盛剑科技: 关于上海盛剑科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券申请文件的审核问询函的回复（修订稿）

关于上海盛剑科技股份有限公司
向不特定对象发行可转换公司债券
 申请文件的审核问询函的回复
    保荐人（主承销商）
    上海市黄浦区广东路 689 号
     二〇二五年三月
上海证券交易所：
  贵所于 2024 年 12 月 29 日出具的《关于上海盛剑科技股份有限公司向不特
定对象发行可转换公司债券申请文件的审核问询函》
                      （以下简称“审核问询函”）
已收悉。上海盛剑科技股份有限公司（以下简称“盛剑科技”、
                           “发行人”或“公
司”）与海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”或“保荐人”）、中汇会
计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“申报会计师”）、上海市方达律师事务
所（以下简称“发行人律师”）等相关方已就审核问询函中提到的问题进行了逐
项落实并回复，并对申请文件进行了相应的补充。
  本审核问询函回复中所使用的术语、名称、缩略语，除特别说明外，与其在
《上海盛剑科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券募集说明书》中
的含义相同。
            类别                        字体
审核问询函所列问题                    黑体（不加粗）
审核问询函问题回复、中介机构核查意见           宋体（不加粗）
补充、修订披露内容                    楷体（加粗）
  问题 1：关于本次募投项目必要性
  根据申报材料，1）本次募投项目为“国产半导体制程附属设备及关键零部
件项目”的一期子项目，计划生产产品主要包括工艺废气处理设备、真空设备以
及温控设备，并提升运维服务规模；报告期内，公司已开展工艺废气处理设备的
生产，最近一年一期的产能利用率较低，主要系产品预计销量未实现。2）项目
实施主体为公司控股子公司盛剑半导体，盛剑半导体原为公司全资子公司，2023
年 9 月通过增资扩股引入外部投资者榄佘坤企管及盛剑半导体员工持股平台勤
顺聚芯、勤顺汇芯，增资完成后，公司直接持有盛剑半导体股份的比例为 85.11%；
本次募投项目的建设资金拟由公司单方面以股东借款的形式投入盛剑半导体。3）
发建设项目”相关内容及募集资金拟投入金额。
  请发行人说明：
        （1）本次募投项目的具体内容，结合募投项目相关产品在报
告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进
一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性；
                       （2）结合公司现有产品结
构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新产品或新业务，与公司现有业务的
协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面的区别与联系，
公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力，目前产品研发及验证测试进度，
是否存在技术障碍，是否具有明确的销售渠道及商业化安排，本次募集资金是否
符合投向主业要求；
        （3）结合本项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发
展情况、上下游供需情况、同行业公司产能建设情况、发行人市场占有率、客户
验证进展或预计订单情况等，说明本项目新增产能规模的合理性及具体产能消化
措施；
  （4）结合盛剑半导体业务开展具体情况，分析本次通过盛剑半导体实施募
投项目的背景，前期引入榄佘坤企管及员工持股平台的原因及合理性，对本次实
施募投项目的具体影响，上述机构的股权结构及股东情况，与公司的具体关系，
是否存在退出安排、是否实缴出资，未同比例提款借款的主要考虑；
                             （5）前次募
集资金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例是否超过
  请保荐机构对上述事项进行核查并发表明确意见。请保荐机构及发行人律师
结合《监管规则适用指引—发行类第 6 号》第 8 条对问题（4）进行核查并发表
明确意见。请申报会计师对问题（5）进行核查并发表明确意见。
  【回复】
  一、本次募投项目的具体内容，结合募投项目相关产品在报告期内的生产
及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公
司开展本次募投项目的主要考虑及必要性
  （一）本次募投项目的具体内容
  为秉持“行业延伸+产品延伸”的发展战略，进一步深化在半导体产业链的
延伸布局，加速公司半导体产业链研发成果产业化，公司在上海市嘉定区投资建
设“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目”，以提升国产半导体制程附属
