   东
                   江苏疌泉君海荣芯投资合伙企业（有限合伙），曾用
君海荣芯            指  名“无锡疌泉君海荣芯投资合伙企业（有限合伙）”，
                   恒运昌股东
                   中电科核心技术研发股权投资基金（北京）合伙企业
中电科             指
                   （有限合伙），恒运昌股东
                   上海浦宸私募投资基金合伙企业（有限合伙），恒运
上海浦宸            指
                   昌股东
                   深圳市鹏远基石私募股权投资基金合伙企业（有限合
鹏远基石            指
                   伙），恒运昌股东
                   嘉兴恒祥创业投资合伙企业（有限合伙），恒运昌股
嘉兴恒祥            指
                   东
                   嘉兴小橡股权投资合伙企业（有限合伙），恒运昌股
嘉兴小橡            指
                   东
                   青岛鼎量粤恒创业投资基金合伙企业（有限合伙），
青岛鼎量            指
                   恒运昌股东
                   上海国策绿色科技制造私募投资基金合伙企业（有限
上海国策            指
                   合伙），恒运昌股东
                   上杭景行创业投资合伙企业（有限合伙），恒运昌股
上杭景行            指
                   东
上海道禾            指  上海道禾丰源私募投资基金合伙企业（有限合伙），
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                      曾用名“上海道禾产医私募投资基金合伙企业（有限
                      合伙）”，恒运昌股东
中证投资              指   中信证券投资有限公司，恒运昌股东
                      湖南高创鑫阳创业投资基金合伙企业（有限合伙），
湖南高创              指
                      恒运昌股东
扬州乾益              指   扬州乾益投资合伙企业（有限合伙），恒运昌股东
MKS               指   MKS Instruments, Inc.（NASDAQ：MKSI）
                      Advanced Energy Industries, Inc.（NASDAQ：AEIS）。
                      境内子公司包含优仪半导体设备（深圳）有限公司和
AE                指
                      优仪半导体设备（上海）有限公司，分别简称 AE（深
                      圳）、AE（上海）
霍廷格               指   TRUMPF Hüttinger，德国通快集团 Trumpf 旗下企业
                      株式会社 ダイヘン、DAIHEN Corporation，日本东
DAIHEN            指
                      京证券交易所上市公司（TSE：6622）
                      中微半导体设备（上海）股份有限公司（688012.SH）
中微公司              指
                      及其子公司
                      北方华创科技集团股份有限公司（002371.SZ）及其
北方华创              指
                      子公司
                      中 芯 国 际 集 成 电 路 制 造 有 限 公 司 （ 688981.SH ，
中芯国际              指
微导纳米              指   江苏微导纳米科技股份有限公司（688147.SH）
盛美上海              指   盛美半导体设备（上海）股份有限公司（688082.SH）
《公司章程》            指   《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》
                      除特别注明的币种外，指人民币元、人民币万元、人
元/万元/亿元           指
                      民币亿元
报告期/报告期内          指   2025 年 1 月 1 日至 2025 年 12 月 31 日
报告期末              指   2025 年 12 月 31 日
《公司法》             指   《中华人民共和国公司法》
《证券法》             指   《中华人民共和国证券法》
《科创板上市规则》         指   《上海证券交易所科创板股票上市规则》
中国证监会/证监会         指   中国证券监督管理委员会
上交所/证券交易所/交易所     指   上海证券交易所
保荐人/保荐机构/主承销商/中
                  指   中信证券股份有限公司
信证券
审计机构/天健会计师/天健     指   天健会计师事务所（特殊普通合伙）
                      导电性能介于导体与绝缘体之间、通电后可实现单向
半导体               指   导通的材料。按照制造技术可分为集成电路（IC）、
                      分立器件、光电器件和传感器
                      Integrated Circuit，指通过一系列加工工艺，将一定数
                      目的三极管、二极管、电阻、电容和电感等按一定的
集成电路、IC           指
                      电路互联并集成在半导体晶片上，封装在一个外壳
                      内，从而实现电路或者系统功能的电路或系统
                      用于制造半导体器件（主要为集成电路产品）的生产
半导体设备             指
                      设备
                      通过氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、
                      清洗与抛光、金属化等特定工艺加工形成的具有特定
晶圆                指
                      电性功能的集成电路圆片，经切割、封装等工艺后可
                      制作成集成电路成品
芯片                指   集成电路载体，是集成电路经设计、制造、封装、测
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                       试后的产品
                       晶体管中栅极的宽度（也称制程）。宽度越窄，晶体
                       管就越小，电流通过时的损耗越低，性能也越高，制
先进制程               指
                       造工艺也更复杂。先进制程指当下时点芯片制造最小
                       的工艺制程，目前通常指 14 纳米及以下的工艺制程
                       Copy Exactly，系由英特尔的克瑞格·贝瑞特在上世
                       纪八十年代提出并实施的建厂策略，用于全球快速扩
精确复制               指   大生产规模中的重复行为，如建厂、设备、技术、供
                       应链管理、人员培训等，确保全球不同工厂生产产品
                       的质量和成品率，缩短产品上市时间并有效控制成本
                       物质的状态之一，不同于固体、液体、气体的物质第
                       四态，被称为“等离子态”“超气态”，又叫做“电
等离子体               指   浆体”。当外加电压达到气体的放电电压时，气体被
                       击穿，由阳离子、中性粒子、自由电子等多种不同性
                       质的粒子所组成的电中性物质，具有很强的导电性
                       一种通过控制等离子体工艺过程中的等离子体参数，
                       如等离子体密度、温度、成分和流量等，实现对材料
等离子体工艺、等离子体技术      指
                       表面和界面的处理和修饰的工艺，可以应用于半导
                       体、光伏、显示面板、精密光学镀膜等众多领域
                       利用高频交流电信号产生并控制射频能量的电源设
                       备，广泛应用于半导体制造、精密加工、无线通信、
射频电源               指
                       医疗设备等领域。根据其应用领域，射频电源可分为
                       等离子体射频电源和非等离子体射频电源
                       可以产生正弦波电压，工作频率范围一般处于 3kHz
                       至 300GHz 之间，具有一定功率的工艺电源。其核心
                       作用是通过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定
等离子体射频电源           指
                       工艺气体电离，创造并维持高活性、高能量的等离子
                       体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、
                       离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺
                       通过调节阻抗匹配网络，使等离子体射频电源内部阻
                       抗、传输线阻抗、负载阻抗互相匹配，得到最大功率
匹配器                指
                       输出的一种设备，通常由输入传感器、输出传感器、
                       控制电路和匹配网络组成
等离子体射频电源系统         指   由等离子体射频电源和匹配器组成的电源系统
                       为工业设备、系统和生产过程提供电力的设备或装
                       置，它将电网输入的电能进行变换、调节和控制，以
工业电源               指
                       满足各种工业应用对电力的特定要求，确保工业设备
                       稳定、可靠、高效地运行
                       产生、改善和（或）维持真空环境的装置，包括真空
真空装备               指
                       应用设备和真空获得设备
                       远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS）是一
                       种利用射频电源产生等离子体的装置，由射频电源、
远程等离子体源            指   匹配网络和处理室组成，通常不直接接触要处理的表
                       面，而是在一定距离之外产生等离子体，并将等离子
                       体输送到目标表面，减少了对表面的热和化学损伤
                       离子源（Ion source）一种由一个或多个电源、匹配
离子源                指   器及感应线圈等组成的用于激发等离子体的模块化
                       装置
                       用化学或物理方法有选择地在硅表面去除不需要的
刻蚀                 指
                       材料的过程，是与光刻相联系的图形化处理的一种主
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                       要工艺，是半导体制造工艺的关键步骤
                       是半导体制造过程中关键技术，沉积不同材料的薄膜
薄膜沉积               指   能够精确控制内部构造的成型，以实现不同的电气特
                       性
                       将离子束流射入半导体材料，离子束与材料中的原子
                       或分子发生一系列物理和化学作用，入射离子逐渐损
离子注入               指
                       失能量并停留在材料中，引起材料表面成分、结构和
                       性能的变化
清洗去胶               指   在半导体制造过程中，去除晶圆表面光刻胶的步骤
                       将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材
                       料经表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合，
键合                 指
                       通过范德华力、分子力甚至原子力使两片半导体材料
                       成为一体的技术
                       在真空环境中，通过物理或化学手段，将金属、非金
                       属或化合物材料转换成气态或等离子态，使其沉积于
真空镀膜               指
                       玻璃、金属、陶瓷、塑料或有机材料等固体材质表面
                       形成薄膜的过程
                       Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积法。是指
                       在各种能量条件下，镀料发生化学反应生成气态产
CVD、化学气相沉积         指   物，输运到基体表面，沉积成固态薄膜或反应合成新
                       的化合物固态薄膜。是半导体工业中应用最为广泛地
                       用于沉积多种材料的技术
                       Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子
                       体增强化学气相沉积法，即借助等离子体射频电源等
PECVD、等离子体增强化学气
                   指   使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子
相沉积
                       体，等离子体化学活性很强，更加容易与晶圆硅片发
                       生反应。可使化学反应能在较低的温度下进行
                       Physical Vapor Deposition，物理气相沉积法，通过物
                       理手段将固体或液体表面气化成气态原子、分子或部
PVD、物理气相沉积         指
                       分电离成离子（等离子体），在真空空间输运到基体
                       表面并沉积成薄膜的方法
                       Atomic Layer Deposition，原子层沉积法，是一种基
                       于连续使用气相化学过程的薄膜沉积技术，通过将薄
ALD、原子层沉积          指   膜表面暴露于交替的气态物质，由反应物以顺序的、
                       自限性的方式一次一层地与材料表面反应，使薄膜缓
                       慢沉积
                       能够输出恒定直流电压和电流，通过直流电压产生和
等离子体直流电源           指
                       维持等离子体的工艺电源
                       一种物理量，又称电阻抗，是描述电路对交流信号的
阻抗                 指   阻碍程度。它由电阻、电感和电容等元件组成，单位
                       为欧姆（Ω），用于描述电路对信号的响应特性
                       将一个电路或系统的输出阻抗与其负载的输入阻抗
阻抗匹配               指   相匹配的过程。目的是消除信号反射、最大限度地传
                       递信号能量，并确保系统的性能优化
                       任何消耗功率的电子器件或电路上的装置、设备，即
负载                 指
                       连接在电路中电源两端的电路器件
                       一种电源功率技术，通过快速开关和脉冲成形网络，
                       将能量在毫秒、微秒、甚至是纳秒时间内释放到负载
脉冲                 指
                       上。对能量实现低功率的储存和高功率的释放，使能
                       量在时间上压缩，提高释放能量的瞬时功率，满足不
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                   同负载的应用需求
                   特定类型的 DRAM 产品，主要用于数据吞吐量大的
                   高性能计算、AI 大模型训练等应用场景。产品结构
HBM、高带宽内存       指
                   方面，HBM 将多个 DRAM 芯片堆叠互联，再进一
                   步与 GPU 内核封装集成为一个大芯片
                   弗若斯特沙利文（北京）咨询有限公司，第三方市场
弗若斯特沙利文         指
                   调研机构
                   Semiconductor Equipment and Materials International，
SEMI            指
                   国际半导体设备材料产业协会
注：本年度报告除特别说明外若出现总数和各分项数值之和尾数不符的情况，均为四舍五入原因
造成。
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              第二节    公司简介和主要财务指标
一、公司基本情况
公司的中文名称                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
公司的中文简称                恒运昌
公司的外文名称                Shenzhen CSL Vacuum Science and Technology Co., Ltd.
公司的外文名称缩写              CSL
公司的法定代表人               乐卫平
                       深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能
公司注册地址
                       配套区B栋101，201，301
公司注册地址的历史变更情况          报告期内公司地址未发生变更
                       深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能
公司办公地址
                       配套区B栋101，201，301
公司办公地址的邮政编码            518101
公司网址                   www.csl-vacuum.com
电子信箱                   IR@csl-vacuum.com
二、联系人和联系方式
                      董事会秘书              证券事务代表
姓名             庄丽华               孙天园
                                 深圳市宝安区西乡街道铁岗社
               深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花
联系地址                             区桃花源智创小镇功能配套区B
               源智创小镇功能配套区B栋
                                 栋
电话             0755-23596099     0755-23596099
传真             0755-27813086     0755-27813086
电子信箱           IR@csl-vacuum.com IR@csl-vacuum.com
三、信息披露及备置地点
                         中国证券报（www.cs.com.cn）、上海证券报（www.cns
                         tock.com）、证券时报（www.stcn.com）、证券日报
公司披露年度报告的媒体名称及网址
                         （www.zqrb.cn）、经济参考报（www.jjckb.cn）、
                         金融时报（www.financialnews.com.cn）
公司披露年度报告的证券交易所网址         www.sse.com.cn
公司年度报告备置地点               公司董事会办公室
四、公司股票/存托凭证简况
(一)公司股票简况
√适用 □不适用
                      公司股票简况
            股票上市交易所
     股票种类              股票简称                股票代码           变更前股票简称
              及板块
            上海证券交易所
A股                  恒运昌               688785             不适用
            科创板
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(二)公司存托凭证简况
□适用 √不适用
五、其他相关资料
                  名称                   天健会计师事务所（特殊普通合伙）
公司聘请的会计师事务所（境
                  办公地址                 浙江省杭州市西湖区灵隐街道西溪路 128 号
内）
                  签字会计师姓名              康雪艳、孙惠
                  名称                   中信证券股份有限公司
                                       广东省深圳市福田区中心三路 8 号卓越时代
                  办公地址
报告期内履行持续督导职责的                          广场（二期）北座
保荐机构              签字的保荐代表
                                       王纯然、曹阳
                  人姓名
                  持续督导的期间              2026 年 1 月 28 日-2029 年 12 月 31 日
六、近三年主要会计数据和财务指标
(一) 主要会计数据
                                                          单位：元币种：人民币
                                                        本期比上
    主要会计数据            2025年               2024年         年同期增        2023年
                                                         减(%)
营业收入               529,470,114.60      540,790,338.75      -2.09 325,268,486.91
利润总额               121,576,783.80      159,162,127.98     -23.61  87,635,123.63
归属于上市公司股东的净利润      113,840,339.46      141,540,222.60     -19.57  79,827,335.07
归属于上市公司股东的扣除非
经常性损益的净利润
经营活动产生的现金流量净额       84,787,796.09       99,500,225.57     -14.79     45,448,856.91
                                                        本期末比
                                                        上年同期
                                                        末增减（%
                                                          ）
归属于上市公司股东的净资产      800,252,958.64      679,967,506.09      17.69    537,025,614.14
总资产                901,088,728.31      817,674,296.61      10.20    628,347,757.31
(二) 主要财务指标
                                                    本期比上年同
     主要财务指标            2025年           2024年                           2023年
                                                     期增减(%)
基本每股收益（元／股）                 2.24             2.79       -19.71                1.62
稀释每股收益（元／股）                 2.24             2.79       -19.71                1.62
扣除非经常性损益后的基本每股收
益（元／股）
                                                    减少7.84个百
加权平均净资产收益率（%）            15.42%           23.26%                           34.97%
                                                          分点
扣除非经常性损益后的加权平均净                                     减少7.04个百
资产收益率（%）                                                  分点
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                      增加4.92个百
研发投入占营业收入的比例（%）            15.14%           10.22%                          11.36%
                                                            分点
报告期末公司前三年主要会计数据和财务指标的说明
√适用 □不适用
司股东的净利润 113,840,339.46 元，较上年同期减少 19.57%。主要系半导体行业具有周期波动的
特性，下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交
付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动。
主要系本年度营业收入略降，公司销售商品、提供劳务收到的现金减少，同时支付给职工及为职
工支付的现金增加所致。
发费用中人工费同比增长 61.43%，公司持续加大研发投入力度，提高技术指标要求，推进新产品
开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用较上年同期大幅增加。
七、境内外会计准则下会计数据差异
(一) 同时按照国际会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东
的净资产差异情况
□适用 √不适用
(二) 同时按照境外会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东
的净资产差异情况
□适用 √不适用
(三) 境内外会计准则差异的说明：
□适用 √不适用
八、2025 年分季度主要财务数据
                                                              单位：元币种：人民币
                 第一季度                第二季度             第三季度            第四季度
                （1-3 月份）            （4-6 月份）         （7-9 月份）      （10-12 月份）
营业收入            141,519,897.79     162,536,445.24    97,257,351.16  128,156,420.41
归属于上市公司股东的
净利润
归属于上市公司股东的
扣除非经常性损益后的       32,672,800.40      32,090,327.75    20,596,013.92    19,172,941.05
净利润
经营活动产生的现金流
量净额
季度数据与已披露定期报告数据差异说明
□适用 √不适用
九、非经常性损益项目和金额
√适用 □不适用
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                               单位：元币种：人民币
                                     附注
    非经常性损益项目       2025 年金额         （如适   2024 年金额        2023 年金额
                                     用）
非流动性资产处置损益，包括已计提
                        -2,387.50
资产减值准备的冲销部分
计入当期损益的政府补助，但与公司
正常经营业务密切相关、符合国家政
策规定、按照确定的标准享有、对公
司损益产生持续影响的政府补助除外
除同公司正常经营业务相关的有效套
期保值业务外，非金融企业持有金融
资产和金融负债产生的公允价值变动
损益以及处置金融资产和金融负债产
生的损益
计入当期损益的对非金融企业收取的
资金占用费
委托他人投资或管理资产的损益
对外委托贷款取得的损益
因不可抗力因素，如遭受自然灾害而
产生的各项资产损失
单独进行减值测试的应收款项减值准
备转回
企业取得子公司、联营企业及合营企
业的投资成本小于取得投资时应享有
被投资单位可辨认净资产公允价值产
生的收益
同一控制下企业合并产生的子公司期
初至合并日的当期净损益
非货币性资产交换损益
债务重组损益                                      -220,332.00      -68,224.14
企业因相关经营活动不再持续而发生
的一次性费用，如安置职工的支出等
因税收、会计等法律、法规的调整对
当期损益产生的一次性影响
因取消、修改股权激励计划一次性确
认的股份支付费用
对于现金结算的股份支付，在可行权
日之后，应付职工薪酬的公允价值变
动产生的损益
采用公允价值模式进行后续计量的投
资性房地产公允价值变动产生的损益
交易价格显失公允的交易产生的收益
与公司正常经营业务无关的或有事项
产生的损益
受托经营取得的托管费收入
除上述各项之外的其他营业外收入和
                      -459,691.25           -166,982.21     140,547.53
支出
其他符合非经常性损益定义的损益项
目
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
减：所得税影响额                    1,642,930.51          2,219,171.21    1,993,106.85
  少数股东权益影响额（税后）
       合计                   9,308,256.34         12,569,276.54   11,293,515.95
对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1 号——非经常性损益》未列举的项目认
定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1 号
——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。
□适用 √不适用
十、存在股权激励、员工持股计划的公司可选择披露扣除股份支付影响后的净利润
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
                                               本期比上年同
 主要会计数据      2025年              2024年                     2023年
                                                期增减(%)
扣除股份支付影响
后的净利润
十一、非企业会计准则财务指标情况
□适用 √不适用
十二、采用公允价值计量的项目
□适用 √不适用
十三、因国家秘密、商业秘密等原因的信息暂缓、豁免情况说明
√适用 □不适用
根据《上市公司信息披露管理办法》《上市公司信息披露暂缓与豁免管理规定》《上海证券交易
所科创板股票上市规则》等法律法规、规范性文件及公司《信息披露暂缓与豁免业务管理制度》
等相关规定，公司部分信息因涉及敏感信息已申请豁免披露，并已履行公司内部相应审核程序。
                   深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                     第三节    管理层讨论与分析
一、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况说明
(一) 主要业务、主要产品或服务情况
   公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子
体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和
流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
   公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统（等离
子体射频电源及匹配器）、等离子体激发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流
电源、配件（滤波器、阻抗调整器等）；引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空
泵、质量流量计等核心零部件；同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技
术服务。
(1)自研产品
  历经十二年，公司通过自研先后迭代推出 CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar 四代等离子
体射频电源系统系列产品，其中 Bestda 系列、Aspen/Basalt 系列及 Cedar 系列产品主要面向半
导体领域，具体如下：
   项目                                    Cedar 系列
                      深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
产品类型                          Cedar 系列等离子体射频电源系统
图示
                    射频电源及匹配器的一体机
                    配备四个中心阻抗应用，可固定匹配且无匹配时间损失
                    全新高速控制平台，实现复杂波形控制
产品特征及优              快速数据及大数据采集功能，导出设备底层基础数据
势
                    基于陶瓷基板高可靠性匹配设计
                    具备时钟芯片及增强运维能力，支持在线分析，查看运行日志及指令交互
                     功能
制程情况           该系列产品可支持 5 纳米及以下半导体制程，验证中
     项目                            Aspen/Basalt 系列
产品类型               Aspen 系列等离子体射频电源                  Basalt 系列匹配器
图示
                                            · 内置闭环控制步进马达，结合智能
              · 标准 Halfrack/fullrack 设计
                                            匹配算法，提供快速、精确可靠的阻抗
              · 具备脉冲、相位同步、BVC、HALO
                                            匹配
              等高级功能
产品特征及优                                      · 内置 V/I 传感器，实时检测负载工
              · 扫频匹配时间小于 10ms
势                                           作状态
              · 串口/模拟口响应时间小于
                                            ·  单频/双频/双输出/手动/自动可
                                            选
              · 脉冲频率范围 10Hz-20kHz
                                            · 具备功率分配功能
制程情况          该系列产品可支持 7-14 纳米半导体制程，已量产
     项目                                Bestda 系列
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
产品类型              Bestda 系列等离子体射频电源                 Bestda 系列匹配器
图示
             · 具备自动扫频匹配、CEX、脉冲
                                            · 全数字化测量和控制系统，集成智能
             等高级功能
                                            算法
             · 水冷风冷两种冷却方式
产品特征及优                                      · 内置 V/I 传感器，实时检测输入和负
             · 扫频匹配时间小于 100ms
势                                           载阻抗
             · 串口/模拟口响应时间小于
                                            ·  单频/双频/双输出/手动/自动可选
                                            · 全面的保护机制
             · 脉冲频率范围 10Hz-10kHz
制程情况         该系列产品可支持 28 纳米半导体制程，已量产
     项目                                    CSL 系列
产品类型              CSL 系列等离子体射频电源                     CSL 系列匹配器
图示
                                            · 步进马达驱动真空电容，提供快速、精
                                            确、可靠的阻抗匹配
             · 实时功率和阻抗测量主动前面
                                            · 内置 V/I 传感器，驻波测量调节输出幅
             板，方便监控工作状态及进行设置
产品特征及                                       度和相位
             · 允许 12 台电源工作在相同的
优势                                          · 相位/幅度灵敏度选择装置，提供低反
             频率和相位，输出到同一等离子体
                                            射功率和快匹配速度之间的选择
             腔体
                                            · 带多级抽头的并联和串联电感，提供宽
                                            的匹配范围
             广泛应用于光伏电池片薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、工业级等离子
应用领域
             体清洗、其他工业级真空镀膜等环节。
  公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清
洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子
体清洗等工业生产环节，应用领域具体如下：
                       深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
行业
                           半导体领域                             非半导体领域
领域
工艺                                离子          清洗                    等离子
           薄膜沉积          刻蚀                         键合    真空镀膜
流程                                注入          去胶                    体清洗
       PVD 、 PECVD 、    ICP 刻蚀
设备                                离子注               键合   PECVD、PEALD、 等离子体
       PEALD、LPCVD、     机、CCP               去胶机
类型                                 入机               设备   PVD 等设备       清洗机
       HDPCVD 等设备       刻蚀机
  除自研的等离子体射频电源系统外，公司其他自研产品包括：①电源类产品：等离子体直流
电源等；②等离子体激发装置：远程等离子体源、射频离子源；③配件：等离子体射频电源功率
计、滤波器、阻抗调整器等，具体如下：
 项目                                 其他自研产品及配件
应用场景       半导体、光伏、显示面板、精密光学等领域中的薄膜沉积、镀膜、等离子体清洗
 产品             定义               产品系列              图示        产品特征及优势
                                    电源类
                                                          率，应用于半导体制造中
                                                          金属等导电材料的溅射
                                                          镀膜等工艺环节
                                                          与负载特性相互影响，电
                                                          源的研制难点包括负载
                                                          匹配、电弧管理、复杂脉
           能够输出恒定直流
                                                          冲等诸多方面
           电压和电流，通过           Ginkgo
等离子体                                                      3、在拓扑结构、效率提
           直流电压产生和维           系列、Maple
直流电源                                                      升、适应工艺阶段的输出
           持等离子体的工艺           系列
                                                          要求、提供稳定的工作环
           电源
                                                          境等方面具有较好的表
                                                          现
                                                          字信号处理算法，提高了
                                                          抑弧检测的灵敏度和准
                                                          确度，实现了直流电源对
                                                          高效及宽输出的应用要
                                                          求
                                  等离子体激发装置
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
       一种用于产生等离
       子体的装置，其特                            1、等离子体产生腔与晶
       点是等离子体的产                            圆所在的反应腔隔离，不
       生腔与晶圆所在的                            直接接触待处理的晶圆
       反应腔隔离，故名                            等材料表面，可减轻设备
       “远程”。其在一                            工艺套件的磨损，实现对
远程等离                 Torrent 系
       个专门的产生腔室                            表面的均匀处理
 子体源                 列
       中通过等离子体射                            2、对一些敏感的表面或
       频电源系统将气体                            者材料，可以有效降低对
       电离形成等离子                             晶圆等材料表面的轰击、
       体，并将产生的等                            化学和热损伤，提升了工
       离子体传输到晶圆                            艺性能和灵活性
       所在的反应腔
       一种由一个或多个                            1、模块化设计，每组两
       等离子体射频电                             个发射天线，可分配电流
       源、匹配器及感应                            比例，组内和组间电流可
射频离子   线圈等组成的用于      ICP 系列、               调节
  源    激发等离子体的模      CCP 系列                2、叠加附属磁场设计，
       块化装置，大多应                            提供极佳的均匀性
       用在工业中的大尺                            3、工艺区间按需定制，
       寸镀膜中                                长度可拓展
                            主要配件
       一种由 多阶 LC 滤
       波电路组成的射频                            1、多频率滤波设计，目
       滤波装置，大多应                            标频率的高阻抗，高衰减
                     Calamus 系
滤波器    用在半导体加热盘                            设计
                     列
       输入端，用于射频                            2、电路模块化，高密度
       隔离、稳定射频等                            机械结构灵活化设计
       离子体的阻抗
       一种由高频阻抗可
       调电路和低频谐振
       低阻抗电路组成的                            1、多频率阻抗控制设计
       阻抗可调装置，大                            2、集成输入电压电流实
阻抗调整                 Granite 系
       多应用在半导体等                            时监控
  器                  列
       离子体腔体内硅片                            3、电路模块化，高密度
       托盘的阻抗调整，                            机械结构灵活化设计
       控制等离子体托盘
       的接地阻抗
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(2)引进产品
  公司基于等离子体发生条件和反应腔真空环境的实际需求，引进用于获得和维持真空环境的
真空泵、用于流体精确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子体直流电源等核心零部
件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，打造核心零部件供应平台，具体如下：
  类型       产品       示意图                具体功能      引进品牌
                              在反应腔获取真空环境的核心零
                              部件，用于在反应腔中产生、改善
                                              品牌 S(日
                              和维持真空环境。主要包括干泵、
真空获得      真空泵                                 本)、品牌
                              分子泵、低温泵三大类，在薄膜沉
                                              L(德国)
                              积、刻蚀、离子注入等对真空环境
                              要求较高的干法工艺中应用广泛
                              反应腔供气系统的核心零部件，用
                              于对气体等进行质量流量测量和
                                               品牌 M(日
          质量流量                控制，要求响应速度快、精确度高、
流体控制                                           本)、品牌
          计                   稳定性好、耐腐蚀性好、使用寿命
                                               F(日本)
                              长。应用工艺包括薄膜沉积、刻蚀、
                              离子注入等
                              在反应腔内使用等离子体直流电
                              源对靶材施加电压，使气体离子
          等离子体                化，产生等离子体。这些离子在电   品牌 A(德
真空镀膜
          直流电源                场的作用下加速并轰击靶材，溅射   国 )
                              出原子或分子，最终沉积在基材
                              上，完成镀膜。
(3)技术服务
  公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射
频电源系统在晶圆厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要
晶圆厂被美国商务部列入实体清单后，无法继续向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，
公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务，为国内晶圆厂的稳定运转和
生产可持续性提供了坚实的保障。
新增重要非主营业务情况
□适用 √不适用
(二) 主要经营模式
   公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的
研发、生产、销售，通过向半导体、光伏、显示面板、精密光学、其他工业等领域的客户销售以
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
等离子体射频电源系统为代表的自研产品，以及引进真空泵、质量流量计等真空获得和流体控制
相关的核心零部件，同时公司为晶圆厂和设备商提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务，
以此实现收入和利润。
   公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元
器件、功率模块等电气件以及钣金件等结构件。公司在研发过程中结合技术参数、客户要求、物
料来源等因素综合考量原材料的选型，通过有针对性的研发设计调整，不断提高产品的性能和品
质。同时，公司在采购中积极推进国产化率的提升，注重使用本土元器件，以促进国产替代。
   公司引进产品主要采购真空泵、质量流量计等真空获得和流体控制相关的核心零部件，公司
根据客户需求向相关品牌的境内外供应商采购，其中境外供应商直接发货至公司指定港口，由公
司办理清关等事宜；境内供应商发货至公司指定地点。
   公司物料需求部门基于安全库存或销售预测的计划需求，提出采购申请。采购部门根据审批
后的采购申请，结合原材料的耗用情况、价格波动、使用频率等多方面因素与合格供应商签订单
次采购合同或年度框架协议，执行采购计划。
   公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量
管控水平以及产品价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将
符合要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，
持续优化采购渠道，提高原材料供应的效率和稳定性。
   公司等离子体射频电源系统等自研产品主要采取以销定产的生产模式，根据供货要求、产品
生产周期、销售预测等因素对生产排期和物料管理进行统筹安排，协调生产、采购和仓储等相关
部门保障生产的有序进行。公司的生产流程主要是部件加工及装配、软件烧录、检测和工艺调试
等，由制造中心对原材料进行装配、线路连接、产品测试，确保产品性能稳定之后封装入库。为
提升生产效率，公司将少量工序委外加工，包括 PCBA 和线缆定制工序。
   公司产品销售采取直销模式，下游客户主要为半导体、光伏、显示面板、精密光学等行业的
设备商，公司向其直接销售与设备配套的等离子体射频电源系统等自研产品，以及真空泵、质量
流量计等引进产品。对于等离子体射频电源系统等自研产品，公司需经过客户严格的调查评估、
销售、研发、工艺等部门与客户开展深入沟通，洽谈和确定客户需求信息，拟定合适方案；同时，
品质部门、采购部门、生产部门也会参与客户产品的开发，根据新产品的特殊需求，优化产品布
局和结构并达成最终方案。公司根据正式订单及客户预测相结合的方式进行生产排产，并按交货
期向客户交付。对于真空泵、质量流量计等引进产品，公司根据客户具体需求和订单约定向客户
直接销售引进产品。
   公司的研发由研发中心组织，具体包括研发项目的立项、项目实施及验证、交样结题及项目
结案等。公司研发模式主要系结合客户主要制程与研发方向需求，同时以公司产品种类和系列为
基础进行研发创新。在完成研发样品后，公司会及时向客户进行送样测试，并依据测试反馈结果
以及客户提出的新需求，对产品的性能、参数和指标进行针对性调整。
(三) 所处行业情况
   公司致力于为国产半导体设备提供优质核心零部件，主要产品为等离子体射频电源系统，主
 要应用于半导体设备领域。
（1）行业的发展阶段、基本特点
   等离子体射频电源系统行业
   等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，主要由等离子体射频电源
 和匹配器组成。其核心作用是通过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，创造
 并维持高活性、高能量的等离子体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
清洗去胶、键合等复杂半导体工艺（薄膜沉积、刻蚀与光刻并称为芯片制造三大关键工序）。等
离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳
定性等，对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率，以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等
至关重要，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率，等离子体射频电源系统在半导体制造核
心装备中占据着核心位置。等离子体射频电源系统可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、精密
光学、等离子体清洗等领域，是推动工艺和技术进步的重要载体。产业链具体情况如下：
   等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、
研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率极低。中国大陆半导体行业等离子体
射频电源系统的市场仍呈现由美系海外巨头厂商高度垄断的竞争格局，半导体设备厂商对于零部
件自主可控的要求愈发紧迫，伴随国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源系统市场快速发
展。
（2）主要技术门槛
   半导体设备核心零部件是半导体设备技术更迭和制程演进的重要承载，在半导体工艺和芯片
 结构日趋复杂的背景下，半导体设备商对核心零部件厂商的要求更为严苛，包括对产品的可靠性、
 稳定性和一致性及核心零部件厂商的研发能力、技术实力。因此，半导体设备核心零部件行业的
 技术壁垒很高。等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件，
 技术要求极高，包括在纳米尺寸级别上精准控制等离子体的刻蚀过程、在纳秒时间级别上和复杂
 环境中精准且稳定的控制等离子体的变化。技术要求极高主要由于其直接关系到薄膜沉积、刻蚀
 等环节中等离子体的浓度、均匀性和稳定性等，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率。
   等离子体射频电源系统的研发难度大，所需研发周期长、研发投入大。以 AE 为例，从 2008
 年推出可用于 FinFET 工艺的第三代 Paramount 系列射频电源，到 2023 年推出可用于 3D 封装的
 第五代 eVerest 系列射频电源，产品迭代历时 15 年。MKS 年报披露其 2023-2025 年累计研发费用
 高达 8.58 亿美元。
  公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子
体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和
流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。公司自主研发
的第二代产品 Bestda 系列等离子体射频电源系统可支撑 28 纳米制程，第三代产品 Aspen 系列等
离子体射频电源系统可支撑 7-14 纳米先进制程，第四代产品 Cedar 系列等离子体射频电源系统将
射频电源和匹配器整合为一体化平台，可支撑 5 纳米及以下更先进制程。公司在国内半导体领域
系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。
公司打破多年来海外巨头在国内等离子体射频电源系统领域的垄断格局，能与海外巨头同台竞争，
并不断扩大市场占有率。报告期内，公司获得深圳 2025 年瞪羚企业、“湾芯奖”之技术创新奖-
年度创新企业等荣誉。
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  根据弗若斯特沙利文历史统计数据，中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场呈现
海外巨头高度垄断的竞争格局，其中 2024 年海外厂商 MKS、AE、霍廷格和 DAIHEN 等合计市占率
接近 88%，国产厂商市占率不足 12%。
    根据 2025 年 10 月中国共产党第二十届中央委员会第四次全体会议所提出的《中共中央关于
制定国民经济和社会发展第十五个五年规划的建议》，要全链条推动集成电路、工业母机、高端
仪器、基础软件、先进材料、生物制造等重点领域关键核心技术攻关取得决定性突破。加强基础
研究战略性、前瞻性、体系化布局，提高基础研究投入比重，加大长期稳定支持。强化科学研究、
技术开发原始创新导向，优化有利于原创性、颠覆性创新的环境，产出更多标志性原创成果。
    （1）半导体工艺和芯片结构日趋复杂，对等离子体射频电源系统的技术要求显著提升
    随着半导体制程的持续演进，薄膜沉积、刻蚀等半导体工艺的复杂度和精细度日益提高，对
等离子体射频电源系统也在不断提出更高、更复杂的要求。经过几十年的演进，等离子体射频电
源系统从早期的基于变压器和电子管的射频电源及固定匹配网络演变成开关模式电源和自动调谐
匹配网络，实现可靠、稳定、高效的功率输送，并极大地减小了物理尺寸；其后，等离子体射频
电源系统逐渐向数模混合控制、全数字控制发展，输出信号也从连续波信号拓展出了脉冲信号。
    随着平面器件结构尺寸逐渐接近物理极限，半导体行业开始转向更为复杂的三维结构，等离
子体射频电源系统已经成为支持芯片 3D 结构复杂化的核心技术。3D 存储器的层数持续增加、
FinFET 持续缩小对于等离子体射频电源系统的技术要求显著提升。如对于层数较高的 3D NAND，
其刻蚀需要达到 70:1 的高深宽比，这要求等离子体中产生的活化离子能一直达到孔隙的底部，这
需要等离子体射频电源系统通过产生多重射频和同步射频脉冲来控制离子能量和表面电荷，并且
在微秒范围内精确测量、高速调谐射频功率。
    （2）AI 应用落地，半导体迎增长新机遇
    人工智能（AI）的大量应用需求将带动新一轮半导体增长，尤其是先进制程的逻辑及存储相
关的晶圆制造厂的产能。一方面，需求激增带动算力产业链的资本开支持续增加，并带动 HBM、
地，换机和升级需求增加，智能装置 AI 化将推动新一轮半导体增长，成为本轮半导体增长周期的
驱动因素。
    （3）制程节点演进、芯片和工艺复杂度的提升带动等离子体射频电源系统用量及价值占比提
升
    半导体制造对等离子体射频电源系统工艺要求的提升，有效地丰富了等离子体射频电源系统
的工艺体系，为设备厂商提供较宽的工艺窗口，并提高了等离子体射频电源系统在半导体制造设
备中的价值占比。半导体设备全球市场规模成长至近千亿美元，同时随着制程节点不断演进、芯
片和工艺复杂度的提升，薄膜沉积设备和刻蚀设备等半导体设备的需求将持续上升。等离子体射
频电源系统作为薄膜沉积设备和刻蚀设备等半导体设备的核心零部件，其性能直接关系到薄膜沉
积、刻蚀等环节中等离子体的浓度、均匀性和稳定性等，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和
效率。薄膜沉积设备和刻蚀设备等单台设备中的等离子体射频电源系统的用量和价值占比随着半
导体设备用量的增加也将呈整体提升态势。
    （4）设备国产化为我国半导体行业发展的长期趋势
    受欧美等国对我国半导体产业限制政策的影响，我国半导体产业的供应链安全面临严峻挑战，
凸显出我国在半导体关键领域实现自主可控的必要性。半导体产业链国产化的需求特别强烈，国
产化进程将进一步加速，半导体核心设备及核心零部件国产化将成为我国半导体行业发展的长期
趋势。
二、经营情况讨论与分析
  等离子体射频电源系统在半导体制造核心装备中占据着核心位置。半导体设备由数以万计的
零部件组成，零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性，制程升级很大程度
依赖于精密零部件的技术突破。等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
等离子体的浓度、均匀性和稳定性等，对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率，以及刻蚀的选
择性、方向性、速率、质量等至关重要，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率。
  公司始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为半导
体设备国产化贡献中国“芯”力量。报告期内，面对复杂多变的外部环境与半导体行业周期波动，
公司坚守发展战略，全体员工凝心聚力、实干奋进，在经营业绩、技术创新、质量提升、生产制
造与治理能力上均取得扎实成效。公司以市场和客户需求为导向，优化产品布局，强化技术攻关；
坚守质量底线，完善全过程质量管控，产品品质与可靠性稳步提高；生产制造实现突破，产能、
工艺与运营效率持续优化；管理体系不断健全，规范化水平显著提升，高质量发展迈出坚实步伐。
（一）报告期内主要经营情况
 有周期波动的特性，下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证
 导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动；实现归属于上市公司股东
 的扣除非经常性损益的净利润 10,453.21 万元，较上年同期下降 18.95%，主要系公司持续加大研
 发投入力度，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，
 研发费用较上年同期大幅增加所致。截至本报告披露日，公司在手订单为 15,718.77 万元。
（二）报告期内重点任务完成情况
    ①报告期内研发投入情况
    公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加
 大研发投入，报告期内，公司研发投入金额达到 8,015.92 万元，同比增长 45.01%，研发投入占
 营业收入比例达 15.14%。报告期内，公司不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品类，不断
 完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追踪最新的技术及发展趋势，开
 展对先进技术、先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。
    ②报告期内公司主要产品在主要客户处的产品验证及产业化进展
       注：主要产品指等离子体射频电源系统（即等离子体射频电源和匹配器）
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  报告期内，公司所承接的主要客户的研发产品数量不断扩大。随着合作产品数量尤其是验证
导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加。公司将持续加大研
发投入力度，承接更多客户的需求。
    公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量
管控水平以及产品价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将
符合要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，
持续优化采购渠道。同时，为保证生产的连续和稳定性，公司综合考虑原材料的采购周期、供应
商的供货能力、采购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。除此之外，自 2021 年起，
公司先后实现真空电容、陶瓷电容等元器件的国产化应用，目前已确定上游元器件全国产化方案，
持续推进全面国产化验证。
    公司高度重视质量管理，依据 ISO9001 及相关法律法规要求，结合公司实际情况，并参考国
外大厂标准严格要求，建立了以经营流程为管理轴心的内部管理制度和标准化、规范化的质量管
理体系。同时，为进一步提升客户的满意度，提高公司产品品质，公司开发了自主测试平台，公
司所有产品出厂前会经过应力测试、老化测试等一系列测试，为客户减少了验证试错的时间，节
约了试错成本和沟通成本。另外，公司不断优化信息技术防护措施，加强安全保密管控，切实提
升网络安全和数据安全治理能力。
    公司高度重视科技创新与知识产权保护工作，为加强对技术资料保密工作的统一管理及防止
技术泄密，公司制定了《企业秘密管理制度》《商业秘密管理办法》《知识产权管理办法》，建
立了有效的知识产权保护管理体系。公司取得了第三方出具的《知识产权管理体系认证证书》，
认证公司符合《企业知识产权管理规范》（GB/T29490-2013）的国家标准。公司取得了基于 ISO
包括发明专利 123 项，实用新型专利 72 项，外观设计专利 101 项。截至 2025 年 12 月 31 日，公
司已累计申请 490 项专利，其中发明专利 262 项，占比 53.47%。
    报告期内，公司员工总数达 405 人，同比增长 10.96%。公司根据未来技术发展规划和现有人
才储备状况，将不断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励在技术研发、产品创新、
专利申请等方面做出贡献的研发人才。公司还将持续引进各类专业人才，包括招募更多具备前瞻
性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术人才、各领域高端管理人才的
引进，优化人才结构，打造一流的人才队伍，满足公司快速发展的需要。截止本报告披露之日，
公司计划引进海外高端人才。此外，公司还将进一步扩大与有关高校科研院所的合作，在产、学、
研、训等多种合作模式的基础上，内外并举，实现公司未来可持续发展。
    报告期内，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目按计划稳步推进中。营销及技术支持中
心项目的北京中心已处于正式运营阶段，半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、
研发与前沿技术创新中心项目及营销及技术支持中心项目的上海、武汉、合肥中心处于前期准备
阶段。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项目质量与预期效益的前提下，加
快推进募投项目建设。
   报告期内，公司遵循《公司法》《证券法》《上市公司治理准则》等法律、法规和规范性文
件的要求，持续优化公司治理结构，建立健全内部控制体系，提升公司规范运作水平。报告期内，
公司召开了 4 次股东会、7 次董事会、3 次监事会、6 次董事会审计委员会、1 次董事会提名委员
会、4 次董事会薪酬与考核委员会、2 次董事会战略委员会、3 次独立董事专门会议。公司以《公
司法》《证券法》《科创板上市规则》和《公司章程》等法律法规及规范性文件为指引，持续推
进治理体系建设，确保经营管理决策兼具科学性、合理性与合规性，全面提高公司治理效能和规
范化水平，为战略目标的顺利达成夯实基础。
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
    为进一步拓展海外市场、搭建海外研发平台、建设海外购销系统、推进国际化进程，公司于
公司德国恒运昌将作为恒运昌全球化布局中的重要战略支点，承担海外研发、技术融合、市场拓
展三大职能。
非企业会计准则财务指标的变动情况分析及展望
□适用 √不适用
三、报告期内核心竞争力分析
(一) 核心竞争力分析
√适用 □不适用
   目前公司是国内极少数实现批量交付半导体级等离子体射频电源系统的企业，公司已实现对
拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商的批量供货。除
半导体设备企业外，公司也已通过中芯国际等国内龙头终端晶圆厂的准入审核。此外，公司还在
积极推进其他多款等离子体射频电源、匹配器、远程等离子源的后续验证工作，以期建立更为密
切的合作关系。
   核心零部件影响半导体设备运行的整体性能，头部效应显著，领先通过认证并批量交付的企
业更容易获得国产替代资源并形成正向反馈。由于半导体行业验证周期较长，且晶圆厂要求“精
确复制”的管理模式，使其确保在全球不同工厂生产产品质量和成品率，因此核心零部件供应商
一旦与主要半导体设备客户建立合作关系，合作关系通常会非常稳定，具有较强的客户粘性，新
进入者对合作关系的影响相对较小。公司等离子体射频电源和匹配器产品已经全面覆盖下游头部
客户，这些稳定的合作关系将进一步巩固和提升公司在行业中的地位，形成良性循环，为公司在
半导体设备领域的持续发展提供了坚实基础。
   历经十二年，公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列等离子体射频电源系统，成
功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局。公司已量产的产品已达国际龙头企业的次
新一代同等技术水平。第四代产品 Cedar 系列等离子体射频电源系统将射频电源和匹配器整合为
一体化平台，可支撑 5 纳米及以下更先进制程。公司凭借多年以来产品的优势积累，在国产半导
体设备的薄膜沉积、刻蚀等关键细分领域持续扩大市场占有率，实现对进口零部件的国产替代，
产品质量和性能得到了客户的高度认可，建立了良好的口碑，在半导体级等离子体射频电源系统
领域占据领先地位。半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，等离子体射频电源系统
的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，且需经过精密的校准和严格的测试流程，以确保
性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，并成为薄膜
沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。
   经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为双导向，建立了“基
石技术+产品化支撑技术”的技术体系，一方面从测量、控制及架构构建的底层通用的 3 大基石技
术，并基于基石技术，结合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应
用诉求和实现难点，发展出 8 大产品化支撑技术，实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进
设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离
子体射频电源系统运行中的关键技术。通过公司的等离子体射频电源系统产品，下游客户的设备
实现了将射频赋能等离子体过程控制在 10 毫秒等级。射频快速响应能够使等离子体在最短时间内
达到稳定状态，实现对薄膜厚度和膜厚均匀性的精准控制，是设备运行的稳定性和产品良率的关
键。截至报告期末，公司拥有已授权发明专利 123 项，境内外在申请发明专利 123 项，在产品迭
代方面积累了丰富的技术储备。
   随着半导体制程的一路发展，刻蚀工艺中更高的深宽比、芯片中叠层间更高的一致性、原子
级尺寸的逻辑结构和更复杂 3D 形状结构等特性驱动着新的工艺、新的材料以及其他结构和工艺
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
的更深层次的改变，这些改变的实现都需要有等离子体射频电源系统的深度参与。公司在自主创
新的基础上，注重与科研院所、高等院校等外部机构的合作，坚持产学研一体化的创新研发机制，
为持续发展提供有力保障。公司积极与哈尔滨工业大学、北京航空航天大学、西安电子科技大学、
大连理工大学、广东工业大学、深圳技术大学、岭南师范学院、西南交通大学等国内高校，通过
共建实验室、项目合作等方式开展产学研合作，不断提升公司的研发水平和能力。
   公司汇聚了一支在等离子体射频电源系统及半导体核心零部件行业拥有二十年以上从业经验
的国际化团队，集合全球智慧，提供创新设计和产品，拥有深厚背景和丰富经验，对半导体技术
的发展脉络、市场需求变化以及行业趋势有着深刻的认识和精准的把握。团队成员不仅在技术研
发方面拥有卓越的能力和敏锐的洞察力，而且在运营管理和市场拓展等方面有着长期的从业经历，
对半导体行业具有深刻理解和具有丰富的实践经验，是公司持续创新和保持竞争力的重要基石。
(二) 报告期内发生的导致公司核心竞争力受到严重影响的事件、影响分析及应对措施
□适用 √不适用
(三) 核心技术与研发进展
  经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为双导向，研发了多
项核心技术。公司报告期内核心技术的具体情况详见下表：
       序号
核心
            核心技    技术   所处
技术                                      技术先进性的具体表征
             术     来源   阶段
分类
                             有效解决国内射频测量技术所使用的模拟系统和半
                             数字系统存在因反射能量、非线性器件温漂及电抗所
            等离子
                             带来测量精度误差问题。基于逻辑电路进行运算，规
            体电源
                   自主   批量   避了非线性元件引入的温度和功率影响，可用数学模
                   研发   生产   型准确来建模，直接通过模型中进行参数校正，实现
            测量技
                             了阻抗精度小于 1%，在极宽的功率动态范围内都能
             术
                             保持精度。同时，具有较强的可扩展性。可以在基本
                             算法的基础上添加不同的应用功能算法
基石技术
                             可适应沉积不同的材料、刻蚀不同的深度的沟槽、不
                             同的反应温度、腔体结构等复杂晶圆工艺中所需的功
                             率跳变，并对每个功率水平进行稳定控制。该技术可
            等离子              以根据电源的工作频率自动调节信号采集和反馈的
            体电源              间隔时间，最短可达微秒级别。更频繁的采样次数可
                   自主   批量
                   研发   生产
            环路控              电源功率调整响应时间控制在 10ms 以下，而国际上
            制技术              目前等离子体射频电源控制采用多模式控制策略，电
                             源功率调整时间为 10ms 至 30ms。通过多环电路切换
                             与启动相应环路控制策略，使等离子体射频电源能有
                             效适应不同的脉冲水平控制和不同负载下的变化
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                               国内的等离子体射频电源起步较晚，很少有针对等离
                               子体的创新设计，现有设计在应用时在功放效率和更
                               宽的频率范围之间难以两全其美。该技术结合线性功
              等离子              放的控制特点和开关功放的高效率，寻找一个合适的
              体电源    自主   批量   平衡方案，应用多级谐振匹配设计提高功放的转换效
              高效功    研发   生产   率和拓展工作频率带宽，可响应高端刻蚀工艺对脉冲
              放技术              等功能的要求，让脉冲在不同功率水平下进行跳变成
                               为可能，消除功放对等离子腔体阻抗的敏感性，减少
                               脉冲过程中等离子阻抗的不稳定性。同时，采用模块
                               化设计功放，便于拓展功率和合成功率
                               该技术在全数字测量基础上，采用阻抗分析快速建模
              基于模              匹配算法，将匹配过程变成误差寻零，优化参数调整
              型的匹    自主   批量   匹配轨迹，实现快速匹配。克服了原有的寻优算法对
              配器调    研发   生产   于预设点位置选择的高度依赖性问题。通过配置不同
              谐算法              的优化参数实现匹配器的匹配性能优化，还可使匹配
                               器的设计方案适用于不同系统和场景
                               该技术的应用使得从扫频到锁定输入信号的波形的
              频率与              总体时间达到 1ms 级别，步进精度达到 0.1 度，能够
              相位同              即时、高速、大范围锁相，输入与输出的信号相位高
                     自主   批量
                     研发   生产
              运行技              同时，还可以实现全频段锁频，有效提升频率调节的
产品化支撑技术
               术               效率，加快锁定输入信号相位的工作过程，提升薄膜
                               沉积的厚度的一致性和刻蚀深度和方向的精确性
                               该技术采用设备电弧检测控制电路与 PID 电弧运算
                               电路分隔设计，由双运算模块个别且独立进行，通过
              等离子
                               数据交互、数据共享、PID 运算分段控制等方式交流
              体电弧
                     自主   批量   信息。两大电路模块既能独立运行，亦能严格进行同
                     研发   生产   步多工处理，确保运作数据的正确性和数据传输的稳
              控制技
                               定性，避免电路不同步关断作业造成整体电路错乱运
               术
                               行，改善了原有依赖人工配合检测仪器进行人为作业
                               管控的情况
                               创新了等离子体射频电源等离子体偏压系统的数据
              自适应
                               采集和自适应偏置控制技术，应用于先进的等离子刻
              偏置控
                               蚀工艺来控制刻蚀的等离子轰击能量，可屏蔽脉冲过
              制与脉    自主   批量
              冲测量    研发   生产
                               的形式，可以使得偏置电压和功率同步控制，除保证
              同步技
                               峰值功率的调整精度之外，还进一步提高偏压控制的
               术
                               响应时间，提升半导体工艺制程的稳定性和可重复性
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                           该技术基于不同频率的阻抗补偿，利用实时阻抗测量
                           的结果进行阻抗的转化，把复杂的阻抗转化为简单单
                           调的相位零点趋近。通过实时测量不同频率下的阻抗
          快速调    自主   批量   和驻波比，搭建适用于匹配器与电源输出端的算法结
          频技术    研发   生产   构模型，利用建模的方法分析不同频率下的阻抗并预
                           测下一步的执行频率点，在不同的功率水平脉冲触发
                           不同的调频环路，有效缩短调谐时间，整体调谐时间
                           小于 100ms
                           该技术解决了等离子体在点燃和熄灭开关切换期间，
                           因阻抗变化剧烈而无法快速功率匹配的难题。不同的
                           功率之间进行切换的时候，可以通过不同控制环路的
          脉冲与              调整，实现稳定过渡，保证峰值功率的调整精度在±
          脉冲测    自主   批量   1%，克服了不同功率水平切换后突然上升过多或下降
          量同步    研发   生产   过多，以免对晶圆造成击穿，并确保脉冲切换过程不
           技术              会造成等离子体熄灭。节省了电源从开启和关闭的时
                           间，可以从“待机”状态中快速进入工作状态，满足
                           了低功率水平维持等离子状态，高功率水平有效运行
                           的工艺要求
                           该技术主要解决直流驱动电源输出在快速响应负载
          直流驱              或者脉冲负载下的快速响应问题，保证后端射频功放
          动电源    自主   设计   在脉冲条件下不会出现峰值波形抖动；解决直流脉冲
          开关控    研发   验证   输出电源的对于硬弧的快速检测和处理，实现在等离
          制技术              子放电过程中电荷累积放电的处理，使输出功率能稳
                           定持续
          直流驱
                           该技术解决直流驱动电源快速升压速度慢的问题，创
          动电源    自主   设计
          多阶升    研发   验证
                           毫秒以内
          压技术
国家科学技术奖项获奖情况
□适用 √不适用
国家级专精特新“小巨人”企业、制造业“单项冠军”认定情况
□适用 □不适用
                                        认定年
         认定主体              认定称号                   产品名称
                                         度
