拓荆科技：ALD设备已在存储芯片、逻辑芯片及先进封装等领域广泛应用

证券之星消息，拓荆科技(688072)07月17日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：公司的ald设备是采用臭氧路径吗？主要用于存储芯片制造吗？
拓荆科技董秘：感谢您对公司的关注。公司ALD系列产品包括PE-ALD（等离子体增强原子层沉积）和Thermal-ALD（热处理原子层沉积）设备产品，可沉积多种介质、金属及金属化合物等薄膜工艺，不同ALD工艺所采用的反应源不同，包括但不限于臭氧。公司ALD设备已在存储芯片、逻辑芯片及先进封装等领域广泛应用，谢谢！

本文数据来源于上海证券交易所e互动，仅供参考不构成投资建议。

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