设备及关键零部件的生产能力、运维能力和产业竞争力。
  本次募投项目为“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目”的一期子项
目，该项目通过购置土地、投资建设新厂房、引进先进的生产设备及生产系统，
建造高度自动化的生产线，打造先进国产半导体制程附属设备平台，建设国产半
导体制程附属设备及关键零部件生产基地，以进一步扩大设备及关键零部件产品
的生产能力，并同步提升运维服务能力。
  本次募投项目计划生产产品主要包括工艺废气处理设备、真空设备以及温控
设备，该项目建设有助于公司现有工艺废气处理设备生产产线高度自动化升级，
进一步提高产品生产工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号，提升公司工艺
废气处理设备的行业市场份额；有助于加速真空设备和温控设备等新产品的产业
化，壮大国产半导体制程附属设备及关键零部件运维服务业务板块，更好地满足
集成电路、半导体显示及新能源等下游领域日益增长的市场需求。
  本次募投项目运维服务的运维产品为本次募投项目计划生产的工艺废气处
理设备、真空设备等产品，运维服务内容为工艺废气处理设备、真空设备等产
品的零部件和耗材的维修更换及提供定期检修服务等。
  （二）结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率
情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主
要考虑及必要性
  本次募投项目实施是公司坚持秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略，进一
步深化在半导体产业链的延伸布局的必要措施，有助于公司积极推进研发成果产
业化，有助于公司满足客户多样化和一站式采购需求，有助于提升公司产品的市
场竞争力，有助于推进我国半导体制程附属设备和关键零部件的国产化进程。
进一步深化在半导体产业链延伸布局的必要措施
  半导体产业是国家战略性新兴产业，是加快发展新质生产力、扎实推进高质
量发展的重要产业方向，该产业技术含量高、附加值高，相对毛利率较高。
  自公司创立开始，始终秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略，业务便涉及
半导体产业相关业务。在服务过程中，公司意识到国家发展半导体产业的决心和
重视程度，作为与半导体生产工艺息息相关的工艺废气治理必将迎来难得的发展
机遇。公司将业务重点聚焦于半导体工艺废气治理领域。但这对公司技术与产品
提出更高的要求，为此公司开始进行技术与产品的转型升级。2011 年，公司产
品不锈钢涂层风管通过 FM Approvals 关于半导体洁净室专用的排气及排烟管道
系统认证；2012 年，公司首次整体承接半导体工艺废气治理系统项目；2017 年，
公司技术研发重点为工艺废气处理设备国产化研制和湿电子化学品供应与回收
再生技术研究；2018 年，公司完成工艺废气处理设备单腔等离子水洗机型的研
制开发并实现销售。
  为进一步深化在半导体产业链的延伸布局，公司本次募投项目在半导体制程
附属设备工艺废气处理设备生产扩产基础上，积极推进新产品真空设备和温控设
备的产业化，壮大国产半导体制程附属设备及关键零部件运维服务业务板块。
  公司工艺废气处理设备、真空设备和温控设备产品共同服务于半导体生产线
主设备，其主要工序流程图如下：
  工艺废气处理设备与中央废气治理设备共同作用于半导体制程，其中工艺废
气处理设备对半导体制程腔排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒
有害废气进行源头处理，源头处理后的工艺废气再通过中央废气治理设备进一步
处理，而中央废气治理设备作为公司主要产品绿色厂务系统的重要组成部分，可
针对生产车间及周围支持设备内产生的酸性、碱性、有机物等进行中央端无害化
处理。
  真空设备与工艺废气处理设备相连，可使半导体工艺制程腔反应腔体内部形
成发生反应所必须的真空环境，并抽离工艺废气，传输至工艺废气处理设备中进
行无害化处理。
  公司本次募投项目产品之一温控设备与半导体工艺制程腔相连，可对工艺制
程腔进行高精密的温度控制，以实现半导体工艺制程的控温需求。
  因此，本次募投项目实施是公司坚持秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略，
进一步深化在半导体产业链延伸布局的必要措施。
投项目实施有助于公司积极推进研发成果产业化
  半导体附属设备及关键零部件的性能稳定性直接关系到半导体行业产线的
产能利用率、产品良率，因此半导体附属设备及关键零部件的技术研发要求高、
周期长，公司报告期内持续开展相关产品研发投入，在稳定性、处理效率及精度
等多方面进行提升，不断优化产品的结构和设计，以满足半导体制造工艺不断升
级的需求。
   公司目前工艺废气处理设备整体性能上与行业主流产品指标接近，报告期内
已实现量产，本次募投项目实施将实现生产产线高度自动化升级，进一步提高产
品生产工艺精度，并可满足工艺废气处理设备升级产品和型号的产业化。
   公司真空设备技术指标与行业主流产品相近，温控设备技术指标与行业主流
产品基本相近，报告期内上述产品未产生收入，但公司已完成上述产品的研制开
发或测试验证，积极开展产品商业化开拓，本次募投项目实施将实现公司真空设
备和温控设备的研发成果产业化。