                                                 等离子体射频电
深圳市恒运昌真空技术有限公司        国家级专精特新“小巨人”企业    2022 年
                                                 源系统、滤波器
深圳市恒运昌真空技术股份有限                                   等离子体射频电
                      单项冠军企业            2024 年
公司                                               源系统
深圳市恒运昌真空技术股份有限        国家级专精特新重点“小巨人”             等离子体射频电
公司                    企业                         源系统
   截至报告期末，公司承担了国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接
告期内，公司新增申请专利共 107 项、新增获得专利共 73 项。
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
报告期内获得的知识产权列表
                     本年新增                                   累计数量
                申请数（个）   获得数（个）                        申请数（个）   获得数（个）
发明专利                  42       19                           262      123
实用新型专利                53       28                           122       72
外观设计专利                12       26                           106      101
软件著作权                  1        1                            20       20
其他                    19       26                           104       50
   合计                127      100                           614      366
                                                               单位：万元币种：人民币
                                       本年度              上年度       变化幅度（%）
研发投入合计                                   8,015.92        5,528.00           45.01
研发投入总额占营业收入比例（%）                            15.14           10.22 增加 4.92 个百分点
研发投入资本化的比重（%）                                   0               0               0
研发投入资本化的比重大幅变动的原因及其合理性说明
□适用 √不适用
√适用□不适用
                                                                         单位：万元
                                                                     技
             预计总                           进展或
     项目              本期投        累计投                                  术   具体应用
序号           投资规                           阶段性        拟达到目标
     名称              入金额        入金额                                  水    前景
              模                            成果
                                                                     平
                                                                         Aspen 系列
                                                    采用第三代半导体
                                                                         等离子体
                                                    的高可靠性设计，
                                                                         射频电源
                                                    覆盖 40kHz、
                                                                         采用全数
                                                                         字设计，实
                                                                         时阻抗测
                                                                         量确保输
     Aspen                                                               出的高一
                                           已实现      等频率，创新应用 E       际
     系列                                                                  致性和高
                                           产业化      类、D 类和平衡功        设
     等离                                                                  可靠性。可
                                           应用，      放结构、1kW-20kW     备
                                           并持续      等功率范围，拓展         同
     射频                                                                  于半导体、
                                           拓展工      了 CEX、HALO、      类
     电源                                                                  光伏、微机
                                           艺应用      Multi-Level      水
     项目                                                                  电系统制
                                                    Pulsing、         平
                                                                         程中的刻
                                                    Synchronize、
                                                                         蚀、等离子
                                                    Tuning、BVC 等功
                                                                         体增强化
                                                    能，满足 14 纳米及
                                                                         学气相沉
                                                    以下工艺制程需
                                                                         积和物理
                                                    求，应用于 ALD、
                                                                         气相沉积
                                                    CVD、刻蚀等工艺
                                                                         等。
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
    Basalt                                        等多个频率，            类   速、精确可
                                           已实现
    系列                                            1kW-20kW 等多功      水   靠的阻抗
                                           产业化
    匹配                                            率等级，采用感性/         平   匹配,可广
                                           应用，
    器项       5,000   1,870.37   3,931.82          容性负载应用设               泛应用于
                                           并持续
    目                                             计，发展了基于 T             半导体、微
                                           拓展工
                                                  模型和 L 模型的匹            机电系统
                                           艺应用
                                                  配器调谐算法，优              等的刻蚀、
                                                  化匹配路径，满足              离子注入、
                                                  制程需求，应用于              沉积。
                                                  ALD、PVD、CVD
                                                  等多种工艺
                                                                        Torrent 系
                                                                        列远程等
                                                                        离子体源
                                                                        采用全数
                                                  采用全数字架构，
                                                                    国   字设计，可
    Torren                                        内含等离子体腔
                                           已实现                      际   广泛应用
    t 系列                                          体，电源和匹配器。
                                           产业化                      设   于半导体、
    远程                                            覆盖 200-6,000W 功
                                           应用，                      备   光伏和微
                                           并持续                      同   机电系统
    子体                                            95%，等离子体点火
                                           拓展工                      类   制程中的
    源项                                            率达 100%，可应用
                                           艺应用                      水   刻蚀、腔室
    目                                             于刻蚀、清洗、表
                                                                    平   清洗、表面
                                                  面处理等多种工艺
                                                                        改性、等离
                                                                        子体增强
                                                                        原子层沉
                                                                        积。
                                                                        直流电源
                                                                        拥有先进
                                                                        的电弧抑
                                                  在额定功率的 10%            制技术和
                                                  到 100%范围内，在           极低储能，
                                                  恒定设定点下相邻          国   内部集成
                                                  两次运行间的输出          际   一个或两
    直流                                            功率重复性为            设   个电源变
    电源                                     样机验    0.1%，精度达到设        备   换模块，可
    系列                                     证中     定点的 1%或全额         同   分别独立
    项目                                            定功率的 0.2%。实       类   使用或并
                                                  现抑弧管理功能，          水   联输出。广
                                                  提高产品实用性，          平   泛应用于
                                                  输出特性及可靠               晶圆制造
                                                  性，优化设计方案              中的物理
                                                                        气相沉积
                                                                        和平板显
                                                                        示等应用
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                                        中的大面
                                                                        积连续镀
                                                                        膜。
                                                                        Calamus 系
                                                                        列滤波器
                                                                        可实现
                                                                        Hz 多频率
                                                             国
                                                                        精准滤波，
                                                             际
    Calam                                      覆盖 200K~60MHz            凭借其宽
                                                             产
    us 系                                       多频率，实现高集                 频覆盖、高
                                        样机验                  品
                                        证中                   同
    波器                                         高带宽，高隔离度，                优异的抗
                                                             类
    项目                                         高一致性的目标。                 干扰性能，
                                                             水
                                                                        具体适配
                                                             平
                                                                        刻蚀、离子
                                                                        注入、化学
                                                                        气相沉积
                                                                        等关键工
                                                                        艺环节。
                                                                        CSL 系列
                                                                        离子源可
                                                                        完成钝化
                                                                        膜沉积、硅
                                               CSL 系列离子源聚               片预处理、
                                                                    国
                                               焦光伏与半导体领                 边缘刻蚀、
                                                                    际
    CSL                                        域核心需求，具备                 功能膜制
                                                                    产
    系列                                         高密度、大面积均                 备及 TCO
                                        样机验                         品
                                        证中                          同
    源项                                         高稳定、低能耗优                 积与改性，
                                                                    类
    目                                          势，性能目标为达                 适配薄膜
                                                                    水
                                               到或超越国际同类                 硅、钙钛矿
                                                                    平
                                               产品。                      电池应用，
                                                                        支撑器件
                                                                        研发与量
                                                                        产，打破进
                                                                        口依赖。
                                               采用第三代半导体                 Poplar 系
                                               SiC 的高可靠性设               列高功率
                                               计，覆盖 20kHz 到             电源是基
                                                                    国
                                                                    际
    Poplar                                     应用 D 类和谐振输               台的全数
                                                                    设
    系列                                         出选频结构，相位                 字化电源
                                        样机验                         备
                                        证完成                         同
    率电                                         盖 10kW-30kW 等            高速瞬态
                                                                    类
    源项                                         功率范围，拓展了                 响应和功
                                                                    水
    目                                          Digital                  率调节能
                                                                    平
                                               measurement，             力，确保系
                                               Pulsing、                 统的可靠
                                               Synchronize、Tuning       性与镀膜
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                              等功能，满足新能               生产过程
                                              源等离子工艺制程               中的高稳
                                              需求，应用于 CVD、            定性，可广
                                              溅射等工艺                  泛应用于
                                                                     磁控反应
                                                                     溅射、等离
                                                                     子体增强
                                                                     化学气相
                                                                     沉积等。
                                                                     CSL 射频
                                              CSL 射频配件建成             配件作为
                                              覆盖功率分配器、               半导体设
                                              VI 传感器等核心              备领域新
                                              射频配件的研发制               一代核心
                                                                 国
                                              造体系，突破高精               零部件，是
                                                                 际
                                              度、高稳定性关键               支撑设备
                                                                 产
     CSL                                      技术，全面适配刻               向高精度、
                                       样机验                       品
     配件                                证中                        同
                                              核心工艺设备，实               升级的关
                                                                 类
     项目                                       现射频协同控制与               键，在刻
                                                                 水
                                              精准监测能力升                蚀、沉积等
                                                                 平
                                              级，有效解决制程               核心工艺
                                              稳定性不足、关键               设备中承
                                              部件依赖进口等行               担协同联
                                              业痛点。                   动、精准监
                                                                     控使命
                                              全新开发 Bestda 平
                                              台，全新设计 Bestda
                                              平台整个原理拓
                                              扑 ， 采 用 三 相
                                                                     广泛应用
                                                                     于半导体、
                                              设计低频 40kHz、中
                                                                     光伏、平板
     Bestda                                   频 400kHz 、 高 频     国
                                                                     显示和微
     系列                                       13.56MHz 三 个 频     际
                                                                     机电系统
     射频                                       率段，功率覆盖            设
                                                                     制程中的
     电源/                               样机验    500W-5000W 的 电     备
     匹配                                证中     源 。 开 发 全 新        同
                                                                     子体增强
     器二                                       Bestda Match 控 制   类
                                                                     化学气相
     次优                                       平台，采用 L 型匹         水
                                                                     沉积、物理
     化项                                       配 网 络 设 计 出        平
                                                                     气相沉积、
     目                                        400kHz、13.56MHz
                                                                     原子层沉
                                              的单频匹配器、
                                                                     积等。
                                              Combo 系列双频匹
                                              配 器 ， 与 Bestda
                                              RFG 平 台 配 套 使
                                              用。
                                       完成初    采用行业内领先的           国   气体质量
     MFC
                                       样流片    MEMS 微桥结构方         际   流量计在
     S 传感                              及搭载    案，内置加热器和           产   现代工业
     器项                                测试平    温度传感元件，利           品   和科研中
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
     目                              台。     用热传递原理实现           同   是不可或
                                           对气体流量的精确           类   缺的关键
                                           测量，能够准确测           水   设备，能够
                                           量气体的质量流量           平   提供准确
                                           和流速，能够实现               可靠的流
                                           微米级的加工精                量测量数
                                           度，保障芯片能够               据，确保生
                                           提供稳定重复且可               产和实验
                                           靠的测量结果基于               的顺利进
                                           MEMS 微桥结构              行。
                                           气流传感器芯片的
                                           MFC 产品，其具有
                                           的高响应速率、高
                                           精度、高灵敏度、
                                           高稳定性，使其特
                                           别适合应用于半导
                                           体晶圆制造中的光
                                           刻、薄膜沉积、刻
                                           蚀、离子注入等工
                                           艺中，需要精确控
                                           制各种气体的流量
                                           的场景，能够满足
                                           半导体制造对气体
                                           流量控制的高精
                                           度、快速响应和稳
                                           定性的要求。
                                           拓扑原理基于现有
                                           台，采用单相市电
                                           输入，机箱设计为
                                           于现有 AmazingII
                                                                  可广泛应
                                           制平台，采用 T 型
                                                                  用于半导
     CSL                                   匹配网络，设计出           国
     系列                                                           体、光伏、
                                                                  微机电系
     射频                                    频匹配器；CSL 原         设
                                                                  统制程中
     电源/                            样机验    平台做了以下升            备
                                    证中     级：采用闭环电机           同
                                                                  离子体增
     器二                                    系统，包括一体化           类
                                                                  强化学气
     次优                                    闭环电机，闭环电           水
                                                                  相沉积和
     化项                                    机驱动系统，开发           平
                                                                  物理气相
     目                                     目标是采用 T 型匹
                                                                  沉积等。
                                           配网络或者 L 型匹
                                           配网络，辅以先进
                                           的阻抗变化系统，
                                           设计功率水平范围
                                           kW/5kW/8kW 的射
                                           频匹配器，简化设
                        深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                  计机械部件，国产
                                                  化器件全覆盖。
                                                                        Cedar 系列
                                                                        射频电源
                                                                        将向更多、
                                                                        更广泛的
                                                                        应用领域
                                                  覆 盖 40kHz 、           拓展，应用
     Cedar                                        13.56MHz      、   际   快的运算
     系列                                           27.12MHz      、   设   反应速度，
     射频                                    样机验    40.68MHz、60MHz    备   更先进、通
     电源                                    证中     等频率，在 Aspen       同   用的控制
     系统                                           系列功能基础上，          类   功能和通
     项目                                           增加高端功能，应          水   讯接口等
                                                  用于 ALD、PVD、       平   应用场景，
                                                  CVD 等多种工艺             进一步提
                                                                        升镀膜，刻
                                                                        蚀，光伏，
                                                                        清洗等工
                                                                        艺参数及
                                                                        良率。
                                                                        Agate 系列
                                                                        射频功率
                                                                        计采用全
                                                                        数字设计，
                                                                        可广泛应
                                                  开发多种常用频率          国
                                                                        用于半导
                                                  的功率计，测量精          际
     Agate                                                              体、芯片、
     系列                                           度和范围达到行业          产
                                                                        移动通信、
                                           样机验    先进水平，广泛应          品
                                           证中     用于功率测量及校          同
     功率                                                                 统制程中
                                                  准、生产测试及排          类
     计项                                                                 的功率测
                                                  障、质量控制及标          水
     目                                                                  量与校准、
                                                  准认证等。             平
                                                                        生产测试
                                                                        与排障、质
                                                                        量控制与
                                                                        标准认证
                                                                        等。
                                                  （1）提供软硬件一             射频大数
     射频                                           体化解决方案。硬              据与决策
                                                                    国
     大数                                           件支持高频数据采              包含三大
                                                                    际
     据与                                           集、软件支持设备              核心产品：
                                           V1.0                     产
     决策                                           管理、协议管理、              IOT 平台、
     （Rad                                         异常打火预测等功              AI 平台。
                                           试中                       类
     ioFusi                                       能。                    通过高频
                                                                    水
     on）项                                         （2）以及以产品质             数据监测，
                                                                    平
     目                                            量为核心的研发、              结合数据
                                                  生产、售后、供应              治理、专题
                      深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                   链看板和多维度查              统计分析
                                                   询功能等，及生产              等。开展预
                                                   及售后侧的 AI 故障           测性维护、
                                                   预测，AI 故障根因            智能匹配、
                                                   分析、视觉识别等              强化学习
                                                   高阶功能。                 等，为用户
                                                                         提供强大
                                                                         的数据智
                                                                         能服务。
                                                                         固态匹配
                                                                         器支持
                                                                         等高频射
                                                                         频信号，满
                                                                         足先进制
                                                                         程对等离
                                                                         子体密度
                                                   固态匹配器采用电
                                                                         和离子能
                                                   子 可 变 电 容 (EVC)
                                                                         量的精确
                                                   的方式替代传统的
                                                                         控制需求。
                                                   真 空 可 变 电 容
                                                                         集成智能
                                                   (VVC)，通过控制电
                                                                         控制算法，
                                                   子开关阵列调节电          国
                                                                         支持多级
                                                   容容值，实现阻抗          际
                                                                         功率输出，
     Jade                                          调谐。电子开关阵          设
                                                                         实现阻抗
     系列                                     样机设    列具有快速切换的          备
                                            计中     特性，其响应速度          同
                                                                         应，适应工
     器项                                            达到 us 级，同时具       类
                                                                         艺参数的
     目                                             备寿命极长、体积          水
                                                                         快速变化。
                                                   小等优势，支持           平
                                                                         固态匹配
                                                                         器响应迅
                                                   频输出，满足先进
                                                                         速，可快速
                                                   制程对等离子体密
                                                                         适配阻抗
                                                   度和离子能量的精
                                                                         变化，适配
                                                   确控制需求。
                                                                         高频应用
                                                                         场景，同时
                                                                         体积小、无
                                                                         机械磨损，
                                                                         便于集成
                                                                         化设计并
                                                                         降低后期
                                                                         维护成本。
合计     /              8,016.10                 /          /          /      /
情况说明
无
                                                              单位：万元币种：人民币
                                 基本情况
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                       本期数                 上期数
 公司研发人员的数量（人）                                     158                 152
研发人员数量占公司总人数的比例（%）                              39.01               41.64
 研发人员薪酬合计                                    3,684.15            2,282.23
 研发人员平均薪酬                                       23.77               20.56
                          研发人员学历结构
学历结构类别                                                  学历结构人数
博士研究生                                                                  0
硕士研究生                                                                 26
本科                                                                   108
专科                                                                    24
高中及以下                                                                  0
                          研发人员年龄结构
年龄结构类别                                                  年龄结构人数
研发人员构成发生重大变化的原因及对公司未来发展的影响
□适用 √不适用
□适用 √不适用
四、风险因素
(一) 尚未盈利的风险
□适用 √不适用
(二) 业绩大幅下滑或亏损的风险
□适用 √不适用
(三) 核心竞争力风险
√适用 □不适用
   公司等离子体射频电源系统产品主要应用于半导体领域，属于技术密集型行业。随着芯片制
程的不断升级，不同客户技术路线和指标各有差异，公司需紧跟晶圆厂商及半导体设备商等产业
链下游厂商的需求不断提高技术水平和产品性能，并且持续优化工艺，这对公司的研发能力、工
艺水平提出更高要求，公司必须及时研发新的技术以应对下游厂商不断提升的技术要求。如果公
司的技术创新能力不能及时跟上行业技术更迭的速度，将导致未来相关研发项目与市场需求产生
偏差，进而对公司的发展前景和经营业绩产生不利影响。
   技术人才与核心技术是公司保持和提升市场竞争力的关键基础。随着市场需求的不断增长，
公司对技术人才的需求不断提升，公司需长期维持技术人才充足、队伍稳定以保持市场竞争力。
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
若公司无法持续为技术人才提供更具竞争力的薪酬待遇和发展平台，公司将面临技术人才流失的
风险。同时，公司存在因技术人才流失、外界窃取等原因导致核心技术泄密的风险，进而对公司
生产经营产生不利影响。
   等离子体射频电源系统行业属于技术密集型产业，而相关技术成果需要在市场转化过程中接
受严格的检验，如果公司在研发过程中未能实现关键技术的突破，或相关技术无法实现产品化、
商业化，则公司可能面临研发投入未取得预期效果的风险。
(四) 经营风险
√适用 □不适用
   目前，全球等离子体射频电源系统市场主要由 MKS 和 AE 等海外厂商垄断。公司依靠多年来
的探索与创新，具备了与国际先进企业同台竞争的能力，但公司与国际巨头仍有一定差距，产品
尚未进入国际半导体设备厂商，主要用于国内半导体设备厂商。未来，面对全球和国内竞争，如
果公司未能持续提升自身技术水平、产品质量和综合竞争能力，则公司将无法保持国内的市场领
先地位，并与海外巨头的差距进一步拉大，导致公司无法实现经营战略和业绩目标。
   等离子体射频电源系统作为半导体设备的核心零部件，需要得到设备商及晶圆厂的双重认证，
设备定型通过晶圆厂验证后，不再轻易更换供应商；同时，半导体设备商为保证核心零部件的安
全供应，选择与头部等离子体射频电源系统供应商长期合作。拓荆科技是国产薄膜沉积设备龙头，
龙头地位稳固、经营情况良好；公司与拓荆科技合作历史长、合作关系稳固。但如果未来公司无
法持续拓展拓荆科技以外的新客户，或拓荆科技等主要客户的生产经营情况、经营战略、技术路
线、价格等商业条款发生重大不利变化，或行业竞争格局发生重大变化，都将对公司经营业绩产
生不利影响。
   依靠多年来的探索与创新，公司产品在产品品质、工作性能稳定性、产品良品率上具备与国
际先进企业同台竞争的能力，实现了国产等离子体射频电源系统的自主可控。公司目前已批量供
货半导体领域的拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内龙头半导体设备商，
以及光伏电池片薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜等一般工业领域客户。未来，如果公司
产品不能有效适应不同领域客户的需求、持续提升产品品质和技术水平，则公司可能面临新产品
和新市场开发失败风险，将对公司经营情况产生不利影响。
   随着以人工智能为代表的新兴应用对芯片算力和存力的需求快速增长、以及终端消费市场需
求回暖，全球半导体行业已进入新一轮上升周期。同时，随着半导体产业链国产化率的加速提升，
公司产品的市场需求预计将继续保持增长。国内头部半导体设备商对核心零部件供应商的生产能
力和交付能力要求较高，因此充足的产能是零部件供应商拓展下游应用领域、扩大市场份额和提
升客户服务能力的重要保障。公司产能已于最近三年超负荷运行，2023 年至 2025 年的产能利用
率分别达到 102.12%、111.24%及 98.51%。尽管公司已积极通过扩产和生产流程优化等方式提升
产能，但仍难以充分满足市场快速增长的需求。若公司未能及时扩充产能，将可能面临市场机会
流失、业务拓展受限及竞争力下降等风险。
(五) 财务风险
√适用 □不适用
   报告期内，公司收入增长放缓主要因为下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆
厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动。报
告期内，公司净利润同比有所下滑，除前述客户采购节奏调整影响外，公司为满足客户逐步提高
的技术指标要求和保持产品竞争力，继续保持较高的研发投入水平，2025 年研发费用为 8,015.92
万元，同比增长 45.01%，亦为导致公司业绩下滑的主要因素。上述波动不改变公司持续经营能力，
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
但会对公司业绩造成不利影响。如果未来发生宏观经济波动、国家产业政策调整、市场竞争加剧、
公司未能有效拓展国内外新客户、客户需求波动、产品市场价格下降、晶圆厂对半导体设备客户
的验证进度不如预期、产品研发投入未能及时实现产业转化等情形，公司将面临一定的经营压力，
未来营业收入、毛利率及净利润可能存在波动的风险。
    报告期内，公司获得的计入当期损益的政府补助为 1,141.33 万元，占公司本期利润总额比例
为 9.39%。若未来政府补助政策发生变化，或公司未能满足相关要求导致无法取得政府补助或获
得的政府补助减少，则可能对公司的利润产生一定程度的不利影响。
    报告期内，公司为高新技术企业，享受高新技术企业所得税的优惠。如果有关高新技术企业
税收优惠政策发生变化，或公司未来不符合高新技术企业税收优惠的申请条件，使得公司不能继
续享受高新技术企业所得税的优惠，将导致公司所得税费用上升，进而对公司业绩造成负面影响。
(六) 行业风险
√适用 □不适用
  公司报告期内收入主要来自半导体设备行业，而全球半导体行业发展呈现一定的周期性特点。
每轮大周期的启动由新兴技术推动产品升级和创新，进而带动终端市场需求、半导体市场规模的
增加。随着以人工智能为代表的新兴应用对芯片算力和存力的需求快速增长，以及终端消费市场
需求回暖，全球半导体行业进入本轮上升周期。半导体行业周期受新兴技术以及计算机、消费电
子、网络通信、汽车电子、物联网等终端消费市场需求影响，周期波动会影响半导体市场的需求、
晶圆厂的产能布局和资本开支，进而影响对半导体设备及零部件的需求。若公司不能准确判断周
期的变化、及时应对半导体市场需求的变动，则可能对公司的生产经营产生不利影响。若晶圆厂
商受周期影响而降低资本开支，将可能减少半导体设备的采购，进而影响半导体设备厂商对核心
零部件的采购，从而对公司的收入及利润水平产生不利影响。
(七) 宏观环境风险
√适用 □不适用
  公司产品主要应用于半导体设备行业，近几年受国际地缘政治形势等因素影响较深，如果未
来相关国家和地区出于贸易保护、地缘政治等原因，进一步通过出口限制等政策加强贸易壁垒，
将可能影响国内晶圆厂商和半导体设备企业生产经营和供应链的稳定性，进而对公司经营发展产
生一定的不利影响。公司亦有部分元器件向海外厂商采购，虽然公司不断推进相关元器件的国产
化进程，但国际贸易摩擦的加剧仍会对公司供应链稳定产生一定不利影响。
(八) 存托凭证相关风险
□适用 √不适用
(九) 其他重大风险
□适用 √不适用
五、报告期内主要经营情况
有周期波动的特性，下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证
导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动。实现归属于上市公司股东
的净利润 11,384.03 万元，较上年同期下降 19.57%，归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的
净利润 10,453.21 万元，较上年同期下降 18.95%，主要系公司持续加大研发投入力度，提高技术
指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用较上年同期
大幅增加。截至本报告披露日，公司在手订单为 15,718.77 万元。
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(一) 主营业务分析
                                                  单位：元 币种：人民币
科目                      本期数              上年同期数          变动比例（%）
营业收入                    529,470,114.60   540,790,338.75       -2.09
营业成本                    275,509,203.13   278,465,359.95       -1.06
销售费用                      7,487,214.10     8,008,607.37       -6.51
管理费用                     45,692,494.19    45,318,893.72        0.82
财务费用                     -3,496,248.10      -737,569.95     不适用
研发费用                     80,159,179.88    55,279,977.44       45.01
经营活动产生的现金流量净额            84,787,796.09    99,500,225.57      -14.79
投资活动产生的现金流量净额           -25,891,296.06   257,531,951.21     -110.05
筹资活动产生的现金流量净额            -3,609,758.14    -6,103,156.10     不适用
营业收入变动原因说明：营业收入较上年同期降低 2.09%，收入增长放缓主要原因系半导体行业
具有周期波动的特性，下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验
证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动。
营业成本变动原因说明：营业成本较上年同期降低 1.06%，主要系随着营业收入的减少而相应下
降。
销售费用变动原因说明：销售费用较上年同期降低 6.51%，主要系公司销售业绩未达标，2025 年
度绩效取消，薪酬总额和平均薪酬均同步下降。
管理费用变动原因说明：管理费用较上年同期增长 0.82%，主要系公司经营场地扩大所增加的费
用，以及沈阳子公司厂房折旧所致。
财务费用变动原因说明：财务费用较上年同期降低 374.02%，主要系本年流动资金的利息收入增
加所致。
研发费用变动原因说明：研发费用较上年同期增长 45.01%，主要系研发费用中的人工费同比增长
等，不断加强产品竞争力所致。
经营活动产生的现金流量净额变动原因说明：主要系本年度营业收入略降，公司销售商品、提供
劳务收到的现金减少，同时支付给职工及为职工支付的现金增加所致。
投资活动产生的现金流量净额变动原因说明： 投资活动产生的现金流量净额较上年同期下降
入趋于稳定。
筹资活动产生的现金流量净额变动原因说明：筹资活动产生的现金流量净额较上年同期上升
本期公司业务类型、利润构成或利润来源发生重大变动的详细说明
□适用 √不适用
√适用 □不适用
  报告期内，公司实现主营业务收入 52,947.01 万元，同比下降 2.09%；主营业务成本 27,550.92
万元，同比下降 1.06%；主营业务毛利率 47.97%，较去年同期减少 0.54%。
(1). 主营业务分行业、分产品、分地区、分销售模式情况
                                                  单位：元币种：人民币
                      主营业务分行业情况
 分行业     营业收入       营业成本   毛利率  营业收入             营业成本      毛利率比
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                         （%）        比上年增      比上年增       上年增减
                                                    减（%）      减（%）        （%）
                                                                         增加 0.86
半导体    404,497,369.93   177,880,285.97      56.02     -8.88     -10.64
                                                                         个百分点
一般工业                                                                     增加 3.87
及其他                                                                      个百分点
                              主营业务分产品情况
                                                    营业收入      营业成本       毛利率比
                                         毛利率
 分产品     营业收入             营业成本                      比上年增      比上年增       上年增减
                                         （%）
                                                    减（%）      减（%）        （%）
                                                                          增加 0.87
自研产品   414,974,360.41   185,417,031.05      55.32     -9.01     -10.75
                                                                          个百分点
                                                                          减少 1.22
引进产品    86,613,168.60    74,571,887.14      13.90      5.87       7.39
                                                                          个百分点
                                                                         减少 11.54
技术服务    27,882,585.59    15,520,284.94      44.34    864.70    1116.98
                                                                          个百分点
                              主营业务分地区情况
                                                    营业收入      营业成本       毛利率比
                                         毛利率
 分地区     营业收入             营业成本                      比上年增      比上年增       上年增减
                                         （%）
                                                    减（%）      减（%）        （%）
                                                                         减少 0.56
境内     528,437,077.71   275,017,755.63      47.96     -2.06      -1.00
                                                                         个百分点
                                                                         增加 6.89
境外       1,033,036.89      491,447.50       52.43    -14.77     -25.55
                                                                         个百分点
                           主营业务分销售模式情况
                                     营业收入                     营业成本       毛利率比
                                 毛利率
销售模式     营业收入             营业成本       比上年增                     比上年增       上年增减
                                 （%）
                                     减（%）                     减（%）        （%）
                                                                         减少 0.54
直销     529,470,114.60   275,509,203.13      47.97     -2.09      -1.06
                                                                         个百分点
注：“主营业务分地区情况”中的“境外收入”包括中国港台地区的收入
主营业务分行业、分产品、分地区、分销售模式情况的说明
     分行业：公司来自半导体行业营收同比下降 8.88%，主要系半导体行业具有周期波动的特性，
下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收
节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动；公司来自一般工业及其他的收入同比上升
增长所致。
   分产品：公司自研产品营收同比下降 9.01%，主要系随着半导体行业需求和客户产能扩张节
奏变化而波动所致；公司引进产品的营收同比上升 5.87%，主要系来自光伏行业客户的采购增长
所致；公司技术服务收入同比上升 864.70%，主要系与客户的项目合作开发协议满足交付要求所
致。
分地区：公司收入主要来源为中国境内地区。
分销售模式：公司销售模式全部为直销。
(2). 产销量情况分析表
√适用 □不适用
主要产品   单位          生产量         销售量          库存量      生产量比     销售量比       库存量比
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                        上年增减           上年增减        上年增减
                                                         （%）            （%）         （%）
等离子体
       台            5,042       5,103           1,317        -21.85      -3.63       -5.18
射频电源
匹配器    台            3,851       3,893           1,004        -19.80      -3.97       9.85
产销量情况说明
无
(3). 重大采购合同、重大销售合同的履行情况
□适用√不适用
(4). 成本分析表
                                                                      单位：元币种：人民币
                                 分行业情况
                                                             上年同       本期金额
                              本期占
分行    成本构成                                                   期占总       较上年同         情况
               本期金额           总成本        上年同期金额
 业     项目                                                    成本比       期变动比         说明
                              比例(%)
                                                             例(%)       例(%)
