恒运昌科创板IPO获受理 拟募资15.5亿元

半导体设备核心零部件供应商恒运昌拟冲刺科创板IPO。

6月13日上交所公告，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称“恒运昌”）科创板IPO获受理，公司拟募资15.5亿元。

招股书显示，恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

据了解，等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计，2023年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足7%，属于被“卡脖子”最严重的环节之一。

恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。恒运昌自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。与此同时，国内主要晶圆厂被美国商务部列入实体清单后，无法向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，恒运昌为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修的业务。

恒运昌已具备成熟的规模化量产能力，公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。截至2024年末，恒运昌与上述客户已实现百万级收入的自研产品共30款，实现千万级收入的自研产品共19款。

根据弗若斯特沙利文统计，2023年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为58.4亿元。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头MKS和AE高度垄断的竞争格局。恒运昌半导体级等离子体射频电源系统于2018年开始研发、2020年下半年开始批量交付，报告期内已实现大规模收入，产品性能获得市场认可。根据弗若斯特沙利文统计，2023年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。

业绩方面，2022年至2024年，恒运昌分别实现营收1.58亿元、3.25亿元和5.41亿元，净利润分别为2638.97万元、8053.58万元和1.43亿元。

本次IPO，恒运昌拟募资15.5亿元，投入到沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。恒运昌表示，募投项目的实施有利于公司扩大生产规模、加强研发投入、提升客户支持服务能力和扩充资本实力，进一步巩固公司在半导体级等离子体射频电源系统领域的领先地位，并继续助力先进制程半导体设备关键零部件的国产化进程。