   （1）工艺废气处理设备与行业主流产品关键指标对比情况
   工艺废气处理设备关键指标为废气处理效率和无故障工作时间等，公司工艺
废气处理设备上述关键指标与行业主要主流产品关键指标接近。公司工艺废气处
理设备整体性能上与京仪装备较为接近，市场主流产品均有布局。
   公司工艺废气处理设备主要竞争对手主要为京仪装备、爱德华公司及戴思公
司，相关产品关键指标对比情况如下：
                             爱德华公司           戴思公司
             京仪装备 Kylin
   项目                      ATLAS/PROTEUS   ESCAPE 系列        发行人
              系列产品
                              系列产品            产品
             燃烧水洗式、等                                   等离子水洗、燃烧
                           燃烧水洗式、电热
废气处理方式       离子水洗、电热                       燃烧水洗式       水洗式、电热水洗
                           水洗式
             水洗式                                       式
废气处理效率       ≥99%          ≥99%            ≥99%        ≥99%
废气处理量        最高 1,600slm   最高 1,200slm     最高 600slm   1,500slm/3,000slm
MTBF （ 平 均
无故障工作时       ≥6,000 小时     ≥6,000 小时       ≥6,000 小时   ≥6,000 小时
间）
维护周期         ＞30 天         ＞30 天           ＞30 天       ＞30 天
Up Time（系统
             ≥99%          ≥99%            ≥99%        ≥99%
在一定时间周
                             爱德华公司           戴思公司
            京仪装备 Kylin
  项目                       ATLAS/PROTEUS   ESCAPE 系列        发行人
             系列产品
                              系列产品            产品
期内正常运行
的时间比例）
  数据来源：京仪装备招股说明书、问询回复及公告文件、爱德华公司及戴思公司公开资
料。
   （2）真空设备与行业主流产品关键指标对比情况
   真空设备关键指标为抽速、极限真空压力和极限真空功率等，公司真空设备
的抽速、极限真空压力指标与行业主要主流产品关键指标接近，在极限真空功率
指标上优于行业主流产品。公司真空设备在相同运行背景下具有功率优势，整体
技术水平与同行业可比公司相近，且相关产品已在客户处进行验证，报告期内暂
未产生收入。
   公司真空设备国内市场的竞争对手主要为中科仪、爱德华公司以及荏原机械，
相关产品关键指标对比情况如下：
                                   爱德华公司         荏原机械
                     中科仪
       项目                         Edwards iXM     Ebara       发行人
                   SGH 系列产品
                                    系列产品        EV 系列产品
抽速（m³/h）           1,800          1,720         600-6,600   1,800
极限真空压力（Pa）         0.5            0.3           0.5         0.3
极限真空功率（kW）         >4.0           2.3           1.8         1.6
  数据来源：中科仪招股说明书、爱德华公司及荏原机械公司公开资料。
   （3）温控设备与行业主流产品关键指标对比情况
   温控设备关键指标为温控精度等，公司温控设备与行业主流产品基本接近。
公司相关设备已在第三方测试验证阶段并已与客户开展技术交流，报告期内暂未
产生收入。
   公司温控设备国内市场的竞争对手主要为京仪装备、ATS 公司及 SMC 公司，
相关产品关键指标对比情况如下：
                                      ATS 公司 ENT        SMC 公司
       项目           京仪装备 V101                                         发行人 SJ-F101
                                          产品             HRZ008
 温控范围               -20℃~+90℃         -20℃~+150℃      -20℃~+90℃      -20℃~+90℃
