芯源微：前三季度签单同比增长，化学清洗机增长亮眼

芯源微(688037)11月3日披露投资者关系活动记录表显示，公司于10月30日与中泰证券、华西证券等机构投资者进行了互动交流。

芯源微专业从事半导体专用设备的研发、生产和销售，公司总部位于沈阳市浑南区，并在日本、上海、广州等地设有子公司。公司已形成前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装及化合物、核心零部件四大业务板块，产品累计出厂超过2000台套，是国内半导体设备细分领域龙头。

作为国内唯一可提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，芯源微生产的前道高产能涂胶显影机已实现与多款主流光刻机的联机量产，完成国内成熟制程工艺节点全覆盖；前道物理清洗机凭借高性价比优势，成功占领国内市场，市占率稳居国内第一；前道化学清洗机高举高打，高温SPM设备顺利完成头部客户工艺验证，成功打破国外垄断，为公司开辟第二增长曲线；后道先进封装领域涂胶显影机、单片式湿法设备已成为国内客户端主力机型并成功向海外多家客户实现销售；临时键合机、解键合机等应用于2.5D封装、HBM等领域的系列新品先后推出，机械手、胶泵、热盘等核心部件陆续实现国产化替代，公司综合竞争力持续增强。

芯源微前三季度实现营业收入9.9亿元，同比下降10%，主要原因是前道Track产品成熟性还不高，客户端验收节奏较慢；前道物理清洗前期交付给战略大客户的大批量机台验收推迟；前道化学清洗是公司的战略新产品，今年签单增幅比较明显，但机台从签单到交付验收通常需要一定时间，前三季度尚未贡献收入，预计后续会陆续贡献收入。

公司前三季度归母净利润-1004.9万元，主要原因是营收同比下降，同时人工成本增加等导致期间费用提升。

现金流方面，前三季度经营活动现金流净额为-2.3亿元，主要原因是战略新产品前道化学清洗机签单快速增长，物料备货采买支出大幅增加，同时人员增加导致员工薪酬等支出增加，结合业务实际来看，公司经营性现金流总体是良性的。

合同负债方面，三季度末公司合同负债较去年年末增长近80%，在一定程度上从侧面反映了签单的情况。

“整体上，公司从经营层面，无论是收入还是利润，今年会阶段性存在一些压力。但随着北方华创在今年6月成为公司控股股东并全面赋能以来，公司还是发生了很多新变化，各方面的管理精细度都在持续提升。在集团的大力支持下，公司正持续聚焦主要资源，力争在今明两年实现前道Track产品的快速突破，另外也将持续加大前道化学清洗新品的客户端导入力度，同时不断巩固在后道先进封装领域的领先优势，确保未来几年业务稳健发展。”芯源微表示。

芯源微在回答机构投资者提问时表示，从签单结构来看，前三季度公司整体签单中约60%是前道，后道封装和小尺寸产品占比不到40%。公司前三季度整体签单同比保持增长，其中化学清洗机增长亮眼，前三季度的签单是去年全年的数倍之多，增幅非常明显，这也是奠定明年公司化学清洗机收入的重要基础。公司新一代机型整体推进顺利，目前一直在做调试和验证，将力争在今年导入到客户端进行验证，有望在明年看到新一代高产能前道涂胶显影机在客户端的整体表现和效果。