盛美上海公布国际专利申请：“用于晶圆处理装置的调节设备及方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示盛美上海（688082）公布了一项国际专利申请，专利名为“用于晶圆处理装置的调节设备及方法”，专利申请号为PCT/CN2025/071176，国际公布日为2026年7月16日。

专利详情如下：

图片来源：世界知识产权组织（WIPO）

今年以来盛美上海已公布的国际专利申请29个，较去年同期减少了38.3%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了10.03亿元，同比增37.64%。

数据来源：企查查

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