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力合科技:LFGCMS-100系统应用于半导体车间空气监测

来源:证星董秘互动

2026-03-18 15:30:36

证券之星消息,力合科技(300800)03月18日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者:请问公司在半导体AMC监测业务方面有哪些进展谢谢!
力合科技董秘:尊敬的投资者,您好!公司自主研发的LFGCMS-100环境空气挥发性有机物气相色谱-质谱连续监测系统,高度集成了VOCs在线富集、GC-MS+FID联用检测、气体发生器、配气仪等仪器和部件,通过创新设计、多平台软件协同工作,可连续监测100余种VOCs组分,实现空气中VOCs组分连续24h定性定量监测。系统目前已应用于半导体车间空气监测。感谢您的关注!

投资者:请问公司在半导体AMC监测使用化学电离飞行时间质谱法技术吗?
力合科技董秘:尊敬的投资者,您好!目前公司在半导体AMC监测方面,有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案,监测原理暂未使用到化学电离飞行时间质谱法。感谢您的关注!

投资者:请问公司产品在半导体AMC监测领域浓度控制可以实现ppt级吗?谢谢!
力合科技董秘:尊敬的投资者,您好!目前公司在半导体AMC监测方面,有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案,AMC中部分参数可以到ppt级。感谢您的关注!

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

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2026-03-18

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