光刻机概念涨0.29%，主力资金净流入19股

截至5月14日收盘，光刻机概念上涨0.29%，位居概念板块涨幅第6，板块内，20股上涨，中船特气20%涨停，中瓷电子涨停，美迪凯、中润光学、旭光电子等涨幅居前，分别上涨8.01%、7.79%、7.76%。跌幅居前的有芯碁微装、沃格光电、茂莱光学等，分别下跌6.13%、5.43%、5.16%。

今日涨跌幅居前的概念板块

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入3.29亿元，其中，19股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是赛微电子，今日主力资金净流入8.14亿元，净流入资金居前的还有凯美特气、中瓷电子、旭光电子等，主力资金分别净流入3.07亿元、2.25亿元、1.82亿元。

资金流入比率方面，凯美特气、赛微电子、蓝英装备等流入比率居前，主力资金净流入率分别为17.01%、14.41%、10.05%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