      直接材料   155,794,565.43     56.55 179,281,791.80          64.38      -13.10
半导    直接人工    10,407,574.22      3.78  10,507,150.21           3.77       -0.95
体     制造费用    11,678,146.33      4.24   9,263,255.01           3.33       26.07
      小计     177,880,285.97     64.56 199,052,197.02          71.48      -10.64
一般    直接材料    84,878,428.20     30.81  73,600,861.32          26.43       15.32    销售产
工业    直接人工     6,366,814.67      2.31   2,266,604.67           0.81      180.90    品种类
及其    制造费用     6,383,674.29      2.32   3,545,696.93           1.27       80.04    不同所
他     小计      97,628,917.16     35.44  79,413,162.93          28.52       22.94    致
                                 分产品情况
                                                             上年同       本期金额
                              本期占
分产    成本构成                                                   期占总       较上年同         情况
               本期金额           总成本        上年同期金额
 品     项目                                                    成本比       期变动比         说明
                              比例(%)
                                                             例(%)       例(%)
      直接材料   161,294,921.74     58.54    184,864,300.85       66.39       -12.75
自研    直接人工    11,314,514.95       4.11    12,360,375.44        4.44        -8.46
产品    制造费用    12,807,594.36       4.65    10,525,380.77        3.78        21.68
      小计     185,417,031.05     67.30    207,750,057.07       74.61       -10.75
      直接材料    72,515,541.13     26.32     67,623,675.96       24.28         7.23
引进    直接人工         1,222.90    0.0004          6,863.68       0.002       -82.18
产品    制造费用     2,055,123.11       0.75     1,809,451.96        0.65        13.58
      小计      74,571,887.14     27.07     69,439,991.61       24.94         7.39
      直接材料     6,862,530.78       2.49       394,676.30        0.14     1,638.77   报告期
      直接人工     5,458,651.03       1.98       406,515.76        0.15     1,242.79   内大额
技术    制造费用     3,199,103.13       1.16       474,119.20        0.17       574.75   研发服
服务                                                                                 务履约
      小计      15,520,284.94      5.63         1,275,311.27      0.46    1,116.98   成本结
                                                                                   构所致
成本分析其他情况说明
无
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(5). 报告期主要子公司股权变动导致合并范围变化
□适用 √不适用
(6). 公司报告期内业务、产品或服务发生重大变化或调整有关情况
□适用 √不适用
(7). 主要销售客户及主要供应商情况
属于同一控制人控制的客户或供应商视为同一客户或供应商合并列示，受同一国有资产管理机构
实际控制的除外。
下列客户及供应商信息按照同一控制口径合并计算列示的情况说明
本公司将属于同一控制人控制的客户或供应商（仅同受同一国有资产管理机构实际控制的除外）
视为同一客户或供应商合并列示。
A.公司主要销售客户情况
√适用 □不适用
前五名客户销售额44,500.99万元，占年度销售总额84.04%；其中前五名客户销售额中关联方销售
额0万元，占年度销售总额0%。
公司前五名客户
√适用□不适用
                                                单位：元币种：人民币
                                      占年度销售总额比例 是否与上市公司存在
序号        客户名称          销售额
                                         （%）        关联关系
     湘潭宏大真空技术股份
     有限公司
     中微半导体设备（上海）
     股份有限公司
     北方华创科技集团股份
     有限公司
     江苏微导纳米科技股份
     有限公司
合计        /      445,009,900.78              84.04   /
报告期内向单个客户的销售比例超过总额的 50%、前 5 名客户中存在新增客户的或严重依赖于少
数客户的情形
√适用 □不适用
    报告期内，公司来自第一大客户拓荆科技的销售收入为 30,376.24 万元，占年度销售总额比例
为 57.37%，公司的客户集中度较高。等离子体射频电源系统作为半导体设备的核心零部件，需要
得到设备商及晶圆厂的双重认证，设备定型通过晶圆厂验证后，不再轻易更换供应商；同时，半
导体设备商为保证核心零部件的安全供应，选择与头部等离子体射频电源系统供应商长期合作。
拓荆科技是国产薄膜沉积设备龙头，龙头地位稳固、经营情况良好；公司与拓荆科技合作历史长、
合作关系稳固。
报告期内公司贸易业务收入占营业收入比例超过 10%的贸易业务前五名销售客户
√适用 □不适用
                                  单位：元币种：人民币
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
序号         客户名称                         销售额              占年度销售总额比例（%）
      深圳市捷佳伟创新能源装备股份
      有限公司
合计           /                           71,909,449.53              13.59
B.公司主要供应商情况
√适用□不适用
   前五名供应商采购额16,242.37万元，占年度采购总额48.63%；其中前五名供应商采购额中关
联方采购额0万元，占年度采购总额0%。
公司前五名供应商
√适用□不适用
                                                  单位：元币种：人民币
                                        占年度采购总额比例 是否与上市公司存在
 序号      供应商名称         采购额
                                           （%）         关联关系
 合计         /       162,423,728.22             48.63 /
报告期内向单个供应商的采购比例超过总额的 50%、前 5 名供应商中存在新增供应商的或严重依
赖于少数供应商的情形
□适用 √不适用
报告期内公司贸易业务收入占营业收入比例超过 10%的贸易业务前五名供应商
√适用 □不适用
                                           单位：元币种：人民币
序号      供应商名称         采购额                占年度采购总额比例（%）
合计          /             66,807,755.28            20.00
C. 报告期内公司存在贸易业务收入
√适用□不适用
                                                    单位：元币种：人民币
                                                       本期营业收入比上
      贸易业务开展情况          本期营业收入                 上期营业收入
                                                       年同期增减（%）
公司贸易业务的主要产品为引进产
品。报告期内，公司主要引进产品为
真空泵、质量流量计、等离子体直流
电源等。公司引进产品和自研产品一
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
同协作，共同为下游客户提供等离子
体工艺解决方案。公司对引进产品采
用总额法确认收入。
√适用 □不适用
   科目       本期金额            上年同期额           变动比例(%)
销售费用           7,487,214.10    8,008,607.37         -6.51
管理费用          45,692,494.19   45,318,893.72          0.82
研发费用          80,159,179.88   55,279,977.44        45.01
财务费用          -3,496,248.10     -737,569.95      不适用
销售费用变动原因说明：销售费用较上年同期降低 6.51%，主要系公司销售业绩未达标，2025 年
度绩效取消，薪酬总额和平均薪酬均同步下降。
管理费用变动原因说明：管理费用较上年同期增长 0.82%，主要系公司经营场地扩大所增加的费
用，以及沈阳子公司厂房折旧所致。
财务费用变动原因说明：财务费用较上年同期降低 374.02%，主要系本年流动资金的利息收入增
加所致。
研发费用变动原因说明：研发费用较上年同期增长 45.01%，主要系研发费用中的人工费同比增
长 61.43%，公司持续加大研发投入力度，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭
代等，不断加强产品竞争力所致。
√适用 □不适用
          科目          本期金额           上年同期额          变动比例(%)
经营活动产生的现金流量净额          84,787,796.09  99,500,225.57     -14.79
投资活动产生的现金流量净额         -25,891,296.06 257,531,951.21    -110.05
筹资活动产生的现金流量净额          -3,609,758.14  -6,103,156.10    不适用
经营活动产生的现金流量净额变动原因说明：经营活动产生的现金流量净额较上年同期下降
工及为职工支付的现金增加所致。
投资活动产生的现金流量净额变动原因说明：投资活动产生的现金流量净额较上年同期下降
投入趋于稳定。
筹资活动产生的现金流量净额变动原因说明：筹资活动产生的现金流量净额较上年同期上升
(二) 非主营业务导致利润重大变化的说明
□适用 √不适用
(三) 资产、负债情况分析
√适用 □不适用
                                               单位：元币种：人民币
                      本期期               上期期    本期期末
 项目名称      本期期末数      末数占     上期期末数     末数占    金额较上  情况说明
                      总资产               总资产    期期末变
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                          的比例                          的比例      动比例（%）
                          （%）                          （%）
货币资金     481,406,878.80    53.43     427,113,311.44     52.24      12.71
                                                                            主要系票
                                                                            据结算业
应收票据       8,648,863.85      0.96         189,900.00     0.02    4,454.43
                                                                            务增加所
                                                                            致
                                                                            主要系根
                                                                            据市场情
                                                                            况及客户
                                                                            信用情况
应收账款     100,261,915.84     11.13      77,852,818.42     9.52      28.78
                                                                            调整了部
                                                                            分客户的
                                                                            结算账期
                                                                            所致
                                                                            主要系票
                                                                            据结算业
应收款项融资    17,952,985.88      1.99      10,701,058.41     1.31      67.77
                                                                            务增加所
                                                                            致
预付款项      15,946,972.36      1.77      16,242,651.61     1.99       -1.82
                                                                            主要系新
                                                                            增厂房租
其他应收款      4,018,193.49      0.45       2,316,876.55     0.28      73.43
                                                                            赁押金所
                                                                            致
存货       147,808,836.47     16.40    159,037,494.34     19.45       -7.06
                                                                            主要系公
                                                                            司不再与
合同资产                  -         -         196,362.50     0.02    -100.00    客户约定
                                                                            质保金的
                                                                            收款条件
其他流动资产     6,937,176.55      0.77       7,056,451.68     0.86       -1.69
                                                                            主要系在
固定资产      91,810,034.23     10.19      69,268,222.10     8.47      32.54    建工程转
                                                                            固所致
                                                                            主要系在
在建工程        471,439.51       0.05      22,177,383.84     2.71      -97.87   建工程转
                                                                            固所致
                                                                            主要系计
                                                                            提使用权
使用权资产     13,154,822.10      1.46      17,584,823.19     2.15      -25.19
                                                                            资产折旧
                                                                            所致
                                                                            主要系计
无形资产        449,813.33       0.05         872,723.81     0.11      -48.46   提无形资
                                                                            产摊销
长期待摊费用     3,055,535.27      0.34       2,718,423.74     0.33      12.40
                                                                            主要系计
                                                                            提应收账
递延所得税资
产
                                                                            备、存货
                                                                            计 提 跌
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                                   价、租赁
                                                                   负债等影
                                                                   响了递延
                                                                   所得税
                                                                   主要系重
                                                                   分类一年
其他非流动资                                                             内的预付
产                                                                  设备工程
                                                                   款所致
                                                                   主要系报
                                                                   告期内支
应付账款     30,038,801.54   3.33      40,719,386.87   4.98   -26.23   付期初部
                                                                   分应付款
                                                                   项所致
                                                                   主要系与
                                                                   客户的项
                                                                   目合作开
合同负债     23,915,540.52   2.65      33,926,125.69   4.15   -29.51   发协议已
                                                                   达到收入
                                                                   确认标准
                                                                   所致
                                                                   主要系公
                                                                   司销售业
                                                                   绩 未 达
                                                                   标 ， 2025
                                                                   年度绩效
应付职工薪酬   10,709,308.20   1.19      20,555,246.00   2.51   -47.90
                                                                   取消，薪
                                                                   酬总额和
                                                                   平均薪酬
                                                                   均同步下
                                                                   降所致
                                                                   主要系本
                                                                   年增加了
                                                                   应交增值
应交税费     10,793,003.08   1.20       7,411,920.08   0.91    45.62
                                                                   税及相关
                                                                   附 加 税
                                                                   费。
其他应付款      166,022.76    0.02         147,684.23   0.02    12.42
一年内到期的
非流动负债
                                                                   主要系根
                                                                   据会计准
                                                                   则披露对
                                                                   未来一年
其他流动负债    3,534,236.76   0.39         697,076.69   0.09   407.01
                                                                   内到期的
                                                                   租赁负债
                                                                   重分类所
                                                                   致
租赁负债      6,568,054.54   0.73      11,952,099.40   1.46   -45.05   主要系报
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                                                  告期内支
                                                                                  付根据会
                                                                                  计准则核
                                                                                  算的房屋
                                                                                  租金所致
                                                                                  主要系国
                                                                                  家项目验
                                                                                  收，递延
递延收益           5,026,847.27         0.56        12,943,558.74   1.58     -61.16   收益结转
                                                                                  至其他收
                                                                                  益所致
其他说明
无
公司尚未盈利的成因及对公司的影响
□适用 √不适用
□适用√不适用
√适用 □不适用
      期末账面余
项 目                      期末账面价值               受限类型                     受限原因
      额
                                                          未终止确认已背书未到期的应收票据
应收票据      3,335,908.85        3,335,908.85       质押
                                                          使用权受限
合   计     3,335,908.85        3,335,908.85
□适用 √不适用
(四) 行业经营性信息分析
√适用 □不适用
  等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，主要由等离子体射频电源
和匹配器组成。其核心作用是通过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，创造
并维持高活性、高能量的等离子体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、
清洗去胶、键合等复杂半导体工艺（薄膜沉积、刻蚀与光刻并称为芯片制造三大关键工序）。等
离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳
定性等，对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率，以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等
至关重要，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率，等离子体射频电源系统在半导体制造核
心装备中占据着核心位置。等离子体射频电源系统可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、精密
光学、等离子体清洗等领域，是推动工艺和技术进步的重要载体。产业链具体情况如下：
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
     等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、
研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率极低。中国大陆半导体行业等离子体
射频电源系统的市场仍呈现由美系海外巨头厂商高度垄断的竞争格局，半导体设备厂商对于零部
件自主可控的要求愈发紧迫，伴随国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源系统市场快速发
展。
     半导体设备核心零部件是半导体设备技术更迭和制程演进的重要承载，在半导体工艺和芯片
结构日趋复杂的背景下，半导体设备商对核心零部件厂商的要求更为严苛，包括对产品的可靠性、
稳定性和一致性及核心零部件厂商的研发能力、技术实力。因此，半导体设备核心零部件行业的
技术壁垒很高。等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件，
技术要求极高，包括在纳米尺寸级别上精准控制等离子体的刻蚀过程、在纳秒时间级别上和复杂
环境中精准且稳定的控制等离子体的变化。技术要求极高主要由于其直接关系到薄膜沉积、刻蚀
等环节中等离子体的浓度、均匀性和稳定性等，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率。
等离子体射频电源系统的研发难度大，所需研发周期长、研发投入大。以 AE 为例，从 2008 年
推出可用于 FinFET 工艺的第三代 Paramount 系列射频电源，到 2023 年推出可用于 3D 封装的
第五代 eVerest 系列射频电源，产品迭代历时 15 年。MKS 年报披露其 2023-2025 年累计研发费
用高达 8.58 亿美元。
(五) 投资状况分析
对外股权投资总体分析
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
证券投资情况
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
衍生品投资情况
□适用√不适用
□适用 √不适用
其他说明
无
□适用 √不适用
(六) 重大资产和股权出售
□适用 √不适用
                                          深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(七) 主要控股参股公司分析
√适用 □不适用
主要子公司及对公司净利润影响达 10%以上的参股公司情况
√适用 □不适用
                                                                                                             单位：元币种：人民币
   公司名称    公司类型                    主要业务       注册资本                总资产             净资产           营业收入        营业利润   净利润
深圳市百世达半导体                     等离子体射频电源系统等半导体
           子公司                                 1,000,000         3,428,581.87    3,428,581.87           -   -27,403.74    -31,484.45
设备有限公司                        设备核心零部件的销售
恒运昌真空技术（沈阳                    等离子体射频电源系统等半导体
           子公司                               108,880,000        72,807,250.00   69,684,772.64           - -6,938,113.75 -6,933,094.01
）有限公司                         设备核心零部件的生产
                              等离子体射频电源系统等半导体
恒运昌京昇半导体科
                     子公司      设备核心零部件的技术服务与支 10,000,000          5,363,414.71    4,562,429.35 256,637.24 -2,291,116.13 -2,293,260.79
技（北京）有限公司
                              持
CSL Vacuum Science            等离子体射频电源系统等半导体        250,000欧
                    子公司                                          2,470,650.00    2,470,650.00           -   -65,025.00    -65,025.00
and Technology GmbH           设备核心零部件的研发与销售                元
报告期内取得和处置子公司的情况
√适用 □不适用
         公司名称                                   报告期内取得和处置子公司方式                          对整体生产经营和业绩的影响
                                                                                    报告期内，该公司对整体生产经营和业绩无重大
CSL Vacuum Science and Technology GmbH   发起设立
                                                                                    影响
其他说明
□适用 √不适用
(八) 公司控制的结构化主体情况
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
六、公司关于公司未来发展的讨论与分析
(一) 行业格局和趋势
√适用 □不适用
  近年来，我国政府先后推出了一系列鼓励和支持半导体行业发展的政策，为半导体产业链的
发展营造了良好的政策环境。根据 2025 年 10 月中国共产党第二十届中央委员会第四次全体会议
所提出的《中共中央关于制定国民经济和社会发展第十五个五年规划的建议》，要全链条推动集
成电路、工业母机、高端仪器、基础软件、先进材料、生物制造等重点领域关键核心技术攻关取
得决定性突破。加强基础研究战略性、前瞻性、体系化布局，提高基础研究投入比重，加大长期
稳定支持。强化科学研究、技术开发原始创新导向，优化有利于原创性、颠覆性创新的环境，产
出更多标志性原创成果。
  等离子体射频电源系统作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等半导体设备的核
心零部件，长期以来主要由美系厂商主导，国产化率极低。在当前复杂的国际地缘政治形势下，
欧美等国对我国半导体产业的限制加剧，我国半导体产业的供应链安全面临严峻挑战，半导体设
备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫，伴随国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源
系统市场快速发展。
  半导体产业近年的三大主流趋势——AI 算力、存储革命和技术驱动产业升级持续深化，带动
半导体制造设备需求增长及晶圆厂产能扩张。根据 SEMI 预计，2025 年全球半导体设备总销售额
预计达 1,330 亿美元，同比增长 13.7%，创历史新高，并持续保持增长态势；2026 年、2027 年有
望继续攀升至 1,450 亿和 1,560 亿美元。根据 SEMI 预计，2025 年全球用于前端设施的晶圆厂设
备支出自 2020 年以来连续六年增长，较去年同比上升 2%，达 1,100 亿美元。与此同时，中国大
陆半导体市场的快速发展、国产替代进入加速阶段、晶圆厂扩产等趋势，也为国内半导体零部件
厂商创造了巨大的发展机遇和市场空间。根据 SEMI 统计，2025 年第三季度，全球半导体设备销
售额中，中国大陆市场占比约 44%；至 2027 年，中国大陆仍将位居半导体设备支出前三甲地位，
且有望在预测期内保持首位。根据 SEMI 预计，2024-2027 年，全球预计投入运营 75 座新的 12
寸晶圆厂。其中，预计中国大陆从 2024 年的 29 座增长至 2027 年的 71 座。公司核心产品等离子
体射频电源系统作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等设备的关键核心零部件，半
导体设备市场增长及晶圆厂扩产趋势将为公司的主营业务带来持续成长。
(二) 公司发展战略
√适用 □不适用
     在半导体工艺制程的技术演进上，公司通过“技术研发—成果转化—产业应用”的全链条创
新，公司自主研发的第二代产品 Bestda 系列可支撑 28 纳米制程，第三代产品 Aspen 系列可支撑
列已处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，产品可支撑 5 纳米及以下更
先进制程。该产品旨在发展新的功放拓扑设计，开展诸如任意波形技术、电子开关驱动的电容阵
列匹配技术的开发，以及射频电源/匹配器一体化集成等，在能量密度、转换效率、采样和通讯速
率、响应时间和控制能力等诸方面加以提升，继续瞄准国际更前沿制程的产品追赶。
  大数据与人工智能是当下经济和社会发展的新一轮革命/进化的驱动力，公司也已启动了大数
据与人工智能业务，利用大数据与人工智能的发展成果建立射频电源系统领域的垂直模型等，发
展服务于产品研发、制造、应用全过程的软硬件产品与系统，提升产品全生命周期质量、提升研
发和制造效率、促进设计技术迭代等等，以及参与等离子体微纳加工技术的从科学研究至零部件
开发、至装备研制、至晶圆厂制程工艺迭代的产学研用全链条协同创新。直流电源方面，公司重
点开发大功率直流脉冲电源，进一步拓展当前直流产品的品类和技术能级。公司的 MFC MEMS
传感器项目截至报告期内已处于完成初样流片及搭载测试平台的阶段。
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  综上所述，公司将采取双轮驱动策略持续丰富产品布局。通过内生研发，持续优化现有产品，
提升性能与质量，并拓宽产品品类。
   公司的引进产品与自研产品相互补充，共同构成等离子体工艺的核心零部件整体解决方案。
引进产品的产品种类将聚焦于目前的真空泵、质量流量计、等离子体直流电源，将进一步拓展客
户范围，其中真空泵客户目前以精密光学镀膜及半导体设备等客户为主，公司将拓展更多半导体、
光伏及显示面板客户的应用，在公司其他自研产品客户中拓展市场空间；质量流量计目前收入较
少，主要集中于精密光学镀膜客户，公司将拓展在半导体、光伏及显示面板等领域的市场空间，
同时加快自研质量流量计的研发落地和出货，以引进业务带动自研产品的验证和销售；引进的等
离子体直流电源目前以光伏、面板、精密光学等领域的客户为主，公司自研的等离子体直流电源
已批量出货，引进和自研等离子体直流电源相互补充，为客户直流溅射镀膜工艺提供更多选择。
此外，随着公司资本实力的提升，公司未来将借助外部并购等战略举措，积极物色境内外优质的
标的和技术，以进一步增强等离子体工艺核心零部件的供应能力，为客户提供一站式的产品和服
务。
(三) 经营计划
√适用 □不适用
   公司将始终以客户需求作为技术研发导向，密切追踪最新的技术及发展趋势，持续增加研发
投入，不断完善研发管理机制和创新激励机制，搭建更好的研发环境，开展对先进技术、先进工
艺的研究，加快产品创新，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。
   公司将不断丰富公司产品和技术储备，根据下游客户需求快速形成产品和应用解决方案，持
续推进产品的更新迭代，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，为客户
提供性能更优、可靠性更高的产品，在迅速崛起的中国大陆半导体市场构筑优势地位，助力公司
长期稳定发展。
   此外，公司还将充分发挥研发和技术优势，结合市场发展前景和目标客户需求，不断进行新
产品的研发设计。在应用领域方面，公司积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等
领域的拓展；在产品布局方面，公司将采取双轮驱动策略。通过内生研发和择机对外收购的方式，
持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类，开发低频大功率等离子体射频电源、远
程等离子体源、直流溅射电源等产品，形成新的利润增长点，不断增强公司持续盈利能力、核心
竞争力和抗风险能力。
   针对现有生产场地和设备不足严重制约公司产能的问题，公司将在现有生产模式的基础上，
在沈阳建设半导体射频电源产业化中心，在深圳扩建半导体与真空装备核心零部件智能化生产运
营基地，引进性能更优、智能化水平更高、更先进的生产制造设备、测试设备及仓储系统，并结
合生产车间及数据管理系统软件，实现生产制造、经营、管理和决策的智能优化，向模块化、智
能化、数字化生产制造车间迈进，从而提高产品生产效率，扩大公司产销规模，满足不断增长的
市场需求并解决公司产能瓶颈问题，提升公司整体运营效率，促进公司业绩增长，稳定公司的行
业地位以及进一步提升核心竞争力。
   公司始终以客户为中心，密切关注客户需求，强化与客户设计研发的沟通合作，持续收集下
游行业市场与技术动态信息，同时进一步加强公司技术销售与技术服务，重点加大培养既懂专业
技术又有销售服务能力的技术精英，提供在产品及技术应用、销售专业技能、产品技术服务等全
方位的培训，确保公司在产品技术路线交流、销售、服务、信息反馈等环节为客户提供专业化的
技术支持服务和解决方案。
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  公司通过设立沈阳子公司和北京子公司，加强公司在东北、华北地区的业务开拓，发挥产品
生产、区域业务协调、品牌建设、资源整合、客户维护、吸引高科技及技术人才、强化科研能力
等功能，统筹区域内优势资源，扩展业务服务半径。未来公司将逐步在上海、武汉等重点区域设
立分支机构，完善区域布局，进一步提高对行业头部客户的服务能力以及对重点市场的挖掘和渗
透能力。公司还将加速推进境外业务拓展，拓展中国大陆以外的市场，包括优先组建中国台湾、
欧洲的销售网络，布局相关地区客户，实现产品在中国大陆区域以外的销售，助力半导体设备核
心零部件从“引进来”到“走出去”。
   公司根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源规划，建立、健全公司科
学化、规范化的人力资源管理系统，全面提升员工素质及公司管理水平与业务水平。公司根据未
来技术发展规划和现有人才储备状况，将不断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励
在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出贡献的研发人才。公司还将持续引进各类专业人才，
包括招募更多具备前瞻性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术人才、
各领域高端管理人才的引进，优化人才结构。
   公司将进一步加强人才梯队建设，坚持内部培养和外部招聘相结合的战略方针，加大人力资
源成本投入，优化并完善更具竞争力的薪酬福利体系，吸引更多优秀人才，打造一流的人才队伍，
满足公司快速发展的需要。截至本报告披露之日，公司计划引进海外高端人才。此外，公司还将
进一步扩大与有关高校科研院所的合作，以实训基地、校外实验室、联合实验室、研究生联合培
养站点等为载体，丰富产、学、研、训多种合作模式，内外并举，实现公司未来可持续发展。
   公司将严格遵守《公司法》《证券法》《科创板上市规则》等法律法规要求，不断加强规范
运作，持续优化适应公司高效灵活运作的治理结构，健全科学有效的决策机制、风险防范与风险
抵御机制，确保公司各项业务高效快速开展。在产品布局方面，公司将采取双轮驱动策略开展。
通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，借助外部并购等
战略举措，将公司发展成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为客
户提供一站式的产品和服务。
   国际化是公司未来发展的核心战略之一。公司将从深耕国内市场起步，逐步拓展国际市场，
以全球化视野整合资源，提升品牌影响力。通过持续的技术创新与卓越的产品服务，公司致力于
成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，并力争在未来跻身国际一流
的半导体设备核心零部件全球供应商行列。
(四) 其他
□适用 √不适用
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
             第四节    公司治理、环境和社会
一、公司治理相关情况说明
√适用 □不适用
  报告期内，公司遵循《公司法》《证券法》《上市公司治理准则》等法律、法规和规范性文
件的要求，持续优化公司治理结构，建立健全内部控制体系，提升公司规范运作水平。
  报告期内，公司召开了 4 次股东会。会议均由公司董事会召集，会议的召集、召开及表决程
序均符合相关规定。公司聘请了专业律师对股东会的合法性、有效性进行了审核，并出具了法律
意见书，确保股东会的规范运作。
套制度规则实施相关过渡期安排》《上市公司章程指引》等相关法律法规、规范性文件的规定，
召开股东会审议通过了《关于取消公司监事会、调整公司董事会人数并修订<深圳市恒运昌真空技
术股份有限公司章程>的议案》，不再设置监事会，公司董事会人数从 7 名调整为 9 名，《公司法》
规定的监事会的职权由董事会审计委员会行使。
  截至报告期末，公司董事会设董事 9 名，其中独立董事 3 名，董事会人数和人员构成符合相
关法律法规和《公司章程》的规定。董事会下设战略委员会、审计委员会、薪酬与考核委员会、
提名委员会以及独立董事专门会议，各机构均能按照自身职能积极履行职责，为董事会的有效决
策提供专业意见。
  报告期内，公司共召开 7 次董事会会议，共计审议了 39 项议案，各董事会会议的召集、召开、
表决程序规范，形成的会议决议合法有效；公司董事会依法、尽职地执行各项审议通过的决议，
切实保证各项决议的有效执行和贯彻落实，保障公司及股东的合法权益。
  报告期内，公司共召开了 3 次监事会会议，共计审议了 21 项议案。监事会的召集、召开、表
决程序规范，保障了监事会的监督效果。公司监事会曾设监事 3 名，其中职工代表监事 1 名，监
事会的人数和构成符合相关法律法规和《公司章程》的规定。公司全体监事认真履行职责，列席
董事会和股东会，勤勉尽责地对公司财务状况、内部控制等方面进行了独立、有效的监督检查，
维护公司及股东的合法权益。
  报告期内，公司控股股东严格按照相关法律法规的要求规范自身行为，依法通过股东会行使
股东权利。公司与控股股东在人员、资产、财务、机构和业务方面均相互独立，公司不存在为控
股股东及其他关联方提供担保、财务资助、非经营性资金占用等情况，也不存在损害公司及中小
股东利益的情形。
公司治理与法律、行政法规和中国证监会关于上市公司治理的规定是否存在重大差异；如有重大
差异，应当说明原因
□适用 √不适用
二、公司控股股东、实际控制人在保证公司资产、人员、财务、机构、业务等方面独立性的具体
措施，以及影响公司独立性而采取的解决方案、工作进度及后续工作计划
√适用 □不适用
  公司严格遵守《公司法》《证券法》等法律法规，在资产、人员、财务、机构、业务等方面
始终保持独立性，并在《公司章程》中明确，实际控制人保证公司资产完整、人员独立、财务独
立、机构独立和业务独立，不得以任何方式影响公司的独立性。公司具有独立完整的业务体系及
面向市场自主经营能力，建立了健全的治理结构，人事管理制度、独立财务部门及财务核算体系。
  公司实际控制人乐卫平先生同时担任公司董事长和总经理，主要基于现阶段业务发展需要，
旨在保障公司战略决策与执行高度统一，显著提升应对市场变化的决策效率。
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  公司一方面通过《公司章程》《董事会议事规则》《总经理工作细则》等制度合理确定董事
会、董事长和总经理的职权，明确规定董事会依法行使重大经营、投资等决策权限，并向股东会
报告工作；董事长主要负责召集、主持董事会会议，督促董事会决议落实执行；总经理主要负责
主持公司的生产经营与管理工作，组织实施董事会决议，并向董事会报告工作。另一方面强化内
部制衡，充分发挥独立董事、审计委员会在重大事项决策的作用。
控股股东、实际控制人及其控制的其他单位从事与公司相同或者相近业务的情况，以及同业竞争
或者同业竞争情况发生较大变化对公司的影响、已采取的解决措施、解决进展以及后续解决计划
□适用 √不适用
控股股东、实际控制人及其控制的其他单位从事对公司构成重大不利影响的同业竞争情况
□适用 √不适用
三、表决权差异安排在报告期内的实施和变化情况
□适用 √不适用
四、红筹架构公司治理情况
□适用 √不适用
                                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
五、董事和高级管理人员的情况
(一) 现任及报告期内离任董事、高级管理人员和核心技术人员持股变动及薪酬情况
√适用 □不适用
                                                                                                          单位：股
                                                                                                            是否
                                                                                            年度        报告期内
                                                                                                            在公
                                                                                            内股   增减   从公司获
                                                                                                            司关
 姓名        职务     性别   年龄     任期起始日期             任期终止日期           年初持股数        年末持股数        份增   变动   得的税前
                                                                                                            联方
                                                                                            减变   原因   薪酬总额
                                                                                                            获取
                                                                                            动量        （万元）
                                                                                                            薪酬
       董事长、总经理、
乐卫平               男    53   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日   11,721,312   11,721,312    -    -    119.54   否
       核心技术人员
       董事、核心技术
刘涛                男    46   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -     69.88   否
       人员
吴黎明    董事         男    55   2024 年 3 月 15 日    2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -      0.00   是
杨喜荣    董事         男    50   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -      0.00   否
王天东    独立董事       男    53   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -      6.00   否
赖小琼    独立董事       女    68   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -      6.00   否
刘彭义    独立董事       男    63   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -      6.00   否
       职工董事、核心
姚志毅               男    40   2025 年 10 月 9 日    2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -     86.12   否
       技术人员
俞日明    董事         男    44   2025 年 10 月 9 日    2026 年 12 月 12 日     294,444      294,444     -    -     26.36   否
TAN
YAN    副总经理       男    60   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -     95.28   否
PENG
郑悦佳    财务总监       女    49   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -     58.69   否
庄丽华    董事会秘书      女    44   2023 年 12 月 13 日   2026 年 12 月 12 日            -            -    -    -     70.19   否
林伟群    核心技术人员     男    42   2016 年 12 月 10 日   -                           -            -    -    -    102.45   否
林桂浩    核心技术人员     男    41   2018 年 7 月 9 日     -                           -            -    -    -     84.92   否
唐亚海    核心技术人员     男    42   2018 年 7 月 2 日     -                           -            -    -    -     85.88   否
                            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 合计     /       /    /       /              /     12,015,756   12,015,756   -   /   817.31   /
 姓名                                         主要工作经历
      男，中国国籍，无境外永久居留权，1973 年出生，研究生学历，深圳市宝安区第六届政协常务委员。1995 年 7 月至 2002 年 2 月，就职
      于湖南省桃源县邮电局电信设备厂，任技术员、工程师；2003 年 3 月至 2006 年 5 月，就职于 AE（深圳），任测试技术员、工程师；2006
乐卫平
      年 6 月至 2014 年 4 月，就职于 AE（上海），任产品应用工程师与销售高级经理；2014 年 5 月至 2021 年 9 月，就职于公司，任执行董事、
      总经理；2021 年 9 月至今，任公司董事长、总经理。
      男，中国国籍，无境外永久居留权，1980 年出生，研究生学历。2005 年 7 月至 2013 年 10 月，任东莞宏威数码机械有限公司首席工程师；
刘涛    2015 年 6 月至 2020 年 9 月，任东莞同济大学研究院副院长；2020 年 11 月至今，历任公司高级产品经理、战略发展总监；2021 年 9 月至
      今，任公司董事。
      男，中国国籍，无境外永久居留权，1971 年出生，研究生学历。1992 年 7 月至 1998 年 1 月，任交通部第二航务工程局六公司机械主办；
      公司工程部经理；2001 年 12 月至 2002 年 2 月，任昆明芬美意香料有限公司总工程师；2002 年 2 月至 2005 年 3 月，任杜邦中国集团有
      限公司蛋白质事业部中国工程经理；2005 年 3 月至 2008 年 10 月，任英特尔（中国）有限公司高级工程经理；2008 年 11 月至 2017 年 6
吴黎明   月，任英特尔（中国）有限公司高级采购经理；2017 年 6 月至 2023 年 6 月，任长江存储科技有限责任公司全球供应链负责人；2018 年 5
      月至 2020 年 12 月，任武汉新芯集成电路有限公司采购负责人；2019 年 6 月至 2021 年 6 月，任湖北三维半导体集成创新中心有限责任公
      司副总裁；2023 年 7 月至 2025 年 10 月，任上海爱浦迈科技有限公司总裁；2023 年 8 月至 2026 年 1 月，任上海浦宸私募投资基金合伙
      企业（有限合伙）投委会委员；2023 年 11 月至今，历任华懋（厦门）新材料科技股份有限公司董事、董事长；2024 年 3 月至今，任公
      司董事。
      男，中国国籍，无境外永久居留权，1976 年出生，研究生学历。2003 年 7 月至 2004 年 8 月，任广东科龙电器股份有限公司职员；2004
      年 9 月至 2016 年 8 月，任中国运载火箭技术研究院总体设计部工程组长；2016 年 9 月至 2016 年 11 月，任北京蓝箭空间科技有限公司地
杨喜荣   面系统负责人；2016 年 12 月至 2018 年 9 月，任湘财证券股份有限公司北京资产管理分公司行业研究员；2018 年 10 月至 2021 年 3 月，
      任武汉睿通致和投资管理有限公司业务董事；2021 年 3 月至今，任国投创业投资管理有限公司投资副总裁；2021 年 9 月至今，任公司董
      事。
      男，中国国籍，无境外永久居留权，1973 年出生，研究生学历。1995 年 7 月至 2005 年 8 月，历任宁夏大学助教、讲师；2005 年 8 月至
王天东
      司副总经理兼财务总监；2023 年 8 月至 2024 年 2 月，任诸暨博济浣江私募基金管理有限公司投资总监；2024 年 2 月至今，历任福州博
      峰私募基金管理有限公司风控总监（2024 年 6 月卸任）、监事；2024 年 7 月至今，任上海创力集团股份有限公司财务总监；2025 年 9 月
      至今，任创力（安徽）矿山机械制造有限公司董事、总经理；2023 年 12 月至今，任公司独立董事。
                                       深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
          女，中国国籍，无境外永久居留权，1958 年出生，研究生学历。1982 年 8 月至 1983 年 8 月，任厦门大学台湾研究所实习研究员；1983
          年 9 月至 2018 年 7 月，于厦门大学经济学院经济系历任助教、讲师、副教授、副主任、教授、博士生导师；2006 年 9 月至 2016 年 9 月，
赖小琼       于厦门大学王亚南经济研究院历任院长助理、副院长；2018 年 8 月至 2021 年 7 月，于温州商学院历任金融贸易学院院长、国际学院院长
          （退休返聘）；2021 年 11 月至 2025 年 1 月，任哈尔滨工业大学（深圳）马克思主义学院教授（退休返聘）；2025 年 11 月至今，任西
          藏民族大学财经学院教授（银龄支教）。2023 年 12 月至今，任公司独立董事。
          男，中国国籍，无境外永久居留权，1963 年出生，研究生学历。1986 年 6 月至 1989 年 9 月，任三峡大学物理系助教；1992 年 8 月至 1993
          年 12 月，任暨南大学物理系助教；1993 年 12 月至 1997 年 10 月，任暨南大学理工学院讲师；1997 年 10 月至 2004 年 10 月，任暨南大
刘彭义       学理工学院副教授；2004 年 10 月至 2023 年 12 月，任暨南大学物理与光电工程学院（理工学院）教授；2015 年 6 月至 2023 年 12 月，
          任暨南大学理工学院副院长；2023 年 12 月至今，任广州华立学院通识教育学院外聘院长、教授；2024 年 1 月至 2024 年 9 月，任暨南大
          学物理与光电工程学院（理工学院）教授（延聘）；2023 年 12 月至今，任公司独立董事。
          男，中国国籍，无境外永久居留权，1986 年出生，本科学历。2008 年 8 月至 2013 年 11 月，任 AE（深圳）工程师；2013 年 12 月至 2014
姚志毅       年 6 月，任 AE（上海）深圳分公司工程师；2014 年 7 月至今，历任公司软件工程师、软件研发经理；2021 年 9 月至 2023 年 12 月，任
          公司监事；2023 年 12 月至 2025 年 10 月 9 日，任公司监事会主席；2025 年 10 月 9 日至今，任公司职工董事。
          男，中国国籍，无境外永久居留权，1982 年出生，大专学历。2000 年 8 月至 2008 年 3 月，自主创业；2008 年 3 月至 2011 年 10 月，任
          深圳市凯林顿真空设备有限公司销售经理；2011 年 11 月至 2013 年 3 月，任深圳市深瑞通贸易有限公司销售经理；2013 年 3 月至今，历
俞日明
          任公司销售经理、高级销售经理；2013 年 3 月至 2021 年 9 月，任公司监事；2021 年 9 月至 2023 年 12 月，任公司董事；2023 年 12 月至
          男，新加坡国籍，拥有中国永久居留权，1966 年出生，本科学历。1992 年 4 月至 1993 年 8 月，就职于 Conner Peripherals(Singapore)，任
          全球生产计划员；1993 年 9 月至 1994 年 4 月，就职于 Quantum Peripherals(Singapore)，任高级材料计划员；1994 年 5 月至 1995 年 7 月，
          就职于 Conner Peripherals(Singapore)，任生产计划控制经理；1995 年 8 月至 1996 年 3 月，就职于 Conner Peripherals(Shenzhen, China)，任
TAN YAN
          材料计划经理；1996 年 4 月至 2003 年 2 月，就职于希捷国际科技（深圳）有限公司，历任高级材料计划经理、战略规划总监、总经理兼
PENG
          工厂经理和运营总监；2003 年 3 月至 2009 年 5 月，就职于 AE（深圳），历任运营总监兼总经理、工厂经理、深圳运营副总裁兼总经理；
          金属精密仪器（深圳）有限公司，任总裁兼总经理；2014 年 11 月至今，任公司运营部总监；2023 年 12 月至今，任公司副总经理。
          女，中国国籍，无境外永久居留权，1977 年出生，本科学历。2000 年 8 月至 2001 年 11 月，任深圳同人会计师事务所有限公司审计师；
郑悦佳       理；2009 年 5 月至 2010 年 5 月，任美国赛康科技公司深圳代表处中国区首席代表；2010 年 5 月至 2014 年 5 月，任萨康科技（深圳）有
          限公司财务总监；2014 年 6 月至 2017 年 1 月，任深圳市斯凯荣科技有限公司财务总监；2017 年 2 月至 2021 年 9 月，任 Petra Systems, Inc.
          财务总监及中国区负责人；2021 年 9 月至今，任公司财务总监。
          女，中国国籍，无境外永久居留权，1982 年出生，研究生学历。2007 年 6 月至 2009 年 10 月，任深圳市康哲药业有限公司投资者关系负
庄丽华
          责人；2009 年 12 月至 2011 年 3 月，任虎彩印艺股份有限公司证券事务代表；2011 年 4 月至 2017 年 5 月，历任深圳翰宇药业股份有限
                            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
      公司证券事务代表、证券管理部经理；2017 年 6 月至 2018 年 7 月，任民盛金科控股股份有限公司董事会秘书、董办总经理；2018 年 9
      月至 2023 年 5 月，任深圳市科思科技股份有限公司董事会秘书；2023 年 5 月至今，任公司董事会秘书。
      男，中国国籍，无境外永久居留权，1984 年出生，本科学历。2008 年 8 月至 2013 年 11 月，任 AE（深圳）高级工程师；2013 年 12 月至
林伟群
      男，中国国籍，无境外永久居留权，1985 年出生，本科学历。2008 年 8 月至 2018 年 6 月，任汕头市超声仪器研究所股份有限公司电路
林桂浩
      组主管；2018 年 7 月至今，历任公司工程师、硬件研发经理。
      男，中国国籍，无境外永久居留权，1984 年出生，本科学历。2008 年 8 月至 2009 年 11 月，任佛山群志光电有限公司设备工程师；2009
      年 11 月至 2012 年 1 月，任广州达元食品安全技术有限公司研发工程师；2012 年 2 月至 2013 年 12 月，任广州拙进通信技术有限公司研
唐亚海   发工程师；2014 年 1 月至 2014 年 3 月，任广州智唯易才企业管理顾问有限公司研发工程师；2014 年 11 月至 2015 年 11 月，任广州宏深
      信息科技有限公司负责人；2015 年 12 月至 2018 年 4 月，任广州禾信仪器股份有限公司软件工程师；2018 年 7 月至今，历任公司软件工
      程师、软件开发经理。
其它情况说明
√适用 □不适用
   截至报告期末，公司董事、高级管理人员、核心技术人员直接持股情况：乐卫平、俞日明直接持有股份；公司董事、高级管理人员、核心技术人员
间接持股情况：乐卫平通过恒运昌投资、投资中心、投资发展中心间接持有股份；刘涛、郑悦佳、庄丽华通过投资发展中心间接持有公司股份；姚志毅、
TAN YAN PENG、林伟群、林桂浩、唐亚海通过投资中心间接持有公司股份。
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(二) 现任及报告期内离任董事和高级管理人员的任职情况
√适用 □不适用
                             在股东单位担任
任职人员姓名           股东单位名称                      任期起始日期        任期终止日期
                               的职务
             深圳市恒运昌投资有限
乐卫平                         执行董事             2021 年 8 月    至今
             公司
             上海浦宸私募投资基金
吴黎明                         投委会委员            2023 年 8 月    2026 年 1 月
             合伙企业（有限合伙）
在股 东单位 任职
             无
情况的说明
√适用 □不适用
                                   在其他单位
任职人员姓名           其他单位名称                      任期起始日期        任期终止日期
                                   担任的职务
         克瑞斯新能源技术（香港）有限
乐卫平                                董事        2014 年 1 月    至今
         公司
吴黎明      上海晶持科技有限公司                执行董事      2023 年 7 月    2026 年 4 月
         华懋（厦门）新材料科技股份有
吴黎明                                董事长       2023 年 11 月   至今
         限公司
吴黎明      上海爱浦迈科技有限公司               总裁        2023 年 7 月    2025 年 10 月
吴黎明      深圳市富创优越科技有限公司             董事        2024 年 10 月   至今
吴黎明      东阳华芯电子材料有限公司              董事长       2025 年 5 月    至今
         上海亦富亦创半导体科技有限
吴黎明                                董事        2024 年 5 月    2025 年 8 月
         公司
         泓浒（苏州）半导体科技有限公
杨喜荣                                董事        2023 年 6 月    至今
         司
杨喜荣      科德数控股份有限公司                董事        2022 年 10 月   2025 年 12 月
杨喜荣      国投创业投资管理有限公司              投资副总裁     2021 年 3 月    至今
王天东      上海创力集团股份有限公司              财务总监      2024 年 7 月    至今
王天东      上海申传电气股份有限公司              董事        2024 年 8 月    至今
         上海创力集团（临汾）矿山智能
王天东                                董事        2024 年 11 月   至今
         装备有限公司
         创力（安徽）矿山机械制造有限            董事 、总 经
王天东                                          2025 年 9 月    至今
         公司                        理
         福州博峰私募基金管理有限公
王天东                                监事        2024 年 2 月    至今
         司
王天东      元创力合(深圳)科技有限公司            经理、董事     2026 年 1 月    至今
                                   外聘 院长 、
刘彭义      广州华立学院通识教育学院                        2023 年 12 月   至今
                                   教授
在其他单位任
         无
职情况的说明
(三) 董事、高级管理人员和核心技术人员薪酬情况
√适用 □不适用
                                               单位：万元币种：人民币
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
               公司董事会薪酬与考核委员会是对董事及高级管理人员进行考核
               以及确定薪酬分配的管理机构，公司董事、高级管理人员的薪酬方
               案由薪酬与考核委员会制定，明确薪酬确定依据和具体构成。
               公司人力资源部、财务部等相关部门配合董事会薪酬与考核委员会
董事、高级管理人员薪酬的   进行董事、高级管理人员薪酬方案的具体实施。
决策程序           公司董事的薪酬方案须经股东会审议通过后方可实施，在董事会或
               者薪酬与考核委员会对董事个人进行评价或者讨论其报酬时，该董
               事应当回避。公司高级管理人员的薪酬方案由董事会审议批准，向
               股东会说明，并予以充分披露。
董事在董事会讨论本人薪酬
               是
事项时是否回避
薪酬与考核委员会或独立董
事专门会议关于董事、高级   公司董事、高级管理人员薪酬事项的决策程序、确定依据等均符合
管理人员薪酬事项发表建议   法律法规及相关制度。薪酬与考核委员会对此无异议。
的具体情况
               公司根据《公司章程》《薪酬与考核委员会议事规则》等相关规定，
董事、高级管理人员薪酬确   结合公司规模，相关人员所承担的责任、风险程度、自身的市场价
定依据            值及管理能力、公司经营状况、绩效考核结果等综合确定董事、高
               级管理人员薪酬。
董事和高级管理人员薪酬的
               董事、高级管理人员薪酬的实际支付情况与年报披露的数据相符。
实际支付情况
报告期末全体董事和高级管
理人员实际获得的薪酬合计
报告期末核心技术人员实际
获得的薪酬合计
报告期末全体董事和高级管
               务的非独立董事不适用薪酬考核机制；在公司担任具体职务的公司
理人员实际获得薪酬的考核
               非独立董事和高级管理人员依据公司绩效考核规定获得相应的薪
依据和完成情况
               酬。
报告期末全体董事和高级管   2025 年度，领取独立董事津贴的独立董事及未在公司担任职务的
理人员实际获得薪酬的递延   非独立董事不适用相关规定；在公司担任职务的非独立董事及高级
支付安排           管理人员，按照年度绩效方案，暂无递延支付安排。
报告期末全体董事和高级管
               报告期内公司董事、高级管理人员薪酬支付合法合规，暂不存在止
理人员实际获得薪酬的止付
               付追索情形。
追索情况
(四) 公司董事、高级管理人员和核心技术人员变动情况
√适用 □不适用
    姓名        担任的职务                变动情形      变动原因
姚志毅        职工董事              选举           工作调动
俞日明        董事                选举           工作调动
(五) 近三年受证券监管机构处罚的情况说明
□适用 √不适用
(六) 其他
□适用 √不适用
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
六、董事履行职责情况
(一) 董事参加董事会和股东会的情况
                                                                  参加股东
                               参加董事会情况
            是否                                                     会情况
 董事
            独立
         本年应参                 以通讯                         是否连续两
 姓名            亲自出                         委托出   缺席               出席股东
            董事
         加董事会                 方式参                         次未亲自参
               席次数                         席次数   次数               会的次数
          次数                  加次数                           加会议
乐卫平  否       7    7              0           0        0   否          4
刘涛   否       7    7              2           0        0   否          4
吴黎明  否       7    7              7           0        0   否          4
杨喜荣  否       7    7              7           0        0   否          4
王天东  是       7    7              7           0        0   否          4
赖小琼  是       7    7              5           0        0   否          4
刘彭义  是       7    7              7           0        0   否          4
姚志毅  否       5    5              1           0        0   否          4
俞日明  否       5    5              1           0        0   否          4
连续两次未亲自出席董事会会议的说明
□适用 √不适用
年内召开董事会会议次数                          7
其中：现场会议次数                            0
通讯方式召开会议次数                           0
现场结合通讯方式召开会议次数                       7
(二) 董事对公司有关事项提出异议的情况
□适用 √不适用
(三) 其他
□适用 √不适用
七、董事会下设专门委员会情况
√适用□不适用
(一)董事会下设专门委员会成员情况
  专门委员会类别                                    成员姓名
审计委员会                王天东、赖小琼、刘涛
提名委员会                刘彭义、王天东、刘涛
薪酬与考核委员会             赖小琼、刘彭义、乐卫平
战略委员会                乐卫平、刘涛、刘彭义
(二)报告期内审计委员会召开6次会议
召开日期                  会议内容                    重要意见和建议       其他履行职责情况
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
            有关事项的说明>的议案》                    其他议案全体委
            案》                              过。
            要的议案》
            的议案》
            的议案》
            的议案》
            员会履职情况报告的议案》
            请综合授信额度的议案》
            请综合授信额度的议案》
            行申请综合授信额度的议案》
                                            所有议案全体委
            有关事项的说明>的议案》
                                            过
            案》
            有限公司内部控制制度>的议案》
                                            所有议案全体委
            月财务报告的议案》
                                            过
            月审计报告的议案》
            《关于确认核心技术人员及关联自然人（担             所有议案全体委
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                            过
(三)报告期内提名委员会召开1次会议
召开日期                  会议内容                  重要意见和建议    其他履行职责情况
                                            所有议案全体委
            《关于增选公司第一届董事会非独立董事
            的议案》
                                            过
(四)报告期内薪酬与考核委员会召开4次会议
召开日期                  会议内容                  重要意见和建议       其他履行职责情况
                                            议案 1.1 赞成票 2
                                            票，审议通过，1
            度薪酬及 2025 年度薪酬方案的议案》            表决；
            酬及 2025 年度薪酬方案的议案》              一致同意并通过；
            薪酬及 2025 年度薪酬方案的议案》             联委员回避表决，
            年度薪酬方案的议案》                      审议；
                                            名关联委员回避
                                            表决。
            告的议案》
                                            所有议案全体委
            告的议案》
                                            过
            报告的议案》
                                        议案 1.1 赞成票 2
                                        票，审议通过，1
                                        名关联委员回避
            年度、2023 年度、2024 年度薪酬的议案》
                                        表决；
                                        议案 1.2 全体委员
            度、2023 年度、2024 年度薪酬的议案》
                                        一致同意并通过；
                                        议案 1.3 因 2 名关
            年度、2023 年度、2024 年度薪酬的议案》
                                        联委员回避表决，
                                        直接提交董事会
            年度、2024 年度薪酬的议案》
                                        审议；
                                        议案 1.4 赞成票 2
            年度、2024 年度薪酬的议案》
                                        票，审议通过，1
                                        名关联委员回避
            有限公司董事、高级管理人员薪酬管理制
                                        表决；
            度>（上市后适用）的议案》
                                        议案 2 全体委员
                                        一致同意并通过。
                                        赞成票 2 票，审议
                                        通过，1 名关联委
