来源:证券之星企业动态
2025-08-30 03:28:46
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示万润股份(002643)新获得一项发明专利授权,专利名为“用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置及方法”,专利申请号为CN202210797276.1,授权日为2025年8月29日。
专利摘要:本发明涉及用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置及方法,所述的装置包括承载盘、软垫片、压盖和输水泵,所述承载盘的上表面设有通水凹槽,所述软垫片设有通水孔,所述通水孔与所述通水凹槽的上表面形状完全相同,所述软垫片置于所述承载盘的上表面,所述通水孔与所述通水凹槽位置重合,所述软垫片的上表面放置晶圆,晶圆涂有光刻胶的一面与所述软垫片贴合,所述承载盘上设有进水口和出水口,所述通水凹槽的两端分别与所述进水口和出水口相通,所述输水泵通过输水管与所述进水口相通,所述晶圆的上端压合所述压盖。所述的装置结构简单,可以给光刻胶中光酸产生剂浸出量的测定带来极大的便利。
今年以来万润股份新获得专利授权16个,较去年同期减少了23.81%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.06亿元,同比减3.13%。
通过天眼查大数据分析,中节能万润股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目668次;财产线索方面有商标信息80条,专利信息530条;此外企业还拥有行政许可106个。
数据来源:天眼查APP
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