东海证券：国际巨头退出三氟化氮业务 我国电子特气竞争力有望加强

智通财经APP获悉，东海证券发布研报称，近日日本巨头三井化学宣布，决定退出其全资子公司下关三井化学生产的三氟化氮(NF3)业务，生产将于2026年3月底停止，销售将于同年内结束。该行表示，此事或正说明我国相关产品已具备国际竞争力，并有望承接其退出市场，进一步扩大国际市场占有率。建议关注电子级气体相关上市代表企业：南大光电、中船特气、昊华科技、雅克科技等。

东海证券主要观点如下：

三氟化氮：半导体制造的“隐形关键材料”

三氟化氮(NF3)，在纯净状态下通常被认为是无色无味气体。在低温时呈现为不透明固体，温度上升到-216.54℃时变为透明，熔点为-206.79℃，沸点为-129.01℃，相对密度1.537(-129℃)。在高温下表现出良好的稳定性，可耐受高达627℃的温度。通常用熔盐电解法制得，也可直接氟化氨化钠或氨气而获得。

采用辉光放电法使氮气和氨气直接作用也能制备三氟化氮

三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅)，它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

电子气体受益新兴行业发展需求，目前海外四大巨头仍处垄断地位

据ACMI相关数据显示，预计2025年全球电子特气市场规模将达到60.23亿美元。据卓创资讯，2024年国内电子气体市场预计200亿元左右，电子大宗与电子特气分别整体占比55%/45%。广义上的电子气体是指具有电子级纯度的特种气体，主要分为电子大宗气体及电子特气，广泛应用在包括集成电路、显示面板、半导体照明和光伏等泛半导体行业。电子大宗供应品种少，稳定性保供性要求高;电子特气多达数百种，多用于光刻、刻蚀、掺杂、沉积等工艺环节。

竞争格局上，国际主要供应商60多家，主要分布在美欧日韩，通过整合兼并，形成空气产品、林德、液化空气和大阳日酸四大气体公司。在芯片用电子气体领域，四大公司在建设芯片工厂时同步建设气站和供气设施，提供整套气体解决方案，占全球近70%市场份额。

我国电子气体国产化水平提升，三氟化氮已成为净出口产品

随着近年来集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、高端装备制造、医疗健康等国家重点发展的新兴行业的发展，我国在电子级气体领域国产化有所快速提升，以三氟化氮为例，2023年，全球三氟化氮产能4.7万吨/年，产量4.4万吨，开工率为93%;中国三氟化氮产能为2.5万吨/年，产量约2.4万吨。中国生产商主要有中船特气、中国中化(昊华气体)、南大光电等。中国三氟化氮产能产量逐步提高，随着客户认证的增多，三氟化氮成为净出口产品。2023年进口量为344.23吨，出口量为2545.42吨，出口量是进口量的7.39倍。

风险提示：下游电子等行业需求不及预期风险;我国电子气体企业下游市场拓展不及预期风险;海外贸易保护政策风险。