                    ± 0.05 ℃ ~ ±
 温控精度                                 公开信息未见          ±0.1℃（空载） ±0.1℃（空载）
 冷却能力               4kW@-10℃          4.5kW@-10℃      8kW@+20℃       6kW@-10℃
 数据来源：京仪装备招股说明书、ATS 公司和 SMC 公司公开资料。
                                               SMC 公司
                              ATS 公司 ESL
 项目         京仪装备 V201                         HRZD020-WS-           发行人 SJ-F201
                                  产品
                                                  WS
            -20℃~   -20℃~     -30℃~   -30℃~   -30℃~    -30℃~                  -20℃~+90
温控范围                                                            -20℃~+90℃
            +90℃    +90℃      +90℃    +90℃    +90℃     +90℃                   ℃
                                              ±0.1℃    ±0.1℃
                                                                ±0.1℃ （ 空     ±0.1℃ （ 空
温控精度        ±0.2℃   ±0.2℃     ±0.2℃   ±0.2℃   （ 空      （ 空
                                                                载）            载）
                                              载）       载）
                              @-10    @-10    9.5kW    9.5kW
冷却能力                          ℃       ℃       @+20     @+20
            -10℃    -10℃                                        10kW@+20      10kW@+20
                                                                ℃             ℃
                              +25℃    +25℃
 数据来源：京仪装备招股说明书、ATS 公司和 SMC 公司公开资料。
       项目                     京仪装备 S301                        发行人 SJ-F3403
                    -20℃       +30℃       +30℃        -20℃        +30℃      +30℃
 温控范围
                    ~+90℃      ~+100℃     ~+40℃       ~+120℃      ~+170℃    ~+170℃
 温控精度               ±0.1℃      ±0.1℃      ±0.1℃       ±0.1℃       ±0.1℃     ±0.1℃
 冷却能力
 数据来源：京仪装备招股说明书
 于提升公司产品的市场竞争力
       （1）公司报告期内工艺废气处理设备的产量、销量和产能利用率等数据波
 动主要受客户数量和客户项目影响，公司已积极推进客户转化工作
  报告期内，本次募投项目相关产品工艺废气处理设备产量、销量和产能利用
率等数据存在一定波动，主要系验证客户数量少和部分客户订单量波动导致，具
体情况如下：
                                                      单位：套
产品名称       项目    2024 年 1-9 月   2023 年度    2022 年度    2021 年度
           产量             257        285      1,241        545
工艺废气处      总销量            283        249        798        542
 理设备     产能利用率         76.95%     63.62%    153.31%     95.78%
           产销率        110.12%     87.37%     64.30%     99.45%