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                        员回避表决。
(五)报告期内战略委员会召开2次会议
召开日期                 会议内容               重要意见和建议   其他履行职责情况
                                        所有议案全体委
            《关于调整募集资金投资项目使用金额的
            议案》
                                        过
(六)存在异议事项的具体情况
□适用 √不适用
八、审计委员会发现公司存在风险的说明
□适用 √不适用
审计委员会对报告期内的监督事项无异议。
九、报告期末母公司和主要子公司的员工情况
(一) 员工情况
母公司在职员工的数量                                              378
主要子公司在职员工的数量                                             27
在职员工的数量合计                                               405
母公司及主要子公司需承担费用的离退休职工
人数
                   专业构成
        专业构成类别                             专业构成人数
         生产人员                                           121
         销售人员                                            18
         技术人员                                           158
         财务人员                                            10
      管理及其他职能人员                                          98
          合计                                            405
                   教育程度
        教育程度类别                              数量（人）
          博士                                              1
          硕士                                             32
         大学本科                                           182
        大专及以下                                           190
          合计                                            405
(二) 薪酬政策
√适用 □不适用
  公司严格执行《薪酬管理制度》，并结合《绩效考核管理办法》，建立了合规规范、兼顾公
平与激励的薪酬管理体系。
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  公司薪酬体系由基本工资、岗位津贴、绩效奖金、年终奖及各项法定福利构成。其中，基本
工资为保障核心，按岗位基础职责核定；岗位津贴根据岗位层级、专业难度及履职年限动态调整；
绩效奖金与个人工作成果、部门目标完成度强关联；年终奖则综合公司年度经营业绩与员工全年
综合表现核算发放。
  在定薪与晋升方面，公司实行多序列职级体系，定薪标准紧扣岗位价值、员工能力等级及绩
效水平。职级晋升以年度绩效考核、专业能力评估为核心依据，配套建立常态化晋升通道，实现
薪酬与职级、能力、贡献的精准匹配，充分激发员工积极性与创造力。
(三) 培训计划
√适用 □不适用
  公司以构建“技术引领、管理赋能”的核心人才梯队为目标，紧密围绕公司的核心技术主业
发展需求，建立了覆盖全序列、多层级的培训体系，持续提升员工专业能力与综合素养。
  技术培训方面，聚焦核心研发与生产环节，针对射频电源、射频匹配器、直流电源与射频配
件的技术研发、新产品的工艺设计及其优化、测试设备操作等关键领域，开展专项技术研讨、岗
位技能实操及核心技术攻坚培训，着力强化研发人员的创新能力与生产人员的实操水平。
  管理培训方面，面向管理及职能人员，围绕领导力提升、现代管理方法与企业文化落地等主
题，开展定制化培训，推动管理理念迭代与团队管理效能提升。
  培训形式上，公司已搭建常态化学习渠道，外请高校行业专家交流，结合内部讲师授课、现
场实训等形式，实现培训资源的优化配置，确保培训效果与公司发展战略同频共振。
(四) 劳务外包情况
□适用 √不适用
十、利润分配或资本公积金转增预案
(一) 现金分红政策的制定、执行或调整情况
√适用 □不适用
     公司严格遵守《公司法》《证券法》《科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第 3 号——
上市公司现金分红》等法律法规、规范性文件要求，在《公司章程》中明确规定了利润分配的原
则、分配形式、现金分红条件、现金分红比例、差异化分红政策以及利润分配的决策程序和调整
机制等事项，建立了完备的现金分红制度。
     截至 2025 年 12 月 31 日，公司母公司报表中期末未分配利润为人民币 260,573,073.69 元。经
公司第一届董事会第十五次会议审议，公司 2025 年度拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本
为基数分配利润，本次利润分配方案如下：
     公司拟向全体股东每 10 股派发现金红利 8.00 元(含税)。截至 2026 年 3 月 31 日，公司总股本
     如在利润分配方案披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，因可转债转股/回购股份/股权
激励授予股份回购注销/重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的，公司拟维持分
配总额不变，相应调整每股分配比例如后续总股本发生变化，将另行公告具体调整情况。
     本次利润分配方案尚需经公司 2025 年年度股东会审议。
(二) 现金分红政策的专项说明
√适用 □不适用
是否符合公司章程的规定或股东会决议的要求                                  √是□否
分红标准和比例是否明确和清晰                                        √是□否
相关的决策程序和机制是否完备                                        √是□否
独立董事是否履职尽责并发挥了应有的作用                                   √是□否
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
中小股东是否有充分表达意见和诉求的机会，其合法权益是否得到了充分保
                                                 √是□否
护
(三) 报告期内盈利且母公司可供股东分配利润为正，但未提出现金利润分配方案预案的，公司应
当详细披露原因以及未分配利润的用途和使用计划
□适用 √不适用
(四) 本报告期利润分配及资本公积金转增股本预案
√适用 □不适用
                                             单位：元币种：人民币
每 10 股送红股数（股）                                               0
每 10 股派息数（元）（含税）                                          8.00
每 10 股转增数（股）                                                0
现金分红金额（含税）                                       54,161,350.40
合并报表中归属于上市公司普通股股东的净利
润
现金分红金额占合并报表中归属于上市公司普
通股股东的净利润的比率（%）
以现金方式回购股份计入现金分红的金额                                          0
合计分红金额（含税）                                       54,161,350.40
合计分红金额占合并报表中归属于上市公司普
通股股东的净利润的比率（%）
(五) 最近三个会计年度现金分红情况
□适用 √不适用
十一、公司股权激励计划、员工持股计划或其他员工激励措施的情况及其影响
(一) 股权激励总体情况
□适用 √不适用
(二) 相关激励事项已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
员工持股计划情况
□适用 √不适用
其他激励措施
□适用 √不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(三) 董事、高级管理人员和核心技术人员报告期内被授予的股权激励情况
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(四) 报告期内对高级管理人员的考评机制，以及激励机制的建立、实施情况
□适用 √不适用
十二、报告期内的内部控制制度建设及实施情况
√适用 □不适用
  报告期内，公司严格遵守相关法律法规的要求，结合公司运营的实际情况，对公司治理机制
及内部控制体系进行持续优化，并按照企业内部控制规范体系及公司内部管理制度的要求，严格
按照内部管理规章制度进行规范治理，相关内部控制制度覆盖了公司业务活动和内部管理的各个
方面和环节，公司内部控制制度完整、合理，并得到了有效执行。
报告期内部控制存在重大缺陷情况的说明
□适用 √不适用
十三、报告期内对子公司的管理控制情况
√适用□不适用
  截至报告期末，公司共计拥有 4 家全资子公司。公司已制定《控股子公司管理制度》，通过
人事管理、经营管理、财务、资金及担保管理、审计监督等多方面，对子公司进行管理和约束，
以此保护公司和各投资人的合法权益，确保子公司规范、有序、健康发展。
对子公司的管理控制存在异常的风险提示
□适用 √不适用
十四、内部控制审计报告的相关情况说明
√适用 □不适用
具体内容详见公司于 2026 年 4 月 28 日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn)披露的《深圳市
恒运昌真空技术股份有限公司 2025 年度内部控制审计报告》。
是否披露内部控制审计报告：是
内部控制审计报告意见类型：标准的无保留意见
报告期或上年度是否被出具内部控制非标准审计意见
□是√否
十五、上市公司治理专项行动自查问题整改情况
无
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
十六、董事会有关 ESG 情况的声明
  公司董事会高度重视 ESG 工作对企业的重要作用，积极践行环境、社会和治理责任，不仅是
公司实现可持续发展的基石，更是公司作为科创板上市公司应尽的使命。公司致力于将 ESG 理念
深度融入公司战略和日常运营，以负责任的态度创造长期价值，回馈股东、客户、员工、合作伙
伴及社会。
  在环境层面，公司的核心产品等离子体射频电源系统通过提升能效和工艺稳定性，直接助力
下游半导体制造企业降低单位产能能耗，减少资源消耗，赋能产业链节能减排；公司在生产运营
中严格遵守国家环保法律法规，致力于优化生产流程，提高资源利用效率，并积极探索使用更环
保的材料与工艺。
  在社会层面，公司坚持以人为本，共创可持续价值。公司致力于为全体员工提供安全、健康、
包容、平等的工作环境，保障员工合法权益。公司重视人才培育与发展，建立有竞争力的激励机
制，激发创新活力，与员工共享发展成果；公司始终将产品的可靠性置于首位，高度重视质量管
理，依据 ISO9001 及相关法律法规要求，结合公司实际情况，并参考国外大厂标准严格要求，建
立了以经营流程为管理轴心的内部管理制度和标准化、规范化的质量管理体系。确保产品安全、
可靠、合规，为客户创造稳定价值，共同推动半导体产业链的自主可控与协同发展。
  在治理层面，公司持续完善治理结构，加强内部控制和规范运作。公司管理机构权责分明，
相互协调，保障公司正常生产经营，有效提升决策的科学性和准确性。公司始终坚持信息披露的
真实、准确、完整、及时，不断加强信息披露工作，不断丰富信息披露内容，积极回应各方关切，
提高公司信息透明度，保障公司全体股东的合法权益。
  未来，恒运昌将持续加强对 ESG 工作的领导和投入，将 ESG 理念深深融入公司基因，为建设
一个更高效、更绿色、更包容的半导体产业生态贡献力量。
十七、ESG 整体工作成果
□适用 √不适用
十八、纳入环境信息依法披露企业名单的上市公司及其主要子公司的环境信息情况
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
十九、社会责任工作情况
(一)主营业务社会贡献与行业关键指标
  公司所专注的等离子体射频电源系统是我国半导体产业的基础之一，其作为薄膜沉积、刻蚀、
离子注入、清洗去胶、键合等核心半导体设备的关键零部件，具有基础性和战略性的地位。公司
在等离子体射频电源系统上的技术突破可以进一步推动我国半导体产业关键零部件的国产化和自
主化进程，对科技战略发展的产业技术具有重要作用，将有力地提升我国半导体产业链供应链韧
性和安全水平，加速国产半导体设备的等离子体射频电源系统国产替代进程，为做大做强国产半
导体设备贡献力量。
(二)推动科技创新情况
  具体内容可参见本报告“第三节管理层讨论与分析”之“三、报告期内核心竞争力分析（三）核
心技术与研发进展”。
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(三)遵守科技伦理情况
  公司在技术研发和应用过程中严格遵守科技伦理，专利申请过程实施严格的审批流程，确保
技术的发展符合社会道德和法律规范。公司始终尊重客户和相关利益方的基本权利，注重技术的
可持续发展，确保技术应用不会对环境和社会造成负面影响。
(四)数据安全与隐私保护情况
  公司高度重视信息安全管理，持续提升信息安全保护力度。公司制定了《企业秘密管理制度》
《商业秘密管理办法》，对涉密信息进行机密等级分类，并要求员工遵守有关法律法规，严格执
行安全保密制度。公司定期开展信息安全审核，监控现有措施有效性并不断更新以提高安全性。
(五)从事公益慈善活动的类型及贡献
       类型                  数量                   情况说明
对外捐赠
                                        公司组织募捐，对西藏自治区红十
其中：资金（元）                   373,494.32   字会捐赠 173,494.32 元，对桃源县
                                        教育基金会捐赠 200,000 元。
   物资折款（元）
公益项目
其中：资金（元）
乡村振兴
其中：资金（元）
   物资折款（元）
□适用 √不适用
□适用 √不适用
具体说明
□适用 √不适用
(六)股东和债权人权益保护情况
  公司建立了完善的内控制度和治理结构，股东会、董事会严格按照相关法律法规和公司章程
规定规范召开，确保决策程序合法合规。在信息披露方面，公司严格履行信息披露义务，保证披
露信息真实、准确和及时，维护股东知情权。公司积极维护投资者关系，建立多元化的沟通渠道，
包括上证 E 互动平台、专线电话、专用邮箱等，及时回复投资者询问，确保信息披露透明度。投
资者也可通过公司选定信息披露媒体《中国证券报》《上海证券报》《证券时报》和《证券日报》
等途径获取公司相关披露信息。
(七)职工权益保护情况
  公司始终坚持合法合规的经营理念，规范企业用工，保障员工的合法权益，依法、及时与员
工签订劳动合同，合理安排生产及休假，提供良好的就餐和居住环境。公司关注员工工作与生活
的平衡，积极组织文化活动，如定期举办生日会、旅游团建等活动，营造尊重、协作、进取的团
队氛围，让每一位员工都能与公司共同成长、共享发展成果。在员工发展层面，公司构建了体系
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
化的培训与发展方案，注重员工职业路径的长期规划，并提供清晰的晋升通道及个性化的职业发
展指导。
员工持股情况
员工持股人数（人）                                             53
员工持股人数占公司员工总数比例（%）                                 13.09
员工持股数量（万股）                                    2,527.7012
员工持股数量占总股本比例（%）                                    49.79
注：上述持股情况为截至 2025 年 12 月 31 日公司员工持股情况，包括通过持股平台间接持有公司
股份的合计数，不包括员工参与首发战略配售、不含董高直接持股、不含二级市场买入的股份。
截至 2025 年 12 月 31 日公司总股本 5077.1129 万股。
(八)供应商、客户和消费者权益保护情况
  公司始终将供应商、客户及最终用户的权益保护置于公司可持续发展的重要位置，致力于构
建长期、稳定、共赢的合作伙伴关系。
  供应商权益保护方面，公司注重与供应商建立长期稳定的合作关系，秉承公平、公正、透明
的原则，保障供应商的合法权益。公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、
生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等
对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行供应商动
态管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道，提高原材料供应的效率和稳定性。同时，公司通
过技术交流、联合开发等方式，与供应商共同成长，推动供应链的协同创新与国产化进程。
  客户及消费者权益保护方面，公司作为半导体设备核心零部件供应商，建立了完善的质量管
理体系，确保产品性能稳定、可靠，并努力保障订单的及时交付，以支持客户的生产运营；公司
配备了专业的销售与售后服务团队，为客户提供全面的售前、售中及售后技术支持，快速响应并
解决客户问题；公司持续加强创新，与客户紧密合作，共同推动国产化开发验证，推动半导体产
业链自主可控。
(九)产品安全保障情况
  公司高度重视质量管理，依据 ISO9001 及相关法律法规要求，结合公司实际情况，并参考国
外大厂标准严格要求，建立了以经营流程为管理轴心的内部管理制度和标准化、规范化的质量管
理体系。同时，公司开发了自主测试平台，公司所有产品出厂前会经过应力测试、老化测试等一
系列测试，为客户减少了验证试错的时间，节约了试错成本和沟通成本。
(十)知识产权保护情况
  公司的核心技术为公司长远发展的关键。公司高度重视对核心技术的保护，为加强对技术资
料保密工作的统一管理及防止技术泄密，公司制定了《企业秘密管理制度》《知识产权管理制度》
等制度，建立了有效的知识产权保护管理体系。公司取得了第三方出具的《知识产权管理体系认
证证书》，认证公司符合《企业知识产权管理规范》（GB/T29490-2013）的国家标准。公司于 2024
年荣获“广东省知识产权示范企业”称号。
  公司重视知识产权，设立专门的知识产权管理部门对知识产权相关工作进行统一管理。在专
利申请方面，公司对产品进行有效的知识产权布局，保证公司的技术研发成果可以及时、高效地
申请知识产权保护。目前，公司已针对核心技术实施专利和技术秘密保护。
(十一)在承担社会责任方面的其他情况
□适用√不适用
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
二十、其他公司治理情况
(一) 党建情况
√适用 □不适用
  公司高度重视并持续推进公司党建工作，已按照《中国共产党章程》及有关规定，规范设立
了基层党组织。公司注重发挥党员的先锋模范作用，鼓励党员骨干在技术攻关、管理创新和履行
社会责任中走在前列。通过系统开展理论学习、组织生活和主题教育，不断强化思想建设，并将
党建活力转化为企业文化凝聚力和发展推动力。
(二) 投资者关系及保护
           类型               次数                             相关情况
召开业绩说明会                 0              公司报告期内尚未上市，未召开业绩说明会
                                       公司报告期内尚未上市，未开展投资者关系
借助新媒体开展投资者关系管理活动        0
                                       管理活动
官网设置投资者关系专栏             √是□否           http://www.csl-vacuum.com/
开展投资者关系管理及保护的具体情况
□适用 √不适用
其他方式与投资者沟通交流情况说明
□适用 √不适用
(三) 信息披露透明度
√适用 □不适用
  公司制定了《信息披露管理办法》《信息披露暂缓与豁免业务管理制度》《投资者关系管理
制度》等信息披露相关制度，加强信息披露事务管理，保证信息真实、准确、完整、及时、公平，
保障投资者的知情权。投资者可以通过公司选定信息披露媒体《上海证券报》《中国证券报》《证
券时报》《证券日报》《金融时报》《经济参考报》以及上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）
等途径便捷获取信息。
(四) 机构投资者参与公司治理情况
√适用 □不适用
  报告期内，公司共召开 4 次股东会，机构投资者积极参与了公司重大事项的投票表决。公司
高度重视机构投资者在公司治理中发挥的积极作用，致力于构建长期、稳定、透明的沟通与协作
机制。公司报告期内尚未上市，未来公司将通过定期举行业绩说明会、投资者交流会、路演及一
对一沟通等多种形式，主动、及时地向机构投资者传递公司战略、经营状况、技术进展等信息，
认真听取其专业意见和建议，与机构投资者保持密切的互动和高效的沟通。
(五) 反商业贿赂及反贪污机制运行情况
□适用 √不适用
(六) 其他公司治理情况
□适用 √不适用
二十一、其他
□适用 √不适用
                           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                 第五节           重要事项
一、承诺事项履行情况
(一)   公司实际控制人、股东、关联方、收购人以及公司等承诺相关方在报告期内或持续到报告期内的承诺事项
√适用 □不适用
                                                                            是
                                                                                如未能
                                                                            否
                                                                                及时履   如未能
                                                                是否          及
                                                                                行应说   及时履
           承诺                            承诺                     有履          时
承诺背景                    承诺方                           承诺时间           承诺期限       明未完   行应说
           类型                            内容                     行期          严
                                                                                成履行   明下一
                                                                 限          格
                                                                                的具体   步计划
                                                                            履
                                                                                 原因
                                                                            行
         股份限售    恒运昌投资                  注1         2025 年 4 月   是    注1     是   不适用   不适用
         股份限售    乐卫平                    注2         2025 年 4 月   是    注2     是   不适用   不适用
         股份限售    投资中心                   注3         2025 年 4 月   是    注3     是   不适用   不适用
         股份限售    国投大湾区基金                注4         2025 年 4 月   是    注4     是   不适用   不适用
         股份限售    曹立                     注5         2025 年 4 月   是    注5     是   不适用   不适用
         股份限售    林伟群                    注6         2025 年 4 月   是    注6     是   不适用   不适用
         股份限售    投资发展中心                 注7         2025 年 4 月   是    注7     是   不适用   不适用
与首次公
         股份限售    刘涛、俞日明、姚志毅             注8         2025 年 4 月   是    注8     是   不适用   不适用
开发行相
         股份限售    TAN YAN PENG、郑悦佳、庄丽华   注9         2025 年 4 月   是    注9     是   不适用   不适用
关的承诺
         股份限售    姚志毅                    注 10       2025 年 4 月   是    注 10   是   不适用   不适用
         股份限售    俞日明                    注 11       2025 年 9 月   是    注 11   是   不适用   不适用
         股份限售    丁鹏                     注 12       2025 年 4 月   是    注 12   是   不适用   不适用
         股份限售    林桂浩、唐亚海                注 13       2025 年 4 月   是    注 13   是   不适用   不适用
                 上海浦宸、扬州乾益、中电科、北京
         股份限售    光电、湖南高创、嘉兴恒祥、嘉兴小       注 14       2025 年 4 月   是    注 14   是   不适用   不适用
                 橡、江苏疌泉、青岛鼎量、瑞芯基金、
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
          上海道禾、上海国策、上海岩泉、上
          杭景行、深圳鹏远、拓荆科技和中信
          投资
股份限售      乐卫国                     注 15       2025 年 4 月   是   注 15   是   不适用   不适用
稳定股价      恒运昌                     注 16       2025 年 4 月   是   注 16   是   不适用   不适用
稳定股价      恒运昌投资                   注 17       2025 年 4 月   是   注 17   是   不适用   不适用
稳定股价      乐卫平                     注 18       2025 年 4 月   是   注 18   是   不适用   不适用
          乐卫平、刘涛、TAN YAN PENG、郑
稳定股价                              注 19       2025 年 4 月   是   注 19   是   不适用   不适用
          悦佳、庄丽华
关于欺诈发行上
          恒运昌                     注 20       2025 年 4 月   否   注 20   是   不适用   不适用
市的股份回购
关于欺诈发行上
          恒运昌投资                   注 21       2025 年 4 月   否   注 21   是   不适用   不适用
市的股份回购
关于欺诈发行上
          乐卫平                     注 22       2025 年 4 月   否   注 22   是   不适用   不适用
市的股份回购
填补被摊薄即期
          恒运昌                     注 23       2025 年 4 月   否   注 23   是   不适用   不适用
回报的承诺
填补被摊薄即期
          恒运昌投资                   注 24       2025 年 4 月   否   注 24   是   不适用   不适用
回报的承诺
填补被摊薄即期
          乐卫平                     注 25       2025 年 4 月   否   注 25   是   不适用   不适用
回报的承诺
          乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘
填补被摊薄即期   彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞
                                  注 26       2025 年 4 月   否   注 26   是   不适用   不适用
回报的承诺     日明、丁鹏、TAN YAN PENG、郑悦
          佳、庄丽华
利润分配政策    恒运昌                     注 27       2025 年 4 月   否   注 27   是   不适用   不适用
利润分配政策    恒运昌投资                   注 28       2025 年 4 月   否   注 28   是   不适用   不适用
利润分配政策    乐卫平                     注 29       2025 年 4 月   否   注 29   是   不适用   不适用
依法承担赔偿责
          恒运昌                     注 30       2025 年 4 月   否   注 30   是   不适用   不适用
任的承诺
依法承担赔偿责   恒运昌投资、乐卫平               注 31       2025 年 4 月   否   注 31   是   不适用   不适用
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
任的承诺
          乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘
依法承担赔偿责   彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞
                                  注 32       2025 年 4 月   否   注 32   是   不适用   不适用
任的承诺      日明、丁鹏、TAN YAN PENG、郑悦
          佳、庄丽华
未能履行公开承
诺事项的约束措   恒运昌                     注 33       2025 年 4 月   否   注 33   是   不适用   不适用
施
未能履行公开承
诺事项的约束措   恒运昌投资                   注 34       2025 年 4 月   否   注 34   是   不适用   不适用
施
未能履行公开承
诺事项的约束措   乐卫平                     注 35       2025 年 4 月   否   注 35   是   不适用   不适用
施
未能履行公开承
          投资中心、国投大湾区基金、曹立、
诺事项的约束措                           注 36       2025 年 4 月   否   注 36   是   不适用   不适用
          林伟群
施
          乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘
未能履行公开承   彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞
诺事项的约束措   日明、丁鹏、TAN YAN PENG、郑悦   注 37       2025 年 4 月   否   注 37   是   不适用   不适用
施         佳、庄丽华、林伟群、林桂浩、唐亚
          海
解决同业竞争    恒运昌投资、乐卫平               注 38       2025 年 4 月   否   注 38   是   不适用   不适用
在审期间不进行
          恒运昌                     注 39       2025 年 4 月   是   注 39   是   不适用   不适用
现金分红
解决关联交易    恒运昌投资、乐卫平               注 40       2025 年 4 月   否   注 40   是   不适用   不适用
          投资中心、国投大湾区基金、曹立、
解决关联交易                            注 41       2025 年 4 月   否   注 41   是   不适用   不适用
          林伟群
          乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘
解决关联交易    彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞        注 42       2025 年 4 月   否   注 42   是   不适用   不适用
          日明、丁鹏、TAN YAN PENG、郑悦
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
          佳、庄丽华
避免资金占用对
          恒运昌投资、乐卫平         注 43        2025 年 4 月   是   注 43   是   不适用   不适用
外担保
不存在重大违法
          恒运昌               注 44        2025 年 4 月   是   注 44   是   不适用   不适用
违规行为
不存在重大违法
          恒运昌投资、乐卫平         注 45        2025 年 4 月   是   注 45   是   不适用   不适用
违规行为
股东信息披露的
          恒运昌               注 46        2025 年 4 月   否   注 46   是   不适用   不适用
专项承诺
其他        恒运昌投资、乐卫平         注 47        2025 年 4 月   否   注 47   是   不适用   不适用
其他        恒运昌投资、乐卫平         注 48        2025 年 4 月   否   注 48   是   不适用   不适用
其他        乐卫平、俞日明           注 49        2025 年 4 月   否   注 49   是   不适用   不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
注 1：公司控股股东恒运昌投资关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内，本公司不转让或者委托他人管理本公司直接或
间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导
致本公司持有的公司股份发生变化的，本公司仍将遵守上述承诺。
二、恒运昌上市后 6 个月内如恒运昌股票连续 20 个交易日的收盘价均低于发行价，或者上市后 6 个月期末收盘价
低于发行价，本公司直接或间接持有的恒运昌股票将在上述锁定期届满后自动延长 6 个月。若上述期间内恒运昌
发生派发股利、送红股、转增股本或配股等除息、除权行为的，则发行价以经除息、除权等因素调整后的价格计
算。
三、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，延长本公司届时所持股份锁
定期限 12 个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，在前项基础
上延长本公司届时所持股份锁定期限 12 个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下
滑 50%以上的，在前两项基础上延长本公司届时所持股份锁定期限 12 个月。
四、在上述锁定期届满前，本公司无减持恒运昌股票意向。本公司在上述锁定期届满后 2 年内减持恒运昌首发前
股份的，应符合以下条件：
（一）减持方式：本公司在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规
允许的方式。
（二）减持数量：本公司采取集中竞价方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌
股份总数的 1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总
数的 2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的 5%。
（三）减持公告：本公司承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露
的规定，在减持前 3 个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞价交易或者大宗交易首次减持股份的 15 个交易日
前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券
交易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。
（四）减持价格：本公司在上述锁定期满后 2 年内减持本公司持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持
价格不低于首次公开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上述减持公告之日公司发生过派息、送股、资
本公积转增股本等除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。
五、本公司将严格履行上述承诺，若本公司因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本
公司未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本公司将依法承担赔偿责任。
注 2：公司实际控制人乐卫平关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接
持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本
人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、恒运昌上市后 6 个月内如恒运昌股票连续 20 个交易日的收盘价均低于发行价，或者上市后 6 个月期末收盘价
低于发行价，本人直接或间接持有的恒运昌股票将在上述锁定期届满后自动延长 6 个月。若上述期间内恒运昌发
生派发股利、送红股、转增股本或配股等除息、除权行为的，则发行价以经除息、除权等因素调整后的价格计算。
三、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，延长本人届时所持股份锁定
期限 12 个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，在前项基础上
延长本人届时所持股份锁定期限 12 个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑
四、在上述锁定期届满前，本人无减持恒运昌股票意向。本人在上述锁定期届满后 2 年内减持恒运昌首发前股份
的，应符合以下条件：
（一）减持方式：本人在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允
许的方式。
（二）减持数量：本人采取集中竞价方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股
份总数的 1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数
的 2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的 5%。
（三）减持公告：本人承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的
规定，在减持前 3 个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞价交易或者大宗交易首次减持股份的 15 个交易日前
向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券交
易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。
（四）减持价格：本人在上述锁定期满后 2 年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格
不低于首次公开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上述减持公告之日公司发生过派息、送股、资本公
积转增股本等除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。
五、在本人担任恒运昌董事或高级管理人员或核心技术人员的期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股
份不超过本人持有的恒运昌股份总数的 25%，离职之日起 6 个月内不转让本人持有的恒运昌股份。若本人在任职
届满前离职的，本人在就任时确定的任期内以及任期届满 6 个月内，继续遵守上述限制性规定。
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
六、在不违反前述第五条承诺的前提下，在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行
上市前股份的锁定期届满之日起 4 年内，本人每年转让的恒运昌首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开
发行上市时本人所持首次公开发行上市前股份总数的 25%，减持比例可累积使用。
七、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
八、本人不会因职务变更、离职等原因而放弃履行前述承诺。
注 3：持有恒运昌 5%以上股份的主要股东投资中心关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内，本企业不转让或者委托他人管理本企业直接或
间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导
致本企业持有的公司股份发生变化的，本企业仍将遵守上述承诺。
二、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，延长本企业届时所持股份锁
定期限 12 个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，在前项基础
上延长本企业届时所持股份锁定期限 12 个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下
滑 50%以上的，在前两项基础上延长本企业届时所持股份锁定期限 12 个月。
三、在上述锁定期届满前，本企业无减持恒运昌股票意向。本企业在上述锁定期届满后 2 年内减持恒运昌首发前
股份的，应符合以下条件：
（一）减持方式：本企业在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规
允许的方式。
（二）减持数量：本企业采取集中竞价方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌
股份总数的 1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总
数的 2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的 5%。
（三）减持公告：本企业承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露
的规定，在减持前 3 个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞价交易或者大宗交易首次减持股份的 15 个交易日
前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券
交易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。
（四）减持价格：本企业在上述锁定期满后 2 年内减持本企业持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持
价格不低于届时法律、法规及规范性文件规定的价格下限。
四、本企业将严格履行上述承诺，若本企业因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本
企业未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本企业将依法承担赔偿责任。
注 4：持有恒运昌 5%以上股份的主要股东国投大湾区基金关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 12 个月内，本企业不转让或者委托他人管理本企业直接或
间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导
致本企业持有的公司股份发生变化的，本企业仍将遵守上述承诺。
二、本企业持续看好公司业务前景，全力支持公司发展，持股意向明确。本企业在上述锁定期届满后 2 年内减持
恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：
（一）减持方式：本企业在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规
允许的方式。
（二）减持数量：减持数量符合届时法律、法规及规范性文件的规定。
（三）减持公告：在本企业持有恒运昌 5%以上股份的情况下，本企业承诺减持时将根据中国证监会、上海证券
交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的规定予以公告，通过证券交易所集中竞价交易首次减持股份的 15
个交易日前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将在减持前 3 个交易
日予以公告。
（四）减持价格：本企业在上述锁定期满后 2 年内减持本企业持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持
价格不低于届时法律、法规及规范性文件规定的价格下限。
三、本企业将严格履行上述承诺，如果因本企业未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本企业将
依法承担法律责任。
注 5：持有恒运昌 5%以上股份的主要股东曹立关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接
持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本
人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，延长本人届时所持股份锁定
期限 12 个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，在前项基础上
延长本人届时所持股份锁定期限 12 个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑
三、在上述锁定期届满前，本人无减持恒运昌股票意向。本人在上述锁定期届满后 2 年内减持恒运昌首发前股份
的，应符合以下条件：
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
（一）减持方式：本人在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允
许的方式。
（二）减持数量：本人采取集中竞价方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股
份总数的 1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数
的 2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的 5%。
（三）减持公告：本人承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的
规定，在减持前 3 个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞价交易或者大宗交易首次减持股份的 15 个交易日前
向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券交
易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。
（四）减持价格：本人在上述锁定期满后 2 年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格
不低于首次公开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上述减持公告之日公司发生过派息、送股、资本公
积转增股本等除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。
四、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
注 6：持有恒运昌 5%以上股份的主要股东林伟群关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内和本人离职后 6 个月内，本人不转让或者委托他
人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司
进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、在上述锁定期届满前，本人无减持恒运昌股票意向。本人在上述锁定期届满后 2 年内减持恒运昌首发前股份
的，应符合以下条件：
（一）减持方式：本人在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允
许的方式。
（二）减持数量：本人采取集中竞价方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股
份总数的 1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数
的 2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的 5%。
（三）减持公告：本人承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的
规定，在减持前 3 个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞价交易或者大宗交易首次减持股份的 15 个交易日前
向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券交
易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。
（四）减持价格：本人在上述锁定期满后 2 年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格
不低于届时法律、法规及规范性文件规定的价格下限。
三、在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行上市前股份的锁定期届满之日起 4 年
内，本人每年转让的恒运昌首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开发行上市时本人所持首次公开发行上
市前股份总数的 25%，减持比例可累积使用。
四、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
注 7：除持有恒运昌 5%以上股份的主要股东投资中心外，恒运昌的员工持股平台投资发展中心关于股份锁定及减
持承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内，本企业不转让或者委托他人管理本企业直接或
间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导
致本企业持有的公司股份发生变化的，本企业仍将遵守上述承诺。
二、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，延长本企业届时所持股份锁
定期限 12 个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑 50%以上的，在前项基础
上延长本企业届时所持股份锁定期限 12 个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下
滑 50%以上的，在前两项基础上延长本企业届时所持股份锁定期限 12 个月。
三、本企业在上述锁定期届满后 2 年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：
（一）减持方式：本企业在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规
允许的方式。
（二）减持数量：本企业采取集中竞价方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌
股份总数的 1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总
数的 2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的 5%。
四、本企业将严格履行上述承诺，若本企业因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本
企业未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本企业将依法承担赔偿责任。
注 8：除恒运昌实际控制人乐卫平外，持有恒运昌股份的董事刘涛、俞日明、姚志毅关于股份锁定及减持的承诺
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内和本人离职后 6 个月内，本人不转让或者委托他
人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司
进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、恒运昌上市后 6 个月内如恒运昌股票连续 20 个交易日的收盘价均低于发行价，或者上市后 6 个月期末收盘价
低于发行价，本人直接或间接持有的恒运昌股票将在上述锁定期届满后自动延长 6 个月。若上述期间内恒运昌发
生派发股利、送红股、转增股本或配股等除息、除权行为的，则发行价以经除息、除权等因素调整后的价格计算。
三、在本人担任恒运昌董事或核心技术人员期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有
的恒运昌股份总数的 25%，离职之日起 6 个月内不转让本人持有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本
人在就任时确定的任期内以及任期届满 6 个月内，继续遵守上述限制性规定。
四、在不违反前述第三条承诺的前提下，在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行
上市前股份的锁定期届满之日起 4 年内，本人每年转让的恒运昌首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开
发行上市时本人所持首次公开发行上市前股份总数的 25%，减持比例可累积使用。
五、本人在上述锁定期满后 2 年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于首次公
开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上述减持公告之日公司发生过派息、送股、资本公积转增股本等
除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。
六、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
七、本人不会因职务变更、离职等原因而放弃履行前述承诺。
注 9：除恒运昌实际控制人乐卫平外，持有恒运昌股份的高级管理人员 TAN YAN PENG、郑悦佳及庄丽华关于股
份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接
持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份，若因公司进行权益分派等导致本
人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、恒运昌上市后 6 个月内如恒运昌股票连续 20 个交易日的收盘价均低于发行价，或者上市后 6 个月期末收盘价
低于发行价，本人直接或间接持有的恒运昌股票将在上述锁定期届满后自动延长 6 个月。若上述期间内恒运昌发
生派发股利、送红股、转增股本或配股等除息、除权行为的，则发行价以经除息、除权等因素调整后的价格计算。
三、在本人担任恒运昌高级管理人员期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运
昌股份总数的 25%，离职之日起 6 个月内不转让本人持有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本人在就
任时确定的任期内以及任期届满 6 个月内，继续遵守上述限制性规定。
四、本人在上述锁定期满后 2 年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于首次公
开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上述减持公告之日公司发生过派息、送股、资本公积转增股本等
除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。
五、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
六、本人不会因职务变更、离职等原因而放弃履行前述承诺。
注 10：持有公司股份的原监事姚志毅关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内和本人离职后 6 个月内，本人不转让或者委托他
人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司
进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、在本人担任恒运昌监事或核心技术人员期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有
的恒运昌股份总数的 25%，离职之日起 6 个月内不转让本人持有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本
人在就任时确定的任期内以及任期届满 6 个月内，继续遵守上述限制性规定。
三、在不违反前述第二条承诺的前提下，在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行
上市前股份的锁定期届满之日起 4 年内，本人每年转让的恒运昌首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开
发行上市时本人所持首次公开发行上市前股份总数的 25%，减持比例可累积使用。
四、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
注 11：持有公司股份的原监事及现任董事俞日明关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内和本人离职后 6 个月内，本人不转让或者委托他
人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司
进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、在本人担任恒运昌监事期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运昌股份总
数的 25%，离职之日起 6 个月内不转让本人持有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本人在就任时确定
的任期内以及任期届满 6 个月内，继续遵守上述限制性规定。
三、本人在上述锁定期届满后 2 年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
（一）减持方式：本人在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允
许的方式。
（二）减持数量：本人采取集中竞价方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股
份总数的 1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续 90 个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数
的 2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的 5%。
四、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
注 12：持有公司股份的原监事丁鹏关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接
持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本
人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、在本人担任恒运昌监事期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运昌股份总
数的 25%，离职之日起 6 个月内不转让本人持有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本人在就任时确定
的任期内以及任期届满 6 个月内，继续遵守上述限制性规定。
三、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
注 13：除恒运昌实际控制人乐卫平、持有恒运昌 5%以上股份的主要股东林伟群、董事刘涛及职工董事姚志毅外，
持有恒运昌股份的核心技术人员林桂浩、唐亚海关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内和本人离职后 6 个月内，本人不转让或者委托他
人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司
进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行上市前股份的锁定期届满之日起 4 年
内，本人每年转让的恒运昌首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开发行上市时本人所持首次公开发行上
市前股份总数的 25%，减持比例可累积使用。
三、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
注 14：恒运昌其他股东上海浦宸、扬州乾益、中电科、北京光电、湖南高创、嘉兴恒祥、嘉兴小橡、江苏疌泉、
青岛鼎量、瑞芯基金、上海道禾、上海国策、上海岩泉、上杭景行、深圳鹏远、拓荆科技和中信投资关于股份锁
定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 12 个月内，本企业不转让或者委托他人管理本企业直接或
间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导
致本企业持有的公司股份发生变化的，本企业仍将遵守上述承诺。
二、本企业在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式，
并将遵守减持时有效的相关法律法规的规定。
三、本企业将严格履行上述承诺，如果因本企业未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本企业将
依法承担赔偿责任。
注 15：恒运昌其他股东乐卫国作为实际控制人乐卫平的近亲属关于股份锁定及减持的承诺
一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起 36 个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接
持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本
人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。
二、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未
履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。
注 16：公司关于稳定股价的承诺
一、稳定股价预案启动与终止条件
（一）启动股价稳定措施的具体条件
公司自上市后三年内，除不可抗力等因素所导致的股价下跌之外，如公司股票连续 20 个交易日的收盘价均低于公
司最近一期经审计的每股净资产（最近一期审计基准日后，因利润分配、资本公积金转增股本、增发、配股等情
况导致公司净资产或股份总数出现变化的，须进行相应调整，下同），且同时满足相关回购、增持公司股份等行
为的法律、法规和规范性文件的规定时（以下简称“触发稳定股价条件”），应按照股价稳定预案规定启动稳定
股价措施。
（二）终止股价稳定措施的情形
自股价稳定方案公告之日起，若出现以下任一情形，则视为本次稳定股价措施实施完毕及承诺履行完毕，已公告
的稳定股价方案终止执行：
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
①公司 A 股股票连续 3 个交易日的收盘价均高于公司上一年期末经审计的每股净资产（上一年期末审计基准日后，
因利润分配、资本公积转增股本、增发、配股等情况导致公司净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进
行调整）；
②继续回购或增持公司股份将导致公司股权分布不符合上市条件。
③各相关主体在连续 12 个月内购买股份的数量或用于购买股份的数量的金额已达到上限。
二、股价稳定相关措施及承诺
（一）本公司承诺
本公司承诺：
公司董事会应在公司上述触发稳定股价条件之日起的 10 个交易日内作出回购股票的决议，制定明确、具体的回购
方案，方案内容包括但不限于拟回购本公司股份的种类、数量区间、价格区间、实施期限等内容，并在履行完毕
相关内部决策程序和外部审批/备案程序（如需）后实施，且按照上市公司信息披露要求予以公告。
公司将自公司制定的股价稳定方案履行完毕决策程序之日起 120 个自然日内通过证券交易所交易系统回购公司社
会公众股份，公司单次用于回购股份数量最大限额为公司股本总额的 1%，如公司单次回购股份后，仍不能达到
稳定股价措施的停止条件，则公司继续进行回购，12 个月内累计回购股份数量不超过公司股份总数的 2%，回购
后公司的股权分布应当符合上市条件，回购行为及信息披露、回购后的股份处置应当符合《中华人民共和国公司
法》《中华人民共和国证券法》及其他相关法律、行政法规的规定。
如公司在首次公开发行人民币普通股（A 股）股票并在科创板上市后 3 年内新聘在公司任职并领取薪酬的公司董
事（独立董事除外）、高级管理人员的，公司将在其作出承诺履行公司发行上市时负有增持义务的董事、高级管
理人员已作出的相应承诺要求后，方可聘任。
公司可以根据公司及市场的实际情况，采取其他经证券监督管理部门认可的方式维护公司股价稳定，具体措施实
施应以维护上市公司地位、保护公司及广大投资者利益为原则，遵循法律、法规及证券交易所的相关规定，并应
按照证券交易所上市规则及其他适用的监管规定履行其相应的信息披露义务。
注 17：公司控股股东恒运昌投资关于稳定股价的承诺
若股份回购预案未获得公司董事会及股东大会（如需）批准或者公司回购股份达到预案上限后，公司股票连续 20
个交易日的收盘价仍均低于公司最近一期经审计的每股净资产时，本公司应以书面形式向公司提交明确、具体的
增持方案，方案内容包括但不限于拟增持的股份种类、数量区间、价格区间、实施期限等内容。公司应于收到书
面方案通知之日的次日予以公告。自本公司提出的股价稳定方案公告次日起，本公司可以开始实施增持计划。
本公司将自股价稳定方案公告之日起 30 个交易日内通过证券交易所交易系统增持，增持价格不高于公司上一年期
末经审计的每股净资产（上一年期末审计基准日后，因利润分配、资本公积转增股本、增发、配股等情况导致公
司净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进行调整），单次或累计 12 个月用于增持恒运昌股份的金额不
超过上年度直接从公司领取的现金分红（税后）的 50%，增持计划完成后的六个月内将不出售所增持的股份，增
持后公司的股权分布应当符合上市条件，增持股份行为及信息披露应当符合《中华人民共和国公司法》《中华人
民共和国证券法》及其他相关法律、行政法规的规定。
本公司可以根据公司及市场的实际情况，采取其他经证券监督管理部门认可的方式维护公司股价稳定，具体措施
实施应以维护上市公司地位、保护公司及广大投资者利益为原则，遵循法律、法规及证券交易所的相关规定，并
应按照证券交易所上市规则及其他适用的监管规定履行其相应的信息披露义务。
在恒运昌就回购股份事宜召开的董事会及股东大会上，本公司对恒运昌承诺的回购股份方案的相关决议投赞成票。
注 18：公司实际控制人乐卫平关于稳定股价的承诺
若股份回购预案未获得公司董事会及股东大会（如需）批准或者公司回购股份达到预案上限后，公司股票连续 20
个交易日的收盘价仍均低于公司最近一期经审计的每股净资产时，本人应以书面形式向公司提交明确、具体的增
持方案，方案内容包括但不限于拟增持的股份种类、数量区间、价格区间、实施期限等内容。公司应于收到书面
方案通知之日的次日予以公告。自本人提出的股价稳定方案公告次日起，本人可以开始实施增持计划。
本人将自股价稳定方案公告之日起 30 个交易日内通过证券交易所交易系统增持，增持价格不高于公司上一年期末
经审计的每股净资产（上一年期末审计基准日后，因利润分配、资本公积转增股本、增发、配股等情况导致公司
净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进行调整），单次或累计 12 个月用于增持恒运昌股份的金额不超
过上年度直接从公司领取的现金分红（税后）的 50%，增持计划完成后的六个月内将不出售所增持的股份，增持
后公司的股权分布应当符合上市条件，增持股份行为及信息披露应当符合《中华人民共和国公司法》《中华人民
共和国证券法》及其他相关法律、行政法规的规定。
本人可以根据公司及市场的实际情况，采取其他经证券监督管理部门认可的方式维护公司股价稳定，具体措施实
施应以维护上市公司地位、保护公司及广大投资者利益为原则，遵循法律、法规及证券交易所的相关规定，并应
按照证券交易所上市规则及其他适用的监管规定履行其相应的信息披露义务。
在恒运昌就回购股份事宜召开的董事会及股东大会上，本人对恒运昌承诺的回购股份方案的相关决议投赞成票。
注 19：在公司任职且领取薪酬的董事（不含独立董事）及/或高级管理人员乐卫平、刘涛、TAN YAN PENG、郑
悦佳、庄丽华关于稳定股价的承诺
控股股东及实际控制人增持公司 A 股股票完成后 15 个交易日内，若终止股价稳定措施的情形未出现，则本人及
其他负有增持义务的董事及高级管理人员将以书面形式向公司提交明确、具体的增持方案，方案内容包括但不限
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
于拟增持的股份种类、数量区间、价格区间、实施期限等内容。公司应于收到书面通知书之日的次日予以公告。
自董事、高级管理人员提出的股价稳定方案公告次日起，本人可以开始实施增持计划。
本人将自股价稳定方案公告之日起 30 个交易日内通过证券交易所交易系统增持公司社会公众股份，增持价格不高
于公司上一年期末经审计的每股净资产（上一年期末审计基准日后，因利润分配、资本公积金转增股本、增发、
配股等情况导致公司净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进行调整），单次用于增持公司股份的资金
额不超过本人上一年度从公司领取薪酬（税后）或津贴总和的 15%，且年度用于增持股份的资金不超过其上一年
度领取的薪酬（税后）或津贴总和的 30%。超过该标准的，有关稳定股价措施在当年都不再继续实施。但如下一
年度继续出现需启动稳定股价措施的情形时，将继续按照上述原则执行稳定股价预案。增持计划完成后的六个月
内将不出售所增持的股份，增持后公司的股权分布应当符合上市条件，增持股份行为及信息披露应当符合《公司
法》《证券法》及其他相关法律、行政法规的规定。
本人可以根据公司及市场的实际情况，采取其他经证券监督管理部门认可的方式维护公司股价稳定，具体措施实
施应以维护上市公司地位、保护公司及广大投资者利益为原则，遵循法律、法规及证券交易所的相关规定，并应
按照证券交易所上市规则及其他适用的监管规定履行其相应的信息披露义务。
注 20：公司关于欺诈发行上市及股份回购的承诺
一、本公司符合科创板上市发行条件，申请本次发行及上市的相关申报文件所披露的信息真实、准确、完整，不
存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏等重大信息披露违法之情形。
二、如果恒运昌不符合发行上市条件，以欺骗手段骗取发行注册并已经发行上市的，恒运昌承诺，在中国证监会
确认后 5 个工作日内启动股份购回程序，依法回购首次公开发行的全部新股。具体购回措施如下：
自中国证监会或其他有权机关认定本公司存在上述情形并要求购回股票之日起 5 个工作日内，制订股份回购方案
并提交股东会审议批准，通过上海证券交易所交易系统回购本公司首次公开发行的全部新股，回购价格将以发行
价为基础并参考相关市场因素确定。本公司上市后发生派息、送股、资本公积转增股本等除权除息事项的，上述
发行价格做相应调整。上述购回措施实施时法律法规另有规定的从其规定。
注 21：公司控股股东恒运昌投资关于欺诈发行上市及股份回购的承诺
一、本公司确保恒运昌本次发行及上市不存在任何欺诈发行的情形。
二、如因恒运昌不符合发行上市条件，以欺骗手段骗取发行注册并已经发行上市的，本公司将在中国证监会等有
权部门确认后 5 个工作日内启动股份购回程序，购回公司本次公开发行的全部新股，回购价格将以发行价为基础
并参考相关市场因素确定。上述购回措施实施时法律法规另有规定的从其规定。
三、上述承诺为本公司真实意思表示，本公司自愿接受监管机构、自律组织及社会公众的监督，若违反上述承诺
本公司将依法承担相应责任。
注 22：公司实际控制人乐卫平关于欺诈发行上市及股份回购的承诺
一、本人确保恒运昌本次发行及上市不存在任何欺诈发行的情形。
二、如因恒运昌不符合发行上市条件，以欺骗手段骗取发行注册并已经发行上市的，本人将在中国证监会等有权
部门确认后 5 个工作日内启动股份购回程序，购回公司本次公开发行的全部新股，回购价格将以发行价为基础并
参考相关市场因素确定。上述购回措施实施时法律法规另有规定的从其规定。
三、上述承诺为本人真实意思表示，本人自愿接受监管机构、自律组织及社会公众的监督，若违反上述承诺本人
将依法承担相应责任。
注 23：公司关于填补被摊薄即期回报的承诺
一、加强募集资金管理，提高资金利用率，保证募集资金合理合法使用
为规范公司募集资金的使用与管理，确保募集资金的使用规范、安全、高效，本公司制定了《募集资金管理制度》，
对募集资金的存放、使用、管理等事项进行了规范，以保证募集资金存放和使用的安全，防止募集资金被控股股
东、实际控制人等关联方占用或挪用。本次公开发行股票结束后，募集资金将存放于董事会指定的专项账户中，
以保证募集资金合理规范使用，防范募集资金使用风险。
二、完善利润分配制度，强化投资者回报制度
据中国证监会《关于进一步落实上市公司现金分红有关事项的通知》和《上市公司监管指引第 3 号—上市公司现
金分红（2023 修订）》的要求，公司进一步完善和细化了利润分配政策。为了明确本次发行后对投资者的回报，
《公司章程》明确了有关利润分配政策的决策制度和程序的相关条款；为更好地保障全体股东的合理回报，进一
步细化公司章程中有关利润分配政策的相关条款，制定了《公司上市后三年内股东分红回报规划》。公司上市后
将严格执行公司的分红政策，强化投资者回报制度。
三、加快募集资金投资项目的建设
本次发行募集资金拟投资沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运
营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目和补充流动资金，公司已对募投项目进行
可行性研究论证，证明募投项目符合行业发展趋势。
本次发行募集资金到位前，为尽快实现募投项目效益，本公司将积极调配资源，提前积极布局；本次发行募集资
金到位后，在符合法律、法规及其他规范性法律文件和公司内部制度的前提下，本公司将尽可能加快推进募投项
目建设，加快实现募集资金投资项目的预期经济效益，降低本次发行导致的股东即期回报摊薄的风险。
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
四、着力提升公司的市场竞争力，积极推进恒运昌业务发展
公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子
体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进销售真空获得和流体控制等相关的核心零部件，
围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。为增强公司的持续回报能力，公司将健全和完善技术创新机制；
通过进一步巩固在优势领域的产品以及新产品的开发，奠定长期稳定发展的基础。在充分把握行业发展趋势的基
础上，公司将采取各种措施保证合理整合内外部资源，加大研发管理创新力度，提升公司的核心竞争能力和整体
盈利水平。
五、公司对填补被摊薄即期回报措施的承诺
本公司承诺将积极推进上述填补被摊薄即期回报的措施。若未履行前述承诺，本公司将及时公告未履行的事实及
理由，除因不可抗力或其他非归属于本公司的原因外，将向本公司股东和社会公众投资者道歉，同时向投资者提
出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的利益。
注 24：公司控股股东恒运昌投资关于填补被摊薄即期回报的承诺
为贯彻执行《国务院办公厅关于进一步加强资本市场中小投资者合法权益保护工作的意见》《国务院关于进一步
促进资本市场健康发展的若干意见》《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》等
相关规定和文件精神，作为恒运昌的控股股东，本公司不越权干预恒运昌经营管理活动，不侵占恒运昌利益。
若本公司未履行上述承诺，本公司将在恒运昌股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开作出解释并道歉，
并接受中国证券监督管理委员会和证券交易所等证券监管机构按照其制定或发布的有关规定、规则，对本公司作
出相关处罚或采取相关监管措施。若本公司未履行上述承诺给恒运昌或者恒运昌股东造成损失，本公司将依法承
担补偿责任。
注 25：公司实际控制人乐卫平关于填补被摊薄即期回报的承诺
为贯彻执行《国务院办公厅关于进一步加强资本市场中小投资者合法权益保护工作的意见》《国务院关于进一步
促进资本市场健康发展的若干意见》《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》等
相关规定和文件精神，作为恒运昌的实际控制人，本人不越权干预恒运昌经营管理活动，不侵占恒运昌利益。
若本人未履行上述承诺，本人将在恒运昌股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开作出解释并道歉，并
接受中国证券监督管理委员会和证券交易所等证券监管机构按照其制定或发布的有关规定、规则，对本人作出相
关处罚或采取相关监管措施。若本人未履行上述承诺给恒运昌或者恒运昌股东造成损失，本人将依法承担补偿责
任。
注 26：公司董事、原监事、高级管理人员乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、
俞日明、丁鹏、TAN YAN PENG、郑悦佳、庄丽华关于填补被摊薄即期回报的承诺
（一）不无偿或以不公平条件向其他单位或者个人输送利益，也不采用其他方式损害恒运昌利益；
（二）对本人的职务消费行为进行约束；
（三）不动用恒运昌资产从事与本人履行职责无关的投资、消费活动；
（四）由董事会或薪酬与考核委员会制定的薪酬制度与恒运昌填补回报措施的执行情况相挂钩；
（五）如恒运昌未来进行股权激励，拟公布的股权激励的行权条件将与恒运昌填补回报措施的执行情况相挂钩。
若本人未履行上述承诺，本人将在恒运昌股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开作出解释并道歉，并
接受中国证券监督管理委员会和证券交易所等证券监管机构按照其制定或发布的有关规定、规则，对本人作出相
关处罚或采取相关监管措施。若本人未履行上述承诺给恒运昌或者恒运昌股东造成损失，本人将依法承担补偿责
任。
注 27：公司关于执行利润分配政策的承诺
本公司承诺本次公开发行股票并在科创板上市后将严格按照《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》
及《公司上市后三年股东分红回报规划》的相关规定进行利润分配。
本公司将积极履行利润分配政策，若违反前述承诺（因相关法律法规、政策变化、自然灾害及其他不可抗力等公
司无法控制的客观原因导致的除外），本公司将公开说明未履行承诺的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉，
同时向本公司投资者提出补充承诺或替代承诺并将上述补充承诺或替代承诺提交本公司股东会审议，以尽可能保
护投资者的权益。
注 28：控股股东恒运昌投资关于执行利润分配政策的承诺
一、本公司在本次公开发行股票并在科创板上市后将严格遵守《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）
                                                 》
及《公司上市后三年股东分红回报规划》。
二、在审议公司利润分配议案的股东会上，本公司对符合《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》
及《公司上市后三年股东分红回报规划》要求的利润分配议案投赞成票。
三、本公司将督促公司根据相关决议实施利润分配。
注 29：实际控制人乐卫平关于执行利润分配政策的承诺
一、本人在本次公开发行股票并在科创板上市后将严格遵守《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》
及《公司上市后三年股东分红回报规划》。
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
二、在审议公司利润分配议案的股东会上，本人对符合《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》及
《公司上市后三年股东分红回报规划》要求的利润分配议案投赞成票。
三、本人将督促公司根据相关决议实施利润分配。
注 30：公司关于依法承担赔偿责任的承诺
一、公司招股说明书及其他信息披露资料所载内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，
本公司对招股说明书及其他信息披露资料所载内容的真实性、准确性和完整性承担个别和连带的法律责任。
二、若因本公司首次公开发行股票并在科创板上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或
者重大遗漏，对判断本公司是否符合法律规定的发行条件构成重大、实质影响，本公司将在该等违法违规事实被
有权机关认定之日起十个交易日内召开董事会并提议尽快召开股东会，本公司将按照董事会、股东会审议通过的
股份回购具体方案回购本公司首次公开发行的全部新股，回购价格不低于恒运昌首次公开发行股票时的发行价并
加算同期银行活期存款利息（若需回购的股票有派息、送股、资本公积金转增股本、配股等除权除息情况的，发
行价格将根据除权除息情况作相应调整）。
三、若本公司首次公开发行股票并上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，
致使投资者在证券交易中遭受损失，本公司将依法赔偿投资者损失。有权获得赔偿的投资者资格、投资者损失的
范围认定、赔偿主体之间的责任划分和免责事由按照《中华人民共和国证券法》《最高人民法院关于审理证券市
场虚假陈述侵权民事赔偿案件的若干规定》等相关法律法规的规定执行，如相关法律法规相应修订，则按届时有
效的法律法规执行。
四、若本公司未履行上述承诺，本公司将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开说明未履行的具体
原因并向本公司股东和社会公众投资者道歉，并按中国证监会及有关司法部门依法认定的实际损失向投资者进行
赔偿。
注 31：公司控股股东恒运昌投资及实际控制人乐卫平关于依法承担赔偿责任的承诺
一、恒运昌招股说明书及其他信息披露资料所载内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗
漏，本人/本企业对招股说明书及其他信息披露资料所载内容的真实性、准确性和完整性承担个别和连带的法律责
任。
二、如恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者
重大遗漏，对判断公司是否符合法律规定的发行条件构成重大、实质影响的，在中国证监会等有权部门作出最终
认定或司法机关作出生效判决后，本人/本企业将促使公司召开股东会回购首次公开发行的全部新股，并在股东会
中投赞成票。同时依法回购已转让的原限售股份。
三、如恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者
重大遗漏，致使投资者在证券交易中遭受损失，本人/本企业将依法赔偿投资者损失。有权获得赔偿的投资者资格、
投资者损失的范围认定、赔偿主体之间的责任划分和免责事由按照《中华人民共和国证券法》《最高人民法院关
于审理证券市场虚假陈述侵权民事赔偿案件的若干规定》等相关法律法规的规定执行，如相关法律法规相应修订，
则按届时有效的法律法规执行。
四、若本人/本企业未履行上述承诺，本人/本企业将在恒运昌股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开就
未履行上述承诺向恒运昌股东和社会公众投资者道歉，暂停从恒运昌处取得薪酬（如有）及股东分红（如有），
同时本人/本企业直接或间接持有的恒运昌股份将不得转让，直至本人/本企业按上述承诺采取相应的购回或赔偿措
施并实施完毕时为止。
注 32：公司全体董事、原监事及高级管理人员乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘彭义、赖小琼、王天东、姚志
毅、俞日明、丁鹏、TAN YAN PENG、郑悦佳、庄丽华关于依法承担赔偿责任的承诺
一、恒运昌招股说明书及其他信息披露资料所载内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗
漏，本人对招股说明书及其他信息披露资料所载内容的真实性、准确性和完整性承担个别和连带的法律责任。
二、如恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者
重大遗漏，致使投资者在证券交易中遭受损失，本人将依法赔偿投资者损失。
注 33：公司关于未能履行公开承诺事项的约束措施
一、如果本公司未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本公司将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊
上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。
二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本公司将依法向投资者赔偿相关损失。
三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本公司将采取以下措施：及时、充分披露本
公司承诺未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。
注 34：公司控股股东恒运昌投资关于未能履行公开承诺事项的约束措施
一、如果本公司未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本公司将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊
上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。
二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本公司将依法向投资者赔偿相关损失。
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本公司将采取以下措施：及时、充分披露承
诺未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。
注 35：公司实际控制人乐卫平关于未能履行公开承诺事项的约束措施
一、如果本人未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本人将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公
开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。
