奥普光电：超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目

同花顺（300033）金融研究中心12月23日讯，有投资者向奥普光电（002338）提问， 请问老师，超高分辨率汤姆逊散射光谱仪是用于Euv光刻机的，公司正在研发中；请问目前公司最高端的光谱仪能用于DUV光刻机吗？

公司回答表示，超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目，目标是研制出原理样机及工程样机，研发周期从2023年12月至2026年11月，目前尚未形成产品。感谢关注。

点击进入交易所官方互动平台查看更多