华特气体：首创准分子激光气中微量氟的检测核心技术

证券之星消息，华特气体(688268)11月13日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：光刻气中含有微量氟气，氟气是自然界最活泼的元素，腐蚀性强，配气难度极大。公司在这一技术瓶颈上积累了哪些独门工艺？

华特气体回复：尊敬的投资者，您好！在气体分析检测领域，公司在业内首创准分子激光气中微量氟的检测核心技术，攻克重组分、百分比浓度含氟量检测等长期行业痛点。公司自主研发Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne和Ar/Ne/Xe等多款光刻电子混合气，是国内唯一一家多款光刻电子混合气（其中2款含有微量氟）同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体企业，彰显公司技术研发能力与精细化生产管控水平。感谢您的关注。

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责任编辑：刘浩然