二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本人将依法向投资者赔偿相关损失。
三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本人将采取以下措施：及时、充分披露承诺
未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。
注 36：公司其他持股 5%以上股东投资中心、国投大湾区基金、曹立及林伟群关于未能履行公开承诺事项的约束
措施
一、如果本人/本企业未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本人/本企业将在股东会及中国证券监督管理委员会
指定报刊上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。
二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本人/本企业将依法向投资者赔偿相关损失。
三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本人/本企业将采取以下措施：及时、充分披
露承诺未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。
注 37：公司全体董事、原监事、高级管理人员及核心技术人员乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘彭义、赖小琼、
王天东、姚志毅、俞日明、丁鹏、TAN YAN PENG、郑悦佳、庄丽华、林伟群、林桂浩、唐亚海关于未能履行公
开承诺事项的约束措施
一、如果本人未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本人将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公
开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。
二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本人将依法向投资者赔偿相关损失。
三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本人将采取以下措施：及时、充分披露承诺
未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。
注 38：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于避免同业竞争的承诺
一、截至本承诺函出具之日，本企业/本人及本企业/本人控制的其他企业未在中国境内外直接或间接控制其他与公
司及子公司相同、类似或在任何方面构成竞争的企业，或对该等相竞争的企业施以重大影响，亦未直接或间接从
事其他与公司及子公司相同、类似的业务或活动；
二、自本承诺函签署之日起，本企业/本人及本企业/本人控制的其他企业未来将不会在中国境内外直接或间接地以
任何形式从事与公司及子公司相同、类似或在任何方面构成竞争的业务或活动；
三、凡本企业/本人及本企业/本人控制的其他企业拟从事的业务或活动可能与公司及子公司存在同业竞争的，本企
业/本人将促使该业务或业务机会按公平合理的条件优先提供给公司及子公司或采用任何其他可以被监管部门所
认可的方案，避免与公司及子公司形成同业竞争；
四、若本企业/本人违反本承诺给公司或其他投资者造成损失的，本企业/本人将向公司或其他投资者依法承担赔偿
责任；
五、本承诺在本企业/本人作为公司的控股股东/实际控制人期间持续有效。
注 39：公司已出具《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司关于在审期间不进行现金分红的专项承诺》
为维护公司全体股东和投资者的合法权益，恒运昌承诺：公司本次发行上市在审期间不进行现金分红，上市完成
前的滚存未分配利润由本次发行完成后的新老股东按照持股比例共享。
注 40：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于规范和减少关联交易的承诺
一、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易已经充分的披露，不存在虚假陈述或者重大遗漏。
二、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易均按照正常商业行为准则进行，交易价格公允，不
存在损害公司及其子公司权益的情形。
三、本人/本企业所控制的其他任何企业将尽量避免与公司之间产生关联交易事项，对于不可避免发生的关联业务
往来或交易，将在平等、自愿的基础上，按照公平、公允和等价有偿的原则进行，本人/本企业控制的其他企业将
严格按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》《深
圳市恒运昌真空技术股份有限公司关联交易管理制度》等相关规定规范关联交易行为，并将履行合法程序，及时
对关联交易事项进行信息披露；本人/本企业承诺不会利用关联交易转移、输送利润，不会通过公司的经营决策权
损害公司及其他股东的合法权益。
四、本人/本企业将督促本人/本企业的配偶、成年子女及其配偶，子女配偶的父母，本人/本企业的兄弟姐妹及其
配偶、本人/本企业配偶的兄弟姐妹及其配偶，以及本人/本企业投资的企业等关联方，同受本承诺函的约束。
五、本人/本企业承诺以上承诺真实、准确和完整，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏；如若违反本承诺，
本人/本企业将承担相应法律责任。在本人/本企业为公司实际控制人期间，上述承诺持续有效。
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
六、本人/本企业承诺，自本说明出具日起至公司完成上市前，若前述说明情况发生任何变化或发现相关信息存在
错误、遗漏等，则本人/本企业将在相关事实或情况发生后及时告知深圳市恒运昌真空技术股份有限公司及相关中
介机构。
七、若本人/本企业未履行减少和规范关联交易承诺而给公司或其他投资者造成损失的，本人/本企业将向恒运昌或
其他投资者依法承担相应责任。
注 41：其他持股 5%以上股东投资中心、国投大湾区基金、曹立及林伟群关于规范和减少关联交易的承诺
一、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易已经充分的披露，不存在虚假陈述或者重大遗漏。
二、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易均按照正常商业行为准则进行，交易价格公允，不
存在损害公司及其子公司权益的情形。
三、本人/本企业所控制的其他任何企业将尽量避免与公司之间产生关联交易事项，对于不可避免发生的关联业务
往来或交易，将在平等、自愿的基础上，按照公平、公允和等价有偿的原则进行，本人/本企业控制的其他企业将
严格按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》《深
圳市恒运昌真空技术股份有限公司关联交易管理制度》等相关规定规范关联交易行为，并将履行合法程序，及时
对关联交易事项进行信息披露；本人/本企业承诺不会利用关联交易转移、输送利润，不会通过公司的经营决策权
损害公司及其他股东的合法权益。
四、本人/本企业将督促本人/本企业的配偶、成年子女及其配偶，子女配偶的父母，本人/本企业的兄弟姐妹及其
配偶、本人/本企业配偶的兄弟姐妹及其配偶，以及本人/本企业投资的企业等关联方，同受本承诺函的约束。
五、本人/本企业承诺以上承诺真实、准确和完整，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏；如若违反本承诺，
本人/本企业将承担相应法律责任。在本人/本企业为公司实际控制人期间，上述承诺持续有效。
六、本人/本企业承诺，自本说明出具日起至公司完成上市前，若前述说明情况发生任何变化或发现相关信息存在
错误、遗漏等，则本人/本企业将在相关事实或情况发生后及时告知深圳市恒运昌真空技术股份有限公司及相关中
介机构。
七、若本人/本企业未履行减少和规范关联交易承诺而给公司或其他投资者造成损失的，本人/本企业将向恒运昌或
其他投资者依法承担相应责任。
注 42：公司全体董事、原监事及高级管理人员乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘彭义、赖小琼、王天东、姚志
毅、俞日明、丁鹏、TAN YAN PENG、郑悦佳、庄丽华关于规范和减少关联交易的承诺
一、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易已经充分的披露，不存在虚假陈述或者重大遗漏。
二、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易均按照正常商业行为准则进行，交易价格公允，不
存在损害公司及其子公司权益的情形。
三、本人/本企业所控制的其他任何企业将尽量避免与公司之间产生关联交易事项，对于不可避免发生的关联业务
往来或交易，将在平等、自愿的基础上，按照公平、公允和等价有偿的原则进行，本人/本企业控制的其他企业将
严格按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》《深
圳市恒运昌真空技术股份有限公司关联交易管理制度》等相关规定规范关联交易行为，并将履行合法程序，及时
对关联交易事项进行信息披露；本人/本企业承诺不会利用关联交易转移、输送利润，不会通过公司的经营决策权
损害公司及其他股东的合法权益。
四、本人/本企业将督促本人/本企业的配偶、成年子女及其配偶，子女配偶的父母，本人/本企业的兄弟姐妹及其
配偶、本人/本企业配偶的兄弟姐妹及其配偶，以及本人/本企业投资的企业等关联方，同受本承诺函的约束。
五、本人/本企业承诺以上承诺真实、准确和完整，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏；如若违反本承诺，
本人/本企业将承担相应法律责任。在本人/本企业为公司实际控制人期间，上述承诺持续有效。
六、本人/本企业承诺，自本说明出具日起至公司完成上市前，若前述说明情况发生任何变化或发现相关信息存在
错误、遗漏等，则本人/本企业将在相关事实或情况发生后及时告知深圳市恒运昌真空技术股份有限公司及相关中
介机构。
七、若本人/本企业未履行减少和规范关联交易承诺而给公司或其他投资者造成损失的，本人/本企业将向恒运昌或
其他投资者依法承担相应责任。
注 43：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于避免资金占用对外担保的承诺
截至本承诺出具之日，本人/本企业不存在以任何方式违规占用或使用公司的资金、资产和资源的情形，也不存在
违规要求公司为本人/本企业的借款或其他债务提供担保的情形；
自本承诺出具之日起，本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业将严格遵守法律、法规、规范性文件以及公司相
关规章制度的规定，不以任何方式违规占用或使用公司的资金、资产和资源，也不会违规要求公司为本人/本企业
及本人/本企业控制的其他企业的借款或其他债务提供担保；
截至本承诺出具之日，本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业无正在履行的对外担保合同。本人/本企业保证
并确保，本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业不会签署和/或履行任何对外担保协议，不会作出任何对外担
保承诺，不会受任何对外担保义务的约束；
本人/本企业将按《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》的规定，在审议涉及要求公司为本人/本企业及本人
/本企业控制的其他企业提供担保的任何董事会、股东会上回避表决；在审议涉及本人/本企业及本人/本企业控制
的其他企业违规占用公司资金、资产和资源的任何董事会、股东会上投反对票，依法维护公司利益；
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
前述承诺系无条件且不可撤销的，并在本人/本企业继续为公司的实际控制人/控股股东期间持续有效。本人/本企
业违反前述承诺将承担公司、公司其他股东或利益相关方因此所受到的任何损失。
注 44：公司关于不存在重大违法违规行为的承诺
报告期内，本公司不存在任何重大违法违规行为。
本公司承诺以上关于本公司的信息是真实、准确和完整的，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏。若本公司
违反上述保证，本公司将承担相应的法律责任。
注 45：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于不存在重大违法违规行为的承诺
报告期内，本人/本企业不存在任何重大违法违规行为。
本人/本企业承诺，自本声明与承诺出具日起至公司完成上市前，若前述说明情况发生任何变化或发现相关信息存
在错误、遗漏等，则本人/本企业将在相关事实或情况发生后及时告知公司及相关中介机构。
本人/本企业承诺以上关于本人/本企业的信息是真实、准确和完整的，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏。
注 46：公司已出具《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司关于股东信息披露的专项承诺》
股股份，并通过以自有、资管或募集资金投资的已经基金业协会备案的相关金融产品间接持有少量本公司股份。
除上述情形外，本次发行的中介机构或其负责人、高级管理人员、经办人员未直接或间接持有本公司股份；
注 47：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于承担公司社会保险、住房公积金未足额缴纳风险的承诺
部门的行政处罚，亦未就该等事宜与其员工发生任何重大争议、纠纷；
的员工开设社会保险金账户及住房公积金账户，缴存社会保险金及住房公积金；
住房公积金部门或恒运昌及其控制的子公司/分支机构的员工本人/本企业要求补缴或者被追缴社会保险金、住房公
积金的，或者因其未能为其员工缴纳社会保险金、住房公积金而受到社会保障部门、住房公积金部门行政处罚的，
由此所造成的恒运昌或其控制的子公司/分支机构之一切费用开支、经济损失，本人/本企业将予以全额补偿，保证
恒运昌及其控制的子公司/分支机构不因此遭受任何损失。
注 48：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于租赁房产瑕疵有关风险的承诺
若公司及其子公司所租赁的房屋存在瑕疵（包括但不限于未办理租赁备案、根据相关主管部门的要求被拆除或拆
迁、或租赁合同被认定无效）而受到行政处罚出现任何纠纷，给公司造成经济损失（包括但不限于拆除、搬迁的
成本与费用等直接损失，拆除、搬迁期间因此造成的经营损失，被有权部门罚款或者被有关当事人追索而支付的
赔偿等），本人/本企业将在无需公司支付任何对价的情况下向公司承担上述损失的连带赔偿责任，以保证公司不
因房屋租赁瑕疵而遭受经济损失。
注 49：公司股东乐卫平、俞日明关于出资事项有关风险的承诺
就公司设立时本人出资相关事项，公司未因本人的出资行为受到任何行政处罚，公司、股东或公司债权人未以本
人的出资行为提起诉讼或索赔，本人就公司设立时本人的出资行为与第三方不存在任何形式的纠纷或潜在纠纷，
本人的出资行为未给公司造成损失。
若因公司设立时本人出资相关事项导致公司受到任何行政处罚、或被债权人等权利人提起诉讼或索赔、或与第三
方发生纠纷给公司造成损失，本人将承担因此给公司造成的全部损失。
(二)   公司资产或项目存在盈利预测，且报告期仍处在盈利预测期间，公司就资产或项目
是否达到原盈利预测及其原因作出说明
□已达到 □未达到 √不适用
(三) 业绩承诺情况
□适用 √不适用
业绩承诺变更情况
□适用 √不适用
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
其他说明
□适用√不适用
二、报告期内控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况
□适用 √不适用
三、违规担保情况
□适用 √不适用
四、公司董事会对会计师事务所“非标准意见审计报告”的说明
□适用 √不适用
五、公司对会计政策、会计估计变更或重大会计差错更正原因和影响的分析说明
（一）公司对会计政策、会计估计变更原因及影响的分析说明
□适用 √不适用
（二）公司对重大会计差错更正原因及影响的分析说明
□适用 √不适用
（三）与前任会计师事务所进行的沟通情况
□适用 √不适用
（四）审批程序及其他说明
□适用 √不适用
六、聘任、解聘会计师事务所情况
                                          单位：万元币种：人民币
                                           现聘任
境内会计师事务所名称                         天健会计师事务所（特殊普通合伙）
境内会计师事务所报酬                                  108
境内会计师事务所审计年限                                4年
境内会计师事务所注册会计师姓名                         康雪艳、孙惠
境内会计师事务所注册会计师审计服务的累计年限              康雪艳（4 年）、孙惠（4 年）
                         名称                   报酬
内部控制审计会计师事务所      天健会计师事务所（特殊普通合伙）             20
财务顾问                      /                     /
保荐人                  中信证券股份有限公司                 /
聘任、解聘会计师事务所的情况说明
√适用 □不适用
    公司于 2025 年 5 月 30 日召开第一届董事会第七次会议，审议通过了《关于续聘会计师事务
所的议案》。公司拟续聘天健会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司 2025 年度审计机构。2025
年 6 月 20 日，公司召开 2024 年年度股东会，审议通过了《关于续聘会计师事务所的议案》。
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
审计期间改聘会计师事务所的情况说明
□适用 √不适用
审计费用较上一年度下降 20%以上（含 20%）的情况说明
□适用√不适用
七、面临退市风险的情况
(一)导致退市风险警示的原因
□适用 √不适用
(二)公司拟采取的应对措施
□适用 √不适用
(三)面临终止上市的情况和原因
□适用 √不适用
八、破产重整相关事项
□适用 √不适用
九、重大诉讼、仲裁事项
□本年度公司有重大诉讼、仲裁事项 √本年度公司无重大诉讼、仲裁事项
十、上市公司及其董事、高级管理人员、控股股东、实际控制人涉嫌违法违规、受到处罚及整改
情况
□适用 √不适用
十一、报告期内公司及其控股股东、实际控制人诚信状况的说明
□适用 √不适用
十二、重大关联交易
(一) 与日常经营相关的关联交易
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(二)资产或股权收购、出售发生的关联交易
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(三) 共同对外投资的重大关联交易
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(四) 关联债权债务往来
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(五) 公司与存在关联关系的财务公司、公司控股财务公司与关联方之间的金融业务
□适用 √不适用
(六) 其他
□适用 √不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
十三、重大合同及其履行情况
(一) 托管、承包、租赁事项
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(二) 担保情况
□适用 √不适用
(三) 委托他人进行现金资产管理的情况
(1).委托理财总体情况
□适用 √不适用
其他情况
□适用 √不适用
(2).单项委托理财情况
□适用 √不适用
其他情况
□适用 √不适用
(3).委托理财减值准备
□适用 √不适用
(1).委托贷款总体情况
□适用 √不适用
其他情况
□适用 √不适用
(2).单项委托贷款情况
□适用 √不适用
其他情况
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
(3).委托贷款减值准备
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(四) 其他重大合同
□适用 √不适用
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
十四、募集资金使用进展说明
□适用 √不适用
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
十五、其他对投资者作出价值判断和投资决策有重大影响的重大事项的说明
□适用 √不适用
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                  第六节     股份变动及股东情况
一、股本变动情况
(一)   股份变动情况表
报告期内，公司股份总数及股本结构未发生变化。
□适用 √不适用
□适用 √不适用
√适用 □不适用
     根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公
开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕2671 号），并经上海证券交易所同意，公司 A 股股
票在上海证券交易所科创板上市。恒运昌 A 股总股本为 67,701,688 股（每股面值 1.00 元），其中
(二)   限售股份变动情况
□适用 √不适用
二、证券发行与上市情况
(一)截至报告期内证券发行情况
□适用 √不适用
截至报告期内证券发行情况的说明（存续期内利率不同的债券，请分别说明）：
□适用 √不适用
(二)公司股份总数及股东结构变动及公司资产和负债结构的变动情况
□适用 √不适用
三、股东和实际控制人情况
(一) 股东总数
截至报告期末普通股股东总数(户)                                       23
年度报告披露日前上一月末的普通股股东总数(户)                             9,063
截至报告期末表决权恢复的优先股股东总数（户）                                  0
年度报告披露日前上一月末表决权恢复的优先股股东总数（户）                            0
截至报告期末持有特别表决权股份的股东总数（户）                                 0
年度报告披露日前上一月末持有特别表决权股份的股东总数（户）                           0
存托凭证持有人数量
□适用 √不适用
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(二) 截至报告期末前十名股东、前十名流通股东（或无限售条件股东）持股情况表
                                                                        单位：股
            前十名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）
                                                         质押、标记或
                                        持有有限售
 股东名称     报告期   期末持股数                                     冻结情况          股东
                              比例(%)     条件股份数
 （全称）     内增减     量                                                     性质
                                          量              股份
                                                              数量
                                                         状态
深圳市恒运昌
            -    1,310.8051   25.8179       1,310.8051   无     -   境内非国有法人
投资有限公司
乐卫平         -    1,172.1312   23.0866       1,172.1312   无     -   境内自然人
深圳市恒运昌
真空技术投资
            -    1,054.9592   20.7787       1,054.9592   无     -   其他
中心（有限合
伙）
国投（广东）
科技成果转化
创业投资基金      -     413.9245     8.1528        413.9245    无     -   其他
合伙企业（有
限合伙）
江苏瑞芯通宁
半导体产业投
            -     206.9622     4.0764        206.9622    无     -   其他
资基金合伙企
业（有限合伙）
深圳市恒运昌
投资发展中心      -     161.9369     3.1895        161.9369    无     -   其他
（有限合伙）
拓荆科技股份
            -     156.6612     3.0856        156.6612    无     -   境内非国有法人
有限公司
中电科核心技
术研发股权投
资基金（北京）     -      77.1129     1.5188         77.1129    无     -   其他
合伙企业（有
限合伙）
上海浦宸私募
投资基金合伙
            -      77.1129     1.5188         77.1129    无     -   其他
企业（有限合
伙）
上海国策绿色
科技制造私募
投资基金合伙      -      56.5512     1.1138         56.5512    无     -   其他
企业（有限合
伙）
        前十名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）
                     持有无限售条件流通股的   股份种类及数量
        股东名称
                         数量       种类    数量
不适用                          不适用 不适用     不适用
前十名股东中回购专户情况说明       不适用
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
上述股东委托表决权、受托表决权、放弃表
                                不适用
决权的说明
                                截至报告期末：
                                （1）实际控制人乐卫平持有恒运昌投资 70%股权，
                                并担任恒运昌投资的执行董事，恒运昌投资是投资
                                中心及投资发展中心的执行事务合伙人；恒运昌投
上述股东关联关系或一致行动的说明
                                资、投资中心及投资发展中心均为乐卫平控制的企
                                业；
                                （2）除上述情形外，公司未知其他股东间是否存
                                在其他关联关系或一致行动关系。
表决权恢复的优先股股东及持股数量的说明             不适用
持股 5%以上股东、前十名股东及前十名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况
□适用 √不适用
前十名股东及前十名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化
□适用√不适用
前十名有限售条件股东持股数量及限售条件
√适用 □不适用
                                                        单位：股
                                有限售条件股份可上市交易情
                                      况
                  持有的有限售
序号   有限售条件股东名称                           新增可上          限售条件
                  条件股份数量
                                可上市交易时间  市交易股
                                          份数量
     深圳市恒运昌投资有                                        自上市之日起
     限公司                                              36 个月
                                                      自上市之日起
     深圳市恒运昌真空技
                                                      自上市之日起
     伙）
     国投（广东）科技成
                                                      自上市之日起
     合伙企业（有限合伙）
     江苏瑞芯通宁半导体
                                                      自上市之日起
     业（有限合伙）
     深圳市恒运昌投资发                                        自上市之日起
     展中心（有限合伙）                                        36 个月
     拓荆科技股份有限公                                        自上市之日起
     司                                                12 个月
     中电科核心技术研发
                                                      自上市之日起
     合伙企业（有限合伙）
     上海浦宸私募投资基
                                                      自上市之日起
     伙）
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
      上海国策绿色科技制
                                                          自上市之日起
      企业（有限合伙）
                  截至报告期末：
                  （1）实际控制人乐卫平持有恒运昌投资 70%股权，并担任恒运昌
                  投资的执行董事，恒运昌投资是投资中心及投资发展中心的执行事
上述股东关联关系或一致
                  务合伙人；恒运昌投资、投资中心及投资发展中心均为乐卫平控制
行动的说明
                  的企业；
                  （2）除上述情形外，公司未知其他股东间是否存在其他关联关系
                  或一致行动关系。
截至报告期末公司前十名境内存托凭证持有人情况表
□适用 √不适用
持股 5%以上存托凭证持有人、前十名存托凭证持有人及前十名无限售条件存托凭证持有人参与
转融通业务出借股份情况
□适用 √不适用
前十名存托凭证持有人及前十名无限售条件存托凭证持有人因转融通出借/归还原因导致较上期
发生变化
□适用 √不适用
前十名有限售条件存托凭证持有人持有数量及限售条件
□适用 √不适用
(三)截至报告期末表决权数量前十名股东情况表
□适用√不适用
(四)   战略投资者或一般法人因配售新股/存托凭证成为前十名股东
□适用 √不适用
(五)   首次公开发行战略配售情况
√适用□不适用
                                                             单位：股
                                                          包含转融通借出
股东/持有人名    获配的股票/存托凭证       可上市交易        报告期内增减变动数
                                                          股份/存托凭证
   称           数量             时间             量
                                                          的期末持有数量
中信证券资管
恒运昌员工参
与科创板战略            705,576                         0             0
配售集合资产
管理计划
√适用□不适用
                                                             单位：股
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                        包含转融通借
         与保荐机构   获配的股票/存托         可上市交易        报告期内增减   出股份/存托凭
股东名称
          的关系      凭证数量             时间          变动数量    证的期末持有
                                                          数量
中信证券
         保荐机构相                    2028 年 1 月
投资有限                    650,900                     0         0
         关子公司                     28 日
公司
四、控股股东及实际控制人情况
(一) 控股股东情况
√适用 □不适用
名称                  深圳市恒运昌投资有限公司
单位负责人或法定代表人         乐卫平
成立日期                2021 年 8 月 11 日
主要经营业务              以自有资金从事投资活动。
报告期内控股和参股的其他境内外
                    无
上市公司的股权情况
其他情况说明              实际控制人乐卫平的投资控股平台，无实际业务
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
√适用 □不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
上图为截至 2025 年 12 月 31 日股权结构情况。
(二) 实际控制人情况
□适用 √不适用
√适用 □不适用
姓名                         乐卫平
国籍                         中国
是否取得其他国家或地区居留权             否
                           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司董事长、总经
主要职业及职务
                           理、核心技术人员
过去 10 年曾控股的境内外上市公司情况       无
□适用 √不适用
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
上图为截至 2025 年 12 月 31 日股权结构情况。
□适用 √不适用
(三) 控股股东及实际控制人其他情况介绍
□适用 √不适用
五、公司控股股东或第一大股东及其一致行动人累计质押股份数量占其所持公司股份数量比例
达到 80%以上
□适用√不适用
六、其他持股在百分之十以上的法人股东
√适用 □不适用
                                                   单位：万元币种：人民币
           单位负责人或                        组织机构          主要经营业务或
法人股东名称                 成立日期                      注册资本
            法定代表人                         代码           管理活动等情况
深圳市恒运昌
投资中心（有限    乐卫平                                   160.9635
合伙）
情况说明       截至报告期末，投资中心持有公司 20.78%股份
七、股份/存托凭证限制减持情况说明
□适用 √不适用
八、股份回购在报告期的具体实施情况
□适用√不适用
九、优先股相关情况
□适用 √不适用
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
              第七节     债券相关情况
一、公司债券（含企业债券）和非金融企业债务融资工具
□适用 √不适用
          深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
二、可转换公司债券情况
□适用√不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                   第八节        财务报告
一、审计报告
√适用 □不适用
                      审计报告
                   天健审〔2026〕3-110 号
   深圳市恒运昌真空技术股份有限公司全体股东：
   一、审计意见
   我们审计了深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称恒运昌公司）财务报表，包括 2025
年 12 月 31 日的合并及母公司资产负债表，2025 年度的合并及母公司利润表、合并及母公司现金
流量表、合并及母公司所有者权益变动表，以及相关财务报表附注。
   我们认为，后附的财务报表在所有重大方面按照企业会计准则的规定编制，公允反映了恒运
昌公司 2025 年 12 月 31 日的合并及母公司财务状况，以及 2025 年度的合并及母公司经营成果和
现金流量。
  二、形成审计意见的基础
  我们按照中国注册会计师审计准则的规定执行了审计工作。审计报告的“注册会计师对财务
报表审计的责任”部分进一步阐述了我们在这些准则下的责任。按照《中国注册会计师独立性准
则第 1 号——财务报表审计和审阅业务对独立性的要求》和中国注册会计师职业道德守则，我们
独立于恒运昌公司，并履行了职业道德方面的其他责任。我们在审计中遵循了对公众利益实体审
计的独立性要求。我们相信，我们获取的审计证据是充分、适当的，为发表审计意见提供了基础。
  三、关键审计事项
  关键审计事项是我们根据职业判断，认为对本期财务报表审计最为重要的事项。这些事项的
应对以对财务报表整体进行审计并形成审计意见为背景，我们不对这些事项单独发表意见。
  (一) 收入确认
   相关信息披露详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”34.“收入”、七、
“合并财务报表项目注释”61.“营业收入和营业成本”及十九、“母公司财务报表主要项目注释”
   恒运昌公司的营业收入主要来自于自研产品、引进产品及技术服务的销售。2025 年度，恒运
昌公司的营业收入为人民币 529,470,114.60 元。
   由于营业收入是恒运昌公司关键业绩指标之一，可能存在恒运昌公司管理层（以下简称管理
层）通过不恰当的收入确认以达到特定目标或预期的固有风险，且收入确认重大管理层判断，因
此，我们将收入确认确定为关键审计事项。
   针对收入确认，我们实施的审计程序主要包括：
   (1) 了解与收入确认相关的关键内部控制，评价这些控制的设计，确定其是否得到执行，并
测试相关内部控制的运行有效性；
   (2)检查销售合同，了解主要合同条款或条件，评价收入确认方法是否适当；
   (3)按月度、产品、客户等对营业收入和毛利率实施分析程序，识别是否存在重大或异常波动，
并查明原因；
   (4)对于内销收入，选取项目检查相关支持性文件，包括销售合同、订单、销售发票、出库单、
运输对账单、客户签收单、验收单等；对于出口收入，获取电子口岸信息并与账面记录核对，并
选取项目检查相关支持性文件，包括销售合同、出口报关单、货运提单、销售发票等；
   (5)结合应收账款和合同资产函证，选取项目函证销售金额；
   (6)实施截止测试，检查收入是否在恰当期间确认；
   (7)获取资产负债表日后的销售退回记录，检查是否存在资产负债表日不满足收入确认条件的
情况；
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  (8)检查与营业收入相关的信息是否已在财务报表中作出恰当列报。
  (二) 存货可变现净值
  相关信息披露详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”16.“存货”及七“合
并财务报表项目注释”10.“存货”之说明。
  截至 2025 年 12 月 31 日，恒运昌公司存货账面余额为人民币 171,642,215.54 元，跌价准备
为人民币 23,833,379.07 元，账面价值为人民币 147,808,836.47 元。
  存货采用成本与可变现净值孰低计量。管理层按照估计售价减去至完工时估计将要发生的成
本、估计的销售费用和相关税费后的金额确定可变现净值。由于存货金额重大，且确定存货可变
现净值涉及重大管理层判断，我们将存货可变现净值确定为关键审计事项。
  针对存货可变现净值，我们实施的审计程序主要包括：
  (1) 了解与存货可变现净值相关的关键内部控制，评价这些控制的设计，确定其是否得到执
行，并测试相关内部控制的运行有效性；
  (2) 针对管理层以前年度就存货可变现净值所作估计，复核其结果或者管理层对其作出的后
续重新估计；
  (3) 选取项目评价存货估计售价的合理性，复核估计售价是否与销售合同价格、市场销售价
格、历史数据等一致；
  (4) 评价管理层就存货至完工时将要发生的成本、销售费用和相关税费所作估计的合理性；
  (5) 测试管理层对存货可变现净值的计算是否准确；
  (6) 结合存货监盘，识别是否存在库龄较长、型号陈旧、产量下降、生产成本或售价波动、
技术或市场需求变化等情形，评价管理层就存货可变现净值所作估计的合理性；
  (7) 检查与存货可变现净值相关的信息是否已在财务报表中作出恰当列报。
  四、其他信息
  管理层对其他信息负责。其他信息包括年度报告中涵盖的信息，但不包括财务报表和我们的
审计报告。
  我们对财务报表发表的审计意见不涵盖其他信息，我们也不对其他信息发表任何形式的鉴证
结论。
  结合我们对财务报表的审计，我们的责任是阅读其他信息，在此过程中，考虑其他信息是否
与财务报表或我们在审计过程中了解到的情况存在重大不一致或者似乎存在重大错报。
  基于我们已执行的工作，如果我们确定其他信息存在重大错报，我们应当报告该事实。在这
方面，我们无任何事项需要报告。
  五、管理层和治理层对财务报表的责任
  管理层负责按照企业会计准则的规定编制财务报表，使其实现公允反映，并设计、执行和维
护必要的内部控制，以使财务报表不存在由于舞弊或错误导致的重大错报。
  在编制财务报表时，管理层负责评估恒运昌公司的持续经营能力，披露与持续经营相关的事
项（如适用），并运用持续经营假设，除非计划进行清算、终止运营或别无其他现实的选择。
  恒运昌公司治理层（以下简称治理层）负责监督恒运昌公司的财务报告过程。
  六、注册会计师对财务报表审计的责任
  我们的目标是对财务报表整体是否不存在由于舞弊或错误导致的重大错报获取合理保证，并
出具包含审计意见的审计报告。合理保证是高水平的保证，但并不能保证按照审计准则执行的审
计在某一重大错报存在时总能发现。错报可能由于舞弊或错误导致，如果合理预期错报单独或汇
总起来可能影响财务报表使用者依据财务报表作出的经济决策，则通常认为错报是重大的。
  在按照审计准则执行审计工作的过程中，我们运用职业判断，并保持职业怀疑。同时，我们
也执行以下工作：
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  (一) 识别和评估由于舞弊或错误导致的财务报表重大错报风险，设计和实施审计程序以应对
这些风险，并获取充分、适当的审计证据，作为发表审计意见的基础。由于舞弊可能涉及串通、
伪造、故意遗漏、虚假陈述或凌驾于内部控制之上，未能发现由于舞弊导致的重大错报的风险高
于未能发现由于错误导致的重大错报的风险。
  (二) 了解与审计相关的内部控制，以设计恰当的审计程序。
  (三) 评价管理层选用会计政策的恰当性和作出会计估计及相关披露的合理性。
  (四) 对管理层使用持续经营假设的恰当性得出结论。同时，根据获取的审计证据，就可能导
致对恒运昌公司持续经营能力产生重大疑虑的事项或情况是否存在重大不确定性得出结论。如果
我们得出结论认为存在重大不确定性，审计准则要求我们在审计报告中提请报表使用者注意财务
报表中的相关披露；如果披露不充分，我们应当发表非无保留意见。我们的结论基于截至审计报
告日可获得的信息。然而，未来的事项或情况可能导致恒运昌公司不能持续经营。
  (五) 评价财务报表的总体列报、结构和内容，并评价财务报表是否公允反映相关交易和事项。
  (六) 就恒运昌公司中实体或业务活动的财务信息获取充分、适当的审计证据，以对财务报表
发表审计意见。我们负责指导、监督和执行集团审计，并对审计意见承担全部责任。
  我们与治理层就计划的审计范围、时间安排和重大审计发现等事项进行沟通，包括沟通我们
在审计中识别出的值得关注的内部控制缺陷。
  我们还就已遵守与独立性相关的职业道德要求向治理层提供声明，并与治理层沟通可能被合
理认为影响我们独立性的所有关系和其他事项，以及相关的防范措施（如适用）。
  从与治理层沟通过的事项中，我们确定哪些事项对本期财务报表审计最为重要，因而构成关
键审计事项。我们在审计报告中描述这些事项，除非法律法规禁止公开披露这些事项，或在极少
数情形下，如果合理预期在审计报告中沟通某事项造成的负面后果超过在公众利益方面产生的益
处，我们确定不应在审计报告中沟通该事项。
                    天健会计师事务所（特殊普通合伙）中国注册会计师：
                                     （项目合伙人）
                                  中国·杭州中国注册会计师：
                                        二〇二六年四月二十五日
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
二、财务报表
                         合并资产负债表
编制单位：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
                                                       单位：元币种：人民币
      项目           附注        2025 年 12 月 31 日           2024 年 12 月 31 日
流动资产：
 货币资金             七、1                 481,406,878.80         427,113,311.44
 结算备付金
 拆出资金
 交易性金融资产
 衍生金融资产
 应收票据             七、4                   8,648,863.85             189,900.00
 应收账款             七、5                 100,261,915.84          77,852,818.42
 应收款项融资           七、7                  17,952,985.88          10,701,058.41
 预付款项             七、8                  15,946,972.36          16,242,651.61
 应收保费
 应收分保账款
 应收分保合同准备金
 其他应收款            七、9                   4,018,193.49           2,316,876.55
 其中：应收利息
    应收股利
 买入返售金融资产
 存货               七、10                147,808,836.47         159,037,494.34
其中：数据资源
 合同资产             七、6                                           196,362.50
 持有待售资产
 一年内到期的非流动资产
 其他流动资产           七、13                  6,937,176.55           7,056,451.68
  流动资产合计                              782,981,823.24         700,706,924.95
非流动资产：
 发放贷款和垫款
 债权投资
 其他债权投资
 长期应收款
 长期股权投资
 其他权益工具投资
 其他非流动金融资产
 投资性房地产
 固定资产             七、21                 91,810,034.23          69,268,222.10
 在建工程             七、22                    471,439.51          22,177,383.84
 生产性生物资产
 油气资产
 使用权资产            七、25                 13,154,822.10          17,584,823.19
 无形资产             七、26                    449,813.33             872,723.81
 其中：数据资源
 开发支出
          深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 其中：数据资源
 商誉
 长期待摊费用         七、28                 3,055,535.27     2,718,423.74
 递延所得税资产        七、29                 8,625,153.81     3,451,686.79
 其他非流动资产        七、30                   540,106.82       894,108.19
  非流动资产合计                          118,106,905.07   116,967,371.66
    资产总计                           901,088,728.31   817,674,296.61
流动负债：
 短期借款
 向中央银行借款
 拆入资金
 交易性金融负债
 衍生金融负债
 应付票据
 应付账款           七、36                30,038,801.54    40,719,386.87
 预收款项
 合同负债           七、38                23,915,540.52    33,926,125.69
 卖出回购金融资产款
 吸收存款及同业存放
 代理买卖证券款
 代理承销证券款
 应付职工薪酬         七、39                10,709,308.20    20,555,246.00
 应交税费           七、40                10,793,003.08     7,411,920.08
 其他应付款          七、41                   166,022.76       147,684.23
 其中：应付利息
     应付股利
 应付手续费及佣金
 应付分保账款
 持有待售负债
 一年内到期的非流动负债    七、43                10,083,955.00     9,353,692.82
 其他流动负债         七、44                 3,534,236.76       697,076.69
  流动负债合计                            89,240,867.86   112,811,132.38
非流动负债：
 保险合同准备金
 长期借款
 应付债券
 其中：优先股
     永续债
 租赁负债           七、47                 6,568,054.54    11,952,099.40
 长期应付款
 长期应付职工薪酬
 预计负债
 递延收益           七、51                 5,026,847.27    12,943,558.74
 递延所得税负债
 其他非流动负债
  非流动负债合计                           11,594,901.81    24,895,658.14
    负债合计                           100,835,769.67   137,706,790.52
所有者权益（或股东权益）：
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  实收资本（或股本）    七、53      50,771,129.00    50,771,129.00
  其他权益工具
  其中：优先股
     永续债
  资本公积         七、55     474,199,493.24   467,760,905.15
  减：库存股
  其他综合收益       七、57           6,525.00
  专项储备
  盈余公积         七、59      25,385,564.50    16,746,344.01
  一般风险准备
  未分配利润        七、60     249,890,246.90   144,689,127.93
  归属于母公司所有者权益
（或股东权益）合计
  少数股东权益
   所有者权益（或股东权
益）合计
    负债和所有者权益（或
股东权益）总计
公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                      母公司资产负债表
编制单位：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
                                                      单位：元币种：人民币
      项目           附注       2025 年 12 月 31 日           2024 年 12 月 31 日
流动资产：
 货币资金                                470,292,107.25         399,022,910.95
 交易性金融资产
 衍生金融资产
 应收票据                                  8,648,863.85             189,900.00
 应收账款             十九、1               101,211,765.31          80,583,432.62
 应收款项融资                               17,952,985.88          10,701,058.41
 预付款项                                 15,874,669.85          16,075,829.17
 其他应收款            十九、2                 3,844,312.89           2,092,578.42
 其中：应收利息
     应收股利
 存货                                  144,710,912.33         159,006,554.38
 其中：数据资源
 合同资产                                                          196,362.50
 持有待售资产
 一年内到期的非流动资产
 其他流动资产                                                       1,995,542.03
  流动资产合计                             762,535,617.36         669,864,168.48
非流动资产：
 债权投资
 其他债权投资
 长期应收款
 长期股权投资           十九、3                90,409,150.00          82,880,000.00
 其他权益工具投资
 其他非流动金融资产
 投资性房地产
 固定资产                                 29,932,706.25          31,161,709.32
 在建工程                                    238,555.38           1,176,081.82
 生产性生物资产
 油气资产
 使用权资产                                12,717,392.61          16,838,620.02
 无形资产                                    449,813.33             872,723.81
 其中：数据资源
 开发支出
 其中：数据资源
 商誉
 长期待摊费用                                3,055,535.27           2,718,423.74
 递延所得税资产                               8,625,153.81           3,445,431.57
 其他非流动资产                                 540,106.82             621,851.03
  非流动资产合计                            145,968,413.47         139,714,841.31
    资产总计                             908,504,030.83         809,579,009.79
流动负债：
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 短期借款
 交易性金融负债
 衍生金融负债
 应付票据
 应付账款                             28,065,464.75    32,906,663.32
 预收款项
 合同负债                             23,915,540.52    33,926,125.69
 应付职工薪酬                           10,207,861.41    20,139,922.02
 应交税费                             10,755,919.73     7,377,388.58
 其他应付款                               164,791.51       145,756.57
 其中：应付利息
     应付股利
 持有待售负债
 一年内到期的非流动负债                       9,767,120.19     9,028,705.76
 其他流动负债                            3,534,236.76       697,076.69
  流动负债合计                          86,410,934.87   104,221,638.63
非流动负债：
 长期借款
 应付债券
 其中：优先股
     永续债
 租赁负债                              6,486,874.28    11,499,607.25
 长期应付款
 长期应付职工薪酬
 预计负债
 递延收益                              5,026,847.27    12,943,558.74
 递延所得税负债
 其他非流动负债
  非流动负债合计                         11,513,721.55    24,443,165.99
   负债合计                           97,924,656.42   128,664,804.62
所有者权益（或股东权益）：
 实收资本（或股本）                        50,771,129.00    50,771,129.00
 其他权益工具
 其中：优先股
     永续债
 资本公积                            473,849,607.22   467,411,019.13
 减：库存股
 其他综合收益
 专项储备
 盈余公积                             25,385,564.50    16,746,344.01
 未分配利润                           260,573,073.69   145,985,713.03
  所有者权益（或股东权
益）合计
   负债和所有者权益（或
股东权益）总计
公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                         合并利润表
                                                   单位：元币种：人民币
         项目               附注          2025 年度          2024 年度
一、营业总收入                               529,470,114.60   540,790,338.75
其中：营业收入                  七、61         529,470,114.60   540,790,338.75
     利息收入
     已赚保费
     手续费及佣金收入
二、营业总成本                               408,362,754.24    388,565,986.92
其中：营业成本                  七、61         275,509,203.13    278,465,359.95
     利息支出
     手续费及佣金支出
     退保金
     赔付支出净额
     提取保险责任准备金净额
     保单红利支出
     分保费用
     税金及附加               七、62           3,010,911.04      2,230,718.39
     销售费用                七、63           7,487,214.10      8,008,607.37
     管理费用                七、64          45,692,494.19     45,318,893.72
     研发费用                七、65          80,159,179.88     55,279,977.44
     财务费用                七、66          -3,496,248.10       -737,569.95
     其中：利息费用                              739,089.44        722,693.17
         利息收入                           5,276,813.60      2,338,129.42
 加：其他收益                  七、67          17,100,590.78     20,804,273.01
     投资收益（损失以“－”号填列）     七、68                      0      2,604,804.77
     其中：对联营企业和合营企业的投
资收益
        以摊余成本计量的金融资产
终止确认收益
     汇兑收益（损失以“－”号填列）
     净敞口套期收益（损失以“-”号填
列）
     公允价值变动收益（损失以“－”
号填列）
     信用减值损失（损失以“-”号填列）   七、71          -1,660,283.05        -940,124.28
     资产减值损失（损失以“-”号填列）   七、72         -14,508,805.54     -15,364,195.14
     资产处置收益（损失以“－”号填
列）
三、营业利润（亏损以“－”号填列）                     122,038,862.55    159,329,110.19
 加：营业外收入                 七、74             117,189.49        112,213.69
 减：营业外支出                 七、75             579,268.24        279,195.90
四、利润总额（亏损总额以“－”号填列）                   121,576,783.80    159,162,127.98
 减：所得税费用                 七、76           7,736,444.34     17,621,905.38
五、净利润（净亏损以“－”号填列）                     113,840,339.46    141,540,222.60
（一）按经营持续性分类
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
填列）
填列）
（二）按所有权归属分类
损以“-”号填列）
列）
六、其他综合收益的税后净额                   6,525.00
 （一）归属母公司所有者的其他综合收
益的税后净额
益
 （1）重新计量设定受益计划变动额
 （2）权益法下不能转损益的其他综合
收益
 （3）其他权益工具投资公允价值变动
 （4）企业自身信用风险公允价值变动
 （1）权益法下可转损益的其他综合收
益
 （2）其他债权投资公允价值变动
 （3）金融资产重分类计入其他综合收
益的金额
 （4）其他债权投资信用减值准备
 （5）现金流量套期储备
 （6）外币财务报表折算差额                  6,525.00
 （7）其他
 （二）归属于少数股东的其他综合收益
的税后净额
七、综合收益总额                  113,846,864.46 141,540,222.60
 （一）归属于母公司所有者的综合收益
总额
 （二）归属于少数股东的综合收益总额
八、每股收益：
 （一）基本每股收益(元/股)                     2.24           2.79
 （二）稀释每股收益(元/股)                     2.24           2.79
本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元, 上期被合并方实现的
净利润为：0元。
公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                      母公司利润表
                                                   单位：元币种：人民币
        项目            附注             2025 年度           2024 年度
一、营业收入              十九、4             534,157,446.08    542,993,820.84
  减：营业成本            十九、4             280,044,358.62    281,057,093.56
     税金及附加                              2,808,133.02     2,086,933.40
     销售费用                               6,883,049.63     7,925,721.29
     管理费用                             39,352,720.65     42,074,094.95
     研发费用                             80,159,179.88     55,279,977.44
     财务费用                              -3,489,481.50      -774,706.97
     其中：利息费用                              716,810.58       701,268.94
         利息收入                           5,178,441.17     2,188,755.32
  加：其他收益                              17,100,554.91     20,804,273.01
     投资收益（损失以“－”号填
                    十九、5                          -       2,585,546.96
列）
     其中：对联营企业和合营企业
的投资收益
        以摊余成本计量的金融
资产终止确认收益
     净敞口套期收益（损失以“-”
号填列）
     公允价值变动收益（损失以
“－”号填列）
     信用减值损失（损失以“-”号
                                      -1,646,052.39      -1,013,368.60
填列）
     资产减值损失（损失以“-”号
                                     -12,430,089.69     -15,364,195.14
填列）
     资产处置收益（损失以“－”
号填列）
二、营业利润（亏损以“－”号填列）                    131,423,898.61     162,356,963.40
  加：营业外收入                                112,090.59         112,213.69
  减：营业外支出                                579,218.93         278,019.05
三、利润总额（亏损总额以“－”号
填列）
   减：所得税费用                             7,730,189.12      17,564,587.37
四、净利润（净亏损以“－”号填列）                    123,226,581.15     144,626,570.67
  （一）持续经营净利润（净亏损以
“－”号填列）
  （二）终止经营净利润（净亏损以
“－”号填列）
五、其他综合收益的税后净额
  （一）不能重分类进损益的其他综
合收益
额
综合收益
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
变动
变动
 （二）将重分类进损益的其他综合
收益
合收益
合收益的金额
六、综合收益总额                         123,226,581.15   144,626,570.67
七、每股收益：
  （一）基本每股收益(元/股)
  （二）稀释每股收益(元/股)
公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳
          深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                  合并现金流量表
                                                   单位：元币种：人民币
       项目        附注               2025年度              2024年度
一、经营活动产生的现金流量：
 销售商品、提供劳务收到的现
金
 客户存款和同业存放款项净
增加额
 向中央银行借款净增加额
 向其他金融机构拆入资金净
增加额
 收到原保险合同保费取得的
现金
 收到再保业务现金净额
 保户储金及投资款净增加额
 收取利息、手续费及佣金的现
金
 拆入资金净增加额
 回购业务资金净增加额
 代理买卖证券收到的现金净
额
 收到的税费返还                            1,013,243.24        1,250,061.02
 收到其他与经营活动有关的
               七、78                 9,020,086.60       27,176,332.43
现金
   经营活动现金流入小计                     504,519,476.68      596,218,973.32
 购买商品、接受劳务支付的现
金
 客户贷款及垫款净增加额
 存放中央银行和同业款项净
增加额
 支付原保险合同赔付款项的
现金
 拆出资金净增加额
 支付利息、手续费及佣金的现
金
 支付保单红利的现金
 支付给职工及为职工支付的
现金
 支付的各项税费                           31,698,961.68       49,791,357.93
 支付其他与经营活动有关的
               七、78                39,828,843.58       47,237,787.33
现金
   经营活动现金流出小计                     419,731,680.59      496,718,747.75
    经营活动产生的现金流
量净额
二、投资活动产生的现金流量：
 收回投资收到的现金                                     -      560,000,000.00
 取得投资收益收到的现金                                            3,443,243.93
 处置固定资产、无形资产和其
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
他长期资产收回的现金净额
 处置子公司及其他营业单位
收到的现金净额
 收到其他与投资活动有关的
现金
   投资活动现金流入小计                                        563,443,243.93
 购建固定资产、无形资产和其
他长期资产支付的现金
 投资支付的现金                                         -   220,000,000.00
 质押贷款净增加额
 取得子公司及其他营业单位
支付的现金净额
 支付其他与投资活动有关的
现金
   投资活动现金流出小计                        25,891,296.06   305,911,292.72
    投资活动产生的现金流
                                    -25,891,296.06   257,531,951.21
量净额
三、筹资活动产生的现金流量：
 吸收投资收到的现金
 其中：子公司吸收少数股东投
资收到的现金
 取得借款收到的现金
 收到其他与筹资活动有关的
                 七、78                 4,388,929.69
现金
   筹资活动现金流入小计                         4,388,929.69
 偿还债务支付的现金
 分配股利、利润或偿付利息支
付的现金
 其中：子公司支付给少数股东
的股利、利润
 支付其他与筹资活动有关的
                 七、78                 7,998,687.83     6,103,156.10
现金
   筹资活动现金流出小计                         7,998,687.83     6,103,156.10
    筹资活动产生的现金流
                                     -3,609,758.14    -6,103,156.10
量净额
四、汇率变动对现金及现金等价
                                       -993,174.53      -891,874.14
物的影响
五、现金及现金等价物净增加额   七、79                54,293,567.36   350,037,146.54
 加：期初现金及现金等价物余
                 七、79               427,113,311.44    77,076,164.90
额
六、期末现金及现金等价物余额   七、79               481,406,878.80   427,113,311.44
公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳
          深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                 母公司现金流量表
                                                    单位：元币种：人民币
       项目         附注               2025年度              2024年度
一、经营活动产生的现金流量：
 销售商品、提供劳务收到的现
金
 收到的税费返还                             1,009,020.48        1,250,061.02
 收到其他与经营活动有关的
现金
   经营活动现金流入小计                      510,771,453.21      594,897,704.96
 购买商品、接受劳务支付的现
金
 支付给职工及为职工支付的
现金
 支付的各项税费                            31,485,777.10       49,642,636.26
 支付其他与经营活动有关的
现金
   经营活动现金流出小计                      414,943,349.81      494,981,985.49
 经营活动产生的现金流量净
额
二、投资活动产生的现金流量：
 收回投资收到的现金                                             560,000,000.00
 取得投资收益收到的现金                                             3,423,986.12
 处置固定资产、无形资产和其
他长期资产收回的现金净额
 处置子公司及其他营业单位
收到的现金净额
 收到其他与投资活动有关的
现金
   投资活动现金流入小计                                   -      563,423,986.12
 购建固定资产、无形资产和其
他长期资产支付的现金
 投资支付的现金                             7,529,150.00      301,880,000.00
 取得子公司及其他营业单位
                                                -                   -
支付的现金净额
 支付其他与投资活动有关的
                                                -                   -
现金
   投资活动现金流出小计                       20,395,226.23      330,511,199.25
    投资活动产生的现金流
                                   -20,395,226.23      232,912,786.87
量净额
三、筹资活动产生的现金流量：
 吸收投资收到的现金
 取得借款收到的现金
 收到其他与筹资活动有关的
现金
   筹资活动现金流入小计                        4,388,929.69                   -
 偿还债务支付的现金                                      -                   -
 分配股利、利润或偿付利息支                                  -                   -
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
付的现金
 支付其他与筹资活动有关的
现金
   筹资活动现金流出小计                      7,617,348.36     5,912,486.37
    筹资活动产生的现金流
                                  -3,228,418.67    -5,912,486.37
量净额
四、汇率变动对现金及现金等价
                                    -935,262.20      -731,232.08
物的影响
五、现金及现金等价物净增加额                    71,269,196.30   326,184,787.89
 加：期初现金及现金等价物余
额
六、期末现金及现金等价物余额                   470,292,107.25   399,022,910.95
公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳
                                               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                           合并所有者权益变动表
                                                                                                                                单位：元币种：人民币
                                                               归属于母公司所有者权益
                                                                                                                                         少
                             其他权益工                                                             一                                         数
   项目                          具                          减：               专                   般                                         股 所有者权益合
             实收资本(或                                       库     其他综合       项                   风                    其                    东    计
                             优   永        资本公积                                 盈余公积                未分配利润                    小计           权
              股本)                    其                    存      收益        储                   险                    他
                             先   续                                                                                                       益
                                     他                    股                备                   准
                             股   债
                                                                                               备
一、上年年末余额     50,771,129.00               467,760,905.15                        16,746,344.01       144,689,127.93       679,967,506.09    679,967,506.09
二、本年期初余额     50,771,129.00               467,760,905.15               0        16,746,344.01       144,689,127.93       679,967,506.09    679,967,506.09
三、本期增减变动金
额（减少以“－”号填                                 6,438,588.09         6,525.00        8,639,220.49       105,201,118.97       120,285,452.55    120,285,452.55
列）
（一）综合收益总额                                                       6,525.00                           113,840,339.46       113,846,864.46    113,846,864.46
（二）所有者投入和
减少资本
有者权益的金额
（三）利润分配                                                                         8,639,220.49        -8,639,220.49
（四）所有者权益内
部结转
（五）专项储备
四、本期期末余额     50,771,129.00               474,199,493.24         6,525.00       25,385,564.50       249,890,246.90       800,252,958.64    800,252,958.64
                                           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                             归属于母公司所有者权益
                                                                                                                                             少
                              其他权益工具                                其                                                                        数
   项目                                                        减      他     专                                                                  股   所有者权
                                                                                                  一般
             实收资本 (或股              永                         ：      综     项                                             其                    东   益合计
                              优先       其     资本公积                                  盈余公积           风险    未分配利润                  小计
                本)                 续                         库      合     储                                             他                    权
                              股        他                                                          准备
                                   债                         存      收     备                                                                  益
                                                             股      益
一、上年年末余额      50,771,129.00                 466,359,235.80    0       0       0    2,283,686.94    0    17,611,562.40       537,025,614.14
加：会计政策变更                 0
  前期差错更正                 0
  其他                     0
二、本年期初余额      50,771,129.00                 466,359,235.80    0       0       0    2,283,686.94    0    17,611,562.40       537,025,614.14
三、本期增减变动金
额（减少以“－”号填                                    1,401,669.35    0       0       0   14,462,657.07    0   127,077,565.53       142,941,891.95
列）
（一）综合收益总额                                                                                              141,540,222.60       141,540,222.60
（二）所有者投入和                                                                                                                                         1,401,669.