工艺废气处理设备的订单量较高，公司增加了生产排产时间，同时部分通过外采
满足生产需求。公司 2023 年度半导体附属设备产能利用率较低，主要原因系 2023
年半导体附属设备产品预计销量未实现，公司减少生产排产，导致产品产量较低。
公司 2023 年半导体附属设备产品预计销量未实现主要受某集成电路大客户项目
因其自身原因延期启动等多方面因素影响，同时公司其他集成电路行业客户产品
验证时间长，公司产品尚处于验证测试阶段。2024 年 1-9 月，公司半导体附属设
备销量增长，产能利用率企稳回升。
  公司本次募投项目相关产品的下游应用领域客户与绿色厂务系统客户重合，
公司已加快将绿色厂务系统客户转化为本次募投项目相关产品的客户。报告期各
期，公司工艺废气处理设备前五大客户销售收入占比均为 90%以上，该部分客户
均为公司绿色厂务系统客户。
  截至本问询回复出具之日，公司的工艺废气处理设备已开拓北方华创、中芯
国际、长江存储、中环半导体等半导体龙头客户以及天合光能、隆基绿能等新能
源领域龙头客户。
  未来，随着公司客户数量进一步开拓和客户订单采购量持续增加，公司产能
利用率和产销率数据预计波动将减少，产品产量和销量预计将进一步提升。
  （2）半导体制程环节较多，客户对本次募投项目相关产品类型的需求存在
多元化；同时，本次募投项目相关产品在半导体制程环节共同发挥作用，客户
对于产线的搭建会考虑不同设备及零部件之间的一致性
  报告期内，基于公司研发技术突破，公司加大绿色厂务系统客户转化为工艺
废气处理设备的客户，转化工作良好。截至 2025 年 2 月 28 日，公司本次募投项
目相关产品的在手订单金额 8,373.74 万元。
  本次募投项目将进一步丰富公司产品型号，公司报告期内工艺废气处理设备
的销售型号为单腔等离子水洗式和单腔电加热水洗式等两款，本次募投项目达产
后公司新增双腔等离子水洗式、双腔燃烧水洗式等型号的量产能力，不同型号的
设备在废气处理效率、产品售价存在较大差异。半导体制程环节较多，客户基于
成本效益原则，根据废气处理效率、产品售价等因素，会在制程不同环节选择不
同类型的工艺废气处理设备。
  同时，下游客户对于半导体产线的搭建会考虑不同设备及零部件之间的一致
性，公司在工艺废气处理设备领域积累的半导体客户资源和市场影响力预计在真
空设备和温控设备等新业务领域得到转化。
  因此，本次募投项目实施有助于公司满足客户多样化和一站式采购需求，有
助于提升公司产品的市场竞争力。
化进程
  国内半导体制程附属设备及关键零部件市场由几家国际大型供应商主导，该
国际大型供应商在技术、工艺水平、客户资源和品牌影响力等方面具有先发优势，
在全球市场占据重要地位，市场集中度较高。
  在当前国际贸易形势和国家产业政策的推动下，尤其是美国商务部工业和安
全局（BIS）新规影响下，半导体制程附属设备国产化进程加快。国内半导体制
程附属设备及关键零部件企业将迎来更多的发展机遇。通过技术研发和产品升级，
提高设备的性能和质量，国内产品将逐步实现国产替代，降低对进口设备的依赖。
国内企业在本地化服务、性价比等方面具有一定优势，有望在国产替代进程中占
据更大的市场份额。
  公司已具备本次募投项目相关产品自主生产能力，本次募投项目建成后，公
司有望凭借规模化生产和本土服务优势，打造出高性价比的本土产品，推动本土
工艺废气处理设备、真空设备和温控设备自主供给率的提升，对于促进下游行业
供应链的稳定和推动行业的健康发展具有重要意义。
  （1）国内工艺废气处理设备的国产化率整体低于 30%，公司工艺废气处理
设备在整体性能上与行业主流产品指标接近，在技术上具有国产替代的可行性，
并已开拓北方华创、中芯国际、长江存储、中环半导体等半导体龙头客户，本
次募投项目的实施有助于提升公司工艺废气处理设备的国产替代进程
  根据《京仪装备首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》内容，2022
年国内工艺废气处理设备市场前六名供应商合计市场占有率约为 90%，其中京仪
装备销售规模为 22,683.86 万元，市场占有率为 15.57%。根据公司 2022 年度的
工艺废气处理设备的销售收入 17,345.47 万元及国产工艺废气处理设备的竞争
情况，预计国内工艺废气处理设备市场国产化率低于 30%。2022 年以来，地缘
政治不确定性持续加剧，半导体附属设备及关键零部件仍处于国产替代的黄金
期。
  目前国内工艺废气处理设备主要供应商包括国外厂商爱德华、戴思和国内
厂商京仪装备、发行人，主要竞争对手的简要情况如下：
公司名称         基本情况                主要产品和服务        率情况
                                           市占率      排名
       德国公司，成立于 1991 年，主要从
       事以废水处理系统、废气处理系统为
戴思公司   中心的开发活动。该公司废气处理系 工艺废气处理设备           18.14%   1
       统被广泛应用于半导体、光伏、面板、
       LED、微机电系统等产业
                        工业干泵及系统、
       英国公司，为工业、科研、半导体、 化学干泵及系统、
爱德华公   太阳能、平板显示、生物燃料等行业 无油干泵及系统、
 司     的下游客户提供工艺废气处理设备、 回 旋 式 活 塞 真 空
       真空设备和有关技术解决方案    泵、工艺废气处理
