晶盛机电：12英寸减压外延设备广泛适用于逻辑芯片、存储芯片、硅光芯片、功率器件中的各项制程

证券之星消息，晶盛机电(300316)01月27日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：董秘您好：晶盛机电下属公司浙江求是创芯半导体设备有限公司（以下简称“求是创芯”）自主研发的12英寸常压硅外延设备完成突破。目前公司产品是否具备为存储芯片、逻辑芯片、硅光芯片中的各项制程提供技术服务？

晶盛机电回复：尊敬的投资者，您好。在芯片制造端，公司开发了应用于芯片制造的8-12英寸减压外延设备、ALD设备等薄膜沉积类设备。其中12英寸减压外延设备广泛适用于逻辑芯片、存储芯片、硅光芯片、功率器件中的各项制程；常压外延设备适用于功率器件；ALD设备适用于逻辑芯片、存储芯片中的各项制程。感谢您的关注。

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