减少资本                                                                                                                                                      35
者权益的金额                                                                                                                                                   35
（三）利润分配                                                                           14,462,657.07    0   -14,462,657.07
（四）所有者权益内
部结转
（五）专项储备
四、本期期末余额      50,771,129.00                 467,760,905.15                        16,746,344.01    0   144,689,127.93       679,967,506.09
公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳
                                         深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                   母公司所有者权益变动表
                                                                                                                      单位：元币种：人民币
       项目       实收资本                    其他权益工具                                             其他综合                        未分配利          所有者权
                                                                资本公积         减：库存股                专项储备   盈余公积
                (或股本)         优先股        永续债        其他                                      收益                           润           益合计
一、上年年末余额                            0          0         0                             0      0      0
二、本年期初余额                            0          0         0                             0      0      0
三、本期增减变动金额（减                                                    6,438,588.                               8,639,220.    114,587,3     129,665,16
少以“－”号填列）                                                               09                                       49        60.66            9.24
（一）综合收益总额                0          0          0         0               0             0      0      0           0
（二）所有者投入和减少资                                                    6,438,588.                                                            6,438,588.
本                                                                       09                                                                    09
的金额                                                                     40                                                                   40
（三）利润分配                                                                  0             0      0      0                                        0
（四）所有者权益内部结转
（五）专项储备
四、本期期末余额                            0          0         0                             0      0      0
       项目       实收资本                    其他权益工具                                             其他综合                        未分配利          所有者权
                                                                资本公积         减：库存股                专项储备   盈余公积
                (或股本)         优先股        永续债        其他                                      收益                           润           益合计
一、上年年末余额                            0          0         0                             0      0      0
加：会计政策变更                  0         0          0         0              0              0      0      0            0            0              0
                                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  前期差错更正                  0   0      0      0               0   0   0   0            0           0              0
  其他                      0   0      0      0               0   0   0   0            0           0              0
二、本年期初余额                      0      0      0                   0   0   0
三、本期增减变动金额（减                                       1,401,669.                14,462,65   130,163,9    146,028,24
少以“－”号填列）                                                  35                     7.07       13.60           0.02
（一）综合收益总额                0    0      0      0               0   0   0   0           0
（二）所有者投入和减少资                                       1,401,669.                                          1,401,669.
本                                                          35                                                  35
资本
的金额                                                        35                                                 35
（三）利润分配                  0    0      0      0               0   0   0   0                                      0
配
（四）所有者权益内部结转             0    0      0      0               0   0   0   0           0            0             0
本）
本）
留存收益
益
（五）专项储备                  0    0      0      0               0   0   0   0           0            0             0
                             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
（六）其他                0   0      0      0              0   0   0   0           0           0            0
四、本期期末余额                 0      0      0                  0   0   0
公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
三、公司基本情况
√适用 □不适用
   深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称公司或本公司）前身系原深圳市恒运昌真空技
术有限公司（以下简称恒运昌有限公司），恒运昌有限公司系由乐卫平、俞日明共同出资组建，
于 2013 年 3 月 19 日 在 深 圳 市 市 场 监 督 管 理 局 登 记 注 册 ， 取 得 统 一 社 会 信 用 代 码 为
司以 2023 年 10 月 31 日为基准日，整体变更为股份有限公司，于 2023 年 12 月 18 日在深圳市市
场监督管理局登记注册，总部位于广东省深圳市。公司现持有统一社会信用代码为
面值 1 元）。其中，有限售条件的流通股份 A 股 54,974,023 股；无限售条件的流通股份 A 股
   本公司属半导体设备行业。主要经营活动为等离子体射频电源系统的研发、生产和销售。
   本财务报表业经公司 2026 年 4 月 25 日第一届第十五次董事会批准对外报出。
四、财务报表的编制基础
本公司财务报表以持续经营为编制基础。
√适用 □不适用
  本公司不存在导致对报告期末起 12 个月内的持续经营能力产生重大疑虑的事项或情况。
五、重要会计政策及会计估计
具体会计政策和会计估计提示：
√适用 □不适用
  重要提示：本公司根据实际生产经营特点针对金融工具减值、存货、固定资产折旧、在建工程、
无形资产、收入确认等交易或事项制定了具体会计政策和会计估计。
 本公司所编制的财务报表符合企业会计准则的要求，真实、完整地反映了公司的财务状况、经
营成果和现金流量等有关信息。
本公司会计年度自公历 1 月 1 日起至 12 月 31 日止。
√适用 □不适用
  公司经营业务的营业周期较短，以 12 个月作为资产和负债的流动性划分标准。
  本公司及境内子公司采用人民币为记账本位币，CSL Vacuum Science and Technology GmbH
等境外子公司从事境外经营，选择其经营所处的主要经济环境中的货币为记账本位币。
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
√适用 □不适用
公司编制和披露财务报表遵循重要性原则，本财务报表附注中披露事项涉及重要性标准判断的事
项及其重要性标准确定方法和选择依据如下：
           项目               重要性标准
重要的核销应收账款            单项金额超过资产总额 0.3%
重要的核销其他应收款           单项金额超过资产总额 0.3%
重要的账龄超过 1 年的预付款项     单项金额超过资产总额 0.3%
重要的账龄超过 1 年的应付账款     单项金额超过资产总额 0.3%
重要的账龄超过 1 年的其他应付款    单项金额超过资产总额 0.3%
重要的账龄超过 1 年或逾期的预收款项  单项金额超过资产总额 0.3%
重要的账龄超过 1 年的合同负债     单项金额超过资产总额 0.3%
重要的在建工程项目            单项金额超过资产总额 0.3%
重要的投资活动现金流量          金额超过资产总额 10%
重要的承诺事项              单项承诺事项影响金额超过资产总额 10.00%
重要的或有事项              单项或有事项影响金额超过资产总额 10.00%
                     影响金额超过资产总额 10.00%的事项确定为
重要的资产负债表日后事项
                     重要的资产负债表日后事项
√适用 □不适用
  公司在企业合并中取得的资产和负债，按照合并日被合并方在最终控制方合并财务报表中的账
面价值计量。公司按照被合并方所有者权益在最终控制方合并财务报表中的账面价值份额与支付
的合并对价账面价值或发行股份面值总额的差额，调整资本公积；资本公积不足冲减的，调整留
存收益。
  公司在购买日对合并成本大于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额的差额，确认
为商誉；如果合并成本小于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额，首先对取得的被
购买方各项可辨认资产、负债及或有负债的公允价值以及合并成本的计量进行复核，经复核后合
并成本仍小于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额的，其差额计入当期损益。
√适用 □不适用
  拥有对被投资方的权力，通过参与被投资方的相关活动而享有可变回报，并且有能力运用对被
投资方的权力影响其可变回报金额的，认定为控制。
  母公司将其控制的所有子公司纳入合并财务报表的合并范围。合并财务报表以母公司及其子公
司的财务报表为基础，根据其他有关资料，由母公司按照《企业会计准则第 33 号——合并财务报
表》编制。
√适用 □不适用
  (1) 确认单独所持有的资产，以及按持有份额确认共同持有的资产；
  (2) 确认单独所承担的负债，以及按持有份额确认共同承担的负债；
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 (3) 确认出售公司享有的共同经营产出份额所产生的收入；
 (4) 按公司持有份额确认共同经营因出售资产所产生的收入；
 (5) 确认单独所发生的费用，以及按公司持有份额确认共同经营发生的费用。
 列示于现金流量表中的现金是指库存现金以及可以随时用于支付的存款。现金等价物是指企业
持有的期限短、流动性强、易于转换为已知金额现金、价值变动风险很小的投资。
√适用 □不适用
  外币交易在初始确认时，采用交易发生日即期汇率的近似汇率折算为人民币金额。资产负债表
日，外币货币性项目采用资产负债表日即期汇率折算，因汇率不同而产生的汇兑差额，除与购建
符合资本化条件资产有关的外币专门借款本金及利息的汇兑差额外，计入当期损益；以历史成本
计量的外币非货币性项目仍采用交易发生日即期汇率的近似汇率折算，不改变其人民币金额；以
公允价值计量的外币非货币性项目，采用公允价值确定日的即期汇率折算，差额计入当期损益或
其他综合收益。
  资产负债表中的资产和负债项目，采用资产负债表日的即期汇率折算；所有者权益项目除“未
分配利润”项目外，其他项目采用交易发生日的即期汇率折算；利润表中的收入和费用项目，采
用交易发生日即期汇率的近似汇率折算。按照上述折算产生的外币财务报表折算差额，计入其他
综合收益。
√适用 □不适用
  金融资产在初始确认时划分为以下三类：(1) 以摊余成本计量的金融资产；(2) 以公允价值计
量且其变动计入其他综合收益的金融资产；(3) 以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资
产。
  金融负债在初始确认时划分为以下四类：(1) 以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负
债；(2) 金融资产转移不符合终止确认条件或继续涉入被转移金融资产所形成的金融负债；(3) 不
属于上述(1)或(2)的财务担保合同，以及不属于上述(1)并以低于市场利率贷款的贷款承诺；(4)
以摊余成本计量的金融负债。
  (1) 金融资产和金融负债的确认依据和初始计量方法
  公司成为金融工具合同的一方时，确认一项金融资产或金融负债。初始确认金融资产或金融负
债时，按照公允价值计量；对于以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产和金融负债，
相关交易费用直接计入当期损益；对于其他类别的金融资产或金融负债，相关交易费用计入初始
确认金额。但是，公司初始确认的应收账款未包含重大融资成分或公司不考虑未超过一年的合同
中的融资成分的，按照《企业会计准则第 14 号——收入》所定义的交易价格进行初始计量。
  (2) 金融资产的后续计量方法
  采用实际利率法，按照摊余成本进行后续计量。以摊余成本计量且不属于任何套期关系的一部
分的金融资产所产生的利得或损失，在终止确认、重分类、按照实际利率法摊销或确认减值时，
计入当期损益。
  采用公允价值进行后续计量。采用实际利率法计算的利息、减值损失或利得及汇兑损益计入当
期损益，其他利得或损失计入其他综合收益。终止确认时，将之前计入其他综合收益的累计利得
或损失从其他综合收益中转出，计入当期损益。
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  采用公允价值进行后续计量。获得的股利（属于投资成本收回部分的除外）计入当期损益，其
他利得或损失计入其他综合收益。终止确认时，将之前计入其他综合收益的累计利得或损失从其
他综合收益中转出，计入留存收益。
  采用公允价值进行后续计量，产生的利得或损失（包括利息和股利收入）计入当期损益，除非
该金融资产属于套期关系的一部分。
  (3) 金融负债的后续计量方法
  此类金融负债包括交易性金融负债（含属于金融负债的衍生工具）和指定为以公允价值计量且
其变动计入当期损益的金融负债。对于此类金融负债以公允价值进行后续计量。因公司自身信用
风险变动引起的指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债的公允价值变动金额计
入其他综合收益，除非该处理会造成或扩大损益中的会计错配。此类金融负债产生的其他利得或
损失（包括利息费用、除因公司自身信用风险变动引起的公允价值变动）计入当期损益，除非该
金融负债属于套期关系的一部分。终止确认时，将之前计入其他综合收益的累计利得或损失从其
他综合收益中转出，计入留存收益。
  按照《企业会计准则第 23 号——金融资产转移》相关规定进行计量。
诺
  在初始确认后按照下列两项金额之中的较高者进行后续计量：① 按照金融工具的减值规定确
定的损失准备金额；② 初始确认金额扣除按照《企业会计准则第 14 号——收入》相关规定所确
定的累计摊销额后的余额。
  采用实际利率法以摊余成本计量。以摊余成本计量且不属于任何套期关系的一部分的金融负债
所产生的利得或损失，在终止确认、按照实际利率法摊销时计入当期损益。
  (4) 金融资产和金融负债的终止确认
  ① 收取金融资产现金流量的合同权利已终止；
  ② 金融资产已转移，且该转移满足《企业会计准则第 23 号——金融资产转移》关于金融资产
终止确认的规定。
金融负债）。
  公司转移了金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬的，终止确认该金融资产，并将转移中产
生或保留的权利和义务单独确认为资产或负债；保留了金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬
的，继续确认所转移的金融资产。公司既没有转移也没有保留金融资产所有权上几乎所有的风险
和报酬的，分别下列情况处理：(1) 未保留对该金融资产控制的，终止确认该金融资产，并将转
移中产生或保留的权利和义务单独确认为资产或负债；(2) 保留了对该金融资产控制的，按照继
续涉入所转移金融资产的程度确认有关金融资产，并相应确认有关负债。
  金融资产整体转移满足终止确认条件的，将下列两项金额的差额计入当期损益：(1) 所转移金
融资产在终止确认日的账面价值；(2) 因转移金融资产而收到的对价，与原直接计入其他综合收
益的公允价值变动累计额中对应终止确认部分的金额（涉及转移的金融资产为以公允价值计量且
其变动计入其他综合收益的债务工具投资）之和。转移了金融资产的一部分，且该被转移部分整
体满足终止确认条件的，将转移前金融资产整体的账面价值，在终止确认部分和继续确认部分之
间，按照转移日各自的相对公允价值进行分摊，并将下列两项金额的差额计入当期损益：(1) 终
止确认部分的账面价值；(2) 终止确认部分的对价，与原直接计入其他综合收益的公允价值变动
累计额中对应终止确认部分的金额（涉及转移的金融资产为以公允价值计量且其变动计入其他综
合收益的债务工具投资）之和。
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 公司采用在当前情况下适用并且有足够可利用数据和其他信息支持的估值技术确定相关金融
资产和金融负债的公允价值。公司将估值技术使用的输入值分以下层级，并依次使用：
 (1) 第一层次输入值是在计量日能够取得的相同资产或负债在活跃市场上未经调整的报价；
 (2) 第二层次输入值是除第一层次输入值外相关资产或负债直接或间接可观察的输入值，包括：
活跃市场中类似资产或负债的报价；非活跃市场中相同或类似资产或负债的报价；除报价以外的
其他可观察输入值，如在正常报价间隔期间可观察的利率和收益率曲线等；市场验证的输入值等；
 (3) 第三层次输入值是相关资产或负债的不可观察输入值，包括不能直接观察或无法由可观察
市场数据验证的利率、股票波动率、企业合并中承担的弃置义务的未来现金流量、使用自身数据
作出的财务预测等。
 公司以预期信用损失为基础，对以摊余成本计量的金融资产、以公允价值计量且其变动计入其
他综合收益的债务工具投资、合同资产、租赁应收款、分类为以公允价值计量且其变动计入当期
损益的金融负债以外的贷款承诺、不属于以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债或不
属于金融资产转移不符合终止确认条件或继续涉入被转移金融资产所形成的金融负债的财务担保
合同进行减值处理并确认损失准备。
 预期信用损失，是指以发生违约的风险为权重的金融工具信用损失的加权平均值。信用损失，
是指公司按照原实际利率折现的、根据合同应收的所有合同现金流量与预期收取的所有现金流量
之间的差额，即全部现金短缺的现值。其中，对于公司购买或源生的已发生信用减值的金融资产，
按照该金融资产经信用调整的实际利率折现。
 对于购买或源生的已发生信用减值的金融资产，公司在资产负债表日仅将自初始确认后整个存
续期内预期信用损失的累计变动确认为损失准备。
 对于由《企业会计准则第 14 号——收入》规范的交易形成的应收款项及合同资产，公司运用
简化计量方法，按照相当于整个存续期内的预期信用损失金额计量损失准备。
 除上述计量方法以外的金融资产，公司在每个资产负债表日评估其信用风险自初始确认后是否
已经显著增加。如果信用风险自初始确认后已显著增加，公司按照整个存续期内预期信用损失的
金额计量损失准备；如果信用风险自初始确认后未显著增加，公司按照该金融工具未来 12 个月内
预期信用损失的金额计量损失准备。
 公司利用可获得的合理且有依据的信息，包括前瞻性信息，通过比较金融工具在资产负债表日
发生违约的风险与在初始确认日发生违约的风险，以确定金融工具的信用风险自初始确认后是否
已显著增加。
 于资产负债表日，若公司判断金融工具只具有较低的信用风险，则假定该金融工具的信用风险
自初始确认后并未显著增加。
 公司以单项金融工具或金融工具组合为基础评估预期信用风险和计量预期信用损失。当以金融
工具组合为基础时，公司以共同风险特征为依据，将金融工具划分为不同组合。
 公司在每个资产负债表日重新计量预期信用损失，由此形成的损失准备的增加或转回金额，作
为减值损失或利得计入当期损益。对于以摊余成本计量的金融资产，损失准备抵减该金融资产在
资产负债表中列示的账面价值；对于以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债权投资，公
司在其他综合收益中确认其损失准备，不抵减该金融资产的账面价值。
 金融资产和金融负债在资产负债表内分别列示，不相互抵销。但同时满足下列条件的，公司以
相互抵销后的净额在资产负债表内列示：(1) 公司具有抵销已确认金额的法定权利，且该种法定
权利是当前可执行的；(2) 公司计划以净额结算，或同时变现该金融资产和清偿该金融负债。
 不满足终止确认条件的金融资产转移，公司不对已转移的金融资产和相关负债进行抵销。
□适用 √不适用
√适用□不适用
按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
√适用 □不适用
            确定组
 项目         合的依                 计量预期信用损失的方法
             据
                  参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预
            票据类
应收银行承兑汇票          测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用损失率，计算预期
            型
                  信用损失
                  参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预
应收账款——账龄
            账龄    测，编制应收账款账龄与整个存续期预期信用损失率对照表，计
组合
                  算预期信用损失
应收账款——合并          参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预
            款项性
范围内关联往来组          测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用损失率，计算预期
            质
合                 信用损失
                  参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预
应收款项融资——    票据类
                  测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用损失率，计算预期
银行承兑汇票组合    型
                  信用损失
                  参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预
合同资产——账龄
            账龄    测，编制合同资产账龄与整个存续期预期信用损失率对照表，计
组合
                  算预期信用损失
                  参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预
其他应收款——账
            账龄    测，编制其他应收款账龄与预期信用损失率对照表，计算预期信
龄组合
                  用损失
其他应收款——合          参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预
            款项性
并范围内关联往来          测，通过违约风险敞口和未来 12 个月内或整个存续期预期信用损
            质
组合                失率，计算预期信用损失
基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法
√适用 □不适用
              应收账款       其他应收款         合同资产预期信用损失率
   账龄
            预期信用损失率（%） 预期信用损失率（%）           （%）
应收账款/其他应收款/合同资产的账龄自初始确认日起算。
按照单项计提坏账准备的认定单项计提判断标准
√适用 □不适用
对信用风险与组合信用风险显著不同的应收款项和合同资产，公司按单项计提预期信用损失。
√适用 □不适用
按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”
基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法
√适用 □不适用
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”
按照单项计提坏账准备的单项计提判断标准
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”
√适用□不适用
按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”
基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”
按照单项计提坏账准备的单项计提判断标准
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”
√适用 □不适用
存货类别、发出计价方法、盘存制度、低值易耗品和包装物的摊销方法
√适用 □不适用
  存货包括在日常活动中持有以备出售的产成品或商品、处在生产过程中的在产品、在生产过程
或提供劳务过程中耗用的材料和物料等。
  发出存货采用月末一次加权平均法。
存货的盘存制度为永续盘存制。
  (1) 低值易耗品
  按照一次转销法进行摊销。
  (2) 包装物
按照一次转销法进行摊销。
存货跌价准备的确认标准和计提方法
√适用 □不适用
  资产负债表日，存货采用成本与可变现净值孰低计量，按照成本高于可变现净值的差额计提存
货跌价准备。直接用于出售的存货，在正常生产经营过程中以该存货的估计售价减去估计的销售
费用和相关税费后的金额确定其可变现净值；需要经过加工的存货，在正常生产经营过程中以所
生产的产成品的估计售价减去至完工时估计将要发生的成本、估计的销售费用和相关税费后的金
额确定其可变现净值；资产负债表日，同一项存货中一部分有合同价格约定、其他部分不存在合
同价格的，分别确定其可变现净值，并与其对应的成本进行比较，分别确定存货跌价准备的计提
或转回的金额。
按照组合计提存货跌价准备的组合类别及确定依据、不同类别存货可变现净值的确定依据
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
基于库龄确认存货可变现净值的各库龄组合可变现净值的计算方法和确定依据
□适用 √不适用
√适用□不适用
合同资产的确认方法及标准
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”。
按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”。
基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”。
按照单项计提坏账准备的认定单项计提判断标准
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”。
□适用 √不适用
划分为持有待售的非流动资产或处置组的确认标准和会计处理方法
□适用 √不适用
终止经营的认定标准和列报方法
□适用 √不适用
√适用 □不适用
  按照相关约定对某项安排存在共有的控制，并且该安排的相关活动必须经过分享控制权的参与
方一致同意后才能决策，认定为共同控制。对被投资单位的财务和经营政策有参与决策的权力，
但并不能够控制或者与其他方一起共同控制这些政策的制定，认定为重大影响。
  (1) 同一控制下的企业合并形成的，合并方以支付现金、转让非现金资产、承担债务或发行权
益性证券作为合并对价的，在合并日按照取得被合并方所有者权益在最终控制方合并财务报表中
的账面价值的份额作为其初始投资成本。长期股权投资初始投资成本与支付的合并对价的账面价
值或发行股份的面值总额之间的差额调整资本公积；资本公积不足冲减的，调整留存收益。
  公司通过多次交易分步实现同一控制下企业合并形成的长期股权投资，判断是否属于“一揽子
交易”。属于“一揽子交易”的，把各项交易作为一项取得控制权的交易进行会计处理。不属于
“一揽子交易”的，在合并日，根据合并后应享有被合并方净资产在最终控制方合并财务报表中
的账面价值的份额确定初始投资成本。合并日长期股权投资的初始投资成本，与达到合并前的长
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
期股权投资账面价值加上合并日进一步取得股份新支付对价的账面价值之和的差额，调整资本公
积；资本公积不足冲减的，调整留存收益。
 (2) 非同一控制下的企业合并形成的，在购买日按照支付的合并对价的公允价值作为其初始投
资成本。
 公司通过多次交易分步实现非同一控制下企业合并形成的长期股权投资，区分个别财务报表和
合并财务报表进行相关会计处理：
成本法核算的初始投资成本。
作为一项取得控制权的交易进行会计处理。不属于“一揽子交易”的，对于购买日之前持有的被
购买方的股权，按照该股权在购买日的公允价值进行重新计量，公允价值与其账面价值的差额计
入当期投资收益；购买日之前持有的被购买方的股权涉及权益法核算下的其他综合收益等的，与
其相关的其他综合收益等转为购买日所属当期收益。但由于被投资方重新计量设定受益计划净负
债或净资产变动而产生的其他综合收益除外。
 (3) 除企业合并形成以外的：以支付现金取得的，按照实际支付的购买价款作为其初始投资成
本；以发行权益性证券取得的，按照发行权益性证券的公允价值作为其初始投资成本；以债务重
组方式取得的，按《企业会计准则第 12 号——债务重组》确定其初始投资成本；以非货币性资产
交换取得的，按《企业会计准则第 7 号——非货币性资产交换》确定其初始投资成本。
 对被投资单位实施控制的长期股权投资采用成本法核算；对联营企业和合营企业的长期股权投
资，采用权益法核算。
 (1) 是否属于“一揽子交易”的判断原则
 通过多次交易分步处置对子公司股权投资直至丧失控制权的，公司结合分步交易的各个步骤的
交易协议条款、分别取得的处置对价、出售股权的对象、处置方式、处置时点等信息来判断分步
交易是否属于“一揽子交易”。各项交易的条款、条件以及经济影响符合以下一种或多种情况，
通常表明多次交易事项属于“一揽子交易”：
 (2) 不属于“一揽子交易”的会计处理
 对处置的股权，其账面价值与实际取得价款之间的差额，计入当期损益。对于剩余股权，对被
投资单位仍具有重大影响或者与其他方一起实施共同控制的，转为权益法核算；不能再对被投资
单位实施控制、共同控制或重大影响的，按照《企业会计准则第 22 号——金融工具确认和计量》
的相关规定进行核算。
 在丧失控制权之前，处置价款与处置长期股权投资相对应享有子公司自购买日或合并日开始持
续计算的净资产份额之间的差额，调整资本公积（资本溢价），资本溢价不足冲减的，冲减留存
收益。
 丧失对原子公司控制权时，对于剩余股权，按照其在丧失控制权日的公允价值进行重新计量。
处置股权取得的对价与剩余股权公允价值之和，减去按原持股比例计算应享有原有子公司自购买
日或合并日开始持续计算的净资产的份额之间的差额，计入丧失控制权当期的投资收益，同时冲
减商誉。与原有子公司股权投资相关的其他综合收益等，应当在丧失控制权时转为当期投资收益。
 (3) 属于“一揽子交易”的会计处理
 将各项交易作为一项处置子公司并丧失控制权的交易进行会计处理。但是，在丧失控制权之前
每一次处置价款与处置投资对应的长期股权投资账面价值之间的差额，在个别财务报表中确认为
其他综合收益，在丧失控制权时一并转入丧失控制权当期的损益。
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 将各项交易作为一项处置子公司并丧失控制权的交易进行会计处理。但是，在丧失控制权之前
每一次处置价款与处置投资对应的享有该子公司净资产份额的差额，在合并财务报表中确认为其
他综合收益，在丧失控制权时一并转入丧失控制权当期的损益。
(1).确认条件
√适用 □不适用
  固定资产是指为生产商品、提供劳务、出租或经营管理而持有的，使用年限超过一个会计年度
的有形资产。固定资产在同时满足经济利益很可能流入、成本能够可靠计量时予以确认。
(2).折旧方法
√适用 □不适用
   类别         折旧方法    折旧年限（年）           残值率（%）    年折旧率（%）
房屋及建筑物      年限平均法    20             5            4.75
机器设备        年限平均法    3-10           5            9.50-31.67
运输工具        年限平均法    3-4            5            23.75-31.67
电子设备及其他     年限平均法    3-5            5            19.00-31.67
√适用 □不适用
造该项资产达到预定可使用状态前所发生的实际成本计量。
态但尚未办理竣工决算的，先按估计价值转入固定资产，待办理竣工决算后再按实际成本调整原
暂估价值，但不再调整原已计提的折旧。
 类别               在建工程结转为固定资产的标准和时点
房屋及建筑物    主体建设工程及配套工程已实质完工、达到预定设计要求并经验收
机器设备      安装调试后达到设计要求或合同规定的标准
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(1).使用寿命及其确定依据、估计情况、摊销方法或复核程序
√适用 □不适用
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
现方式系统合理地摊销，无法可靠确定预期实现方式的，采用直线法摊销。具体如下：
 项目               使用寿命及其确定依据           摊销方法
软件       按预期受益期限确定使用寿命为 2-5 年        直线法
(2).研发支出的归集范围及相关会计处理方法
√适用 □不适用
  (1) 人员人工费用
  人员人工费用包括公司研发人员的工资薪金、基本养老保险费、基本医疗保险费、失业保险费、
工伤保险费、生育保险费和住房公积金，以及外聘研发人员的劳务费用。
  研发人员同时服务于多个研究开发项目的，人工费用的确认依据公司管理部门提供的各研究开
发项目研发人员的工时记录，在不同研究开发项目间按比例分配。
  直接从事研发活动的人员、外聘研发人员同时从事非研发活动的，公司根据研发人员在不同岗
位的工时记录，将其实际发生的人员人工费用，按实际工时占比等合理方法在研发费用和生产经
营费用间分配。
  (2) 直接投入费用
  直接投入费用是指公司为实施研究开发活动而实际发生的相关支出。包括：1) 直接消耗的材
料、燃料和动力费用；2) 用于中间试验和产品试制的模具、工艺装备开发及制造费，不构成固定
资产的样品、样机及一般测试手段购置费，试制产品的检验费；3) 用于研究开发活动的仪器、设
备的运行维护、调整、检验、检测、维修等费用。
  (3) 折旧费用与长期待摊费用
  折旧费用是指用于研究开发活动的仪器、设备和在用建筑物的折旧费。
  用于研发活动的仪器、设备及在用建筑物，同时又用于非研发活动的，对该类仪器、设备、在
用建筑物使用情况做必要记录，并将其实际发生的折旧费按实际工时和使用面积等因素，采用合
理方法在研发费用和生产经营费用间分配。
  长期待摊费用是指研发设施的改建、改装、装修和修理过程中发生的长期待摊费用，按实际支
出进行归集，在规定的期限内分期平均摊销。
  (4) 无形资产摊销费用
  无形资产摊销费用是指用于研究开发活动的软件的摊销费用。
  (5) 委托外部研究开发费用
  委托外部研究开发费用是指公司委托境内外其他机构或个人进行研究开发活动所发生的费用
（研究开发活动成果为公司所拥有，且与公司的主要经营业务紧密相关）。
  (6) 其他费用
  其他费用是指上述费用之外与研究开发活动直接相关的其他费用，包括技术图书资料费、资料
翻译费、专家咨询费、高新科技研发保险费，研发成果的检索、论证、评审、鉴定、验收费用，
知识产权的申请费、注册费、代理费，会议费、差旅费、通讯费等。
的支出，同时满足下列条件的，确认为无形资产：(1) 完成该无形资产以使其能够使用或出售在
技术上具有可行性；(2) 具有完成该无形资产并使用或出售的意图；(3) 无形资产产生经济利益
的方式，包括能够证明运用该无形资产生产的产品存在市场或无形资产自身存在市场，无形资产
将在内部使用的，能证明其有用性；(4)有足够的技术、财务资源和其他资源支持，以完成该无形
资产的开发，并有能力使用或出售该无形资产；(5)归属于该无形资产开发阶段的支出能够可靠地
计量。
√适用 □不适用
  对长期股权投资、采用成本模式计量的投资性房地产、固定资产、在建工程、使用权资产、使
用寿命有限的无形资产等长期资产，在资产负债表日有迹象表明发生减值的，估计其可收回金额。
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
对因企业合并所形成的商誉和使用寿命不确定的无形资产，无论是否存在减值迹象，每年都进行
减值测试。商誉结合与其相关的资产组或者资产组组合进行减值测试。
 若上述长期资产的可收回金额低于其账面价值的，按其差额确认资产减值准备并计入当期损益。
√适用 □不适用
  长期待摊费用核算已经支出，摊销期限在 1 年以上（不含 1 年）的各项费用。长期待摊费用按
实际发生额入账，在受益期或规定的期限内分期平均摊销。如果长期待摊的费用项目不能使以后
会计期间受益则将尚未摊销的该项目的摊余价值全部转入当期损益。
√适用 □不适用
公司根据履行履约义务与客户付款之间的关系在资产负债表中列示合同资产或合同负债。公司将
同一合同下的合同资产和合同负债相互抵销后以净额列示。
公司将拥有的、无条件(即，仅取决于时间流逝)向客户收取对价的权利作为应收款项列示，将已
向客户转让商品而有权收取对价的权利（该权利取决于时间流逝之外的其他因素）作为合同资产
列示。
公司将已收或应收客户对价而应向客户转让商品的义务作为合同负债列示。
(1).短期薪酬的会计处理方法
√适用 □不适用
  在职工为公司提供服务的会计期间，将实际发生的短期薪酬确认为负债，并计入当期损益或相
关资产成本。
(2).离职后福利的会计处理方法
√适用 □不适用
  离职后福利分为设定提存计划和设定受益计划。
  (1) 在职工为公司提供服务的会计期间，根据设定提存计划计算的应缴存金额确认为负债，并
计入当期损益或相关资产成本。
  (2) 对设定受益计划的会计处理通常包括下列步骤：
量等作出估计，计量设定受益计划所产生的义务，并确定相关义务的所属期间。同时，对设定受
益计划所产生的义务予以折现，以确定设定受益计划义务的现值和当期服务成本；
成的赤字或盈余确认为一项设定受益计划净负债或净资产。设定受益计划存在盈余的，以设定受
益计划的盈余和资产上限两项的孰低者计量设定受益计划净资产；
产的利息净额以及重新计量设定受益计划净负债或净资产所产生的变动等三部分，其中服务成本
和设定受益计划净负债或净资产的利息净额计入当期损益或相关资产成本，重新计量设定受益计
划净负债或净资产所产生的变动计入其他综合收益，并且在后续会计期间不允许转回至损益，但
可以在权益范围内转移这些在其他综合收益确认的金额。
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(3).辞退福利的会计处理方法
√适用 □不适用
向职工提供的辞退福利，在下列两者孰早日确认辞退福利产生的职工薪酬负债，并计入当期损益：
(1) 公司不能单方面撤回因解除劳动关系计划或裁减建议所提供的辞退福利时；(2) 公司确认与涉
及支付辞退福利的重组相关的成本或费用时。
(4).其他长期职工福利的会计处理方法
√适用 □不适用
向职工提供的其他长期福利，符合设定提存计划条件的，按照设定提存计划的有关规定进行会计
处理；除此之外的其他长期福利，按照设定受益计划的有关规定进行会计处理，为简化相关会计
处理，将其产生的职工薪酬成本确认为服务成本、其他长期职工福利净负债或净资产的利息净额
以及重新计量其他长期职工福利净负债或净资产所产生的变动等组成项目的总净额计入当期损益
或相关资产成本。
√适用 □不适用
的现时义务，履行该义务很可能导致经济利益流出公司，且该义务的金额能够可靠的计量时，公
司将该项义务确认为预计负债。
债表日对预计负债的账面价值进行复核。
√适用 □不适用
  包括以权益结算的股份支付和以现金结算的股份支付。
  (1) 以权益结算的股份支付
  授予后立即可行权的换取职工服务的以权益结算的股份支付，在授予日按照权益工具的公允价
值计入相关成本或费用，相应调整资本公积。完成等待期内的服务或达到规定业绩条件才可行权
的换取职工服务的以权益结算的股份支付，在等待期内的每个资产负债表日，以对可行权权益工
具数量的最佳估计为基础，按权益工具授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费
用，相应调整资本公积。
  换取其他方服务的权益结算的股份支付，如果其他方服务的公允价值能够可靠计量的，按照其
他方服务在取得日的公允价值计量；如果其他方服务的公允价值不能可靠计量，但权益工具的公
允价值能够可靠计量的，按照权益工具在服务取得日的公允价值计量，计入相关成本或费用，相
应增加所有者权益。
  (2) 以现金结算的股份支付
  授予后立即可行权的换取职工服务的以现金结算的股份支付，在授予日按公司承担负债的公允
价值计入相关成本或费用，相应增加负债。完成等待期内的服务或达到规定业绩条件才可行权的
换取职工服务的以现金结算的股份支付，在等待期内的每个资产负债表日，以对可行权情况的最
佳估计为基础，按公司承担负债的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和相应的负
债。
  (3) 修改、终止股份支付计划
  如果修改增加了所授予的权益工具的公允价值，公司按照权益工具公允价值的增加相应地确认
取得服务的增加；如果修改增加了所授予的权益工具的数量，公司将增加的权益工具的公允价值
相应地确认为取得服务的增加；如果公司按照有利于职工的方式修改可行权条件，公司在处理可
行权条件时，考虑修改后的可行权条件。
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 如果修改减少了授予的权益工具的公允价值，公司继续以权益工具在授予日的公允价值为基础，
确认取得服务的金额，而不考虑权益工具公允价值的减少；如果修改减少了授予的权益工具的数
量，公司将减少部分作为已授予的权益工具的取消来进行处理；如果以不利于职工的方式修改了
可行权条件，在处理可行权条件时，不考虑修改后的可行权条件。
 如果公司在等待期内取消了所授予的权益工具或结算了所授予的权益工具（因未满足可行权条
件而被取消的除外），则将取消或结算作为加速可行权处理，立即确认原本在剩余等待期内确认
的金额。
□适用 √不适用
(1).按照业务类型披露收入确认和计量所采用的会计政策
√适用 □不适用
   于合同开始日，公司对合同进行评估，识别合同所包含的各单项履约义务，并确定各单项履约
义务是在某一时段内履行，还是在某一时点履行。
   满足下列条件之一时，属于在某一时段内履行履约义务，否则，属于在某一时点履行履约义务：
(1) 客户在公司履约的同时即取得并消耗公司履约所带来的经济利益；(2) 客户能够控制公司履
约过程中在建商品；(3) 公司履约过程中所产出的商品具有不可替代用途，且公司在整个合同期
间内有权就累计至今已完成的履约部分收取款项。
   对于在某一时段内履行的履约义务，公司在该段时间内按照履约进度确认收入。履约进度不能
合理确定时，已经发生的成本预计能够得到补偿的，按照已经发生的成本金额确认收入，直到履
约进度能够合理确定为止。对于在某一时点履行的履约义务，在客户取得相关商品或服务控制权
时点确认收入。在判断客户是否已取得商品控制权时，公司考虑下列迹象：(1)公司就该商品享有
现时收款权利，即客户就该商品负有现时付款义务；(2)公司已将该商品的法定所有权转移给客户，
即客户已拥有该商品的法定所有权；(3)公司已将该商品实物转移给客户，即客户已实物占有该商
品；(4)公司已将该商品所有权上的主要风险和报酬转移给客户，即客户已取得该商品所有权上的
主要风险和报酬；(5)客户已接受该商品；(6)其他表明客户已取得商品控制权的迹象。
   (1)公司按照分摊至各单项履约义务的交易价格计量收入。交易价格是公司因向客户转让商品
或服务而预期有权收取的对价金额，不包括代第三方收取的款项以及预期将退还给客户的款项。
   (2)合同中存在可变对价的，公司按照期望值或最可能发生金额确定可变对价的最佳估计数，
但包含可变对价的交易价格，不超过在相关不确定性消除时累计已确认收入极可能不会发生重大
转回的金额。
   (3)合同中存在重大融资成分的，公司按照假定客户在取得商品或服务控制权时即以现金支付
的应付金额确定交易价格。该交易价格与合同对价之间的差额，在合同期间内采用实际利率法摊
销。合同开始日，公司预计客户取得商品或服务控制权与客户支付价款间隔不超过一年的，不考
虑合同中存在的重大融资成分。
   (4)合同中包含两项或多项履约义务的，公司于合同开始日，按照各单项履约义务所承诺商品
的单独售价的相对比例，将交易价格分摊至各单项履约义务。
   (1) 商品销售业务
给客户签收，客户确认领用后确认收入；非寄售业务，公司已根据合同约定将产品交付给客户，
客户签收后确认收入；②外销：公司已根据合同约定将产品报关出口并取得提单后确认收入。
收且取得验收单后确认收入。
   (2) 服务业务
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 公司已根据合同约定向客户提供服务，向客户交付最终的工作内容或成果，经客户确认服务完
成后确认收入。
(2).同类业务采用不同经营模式涉及不同收入确认方式及计量方法
□适用 √不适用
√适用 □不适用
  合同取得成本、合同履约成本
  公司为取得合同发生的增量成本预期能够收回的，作为合同取得成本确认为一项资产。
  公司为履行合同发生的成本，不适用存货、固定资产或无形资产等相关准则的规范范围且同时
满足下列条件的，作为合同履约成本确认为一项资产：
类似费用）、明确由客户承担的成本以及仅因该合同而发生的其他成本；
  公司对于与合同成本有关的资产采用与该资产相关的商品或服务收入确认相同的基础进行摊
销，计入当期损益。
 如果与合同成本有关的资产的账面价值高于因转让与该资产相关的商品或服务预期能够取得
的剩余对价减去估计将要发生的成本，公司对超出部分计提减值准备，并确认为资产减值损失。
以前期间减值的因素之后发生变化，使得转让该资产相关的商品或服务预期能够取得的剩余对价
减去估计将要发生的成本高于该资产账面价值的，转回原已计提的资产减值准备，并计入当期损
益，但转回后的资产账面价值不超过假定不计提减值准备情况下该资产在转回日的账面价值。
√适用 □不适用
司能够收到政府补助。政府补助为货币性资产的，按照收到或应收的金额计量。政府补助为非货
币性资产的，按照公允价值计量；公允价值不能可靠取得的，按照名义金额计量。
  政府文件规定用于购建或以其他方式形成长期资产的政府补助划分为与资产相关的政府补助。
政府文件不明确的，以取得该补助必须具备的基本条件为基础进行判断，以购建或其他方式形成
长期资产为基本条件的作为与资产相关的政府补助。与资产相关的政府补助，冲减相关资产的账
面价值或确认为递延收益。与资产相关的政府补助确认为递延收益的，在相关资产使用寿命内按
照合理、系统的方法分期计入损益。按照名义金额计量的政府补助，直接计入当期损益。相关资
产在使用寿命结束前被出售、转让、报废或发生毁损的，将尚未分配的相关递延收益余额转入资
产处置当期的损益。
  除与资产相关的政府补助之外的政府补助划分为与收益相关的政府补助。对于同时包含与资产
相关部分和与收益相关部分的政府补助，难以区分与资产相关或与收益相关的，整体归类为与收
益相关的政府补助。与收益相关的政府补助，用于补偿以后期间的相关成本费用或损失的，确认
为递延收益，在确认相关成本费用或损失的期间，计入当期损益或冲减相关成本；用于补偿已发
生的相关成本费用或损失的，直接计入当期损益或冲减相关成本。
费用。与公司日常活动无关的政府补助，计入营业外收支。
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 (1) 财政将贴息资金拨付给贷款银行，由贷款银行以政策性优惠利率向公司提供贷款的，以实
际收到的借款金额作为借款的入账价值，按照借款本金和该政策性优惠利率计算相关借款费用。
 (2) 财政将贴息资金直接拨付给公司的，将对应的贴息冲减相关借款费用。
√适用 □不适用
作为承租方对短期租赁和低价值资产租赁进行简化处理的判断依据和会计处理方法
√适用 □不适用
  公司作为承租人
  在租赁期开始日，公司将租赁期不超过 12 个月，且不包含购买选择权的租赁认定为短期租赁；
将单项租赁资产为全新资产时价值较低的租赁认定为低价值资产租赁。公司转租或预期转租租赁
资产的，原租赁不认定为低价值资产租赁。
  对于所有短期租赁和低价值资产租赁，公司在租赁期内各个期间按照直线法将租赁付款额计入
相关资产成本或当期损益。
  除上述采用简化处理的短期租赁和低价值资产租赁外，在租赁期开始日，公司对租赁确认使用
权资产和租赁负债。
  (1) 使用权资产
  使用权资产按照成本进行初始计量，该成本包括：1) 租赁负债的初始计量金额；2) 在租赁期
开始日或之前支付的租赁付款额，存在租赁激励的，扣除已享受的租赁激励相关金额；3) 承租人
发生的初始直接费用；4) 承租人为拆卸及移除租赁资产、复原租赁资产所在场地或将租赁资产恢
复至租赁条款约定状态预计将发生的成本。
  公司按照直线法对使用权资产计提折旧。能够合理确定租赁期届满时取得租赁资产所有权的，
公司在租赁资产剩余使用寿命内计提折旧。无法合理确定租赁期届满时能够取得租赁资产所有权
的，公司在租赁期与租赁资产剩余使用寿命两者孰短的期间内计提折旧。
  (2) 租赁负债
  在租赁期开始日，公司将尚未支付的租赁付款额的现值确认为租赁负债。计算租赁付款额现值
时采用租赁内含利率作为折现率，无法确定租赁内含利率的，采用公司增量借款利率作为折现率。
租赁付款额与其现值之间的差额作为未确认融资费用，在租赁期各个期间内按照确认租赁付款额
现值的折现率确认利息费用，并计入当期损益。未纳入租赁负债计量的可变租赁付款额于实际发
生时计入当期损益。
  租赁期开始日后，当实质固定付款额发生变动、担保余值预计的应付金额发生变化、用于确定
租赁付款额的指数或比率发生变动、购买选择权、续租选择权或终止选择权的评估结果或实际行
权情况发生变化时，公司按照变动后的租赁付款额的现值重新计量租赁负债，并相应调整使用权
资产的账面价值，如使用权资产账面价值已调减至零，但租赁负债仍需进一步调减的，将剩余金
额计入当期损益。
作为出租方的租赁分类标准和会计处理方法
□适用 √不适用
√适用 □不适用
税法规定可以确定其计税基础的，该计税基础与其账面数之间的差额），按照预期收回该资产或
清偿该负债期间的适用税率计算确认递延所得税资产或递延所得税负债。
负债表日，有确凿证据表明未来期间很可能获得足够的应纳税所得额用来抵扣可抵扣暂时性差异
的，确认以前会计期间未确认的递延所得税资产。
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
够的应纳税所得额用以抵扣递延所得税资产的利益，则减记递延所得税资产的账面价值。在很可
能获得足够的应纳税所得额时，转回减记的金额。
生的所得税：(1) 企业合并；(2) 直接在所有者权益中确认的交易或者事项。
拥有以净额结算当期所得税资产及当期所得税负债的法定权利；(2) 递延所得税资产和递延所得
税负债是与同一税收征管部门对同一纳税主体征收的所得税相关或者对不同的纳税主体相关，但
在未来每一具有重要性的递延所得税资产和递延所得税负债转回的期间内，涉及的纳税主体意图
以净额结算当期所得税资产及当期所得税负债或是同时取得资产、清偿债务。
□适用 √不适用
详见第五节“重要事项”的“五、公司对会计政策、会计估计变更或重大会计差错更正原因和影
响的分析说明”。
□适用√不适用
□适用 √不适用
六、税项
主要税种及税率情况
√适用 □不适用
      税种              计税依据                  税率
               以按税法规定计算的销售货物
               和应税劳务收入为基础计算销
增值税            项税额，扣除当期允许抵扣的进      19%、13%、6%
               项税额后，差额部分为应交增值
               税
               从价计征的，按房产原值一次减
房产税                                1.20%
               除 30%后余值的 1.2%计缴
城市维护建设税        实际缴纳的流转税税额          7%
教育费附加          实际缴纳的流转税税额          3%
地方教育附加         实际缴纳的流转税税额          2%
企业所得税          应纳税所得额              15%、20%、15.825%
存在不同企业所得税税率纳税主体的，披露情况说明
√适用 □不适用
        纳税主体名称                       所得税税率
公司                                                   15%
深圳市百世达半导体设备有限公司                                      20%
                      深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
恒运昌真空技术（沈阳）有限公司                                                     20%
恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司                                                  20%
CSL Vacuum Science and Technology GmbH                          15.825%
√适用 □不适用
所得税税收优惠政策，有效期为三年，2025-2027 年享受 15%的企业所得税优惠税率。
（2023 年第 12 号）文件的规定，对小型微利企业减按 25%计算应纳税所得额，按 20%的税率缴纳
企业所得税政策，延续执行至 2027 年 12 月 31 日。
  子公司深圳市百世达半导体设备有限公司、恒运昌真空技术（沈阳）有限公司、恒运昌京昇半
导体科技（北京）有限公司享受上述优惠政策。
机企业研发费用加计扣除比例的公告》（2023 年第 44 号）的规定，集成电路企业和工业母机企
业开展研发活动中实际发生的研发费用，未形成无形资产计入当期损益的，在按规定据实扣除的
基础上，在 2023 年 1 月 1 日至 2027 年 12 月 31 日期间，再按照实际发生额的 120%在税前扣除；
形成无形资产的，在上述期间按照无形资产成本的 220%在税前摊销。
  公司享受上述优惠政策。
（2023 年第 12 号）文件的规定，自 2023 年 1 月 1 日至 2027 年 12 月 31 日，对增值税小规模纳
税人、小型微利企业和个体工商户减半征收资源税（不含水资源税）、城市维护建设税、房产税、
城镇土地使用税、印花税（不含证券交易印花税）、耕地占用税和教育费附加、地方教育附加。
  子公司深圳市百世达半导体设备有限公司、恒运昌真空技术（沈阳）有限公司、恒运昌京昇半
导体科技（北京）有限公司享受上述优惠政策。
号) 文件的规定，自 2023 年 1 月 1 日至 2027 年 12 月 31 日，允许集成电路设计、生产、封测、
装备、材料企业，按照当期可抵扣进项税额加计 15%抵减应纳增值税税额。
  公司属于符合条件的集成电路企业，可享受上述增值税加计抵减优惠政策。
□适用 √不适用
七、合并财务报表项目注释
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
    项目                           期末余额                期初余额
银行存款                                481,406,340.46       427,112,773.49
其他货币资金                                      538.34               537.95
合计                                  481,406,878.80       427,113,311.44
其他说明
报告期各期末，其他货币资金均为证券账户余额，使用不受限制。
□适用 √不适用
                   深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
(1). 应收票据分类列示
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
      项目                         期末余额                           期初余额
银行承兑汇票                               8,648,863.85                   189,900.00
      合计                             8,648,863.85                   189,900.00
(2). 期末公司已质押的应收票据
□适用 √不适用
(3). 期末公司已背书或贴现且在资产负债表日尚未到期的应收票据
√适用 □不适用
                                                            单位：元币种：人民币
     项目                    期末终止确认金额                        期末未终止确认金额
银行承兑票据                                                           3,335,908.85
     合计                                                          3,335,908.85
(4). 按坏账计提方法分类披露
√适用 □不适用
                                                       单位：元币种：人民币
                       期末余额                           期初余额
            账面余额         坏账准备                  账面余额     坏账准备
  类别                        计提        账面                   计提  账面
                 比例                               比例
          金额            金额  比例        价值      金额       金额  比例  价值
                 (%)                              (%)
                            (%)                            (%)
按组合计提            100.0                        189,9   100.0               189,9
坏账准备                 0                        00.00       0               00.00
其中：
银行承兑汇              100.0                      189,9   100.0               189,9
票                      0                      00.00       0               00.00
  合计      863.8     /        /       863.8             /             /
按单项计提坏账准备：
□适用√不适用
按组合计提坏账准备：
√适用□不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
组合计提项目：账龄组合
                                            单位：元币种：人民币
                                     期末余额
    名称
             账面余额                    坏账准备
                                  计提比例（%）
银行承兑汇票组合       8,648,863.85
     合计        8,648,863.85
按组合计提坏账准备的说明
√适用 □不适用
按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估
计”13.“应收账款”。
按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无。
对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
(5). 坏账准备的情况
□适用 √不适用
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用√不适用
其他说明：
无。
(6). 本期实际核销的应收票据情况
□适用 √不适用
其中重要的应收票据核销情况：
□适用 √不适用
应收票据核销说明：
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(1).按账龄披露
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
       账龄              期末账面余额               期初账面余额
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
           合计                                 105,835,418.62                    82,302,110.31
(2).按坏账计提方法分类披露
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
                        期末余额                                  期初余额
                账面余额      坏账准备                         账面余额     坏账准备
  类别                         计提               账面                   计提  账面
                    比例                                    比例
            金额           金额  比例               价值      金额       金额  比例  价值
                    (%)                                   (%)
                             (%)                                   (%)
按单项计提
坏账准备
其中：
按组合计提               100.0                                      100.0
坏账准备                    0                                          0
其中：
  合计        35,41    /      502.7    /        61,91   2,110.    /       291.8    /      2,818.
按单项计提坏账准备：
□适用√不适用
按组合计提坏账准备：
√适用□不适用
组合计提项目：账龄组合
                                                                       单位：元币种：人民币
                             期末余额
      名称
             账面余额            坏账准备           计提比例（%）
      合计      105,835,418.62   5,573,502.78        5.27
按组合计提坏账准备的说明：
√适用 □不适用
按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”
按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无。
对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
(3).坏账准备的情况
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
                                         本期变动金额
  类别       期初余额                          收回或 转销或核             其他变     期末余额
                            计提
                                          转回    销              动
单项计提坏
账准备
按组合计提
坏账准备
  合计       4,449,291.89   1,139,810.95            15,600.06           5,573,502.78
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明：
无。
(4).本期实际核销的应收账款情况
√适用 □不适用
                                                            单位：元币种：人民币
         项目                                              核销金额
实际核销的应收账款                                                         15,600.06
其中重要的应收账款核销情况
□适用 √不适用
应收账款核销说明：
□适用 √不适用
(5).按欠款方归集的期末余额前五名的应收账款和合同资产情况
√适用 □不适用
                                                             单位：元币种：人民币
                                                         占应收账款和
                                         应收账款和合
           应收账款期          合同资产期末                         合同资产期末 坏账准备期末
 单位名称                                    同资产期末余
            末余额             余额                           余额合计数的    余额
                                           额
                                                          比例（%）
拓荆科技股
份有限公司
及其控制的
公司[注]
湘潭宏大真
空技术股份   15,401,990.00                    15,401,990.00        14.55    863,779.50
有限公司
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
中微半导体
设备（上海）
股份有限公      6,336,322.80                    6,336,322.80          5.99     316,816.14
司及其控制
的公司[注]
江苏微导纳
米科技股份      4,730,018.22                    4,730,018.22          4.47     236,500.91
有限公司
北方华创科
技集团股份
有限公司及      4,535,933.00                    4,535,933.00          4.29     226,796.65
其控制的公
司
  合计      92,398,565.12                  92,398,565.12          87.31   4,713,608.26
其他说明
[注] 同一控制下的客户合并列示，下同
  客户名称                                                控制的客户名称
                                                拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
拓荆科技股份有限公司及其控制的公司                               拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
                                                拓荆科技（上海）有限公司
                                                南昌中微半导体设备有限公司
                                                中微半导体（上海）有限公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司及其控制的公司
                                                中微半导体设备（上海）股份有限公司
                                                中微半导体设备（四川）有限公司
北方华创科技集团股份有限公司及其控制的公司                           北京北方华创微电子装备有限公司
其他说明：
□适用 √不适用
(1).合同资产情况
√适用 □不适用
                                                               单位：元币种：人民币
                           期末余额                                 期初余额
  项目
           账面余额           坏账准备     账面价值           账面余额         坏账准备      账面价值
应收质保金                                             225,150.00   28,787.50 196,362.50
  合计                                              225,150.00   28,787.50 196,362.50
(2).报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因
□适用 √不适用
(3).按坏账计提方法分类披露
√适用 □不适用
                                                               单位：元币种：人民币
                          期末余额                                 期初余额
  类别
           账面余额             坏账准备        账面        账面余额           坏账准备  账面
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                        计提        价值                             计提      价值
             比例                                  比例
        金额         金额   比例               金额              金额      比例
             (%)                                 (%)
                        (%)                                      (%)
按组合计提                                    225,1   100.0   28,78           196,3
坏账准备                                     50.00       0    7.50           62.50
  合计          /          /                        /               /
按单项计提坏账准备：
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备的说明：
□适用 √不适用
按组合计提坏账准备：
□适用 √不适用
按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”
对本期发生损失准备变动的合同资产账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
(4).本期合同资产计提坏账准备情况
□适用 √不适用
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明：
无
(5).本期实际核销的合同资产情况
√适用 □不适用
                                                    单位：元币种：人民币
         项目                                      核销金额
实际核销的合同资产                                                 -28,787.50
其中重要的合同资产核销情况
□适用√不适用
合同资产核销说明：
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(1). 应收款项融资分类列示
√适用 □不适用
                                                                 单位：元币种：人民币
           项目                      期末余额                           期初余额
银行承兑汇票                                17,952,985.88                  10,701,058.41
           合计                         17,952,985.88                  10,701,058.41
(2). 期末公司已质押的应收款项融资
□适用 √不适用
(3). 期末公司已背书或贴现且在资产负债表日尚未到期的应收款项融资
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
     项目                     期末终止确认金额                         期末未终止确认金额
银行承兑汇票                                                             7,275,831.94
     合计                                                            7,275,831.94
(4). 按坏账计提方法分类披露
√适用 □不适用
                                                                 单位：元币种：人民币
                        期末余额                                    期初余额
             账面余额         坏账准备                   账面余额             坏账准备
  类别                         计提        账面                            计提  账面
                  比例                                    比例
           金额            金额  比例        价值       金额               金额  比例  价值
                  (%)                                   (%)
                             (%)                                     (%)
按组合计提             100.0                                 100.0
坏账准备                  0                                     0
其中：
银行承兑汇               100.0                               100.0
票                       0                                   0
  合计       2,985.    /        /       2,985.   1,058.    /              /   1,058.
按单项计提坏账准备：
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备的说明：
□适用 √不适用
按组合计提坏账准备：
√适用 □不适用
组合计提项目：账龄组合
                                                                单位：元币种：人民币
      名称                                       期末余额
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                    账面余额                    坏账准备          计提比例（%）
银行承兑汇票组合             17,952,985.88
     合计              17,952,985.88
按组合计提坏账准备的说明
√适用 □不适用
按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”
按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无
对本期发生损失准备变动的应收款项融资账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
(5). 坏账准备的情况
□适用 √不适用
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明：
无
(6). 本期实际核销的应收款项融资情况
□适用 √不适用
其中重要的应收款项融资核销情况
□适用√不适用
核销说明：
□适用 √不适用
(7). 应收款项融资本期增减变动及公允价值变动情况：
□适用√不适用
(8). 其他说明：
□适用√不适用
(1).预付款项按账龄列示
√适用 □不适用
                                                          单位：元币种：人民币
                       期末余额                              期初余额
  账龄
              金额            比例(%)                金额           比例(%)
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
  合计       15,946,972.36 100.00 16,242,651.61                     100.00
账龄超过 1 年且金额重要的预付款项未及时结算原因的说明：
无
(2).按预付对象归集的期末余额前五名的预付款情况
√适用 □不适用
                                                      单位：元币种：人民币
                                                   占预付款项期末余额合计数的
       单位名称              期末余额
                                                        比例(%)
中信证券股份有限公司                       4,000,000.00                 25.08
供应商 S                            3,975,629.86                 24.93
供应商 W                            3,217,784.64                 20.18
供应商 T                            1,684,569.41                 10.56
天健会计师事务所（特殊普通
合伙）
      合计                       13,827,983.91                       86.71
其他说明：
无
其他说明
□适用 √不适用
项目列示
√适用 □不适用
                                                      单位：元币种：人民币
        项目                期末余额                          期初余额
其他应收款                        4,018,193.49                  2,316,876.55
合计                           4,018,193.49                  2,316,876.55
其他说明：
□适用 √不适用
应收利息
(1).应收利息分类
□适用 √不适用
(2).重要逾期利息
□适用 √不适用
(3).按坏账计提方法分类披露
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
按单项计提坏账准备：
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备的说明：
□适用 √不适用
按组合计提坏账准备：
□适用 √不适用
(4).按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无
对本期发生损失准备变动的应收利息账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
(5).坏账准备的情况
□适用 √不适用
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明：
无。
(6).本期实际核销的应收利息情况
□适用 √不适用
其中重要的应收利息核销情况
□适用√不适用
核销说明：
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
应收股利
(1).应收股利
□适用 √不适用
(2).重要的账龄超过 1 年的应收股利
□适用 √不适用
(3).按坏账计提方法分类披露
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备：
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备的说明：
□适用 √不适用
按组合计提坏账准备：
□适用 √不适用
(4).按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无
对本期发生损失准备变动的应收股利账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
(5).坏账准备的情况
□适用 √不适用
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明：
无
(6).本期实际核销的应收股利情况
□适用 √不适用
其中重要的应收股利核销情况
□适用√不适用
核销说明：
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
其他应收款
(1).按账龄披露
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
       账龄               期末账面余额              期初账面余额
       合计                   5,065,113.21            2,843,324.17
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(2).按款项性质分类情况
√适用 □不适用
                                                                      单位：元币种：人民币
     款项性质                            期末账面余额                           期初账面余额
押金保证金                                    4,516,118.24                      2,453,149.23
其他                                         548,994.97                        390,174.94
      合计                                 5,065,113.21                      2,843,324.17
(3).坏账准备计提情况
√适用 □不适用
                                                                      单位：元币种：人民币
                   第一阶段            第二阶段                  第三阶段
                                 整个存续期预期信              整个存续期预期信
   坏账准备           未来12个月预                                                      合计
                                 用损失(未发生信              用损失(已发生信
                  期信用损失
                                   用减值)                  用减值)
额
                         ——                     ——                    ——
额在本期
--转入第二阶段            -79,607.54            79,607.54
--转入第三阶段                                  -9,262.72               9,262.72
--转回第二阶段
--转回第一阶段
本期计提               112,162.61            158,151.79            250,157.70      520,472.10
余额
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
                                                        期末数
  组合名称
                                 账面余额                 坏账准备               计提比例（%）
账龄组合                             5,065,113.21          1,046,919.72                  20.67
其中：1 年以内                         2,413,804.89            120,690.24                   5.00
 小计                              5,065,113.21          1,046,919.72                  20.67
对本期发生损失准备变动的其他应收款账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：
□适用 √不适用
(4).坏账准备的情况
√适用 □不适用
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                                单位：元币种：人民币
                                             本期变动金额
  类别       期初余额                            收回或转  转销或核                   期末余额
                            计提                                  其他变动
                                             回     销
按组合计提坏                                                                  1,046,919.7
账准备                                                                               2
  合计       526,447.62      520,472.10
其中本期坏账准备转回或收回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明
无
(5).本期实际核销的其他应收款情况
□适用 √不适用
其中重要的其他应收款核销情况：
□适用 √不适用
其他应收款核销说明：
□适用 √不适用
(6).按欠款方归集的期末余额前五名的其他应收款情况
√适用 □不适用
                                                                单位：元币种：人民币
                            占其他应收款
                                                                       坏账准备
 单位名称       期末余额            期末余额合计              款项的性质     账龄
                                                                       期末余额
                            数的比例(%)
深圳市桃花
源科技产业
运营有限公
                                                        年、4-5 年
司
北京麦沃菲
斯商务服务        140,400.00                  2.77   押金保证金   1 年以内              7,020.00
有限公司
孙天园           81,839.68                  1.62   其他      1 年以内              4,091.98
深圳市安居
和樾府管理         55,751.46                  1.10   押金保证金   2-3 年            16,725.44
有限公司
供应商 LB         30,000.00                 0.59   押金保证金   5 年以上             30,000.00
  合计        4,550,311.11                89.84     /         /          1,003,239.61
(7).因资金集中管理而列报于其他应收款
□适用 √不适用
其他说明：
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
(1).存货分类
√适用 □不适用
                                                                           单位：元币种：人民币
                           期末余额                                           期初余额
                          存货跌价准                                           存货跌价准
  项目                      备/合同履约                                          备/合同履约
            账面余额                               账面价值         账面余额                       账面价值
                          成本减值准                                           成本减值准
                              备                                               备
原材料                                                                       9,442,206.36
                    .54              6                 28            71                     4.35
在产品                           462,184.73
                    .79                                06            40                     3.40
库存商品                      9,421,550.08                                    5,359,565.05
                    .96                                88            15                     2.10
合同履约成                                                       11,508,112.                11,508,11
本                                                                    36                     2.36
发出商品        660,062.29                         660,062.29     18,458.94                18,458.94
委托加工物        3,034,839.                       3,034,839.9   3,180,463.1                3,180,463
资                    96                                 6             9                       .19
  合计
(2).确认为存货的数据资源
□适用√不适用
(3).存货跌价准备及合同履约成本减值准备
√适用 □不适用
                                                                         单位：元币种：人民币
                                    本期增加金额                        本期减少金额
      项目         期初余额                                         转回或转             期末余额
                                   计提               其他                    其他
                                                                 销
原材料
在产品                             462,184.73                                    462,184.73
库存商品
      合计
                        .41             .04                           38              .07
本期转回或转销存货跌价准备的原因
√适用 □不适用
  项           确定可变现净值                                                        转销存货跌价
目              的具体依据                                                          准备的原因
原 材 相关产成品估计售价减去至完工估计将要发生的成本、估计                                            本 期将 已计 提存 货跌 价
料   的销售费用以及相关税费后的金额确定可变现净值                                                准备的存货耗用/售出
库 存 相关产成品估计售价减去估计的销售费用以及相关税费后的                                            本 期将 已计 提存 货跌 价
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
商品   金额确定可变现净值                             准备的存货售出
按组合计提存货跌价准备
□适用 √不适用
按组合计提存货跌价准备的计提标准
□适用 √不适用
(4).存货期末余额含有的借款费用资本化金额及其计算标准和依据
□适用 √不适用
(5).合同履约成本本期摊销金额的说明
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
一年内到期的债权投资
□适用 √不适用
一年内到期的其他债权投资
□适用 √不适用
一年内到期的非流动资产的其他说明
无
√适用 □不适用
                                           单位：元币种：人民币
         项目              期末余额                期初余额
待抵扣进项税                      6,936,657.14        7,051,738.64
预缴所得税                             519.41            4,713.04
         合计                 6,937,176.55        7,056,451.68
其他说明
无
(1).债权投资情况
□适用 √不适用
债权投资减值准备本期变动情况
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
(2).期末重要的债权投资
□适用 √不适用
(3).减值准备计提情况
□适用 √不适用
各阶段划分依据和减值准备计提比例：
无
对本期发生损失准备变动的债权投资账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
本期减值准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据
□适用 √不适用
(4).本期实际的核销债权投资情况
□适用 √不适用
其中重要的债权投资情况核销情况
□适用√不适用
债权投资的核销说明：
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(1).其他债权投资情况
□适用 √不适用
其他债权投资减值准备本期变动情况
□适用 √不适用
(2).期末重要的其他债权投资
□适用 √不适用
(3).减值准备计提情况
□适用 √不适用
各阶段划分依据和减值准备计提比例：
无
对本期发生损失准备变动的其他债权投资账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
本期减值准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据
□适用 √不适用
(4).本期实际核销的其他债权投资情况
□适用 √不适用
其中重要的其他债权投资情况核销情况
□适用√不适用
其他债权投资的核销说明：
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
(1).长期应收款情况
□适用 √不适用
(2).按坏账计提方法分类披露
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备：
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备的说明：
□适用 √不适用
按组合计提坏账准备：
□适用 √不适用
(3).按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无
对本期发生损失准备变动的长期应收款账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据
□适用 √不适用
(4).坏账准备的情况
□适用 √不适用
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明：
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
无
(5).本期实际核销的长期应收款情况
□适用 √不适用
其中重要的长期应收款核销情况
□适用√不适用
长期应收款核销说明：
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(1).长期股权投资情况
□适用 √不适用
(2).长期股权投资的减值测试情况
□适用 √不适用
其他说明
无
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(1).其他权益工具投资情况
□适用 √不适用
(2).本期存在终止确认的情况说明
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
投资性房地产计量模式
(1).采用成本计量模式的投资性房地产
(2).未办妥产权证书的投资性房地产情况
□适用 √不适用
(3).采用成本计量模式的投资性房地产的减值测试情况
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
项目列示
√适用 □不适用
                                             单位：元币种：人民币
       项目                 期末余额                 期初余额
固定资产                         91,810,034.23        69,268,222.10
       合计                    91,810,034.23        69,268,222.10
其他说明：
□适用 √不适用
固定资产
(1).固定资产情况
√适用 □不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                                                            单位：元币种：人民币
              房屋及建筑                                      电子设备及
    项目                      机器设备           运输工具                   合计
                物                                          其他
一、账面原值：
  （1）购置                                                                11,014,706.42
  （2）在建工程转入                                988,051.74    100,094.57    26,484,048.23
（3）存货转入固定资产                                               36,814.15     2,442,829.61
  （4）企业合并增加
  （1）处置或报废                                                 47,754.50       47,754.50
二、累计折旧
  （1）计提                                    596,692.68                  17,397,384.63
  （1）处置或报废                                                 45,367.00      45,367.00
三、减值准备
  （1）计提
  （1）处置或报废
四、账面价值
(2).暂时闲置的固定资产情况
□适用 √不适用
(3).通过经营租赁租出的固定资产
□适用 √不适用
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(4).未办妥产权证书的固定资产情况
□适用 √不适用
(5).固定资产的减值测试情况
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
固定资产清理
□适用 √不适用
项目列示
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
         项目                      期末余额                           期初余额
在建工程                                 471,439.51                    22,177,383.84
         合计                          471,439.51                    22,177,383.84
其他说明：
□适用 √不适用
在建工程
(1).在建工程情况
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
                          期末余额                                期初余额
   项目
              账面余额        减值准备      账面价值        账面余额          减值准备  账面价值
厂房装修工程
                                                        .04                .04
需安装调试的设       471,439.5             471,439.5
备                     1                     1
   合计
(2).重要在建工程项目本期变动情况
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
                          本
                          期      本
                                                 工程                 其
                   本      转      期
                                                 累计            利息   中：   本期
            期      期      入      其                       工程
     预                                           投入            资本   本期   利息
项目          初      增      固      他    期末                 进度                    资金
     算                                           占预            化累   利息   资本
名称          余      加      定      减    余额                 （%                    来源
     数                                           算比            计金   资本   化率
            额      金      资      少                        ）
                                                  例             额   化金   (%)
                   额      产      金
                                                 (%)                额
                          金      额
                          额
沈阳
创新
中心          11,0          12,1
办公    47    72,8          92,7                   109.0                         自有
楼装          23.5          74.5                       1                         资金
      万            1.04
修项             4             8
      元
目工
程
半导
体设
备研
发建
设项
      .72   7,74   956,   8,69
                                                                               自有
目装     万    0,55   697.   7,24                    100    100
                                                                               资金
饰装          0.46     25   7.71
       元
修及
工艺
机电
工程
弱电
智能   172
      .48   1,69   291,   1,98
化系                                               114.8                         自有
统建     万                                             8                         资金
设工     元
程
合计                 7,85                           /       /              /     /
(3).本期计提在建工程减值准备情况
□适用 √不适用
(4).在建工程的减值测试情况
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
工程物资
(1).工程物资情况
□适用 √不适用
(1).采用成本计量模式的生产性生物资产
□适用 √不适用
(2).采用成本计量模式的生产性生物资产的减值测试情况
□适用 √不适用
(3).采用公允价值计量模式的生产性生物资产
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(1). 油气资产情况
□适用 √不适用
(2). 油气资产的减值测试情况
□适用 √不适用
其他说明：
无
(1). 使用权资产情况
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
           项目             房屋及建筑物                        合计
一、账面原值
二、累计折旧
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
    （1）计提                             7,650,808.22          7,650,808.22
    （1）处置
三、减值准备
    （1）计提
    （1）处置
四、账面价值
(2). 使用权资产的减值测试情况
□适用 √不适用
其他说明：
无
(1).无形资产情况
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
           项目                 软件                       合计
一、账面原值
  （1）购置
  （2）内部研发
  （3）企业合并增加
  （1）处置
二、累计摊销
  （1）计提                                422,910.48            422,910.48
  （1）处置
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
三、减值准备
   （1）计提
   （1）处置
四、账面价值
本期末通过公司内部研发形成的无形资产占无形资产余额的比例是0
(2).确认为无形资产的数据资源
□适用 √不适用
(3).未办妥产权证书的土地使用权情况
□适用 √不适用
(4).无形资产的减值测试情况
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
(1).商誉账面原值
□适用 √不适用
(2).商誉减值准备
□适用 √不适用
(3).商誉所在资产组或资产组组合的相关信息
□适用√不适用
资产组或资产组组合发生变化
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(4).   可收回金额的具体确定方法
可收回金额按公允价值减去处置费用后的净额确定
□适用 √不适用
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
可收回金额按预计未来现金流量的现值确定
□适用√不适用
前述信息与以前年度减值测试采用的信息或外部信息明显不一致的差异原因
□适用 √不适用
公司以前年度减值测试采用信息与当年实际情况明显不一致的差异原因
□适用 √不适用
(5).业绩承诺及对应商誉减值情况
形成商誉时存在业绩承诺且报告期或报告期上一期间处于业绩承诺期内
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                               单位：元币种：人民币
  项目       期初余额           本期增加金额         本期摊销金额            其他减少金额   期末余额
租入资产的
装修改造工      2,718,423.74   2,523,177.98     2,186,066.45                    3,055,535.27
程
  合计       2,718,423.74   2,523,177.98     2,186,066.45                    3,055,535.27
其他说明：
无
(1).未经抵销的递延所得税资产
√适用 □不适用
                                                                   单位：元币种：人民币
                               期末余额                                 期初余额
     项目             可抵扣暂时性         递延所得税                  可抵扣暂时性         递延所得税
                        差异            资产                      差异            资产
 资产减值准备              27,328,166.00  4,099,224.90           19,279,850.80  2,891,977.62
租赁负债                 14,573,197.60  2,205,880.39           18,611,988.86  2,829,652.12
预计负债                  2,078,811.94    311,821.79            2,693,803.36    405,090.68
递延收益                  5,026,847.27    754,027.09
销售返利                 21,609,410.25  3,241,411.54
     合计              70,616,433.06 10,612,365.71           40,585,643.02   6,126,720.42
(2).未经抵销的递延所得税负债
√适用 □不适用
                                                               单位：元币种：人民币
                         期末余额                                   期初余额
    项目              应纳税暂时性  递延所得税                         应纳税暂时性   递延所得税
                      差异      负债                            差异       负债
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
使用权资产                  13,115,407.68          1,987,211.90       17,584,823.19    2,675,033.63
    合计                 13,115,407.68          1,987,211.90       17,584,823.19    2,675,033.63
(3).以抵销后净额列示的递延所得税资产或负债
√适用 □不适用
                                                                       单位：元币种：人民币
                              期末余额                                      期初余额
                     递延所得税资        抵销后递延所                                    抵销后递延所
         项目                                                   递延所得税资产
                     产和负债互抵        得税资产或负                                    得税资产或负
                                                              和负债互抵金额
                        金额           债余额                                       债余额
递延所得税资产               1,987,211.90  8,625,153.81                2,675,033.63  3,451,686.79
递延所得税负债               1,987,211.90                              2,675,033.63
(4).未确认递延所得税资产明细
√适用 □不适用
                                                                          单位：元币种：人民币
      项目                               期末余额                                期初余额
可抵扣暂时性差异                                   3,125,635.57                          526,447.62
可抵扣亏损                                     10,516,515.01                        3,385,940.05
      合计                                  13,642,150.58                        3,912,387.67
(5).未确认递延所得税资产的可抵扣亏损将于以下年度到期
√适用 □不适用
                                                                          单位：元币种：人民币
         年份                期末金额                      期初金额                     备注
                                                                          系本期新增子公司 CSL
无固定期限                           65,025.00                                 Vacuum Science and
                                                                          Technology GmbH
         合计                  10,516,515.01               3,385,940.05                /
其他说明：
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                                          单位：元币种：人民币
                             期末余额                                         期初余额
    项目
              账面余额           减值准备            账面价值            账面余额         减值准备  账面价值
预付工程设备                                       540,106.8
款                                                    2
    合计        540,106.82                                     894,108.19             894,108.19
其他说明：
无
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
√适用 □不适用
                                                               单位：元 币种：人民币
                    期末                                         期初
 项目   账面余        账面价  受限类        受限情         账面余        账面价      受限类  受限情
       额          值    型          况           额           值       型    况
                                 未终止                                 未终止
                                 确认已                                 确认已
                                 背书未                                 背书未
应收票   3,335,90   3,335,90                    188,000.   188,000.
                            质押   到期的                             质押  到期的
据         8.85       8.85                          00         00
                                 应收票                                 应收票
                                 据使用                                 据使用
                                 权受限                                 权受限
 合计                          /     /                               /   /
其他说明：
无
(1).短期借款分类
□适用 √不适用
(2).已逾期未偿还的短期借款情况
□适用 √不适用
其中重要的已逾期未偿还的短期借款情况如下：
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(1).应付票据列示
□适用 √不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(1).应付账款列示
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
        项目             期末余额                  期初余额
货款                        21,545,404.02          29,183,965.93
工程设备款                      3,100,066.13           8,586,545.65
费用款                        5,393,331.39           2,948,875.29
        合计                30,038,801.54          40,719,386.87
(2).账龄超过 1 年或逾期的重要应付账款
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(1). 预收账款项列示
□适用 √不适用
(2). 账龄超过 1 年的重要预收款项
□适用 √不适用
(3).报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(1).合同负债情况
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
        项目               期末余额                期初余额
预收货款                         2,306,130.27       17,966,884.63
销售返利                        21,609,410.25       15,959,241.06
        合计                  23,915,540.52       33,926,125.69
(2). 账龄超过 1 年的重要合同负债
□适用 √不适用
(3).报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因
□适用 √不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
其他说明：
□适用 √不适用
(1).应付职工薪酬列示
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
     项目           期初余额                 本期增加            本期减少          期末余额
一、短期薪酬           20,338,222.86        78,384,216.62   88,020,221.66 10,702,217.82
二、离职后福利-设定提存
计划
三、辞退福利                                    33,380.95       33,380.95
     合计          20,555,246.00        82,086,138.15   91,932,075.95   10,709,308.20
(2).短期薪酬列示
√适用 □不适用
                                                         单位：元币种：人民币
     项目           期初余额                 本期增加           本期减少    期末余额
一、工资、奖金、津贴和
补贴
二、职工福利费                                2,653,792.03    2,653,792.03
三、社会保险费                4,379.94        1,250,828.42    1,251,012.16        4,196.20
其中：医疗保险费               4,205.02        1,037,098.54    1,037,193.28        4,110.28
   工伤保险费                 110.16           67,030.17       67,054.41           85.92
   生育保险费                  64.76          146,699.71      146,764.47
四、住房公积金                                2,860,101.12    2,860,101.12
五、工会经费和职工教育
经费
     合计           20,338,222.86       78,384,216.62   88,020,221.66   10,702,217.82
(3).设定提存计划列示
√适用 □不适用
                                                              单位：元币种：人民币
     项目           期初余额                 本期增加            本期减少         期末余额
     合计            217,023.14          3,668,540.58    3,878,473.34   7,090.38
其他说明：
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                             单位：元币种：人民币
      项目                         期末余额                         期初余额
增值税                                 2,721,208.48
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
企业所得税                            6,913,452.01          2,266,882.53
个人所得税                              903,042.41          5,086,090.74
城市维护建设税                            118,568.35
印花税                                 30,298.63            34,179.77
地方教育附加                              33,876.67
教育费附加                               50,815.01
其他                                  21,741.52             24,767.04
      合计                        10,793,003.08          7,411,920.08
其他说明：
无
(1).项目列示
√适用 □不适用
                                                单位：元币种：人民币
           项目              期末余额                   期初余额
其他应付款                          166,022.76             147,684.23
合计                             166,022.76             147,684.23
其他说明：
□适用 √不适用
(2).应付利息
分类列示
□适用 √不适用
逾期的重要应付利息：
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
(3).应付股利
分类列示
□适用 √不适用
(4).其他应付款
按款项性质列示其他应付款
√适用 □不适用
                                                单位：元币种：人民币
     项目                  期末余额                    期初余额
应付报销款及其他                          166,022.76          147,684.23
     合计                           166,022.76          147,684.23
账龄超过 1 年或逾期的重要其他应付款
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
其他说明：
□适用 √不适用
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                             单位：元币种：人民币
       项目              期末余额                   期初余额
       合计                 10,083,955.00           9,353,692.82
其他说明：
无
其他流动负债情况
√适用 □不适用
                                             单位：元币种：人民币
     项目                期末余额                   期初余额
待转销项税额                          198,327.91         509,076.69
期末未到期已背书的银行承
兑汇票
     合计                       3,534,236.76            697,076.69
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
短期应付债券的增减变动：
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(1). 长期借款分类
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(1).应付债券
□适用 √不适用
(2).应付债券的具体情况：
             （不包括划分为金融负债的优先股、永续债等其他金融工具）
□适用 √不适用
(3).可转换公司债券的说明
□适用 √不适用
转股权会计处理及判断依据
□适用 √不适用
(4).   划分为金融负债的其他金融工具说明
期末发行在外的优先股、永续债等其他金融工具基本情况
□适用 √不适用
期末发行在外的优先股、永续债等金融工具变动情况表
□适用 √不适用
其他金融工具划分为金融负债的依据说明
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
      项目                  期末余额                期初余额
尚未支付的租赁付款额                   6,728,223.18        12,516,147.14
减：未确认融资费用                      160,168.64           564,047.74
      合计                     6,568,054.54        11,952,099.40
其他说明：
无
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
项目列示
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
长期应付款
(1).按款项性质列示长期应付款
□适用 √不适用
专项应付款
(1).按款项性质列示专项应付款
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
递延收益情况
√适用 □不适用
                                                             单位：元       币种：人民币
  项目         期初余额           本期增加          本期减少           期末余额            形成原因
                                                                        尚未使用或未
政府补助        12,943,558.74                 7,916,711.47   5,026,847.27
                                                                        达到摊销期限
  合计        12,943,558.74                 7,916,711.47   5,026,847.27      /
其他说明：
□适用 √不适用
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                               单位：元币种：人民币
                               本次变动增减（+、一）
         期初余额          发行         公积金                                    期末余额
                              送股         其他                     小计
                       新股          转股
                        深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
股份总数
其他说明：
无
(1).期末发行在外的优先股、永续债等其他金融工具基本情况
□适用 √不适用
(2).期末发行在外的优先股、永续债等金融工具变动情况表
□适用 √不适用
其他权益工具本期增减变动情况、变动原因说明，以及相关会计处理的依据：
□适用 √不适用
其他说明:
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                    单位：元币种：人民币
   项目         期初余额          本期增加               本期减少     期末余额
资本溢价（股本
溢价）
其他资本公积         2,983,074.39  6,438,588.09         9,421,662.48
   合计        467,760,905.15  6,438,588.09       474,199,493.24
其他说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：
  ① 2025 年确认股份支付费用导致资本公积-其他资本公积增加 2,049,658.40 元；
  ② 2025 年，公司收到实际控制人捐赠款导致资本公积-其他资本公积增加 4,388,929.69 元。
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
                                    本期发生金额
                                   减：前期
                            减：前期
                                   计入其
                            计入其
          期初       本期所             他综合          税后归   税后归     期末
 项目                         他综合         减：所得
          余额       得税前             收益当          属于母   属于少     余额
                            收益当         税费用
                   发生额             期转入           公司   数股东
                            期转入
                                   留存收
                             损益
                                    益
一、不能
重分类
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
进损益
的其他
综合收
益
二、将重
分类进
损益的           6,525.00                                     6,525.00         6,525.00
其他综
合收益
外币财
务报表
折算差
额
其他综
合收益           6,525.00                                     6,525.00         6,525.00
合计
其他说明，包括对现金流量套期损益的有效部分转为被套期项目初始确认金额调整：
无
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                         单位：元币种：人民币
   项目         期初余额           本期增加                   本期减少     期末余额
法定盈余公积       16,746,344.01   8,639,220.49                   25,385,564.50
   合计        16,746,344.01   8,639,220.49                   25,385,564.50
盈余公积说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：
    根据公司章程规定按不超过母公司股本50%计提法定盈余公积8,639,220.49元。
√适用 □不适用
                                                                 单位：元币种：人民币
       项目                           本期                              上期
调整前上期末未分配利润
调整期初未分配利润合计数（调增
+，调减－）
调整后期初未分配利润                                144,689,127.93               17,611,562.40
加：本期归属于母公司所有者的净利
润
减：提取法定盈余公积                                  8,639,220.49               14,462,657.07
  提取任意盈余公积
  提取一般风险准备
  应付普通股股利
  转作股本的普通股股利
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
期末未分配利润                                          249,890,246.90             144,689,127.93
调整期初未分配利润明细：
(1). 营业收入和营业成本情况
√适用 □不适用
                                                                      单位：元币种：人民币
                      本期发生额                                         上期发生额
   项目
                收入                   成本                      收入              成本
主营业务         529,470,114.60       275,509,203.13          540,790,338.75  278,465,359.95
  合计         529,470,114.60       275,509,203.13          540,790,338.75  278,465,359.95
(2). 营业收入、营业成本的分解信息
√适用 □不适用
                                                                单位：元 币种：人民币
                              本期数                                上年同期数
   合同分类
                    营业收入              营业成本                   营业收入     营业成本
商品类型
   自研产品          414,974,360.41      185,417,031.05        456,087,804.36   207,750,057.07
引进产品              86,613,168.60       74,571,887.14         81,812,259.84    69,439,991.61
技术服务              27,882,585.59       15,520,284.94          2,890,274.55     1,275,311.27
按经营地分类
   境内地区          528,437,077.71      275,017,755.63        539,578,293.58   277,805,234.45
境外地区               1,033,036.89          491,447.50          1,212,045.17       660,125.50
市场或客户类型
合同类型
按商品转让的时间分
类
   在某一时点确认
收入
按合同期限分类
按销售渠道分类
     合计          529,470,114.60      275,509,203.13        540,790,338.75   278,465,359.95
其他说明
□适用 √不适用
(3). 履约义务的说明
√适用 □不适用
                                                                单位：元 币种：人民币
 项目     履行履约义       重要的支          公司承诺           是否为主        公司承担的预 公司提供的质
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
           务的时间     付条款      转让商品          要责任人   期将退还给客    量保证类型及
                             的性质                   户的款项      相关义务
                   付款期限
                   一般为预
                   收或者产
                   品交付/
                   验收后的
                                                            保证类质量保
销售商品     商品交付时     30-90 天   销售商品           是           无
                                                            证
                   到期，不
                   存在重大
                   融资成分
                   和可变对
                   价
                   一般为预
提供服务     服务提供时               提供服务           是           无   无
                   收
    合计        /        /       /            /                   /
(4). 分摊至剩余履约义务的说明
□适用 √不适用
(5). 重大合同变更或重大交易价格调整
□适用 √不适用
其他说明：
无
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
      项目                     本期发生额                    上期发生额
城市维护建设税                          1,501,251.76             1,042,705.45
教育费附加                              643,393.62               446,873.75
房产税                                154,036.86                74,386.48
土地使用税                               52,140.04                24,681.68
印花税                                228,939.70               341,577.98
地方教育附加                             428,929.06               297,915.85
其他                                   2,220.00                 2,577.20
      合计                         3,010,911.04             2,230,718.39
其他说明：
无
√适用 □不适用
                                                    单位：元 币种：人民币
         项目                    本期发生额                  上期发生额
职工薪酬                               3,252,850.13           4,606,231.62
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
办公差旅费                                   975,103.20             625,545.10
业务招待费                                 1,023,431.45           1,358,786.82
业务宣传费                                   961,976.81           1,035,361.88
股份支付                                    313,511.24             284,482.42
其他                                      960,341.27              98,199.53
        合计                            7,487,214.10           8,008,607.37
其他说明：
无
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
           项目                    本期发生额                 上期发生额
职工薪酬                               24,638,683.73         29,885,801.79
办公差旅费                               3,886,024.89          2,946,232.57
中介及咨询费                              3,535,417.59          4,739,292.09
租赁物业水电费                             1,168,124.36            852,426.58
折旧摊销费                               8,447,153.91          4,452,788.33
招待费                                 1,469,052.32            620,532.87
股份支付                                1,215,508.58            658,132.65
其他                                  1,332,528.81          1,163,686.84
           合计                      45,692,494.19         45,318,893.72
其他说明：
无
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
           项目                    本期发生额                 上期发生额
人工费                                36,841,540.92         22,822,309.00
材料费                                10,733,715.91          8,607,493.02
折旧摊销费                              11,869,958.53          6,664,379.80
产品测评费                               6,261,611.61          6,809,282.98
办公差旅费                               2,203,920.15          1,634,827.02
服务费                                 2,960,122.06          2,107,628.50
租赁物业水电费                             2,560,108.72          1,530,531.81
委托研发费                               5,523,365.24          4,144,361.37
股份支付                                  378,128.53            327,387.75
其他                                    826,708.21            631,776.19
           合计                      80,159,179.88         55,279,977.44
其他说明：
无
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
           项目                    本期发生额                 上期发生额
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
利息费用                                    739,089.44              722,693.17
利息收入                                  5,276,813.60            2,338,129.42
汇兑损益                                    999,699.53              891,874.14
手续费及其他                                   41,776.53               55,992.16
财政贴息                                                            -70,000.00
           合计                         -3,496,248.10            -737,569.95
其他说明：
无
√适用 □不适用
                                                      单位：元币种：人民币
    按性质分类                本期发生额                         上期发生额
与资产相关的政府补助                   2,347,266.74                  2,900,850.74
与收益相关的政府补助                   9,065,998.86                  9,379,774.45
代扣个人所得税手续费返还                   111,190.85                     64,785.13
增值税加计抵减                      5,576,134.33                  8,458,862.69
      合计                    17,100,590.78                 20,804,273.01
其他说明：
无
√适用 □不适用
                                                      单位：元币种：人民币
       项目                    本期发生额                      上期发生额
交易性金融资产在持有期间的投资收
益
债务重组收益                                                         -220,332.00
       合计                                                     2,604,804.77
其他说明：
无
□适用 √不适用
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                      单位：元币种：人民币
       项目                    本期发生额                      上期发生额
应收账款坏账损失                        -1,139,810.95               -855,824.27
其他应收款坏账损失                         -520,472.10                -84,300.01
       合计                       -1,660,283.05               -940,124.28
其他说明：
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
无
√适用 □不适用
                                                       单位：元币种：人民币
       项目                 本期发生额                         上期发生额
一、合同资产减值损失                    28,787.50                      -15,179.50
二、存货跌价损失及合同履约成本
                               -14,537,593.04                -15,349,015.64
减值损失
       合计                      -14,508,805.54                -15,364,195.14
其他说明：
无
□适用 √不适用
营业外收入情况
√适用 □不适用
                                                       单位：元币种：人民币
                                                       计入当期非经常性损益
    项目        本期发生额                   上期发生额
                                                           的金额
非流动资产处置利得
合计
其中：固定资产处置
利得
   无形资产处置
利得
非货币性资产交换利
得
接受捐赠
政府补助
无需支付的款项           103,587.05              111,766.86            103,587.05
其他                 13,602.44                  446.83             13,602.44
    合计            117,189.49              112,213.69            117,189.49
其他说明：
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                       单位：元币种：人民币
                                                       计入当期非经常性损益
    项目        本期发生额                   上期发生额
                                                           的金额
非流动资产处置损
失合计
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
其中：固定资产处置
损失
   无形资产处
置损失
非货币性资产交换
损失
对外捐赠                   373,494.32           268,086.00            373,494.32
滞纳金                    157,267.32             5,010.20            157,267.32
其他                      46,119.10             6,099.70             46,119.10
    合计                 579,268.24           279,195.90            579,268.24
其他说明：
无
(1).所得税费用表
√适用 □不适用
                                                         单位：元币种：人民币
      项目                       本期发生额                      上期发生额
当期所得税费用                           12,909,911.36              19,991,610.96
递延所得税费用                           -5,173,467.02              -2,369,705.58
      合计                           7,736,444.34              17,621,905.38
(2).会计利润与所得税费用调整过程
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
             项目                                   本期发生额
利润总额                                                     121,576,783.80
按法定/适用税率计算的所得税费用                                          18,236,517.57
子公司适用不同税率的影响                                                -463,115.67
调整以前期间所得税的影响                                                 244,396.57
不可抵扣的成本、费用和损失的影响                                             498,430.06
本期未确认递延所得税资产的可抵扣暂时性
差异或可抵扣亏损的影响
研发加计扣除的影响                                                      -12,722,582.63
所得税费用                                                            7,736,444.34
其他说明：
□适用 √不适用
√适用 □不适用
详见第八节“财务报告”附注“七、57 其他综合收益” 相关内容
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(1).与经营活动有关的现金
收到的其他与经营活动有关的现金
√适用 □不适用
                                             单位：元币种：人民币
        项目               本期发生额                上期发生额
利息收入                        5,276,813.60          2,338,129.42
政府补助                        3,496,554.13         10,192,197.92
押金保证金                         172,125.89         14,305,947.00
其他                             74,592.98            340,058.09
        合计                  9,020,086.60         27,176,332.43
收到的其他与经营活动有关的现金说明：
无
支付的其他与经营活动有关的现金
√适用 □不适用
                                             单位：元币种：人民币
        项目               本期发生额                上期发生额
付现费用                        37,722,195.55        34,453,849.15
押金保证金                        2,012,490.92        12,665,202.86
其他                              94,157.11           118,735.32
        合计                  39,828,843.58        47,237,787.33
支付的其他与经营活动有关的现金说明：
无
(2).与投资活动有关的现金
收到的重要的投资活动有关的现金
□适用 √不适用
支付的重要的投资活动有关的现金
□适用 √不适用
收到的其他与投资活动有关的现金
□适用 √不适用
支付的其他与投资活动有关的现金
□适用 √不适用
(3).与筹资活动有关的现金
收到的其他与筹资活动有关的现金
√适用 □不适用
                                             单位：元币种：人民币
       项目                 本期发生额                上期发生额
实际控制人捐赠                       4,388,929.69
       合计                     4,388,929.69
收到的其他与筹资活动有关的现金说明：
无
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
支付的其他与筹资活动有关的现金
√适用 □不适用
                                                   单位：元币种：人民币
        项目               本期发生额                       上期发生额
租赁付款额                        7,998,687.83               6,103,156.10
        合计                   7,998,687.83               6,103,156.10
支付的其他与筹资活动有关的现金说明：
无
筹资活动产生的各项负债变动情况
□适用 √不适用
(4).以净额列报现金流量的说明
□适用 √不适用
(5).不涉及当期现金收支、但影响企业财务状况或在未来可能影响企业现金流量的重大活动及财
务影响
□适用 √不适用
(1).现金流量表补充资料
√适用 □不适用
                                                   单位：元币种：人民币
      补充资料                本期金额                       上期金额
净利润                            113,840,339.46            141,540,222.60
加：资产减值准备                        14,508,805.54             15,364,195.14
信用减值损失                           1,660,283.05                940,124.28
固定资产折旧、油气资产折耗、生产
性生物资产折旧
使用权资产摊销                             7,650,808.22           5,923,058.82
无形资产摊销                                422,910.48             201,321.88
长期待摊费用摊销                            2,186,066.45           2,471,600.76
处置固定资产、无形资产和其他长期
资产的损失（收益以“－”号填列）
固定资产报废损失（收益以“－”号填
列）
公允价值变动损失（收益以“－”号填
列）
财务费用（收益以“－”号填列）                     1,738,788.97           1,614,567.31
投资损失（收益以“－”号填列）                                           -2,604,804.77
递延所得税资产减少（增加以“－”
                                   -5,173,467.02          -2,369,705.58
号填列）
递延所得税负债增加（减少以“－”
号填列）
存货的减少（增加以“－”号填列）                   -3,308,935.17         -93,611,426.75
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
经营性应收项目的减少（增加以“－”
                                  -40,841,484.35          -11,671,499.90
号填列）
经营性应付项目的增加（减少以“－”
                                  -27,345,750.07          31,097,639.91
号填列）
其他                                 2,049,658.40            1,401,669.35
经营活动产生的现金流量净额                     84,787,796.09           99,500,225.57
债务转为资本
一年内到期的可转换公司债券
融资租入固定资产
新增使用权资产                            3,780,374.31           19,286,694.75
现金的期末余额                       481,406,878.80             427,113,311.44
减：现金的期初余额                     427,113,311.44              77,076,164.90
加：现金等价物的期末余额
减：现金等价物的期初余额
现金及现金等价物净增加额                      54,293,567.36          350,037,146.54
(2).本期支付的取得子公司的现金净额
□适用 √不适用
(3).本期收到的处置子公司的现金净额
□适用 √不适用
(4).现金和现金等价物的构成
√适用 □不适用
                                                   单位：元币种：人民币
      项目                 期末余额                        期初余额
一、现金                       481,406,878.80              427,113,311.44
其中：库存现金
  可随时用于支付的银行存款                    481,406,340.46         427,112,773.49
  可随时用于支付的其他货币资
金
  可用于支付的存放中央银行款
项
  存放同业款项
  拆放同业款项
二、现金等价物
其中：三个月内到期的债券投资
三、期末现金及现金等价物余额                    481,406,878.80         427,113,311.44
其中：母公司或集团内子公司使用
受限制的现金和现金等价物
(5).使用范围受限但仍作为现金和现金等价物列示的情况
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(6).不属于现金及现金等价物的货币资金
□适用 √不适用
其他说明：
√适用 □不适用
报告期内未持有使用范围受限的现金和现金等价物的货币资金。
说明对上年期末余额进行调整的“其他”项目名称及调整金额等事项：
□适用 √不适用
(1).外币货币性项目
√适用 □不适用
                                                        单位：元
                                                  期末折算人民币
         项目        期末外币余额             折算汇率
                                                     余额
货币资金                             -            -     24,373,962.99
其中：美元                   572,917.84       7.0288      4,026,924.91
欧元                    2,470,650.00       8.2355     20,347,038.08
应收账款                                                   506,143.89
其中：美元                   72,010.00        7.0288        506,143.89
应付账款                                                   717,190.64
其中：美元                  102,036.00        7.0288        717,190.64
其他说明：
无
(2).境外经营实体说明，包括对于重要的境外经营实体，应披露其境外主要经营地、记账本位币
及选择依据，记账本位币发生变化的还应披露原因
□适用 √不适用
(1). 作为承租人
√适用 □不适用
未纳入租赁负债计量的可变租赁付款额
□适用 √不适用
简化处理的短期租赁或低价值资产的租赁费用
√适用 □不适用
   公司对短期租赁和低价值资产租赁的会计政策详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策
及会计估计”37.“租赁”。计入当期损益的短期租赁费用和低价值资产租赁费用金额如下：
 项目                    本期数           上年同期数
短期租赁费用                    453,021.31     296,619.30
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
   合计                    453,021.31         296,619.30
   项目                    本期数            上年同期数
租赁负债的利息费用                    739,089.44     722,693.17
与租赁相关的总现金流出                8,451,709.14   6,399,775.40
关的风险”之说明。
售后租回交易及判断依据
□适用 √不适用
与租赁相关的现金流出总额8,451,709.14(单位：元币种：人民币)
(2). 作为出租人
作为出租人的经营租赁
□适用√不适用
作为出租人的融资租赁
□适用 √不适用
未折现租赁收款额与租赁投资净额的调节表
□适用 √不适用
未来五年未折现租赁收款额
□适用 √不适用
(3). 作为生产商或经销商确认融资租赁销售损益
□适用 √不适用
其他说明
无
□适用 √不适用
□适用 √不适用
八、研发支出
√适用 □不适用
                                                     单位：元币种：人民币
             项目                    本期发生额               上期发生额
人工费                                  36,841,540.92       22,822,309.00
材料费                                  10,733,715.91        8,607,493.02
折旧摊销费                                11,869,958.53        6,664,379.80
产品测评费                                 6,261,611.61        6,809,282.98
             深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
办公差旅费                               2,203,920.15    1,634,827.02
服务费                                 2,960,122.06    2,107,628.50
租赁物业水电费                             2,560,108.72    1,530,531.81
委托研发费                               5,523,365.24    4,144,361.37
股份支付                                  378,128.53      327,387.75
其他                                    826,708.21      631,776.19
        合计                         80,159,179.88   55,279,977.44
其中：费用化研发支出                         80,159,179.88   55,279,977.44
其他说明：
无
□适用 √不适用
重要的资本化研发项目
□适用 √不适用
开发支出减值准备
□适用 √不适用
其他说明
无
□适用 √不适用
九、合并范围的变更
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
本期是否存在丧失子公司控制权的交易或事项
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
是否存在通过多次交易分步处置对子公司投资且在本期丧失控制权的情形
□适用 √不适用
            深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
其他说明：
□适用 √不适用
说明其他原因导致的合并范围变动（如，新设子公司、清算子公司等）及其相关情况：
√适用 □不适用
为进一步拓展海外市场、搭建海外研发平台、建设海外购销系统、推进国际化进程，公司于 2025
年 11 月在德国以境外直接投资的方式设立全资子公司德国恒运昌，注册资本为 250,000 欧元。
□适用 √不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
十、在其他主体中的权益
(1).企业集团的构成
√适用 □不适用
                                           单位：元币种：人民币
 子公司     主要经营                          持股比例(%)    取得
               注册资本        注册地 业务性质
  名称       地                          直接    间接    方式
深圳市
百世达
         广东省深              广东省
半导体           1,000,000.00     制造业    100.00   设立
         圳市                深圳市
设备有
限公司
恒运昌
真空技
         辽宁省沈 108,880,000. 辽宁省
术（沈                            制造业    100.00   设立
         阳市             00 沈阳市
阳）有限
公司
恒运昌
京昇半
导体科      北京市大 10,000,000.0 北京市
                               制造业    100.00   设立
技（北      兴区              0 大兴区
京）有限
公司
CSL
Vacuum
Science
         德国   250000 欧元 德国     制造业    100.00   设立
and
Technolo
gy GmbH
在子公司的持股比例不同于表决权比例的说明：
不适用
持有半数或以下表决权但仍控制被投资单位、以及持有半数以上表决权但不控制被投资单位的依
据：
不适用
对于纳入合并范围的重要的结构化主体，控制的依据：
不适用
确定公司是代理人还是委托人的依据：
不适用
其他说明：
无。
(2).重要的非全资子公司
□适用 √不适用
                     深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(3).重要非全资子公司的主要财务信息
□适用 √不适用
(4).使用企业集团资产和清偿企业集团债务的重大限制
□适用 √不适用
(5).向纳入合并财务报表范围的结构化主体提供的财务支持或其他支持
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
未纳入合并财务报表范围的结构化主体的相关说明：
□适用 √不适用
□适用 √不适用
十一、 政府补助
□适用 √不适用
未能在预计时点收到预计金额的政府补助的原因
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                         单位：元币种：人民币
                            本期计入
财务报表                 本期新增            本期转入         本期其他                与资产/收
        期初余额                营业外收                         期末余额
 项目                  补助金额            其他收益          变动                  益相关
                             入金额
递延收益
递延收益
                    深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
 合计                                                             /
√适用 □不适用
                                                   单位：元币种：人民币
        类型                   本期发生额                 上期发生额
与收益相关                              11,413,265.60            12,280,625.19
其他                                                              70,000.00
        合计                         11,413,265.60            12,350,625.19
其他说明：
无
十二、 与金融工具相关的风险
√适用 □不适用
   本公司从事风险管理的目标是在风险和收益之间取得平衡，将风险对本公司经营业绩的负
面影响降至最低水平，使股东和其他权益投资者的利益最大化。基于该风险管理目标，本公司风
险管理的基本策略是确认和分析本公司面临的各种风险，建立适当的风险承受底线和进行风险管
理，并及时可靠地对各种风险进行监督，将风险控制在限定的范围内。
   本公司在日常活动中面临各种与金融工具相关的风险，主要包括信用风险、流动性风险及
市场风险。管理层已审议并批准管理这些风险的政策，概括如下。
   (一) 信用风险
   信用风险，是指金融工具的一方不能履行义务，造成另一方发生财务损失的风险。
   (1) 信用风险的评价方法
   公司在每个资产负债表日评估相关金融工具的信用风险自初始确认后是否已显著增加。在
确定信用风险自初始确认后是否显著增加时，公司考虑在无须付出不必要的额外成本或努力即可
获得合理且有依据的信息，包括基于历史数据的定性和定量分析、外部信用风险评级以及前瞻性
信息。公司以单项金融工具或者具有相似信用风险特征的金融工具组合为基础，通过比较金融工
具在资产负债表日发生违约的风险与在初始确认日发生违约的风险，以确定金融工具预计存续期
内发生违约风险的变化情况。
   当触发以下一个或多个定量、定性标准时，公司认为金融工具的信用风险已发生显著增加：
经济或法律环境变化并将对债务人对公司的还款能力产生重大不利影响等。
   (2) 违约和已发生信用减值资产的定义
   当金融工具符合以下一项或多项条件时，公司将该金融资产界定为已发生违约，其标准与
已发生信用减值的定义一致：
不会做出的让步。
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
   预期信用损失计量的关键参数包括违约概率、违约损失率和违约风险敞口。公司考虑历史
统计数据（如交易对手评级、担保方式及抵质押物类别、还款方式等）的定量分析及前瞻性信息，
建立违约概率、违约损失率及违约风险敞口模型。
报表项目注释”4.“应收票据”、5.“应收账款”、7.“应收款项融资”、9.“其他应收款”之
说明。
   本公司的信用风险主要来自货币资金和应收款项。为控制上述相关风险，本公司分别采取
了以下措施。
   (1) 货币资金
   本公司将银行存款和其他货币资金存放于信用评级较高的金融机构，故其信用风险较低。
   (2) 应收款项和合同资产
   本公司持续对采用信用方式交易的客户进行信用评估。根据信用评估结果，本公司选择与
经认可的且信用良好的客户进行交易，并对其应收款项余额进行监控，以确保本公司不会面临重
大坏账风险。
   由于本公司仅与经认可的且信用良好的第三方进行交易，所以无需担保物。信用风险集中
按照客户进行管理。截至 2025 年 12 月 31 日，本公司存在一定的信用集中风险，本公司应收账款
和合同资产的 87.31%（2024 年 12 月 31 日：89.01%）源于余额前五名客户。本公司对应收账款和
合同资产余额未持有任何担保物或其他信用增级。
   本公司所承受的最大信用风险敞口为资产负债表中每项金融资产的账面价值。
   (二) 流动性风险
   流动性风险，是指本公司在履行以交付现金或其他金融资产的方式结算的义务时发生资金
短缺的风险。流动性风险可能源于无法尽快以公允价值售出金融资产；或者源于对方无法偿还其
合同债务；或者源于提前到期的债务；或者源于无法产生预期的现金流量。
   为控制该项风险，本公司综合运用票据结算、银行借款等多种融资手段，并采取长、短期
融资方式适当结合，优化融资结构的方法，保持融资持续性与灵活性之间的平衡。本公司已从多
家商业银行取得银行授信额度以满足营运资金需求和资本开支。
   金融负债按剩余到期日分类
                                                     期末数
 项目                                 未折现合同金                                           3 年以
                     账面价值                               1 年以内            1-3 年
                                         额                                             上
应付账款              30,038,801.54     30,038,801.54    30,038,801.54
租赁负债(含一年内到期的租赁负
债)
其他应付款                166,022.76         166,022.76      166,022.76
其他流动负债-期末未到期已背书
的银行承兑汇票
  小计              48,113,930.75     48,746,745.35    42,018,522.17   6,728,223.18
   （续上表）
                                                上年年末数
 项目                                未折现合同金                                            3 年以
                    账面价值                            1 年以内               1-3 年
                                        额                                              上
应付账款              40,719,386.87    40,719,386.87 40,719,386.87
租赁负债(含一年内到期的租赁
负债)
其他应付款               147,684.23         147,684.23       147,684.23
其他流动负债-期末未到期已背
书的银行承兑汇票
 小计               59,667,059.96    60,938,117.01     48,421,969.87   12,516,147.14
   (三) 市场风险
   市场风险，是指金融工具的公允价值或未来现金流量因市场价格变动而发生波动的风险。
市场风险主要包括利率风险和外汇风险。
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
   利率风险，是指金融工具的公允价值或未来现金流量因市场利率变动而发生波动的风险。
固定利率的带息金融工具使本公司面临公允价值利率风险，浮动利率的带息金融工具使本公司面
临现金流量利率风险。本公司根据市场环境来决定固定利率与浮动利率金融工具的比例，并通过
定期审阅与监控维持适当的金融工具组合。本公司面临的现金流量利率风险主要与本公司以浮动
利率计息的银行借款有关。
   外汇风险，是指金融工具的公允价值或未来现金流量因外汇汇率变动而发生波动的风险。
本公司面临的汇率变动的风险主要与本公司外币货币性资产和负债有关。对于外币资产和负债，
如果出现短期的失衡情况，本公司会在必要时按市场汇率买卖外币，以确保将净风险敞口维持在
可接受的水平。
  本公司期末外币货币性资产和负债情况详见第八节“财务报告”七、“合并财务报表项目注
释”81“外币货币性项目”(1)之说明。
(1). 公司开展套期业务进行风险管理
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(2). 公司开展符合条件套期业务并应用套期会计
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(3). 公司开展套期业务进行风险管理、预期能实现风险管理目标但未应用套期会计
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
(1).转移方式分类
√适用 □不适用
                                               单位：元币种：人民币
             已转移金融资产   已转移金融资产                    终止确认情况的
  转移方式                                    终止确认情况
                性质        金额                       判断依据
                                                 保留了其几乎所
票据背书         应收票据         3,335,908.85   未终止确认
                                                 有的风险和报酬
                                                 已经转移了其几
票据背书         应收款项融资       7,275,831.94   终止确认    乎所有的风险和
                                                 报酬
   合计           /        10,611,740.79       /       /
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(2).因转移而终止确认的金融资产
√适用□不适用
                                                    单位：元币种：人民币
                                终止确认的金融资产            与终止确认相关的利
    项目         金融资产转移的方式
                                    金额                 得或损失
应收款项融资         背书                    7,275,831.94
    合计              /                7,275,831.94
(3).继续涉入的转移金融资产
√适用 □不适用
                                                    单位：元币种：人民币
                                继续涉入形成的资产            继续涉入形成的负债
    项目           资产转移方式
                                    金额                   金额
应收票据           背书                    3,335,908.85
    合计              /                3,335,908.85
其他说明
□适用 √不适用
十三、 公允价值的披露
√适用 □不适用
                                                    单位：元币种：人民币
                                期末公允价值
    项目         第一层次公允价      第二层次公允  第三层次公允价
                                                         合计
                 值计量         价值计量     值计量
一、持续的公允价值计
量
（一）交易性金融资产
动计入当期损益的金融
资产
（1）债务工具投资
（2）权益工具投资
（3）衍生金融资产
且其变动计入当期损益
的金融资产
（1）债务工具投资
（2）权益工具投资
（二）其他债权投资
（三）其他权益工具投资
（四）投资性房地产
让的土地使用权
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
（五）生物资产
持续以公允价值计量的
资产总额
（六）交易性金融负债
动计入当期损益的金融
负债
其中：发行的交易性债券
     衍生金融负债
     其他
量且变动计入当期损益
的金融负债
持续以公允价值计量的
负债总额
二、非持续的公允价值
计量
（一）持有待售资产
非持续以公允价值计量
的资产总额
非持续以公允价值计量
的负债总额
□适用 √不适用
□适用 √不适用
√适用 □不适用
本公司持有的第三层次公允价值计量的应收款项融资为应收银行承兑汇票，其信用风险较小且剩
余期限较短，本公司以其票面余额确定其公允价值。
性分析
□适用 √不适用
策
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
√适用 □不适用
本公司不以公允价值计量的金融资产和金融负债主要包括：货币资金、应收票据、应收账款、其
他应收款、应付账款、其他应付款、租赁负债等，其账面价值与公允价值差异较小。
□适用 √不适用
十四、 关联方及关联交易
□适用 √不适用
本企业子公司的情况详见附注
□适用 √不适用
本企业重要的合营或联营企业详见附注
□适用 √不适用
本期与本公司发生关联方交易，或前期与本公司发生关联方交易形成余额的其他合营或联营企业
情况如下
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
√适用 □不适用
      其他关联方名称                 其他关联方与本企业关系
                        实际控制人乐卫平的配偶、间接持有公司 5%以上股份
曹立
                        的股东，行政总监
刘涛                      董事，战略发展总监
林伟群                     间接持有公司 5%以上股份的股东，研发总监
姚志毅                     监事会主席，软件研发经理
俞日明                     监事，高级销售经理
TAN YAN PENG            副总经理，运营总监
郑悦佳                     财务总监
庄丽华                     董事会秘书
其他说明
本公司的实际控制人为乐卫平，截至 2025 年 12 月 31 日，其直接持有公司 23.0866%的股份表决
权，并通过深圳市恒运昌投资有限公司、深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）、深圳市恒运昌投
资发展中心（有限合伙）分别间接控制公司 25.8179%、20.7787%和 3.1895%的股份表决权，合计
控制公司 72.8727%的股份表决权。
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(1).   购销商品、提供和接受劳务的关联交易
采购商品/接受劳务情况表
□适用 √不适用
出售商品/提供劳务情况表
□适用 √不适用
购销商品、提供和接受劳务的关联交易说明
□适用 √不适用
(2).关联受托管理/承包及委托管理/出包情况
本公司受托管理/承包情况表：
□适用 √不适用
关联托管/承包情况说明
□适用 √不适用
本公司委托管理/出包情况表
□适用 √不适用
关联管理/出包情况说明
□适用 √不适用
(3).关联租赁情况
本公司作为出租方：
□适用 √不适用
本公司作为承租方：
□适用 √不适用
关联租赁情况说明
□适用 √不适用
(4).关联担保情况
本公司作为担保方
□适用 √不适用
本公司作为被担保方
□适用 √不适用
关联担保情况说明
□适用 √不适用
(5).关联方资金拆借
□适用 √不适用
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(6).关联方资产转让、债务重组情况
□适用 √不适用
(7).关键管理人员报酬
√适用 □不适用
                                                      单位：元币种：人民币
      项目                        本期发生额                   上期发生额
关键管理人员报酬                             5,727,125.83          8,921,503.65
(8).其他关联交易
□适用 √不适用
(1).应收项目
□适用 √不适用
(2).应付项目
√适用 □不适用
                                                      单位：元币种：人民币
   项目名称            关联方              期末账面余额             期初账面余额
其他应付款
               乐卫平                                                 573.00
               林伟群                                                 971.00
               刘涛                         10,999.73              1,076.50
               姚志毅                         3,287.10                960.54
               TAN YAN PENG                   92.19                 92.19
               曹立                            401.00              2,636.00
               郑悦佳                           588.10
               庄丽华                         1,214.17
               俞日明                         3,181.10
小 计                                       19,763.39              6,309.23
(3).其他项目
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
十五、 股份支付
(1).明细情况
□适用 √不适用
(2).期末发行在外的股票期权或其他权益工具
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                           单位：元币种：人民币
以权益结算的股份支付对象
授予日权益工具公允价值的确定方法                近期外部投资者如何增资价格
授予日权益工具公允价值的重要参数                近期外部投资者如何增资价格
可行权权益工具数量的确定依据                  授予的员工持股平台权益份额
本期估计与上期估计有重大差异的原因               无
以权益结算的股份支付计入资本公积的累计金额           5,165,357.06
其他说明
无
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
    授予对象类别         以权益结算的股份支付费用          以现金结算的股份支付费用
管理人员                      1,215,508.58
研发人员                        313,511.24
销售人员                        378,128.53
生产人员                        142,510.05
      合计                  2,049,658.40
其他说明
无
□适用 √不适用
□适用 √不适用
十六、 承诺及或有事项
□适用 √不适用
                 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(1).资产负债表日存在的重要或有事项
□适用 √不适用
(2).公司没有需要披露的重要或有事项，也应予以说明：
□适用 √不适用
□适用 √不适用
十七、 资产负债表日后事项
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                 单位：元币种：人民币
拟分配的利润或股利                                            54,161,350.40
经审议批准宣告发放的利润或股利                                      54,161,350.40
□适用 √不适用
√适用 □不适用
行价为每股人民币 92.18 元，募集资金总额为 1,560,658,928.62 元。公司已于 2026 年 1 月 28 日正
式在上海证券交易所科创板挂牌上市。
十八、 其他重要事项
详见第五节“重要事项”的“五、公司对会计政策、会计估计变更或重大会计差错更正原因和影
响的分析说明”。
□适用 √不适用
(1).非货币性资产交换
□适用 √不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(2).其他资产置换
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
(1).报告分部的确定依据与会计政策
□适用 √不适用
(2).报告分部的财务信息
□适用 √不适用
(3).公司无报告分部的，或者不能披露各报告分部的资产总额和负债总额的，应说明原因
√适用 □不适用
本公司主要业务为生产和销售等离子体电源系统产品。公司将此业务视作为一个整体实施管理、
评估经营成果。因此，本公司无需披露分部信息。本公司收入分解信息详见“第八节财务报告”
附注七、61 之说明。
(4).其他说明
□适用 √不适用
□适用 √不适用
□适用 √不适用
十九、 母公司财务报表主要项目注释
(1).按账龄披露
√适用 □不适用
                                               单位：元币种：人民币
       账龄              期末账面余额                  期初账面余额
       合计                     106,785,268.09          85,032,724.51
                   深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(2).按坏账计提方法分类披露
√适用 □不适用
                                                                单位：元币种：人民币
                   期末余额                                        期初余额
            账面余额     坏账准备                               账面余额     坏账准备
  类别                    计提                   账面                     计提  账面
               比例                                          比例
           金额       金额  比例                   价值        金额       金额  比例  价值
               (%)                                         (%)
                        (%)                                         (%)
按单项计提
坏账准备
其中：
按组合计提              100.0                                        100.0
坏账准备                   0                                            0
其中：
  合计       85,26    /      502.7    /        11,76     2,724.    /       291.8   /      3,432.
按单项计提坏账准备：
□适用 √不适用
按组合计提坏账准备：
√适用 □不适用
组合计提项目：账龄组合
                                                                        单位：元币种：人民币
                                                     期末余额
      名称
             账面余额                         计提比例（%）    坏账准备
合并范围内关联方
组合
账龄组合          105,835,418.62 5,573,502.78        5.27
     合计       106,785,268.09 5,573,502.78        5.22
按组合计提坏账准备的说明：
√适用 □不适用
按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”
按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
   账龄                                               期末数
           账面余额                                     坏账准备                  计提比例（%）
   小计       105,835,418.62                           5,573,502.78                        5.27
                深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
(3).坏账准备的情况
√适用 □不适用
                                                             单位：元币种：人民币
                                       本期变动金额
  类别     期初余额                          收回或 转销或核                       期末余额
                         计提                                  其他变动
                                       转回    销
单项计提坏
账准备
按组合计提   4,449,291.8                                                   5,573,502.7
坏账准备              9                                                             8
  合计                    1,139,810.95             15,600.06
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明
无
(4).本期实际核销的应收账款情况
√适用 □不适用
                                                           单位：元币种：人民币
         项目                                             核销金额
实际核销的应收账款                                                        15,600.06
其中重要的应收账款核销情况
□适用 √不适用
(5).按欠款方归集的期末余额前五名的应收账款和合同资产情况
√适用 □不适用
                                                            单位：元币种：人民币
                                                        占应收账款和
                                        应收账款和合
           应收账款期        合同资产期末                          合同资产期末 坏账准备期末
单位名称                                    同资产期末余
            末余额           余额                            余额合计数的    余额
                                          额
                                                         比例（%）
拓荆科技股
份有限公司
及其控制的
公司[注]
湘潭宏大真
空技术股份   15,401,990.00                   15,401,990.00        14.42    863,779.50
有限公司
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
中微半导体
设备（上海）
股份有限公     6,336,322.80   6,336,322.80  5.93   316,816.14
司及其控制
的公司[注]
江苏微导纳
米科技股份     4,730,018.22   4,730,018.22  4.43   236,500.91
有限公司
北方华创科
技集团股份
有限公司及     4,535,933.00   4,535,933.00  4.25   226,796.65
其控制的公
司[注]
   合计    92,398,565.12  92,398,565.12 86.53 4,713,608.26
其他说明
  [注] 同一控制下的客户合并列示，详见“第八节 财务报告”附注七、“5、应收账款”之说
明。
其他说明：
□适用 √不适用
项目列示
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
        项目                期末余额                期初余额
其他应收款                        3,844,312.89        2,092,578.42
        合计                   3,844,312.89        2,092,578.42
其他说明：
□适用 √不适用
应收利息
(1).应收利息分类
□适用 √不适用
(2).重要逾期利息
□适用 √不适用
(3).按坏账计提方法分类披露
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备：
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备的说明：
□适用 √不适用
              深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
按组合计提坏账准备：
□适用 √不适用
按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无
对本期发生损失准备变动的应收利息账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
(4).坏账准备的情况
□适用 √不适用
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明：
无
(5).本期实际核销的应收利息情况
□适用 √不适用
其中重要的应收利息核销情况
□适用√不适用
核销说明：
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
应收股利
(1).应收股利
□适用 √不适用
(2).重要的账龄超过 1 年的应收股利
□适用 √不适用
(3).按坏账计提方法分类披露
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备：
□适用 √不适用
按单项计提坏账准备的说明：
□适用 √不适用
按组合计提坏账准备：
□适用 √不适用
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
按预期信用损失一般模型计提坏账准备
□适用 √不适用
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无
对本期发生损失准备变动的应收股利账面余额显著变动的情况说明：
□适用√不适用
(4).坏账准备的情况
□适用 √不适用
其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明：
无
(5).本期实际核销的应收股利情况
□适用 √不适用
其中重要的应收股利核销情况
□适用√不适用
核销说明：
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
其他应收款
(1).按账龄披露
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
       账龄               期末账面余额              期初账面余额
       合计                   4,865,196.79            2,607,220.88
(2).按款项性质分类情况
√适用 □不适用
                                            单位：元币种：人民币
     款项性质               期末账面余额              期初账面余额
押金保证金                       4,354,362.24         2,232,749.23
                      深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
其他                                                 510,834.55                  374,471.65
            合计                                   4,865,196.79                2,607,220.88
(3).坏账准备计提情况
√适用 □不适用
                                                               单位：元币种：人民币
                    第一阶段             第二阶段                 第三阶段
                                   整个存续期预期信             整个存续期预期信
   坏账准备            未来12个月预                                           合计
                                   用损失(未发生信             用损失(已发生信
                    期信用损失
                                     用减值)                 用减值)
额
                           ——                    ——                  ——
额在本期
--转入第二阶段              -71,587.54           71,587.54
--转入第三阶段                                   -9,262.72              9,262.72
--转回第二阶段
--转回第一阶段
本期计提                 113,971.95           142,111.79            250,157.70    506,241.44
本期转回
本期转销
本期核销
余额
各阶段划分依据和坏账准备计提比例
无
对本期发生损失准备变动的其他应收款账面余额显著变动的情况说明：
□适用 √不适用
本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：
□适用 √不适用
(4).坏账准备的情况
√适用 □不适用
                                                                     单位：元币种：人民币
                                            本期变动金额
   类别          期初余额                      收回或转                                 期末余额
                              计提               转销或核销                其他变动
                                           回
按组合计提                                                                         1,020,883.9
坏账准备                                                                                    0
   合计         514,642.46    506,241.44
其中本期坏账准备转回或收回金额重要的：
□适用 √不适用
其他说明
                  深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
无
(5).本期实际核销的其他应收款情况
□适用 √不适用
其中重要的其他应收款核销情况：
□适用 √不适用
其他应收款核销说明：
□适用 √不适用
(6).按欠款方归集的期末余额前五名的其他应收款情况
√适用 □不适用
                                                                单位：元币种：人民币
                           占其他应收款
                                                                      坏账准备
 单位名称       期末余额           期末余额合计       款项的性质             账龄
                                                                      期末余额
                           数的比例(%)
深圳市桃花
源科技产业
运营有限公
                                                      年、4-5 年
司
孙天园           81,839.68          1.68   其他            1 年以内               4,091.98
深圳市安居
和樾府管理         55,751.46          1.15   押金保证金         2-3 年              16,725.44
有限公司
供应商 LB        30,000.00          0.62   押金保证金         5 年以上              30,000.00
深圳市禾月
办公设备有           6,000.00         0.12   押金保证金                             1,350.00
                                                      年
限公司
  合计        4,415,911.11        90.77        /             /            997,569.61
(7).因资金集中管理而列报于其他应收款
□适用 √不适用
其他说明：
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                                                                单位：元币种：人民币
                              期末余额                              期初余额
    项目
                  账面余额        减值准备      账面价值        账面余额         减值准备 账面价值
对子公司投资
    合计
                      深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(1). 对子公司投资
√适用 □不适用
                                                                   单位：元币种：人民币
            期初余       减值准                 本期增减变动                     期末余  减值准
被投资单
           额（账面       备期初    追加投         减少投  计提减                   额（账面 备期末
  位                                                             其他
            价值）        余额     资           资   值准备                    价值）   余额
深圳市百
世达半导       1,000,00                                                     1,000,00
体设备有           0.00                                                         0.00
限公司
恒运昌真
空技术        78,880,0                                                     78,880,0
（沈阳）          00.00                                                        00.00
有限公司
恒运昌京
昇半导体
科技(北
京) 有限
公司
CSL
Vacuum
Science                      2,529,15                                   2,529,15
and                              0.00                                       0.00
Technolo
gy GmbH
  合计
(2). 对联营、合营企业投资
□适用 √不适用
(3).长期股权投资的减值测试情况
□适用 √不适用
其他说明：
无
(1). 营业收入和营业成本情况
√适用 □不适用
                                                                   单位：元 币种：人民币
                                        本期发生额                           上期发生额
           项目
                                收入                  成本              收入           成本
主营业务                        534,157,446.08     280,044,358.62
           合计               534,157,446.08     280,044,358.62
               深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
(2). 营业收入、营业成本的分解信息
√适用 □不适用
                                                        单位：元 币种：人民币
                           本期数                           上年同期数
   合同分类
                 营业收入                营业成本            营业收入     营业成本
商品类型
   自研产品        417,592,470.66    187,920,954.43     456,099,278.66       206,198,244.95
引进产品            86,613,168.60     74,572,231.47      81,608,224.57        69,572,853.19
技术服务            27,882,585.59     15,481,951.49       2,890,274.55         2,890,274.55
其他               2,069,221.23      2,069,221.23       2,396,043.06         2,395,720.87
按经营地区分类
   境内地区        533,124,409.19    279,552,911.12     541,781,775.67       280,396,968.06
境外地区             1,033,036.89        491,447.50       1,212,045.17           660,125.50
市场或客户类型
合同类型
按商品转让的时间分
类
   在某一时点确认
收入
按合同期限分类
按销售渠道分类
     合计        534,157,446.08    280,044,358.62     542,993,820.84       281,057,093.56
其他说明
□适用 √不适用
(3). 履约义务的说明
√适用 □不适用
                                                        单位：元 币种：人民币
                                公司承诺                 公司承担的预 公司提供的质
       履行履约义     重要的支                        是否为主
 项目                             转让商品                 期将退还给客 量保证类型及
       务的时间       付条款                        要责任人
                                的性质                   户的款项    相关义务
                 付款期限
                 一般为预
                 收或者产
                 品交付/
                 验收后的
                                                                         保证类质量保
销售商品   商品交付时     30-90 天    销售商品              是                  无
                                                                         证
                 到期，不
                 存在重大
                 融资成分
                 和可变对
                 价
                 一般为预
提供服务   服务提供时                提供服务              是                  无                   无
                 收
 合计        /         /           /            /                      -         /
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(4). 分摊至剩余履约义务的说明
□适用 √不适用
(5). 重大合同变更或重大交易价格调整
□适用 √不适用
其他说明：
无
√适用 □不适用
                                                   单位：元币种：人民币
       项目                 本期发生额                      上期发生额
交易性金融资产在持有期间的投资收
益
债务重组收益                                                  -220,332.00
       合计                                              2,585,546.96
其他说明：
无
□适用 √不适用
二十、 补充资料
√适用 □不适用
                                                   单位：元币种：人民币
         项目                        金额                  说明
非流动性资产处置损益，包括已计提资产减值
                                       -2,387.50
准备的冲销部分
计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营
业务密切相关、符合国家政策规定、按照确定
的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府
补助除外
除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业
务外，非金融企业持有金融资产和金融负债产
生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金
融负债产生的损益
计入当期损益的对非金融企业收取的资金占用
费
委托他人投资或管理资产的损益
对外委托贷款取得的损益
因不可抗力因素，如遭受自然灾害而产生的各
项资产损失
单独进行减值测试的应收款项减值准备转回
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企业取得子公司、联营企业及合营企业的投资
成本小于取得投资时应享有被投资单位可辨认
净资产公允价值产生的收益
同一控制下企业合并产生的子公司期初至合并
日的当期净损益
非货币性资产交换损益
债务重组损益
企业因相关经营活动不再持续而发生的一次性
费用，如安置职工的支出等
因税收、会计等法律、法规的调整对当期损益
产生的一次性影响
因取消、修改股权激励计划一次性确认的股份
支付费用
对于现金结算的股份支付，在可行权日之后，
应付职工薪酬的公允价值变动产生的损益
采用公允价值模式进行后续计量的投资性房地
产公允价值变动产生的损益
交易价格显失公允的交易产生的收益
与公司正常经营业务无关的或有事项产生的损
益
受托经营取得的托管费收入
除上述各项之外的其他营业外收入和支出                 -459,691.25
其他符合非经常性损益定义的损益项目
减：所得税影响额                           1,642,930.51
  少数股东权益影响额（税后）
         合计                        9,308,256.34
对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1 号——非经常性损益》未列举的项目认
定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1 号
——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。
□适用 √不适用
其他说明
□适用 √不适用
√适用 □不适用
                 加权平均净资产                      每股收益
    报告期利润
                  收益率（%）          基本每股收益             稀释每股收益
归属于公司普通股股东的净
利润
扣除非经常性损益后归属于
公司普通股股东的净利润
□适用 √不适用
           深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2025 年年度报告
□适用 √不适用
                                                董事长：乐卫平
                                 董事会批准报送日期：2026 年 4 月 25 日
修订信息
□适用 √不适用