                        设备等
       国内公司，成立于 2016 年，上海证
       券交易所科创板上市公司（股票代
       码：688652），主要从事半导体专    半导体专用温控设
京仪装备   用设备的研发、生产和销售，主营产      备、半导体专用工   15.57%   3
       品包括半导体专用温控设备、半导体      艺废气处理设备等
       专用工艺废气处理设备和晶圆传片
       设备。
   工艺废气处理设备关键指标为废气处理效率和无故障工作时间等，目前公
司工艺废气处理设备上述关键指标与行业主要主流产品关键指标接近，已具备
替代国外供应商的技术储备。具体详见本问询回复“问题一、关于本次募投项
目必要性”之“（二）结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产
能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投
项目的主要考虑及必要性”之“2、本次募投项目相关产品市场竞争指标与行业
主流产品整体接近，本次募投项目实施有助于公司积极推进研发成果产业化”
之“（1）工艺废气处理设备与行业主流产品关键指标对比情况”相关内容。
   截至本问询回复出具之日，公司的工艺废气处理设备已开拓北方华创、中
芯国际、长江存储、中环半导体等半导体龙头客户。公司将通过本次募投项目
的实施，增强公司工艺废气处理设备的生产能力并同步提升产品技术水平，持
续拓展龙头客户，在商业端逐步实现工艺废气处理设备的国产替代。
   （2）国内真空设备的国产化率整体不足 10%，公司真空设备在整体性能上
与行业主流产品指标接近，在技术上具有国产替代的可行性，公司已积极开展
真空设备的客户验证工作，本次募投项目的实施有助于提升公司真空设备的国
产替代进程
   根据东吴证券测算，2022 年国内半导体真空泵国产化率仅为 6%。根据汉钟
精机 2024 年半年度报告，半导体真空泵目前主要由国外企业主导，欧美日品牌
占据整个市场 90%左右份额。根据上述数据测算，半导体真空设备国产化率不足
   目前市场主要真空设备供应商包括国外厂商德国普发、爱德华、荏原机械
和国内厂商中科仪，主要竞争对手的简要情况如下：
公司名称             基本情况               主要产品和服务
德国普发公   德国公司，成立于 1890 年，为全球著名真空   真空阀、真空泵及真空泵组、
  司     泵供应商                      质谱仪及测量仪
        英国公司，为工业、科研、半导体、太阳能、      工业干泵及系统、化学干泵
        平板显示、生物燃料等行业的下游客户提供       及系统、无油干泵及系统、
爱德华公司
        工艺废气处理设备、真空设备和有关技术解       回旋式活塞真空泵、工艺废
        决方案                       气处理设备等
        日本公司，成立于 1912 年，是涵盖风水力机
荏原机械公   械、环境工程、精密电子、新能源四大领域       通用泵、定制泵、供水机组、
  司     的综合性企业，为目前全球规模最大的泵类       水处理等产品
        产品制造企业之一，年销售额超过 45 亿美元
        国内公司，成立于 2001 年，主要从事干式真
                                  干式真空泵、真空科学仪器
 中科仪    空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售，
                                  设备及相关技术服务等
        并提供相关技术服务。
  真空设备关键指标为抽速、极限真空压力及极限真空功率等，目前公司真
空设备上述关键指标与行业主要主流产品关键指标接近，已具备替代国外供应
商的技术储备。具体详见本问询回复“问题一、关于本次募投项目必要性”之
“（二）结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况
及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主要考
虑及必要性”之“2、本次募投项目相关产品市场竞争指标与行业主流产品整体
接近，本次募投项目实施有助于公司积极推进研发成果产业化”之“（2）真空
设备与行业主流产品关键指标对比情况”相关内容。
  截至本问询回复出具之日，公司的真空设备已获得 SEMI S 系列及 SEMI F
系列认证，且已在多家客户处开展可靠性测试验证工作。公司将通过本次募投
项目的实施，打造国产半导体附属设备及关键零部件平台，持续探求市场机会，
争取在客户端完成相关产品的国产替代。
  （3）国内温控设备的国产化率低于 40%，公司温控设备在整体性能上与行
业主流产品指标接近，在技术上具有国产替代的可行性，公司已积极开展温控
设备的客户交流工作，本次募投项目的实施有助于提升公司温控设备的国产替
代进程
  根据 QY Research 数据，2022 年中国大陆约 60%的半导体专用温控设备市
场被海外厂商占据，市场集中度较高，市场前六名供应商市场占有率在 90%左右，
国产化率不足 40%。2022 年以来，地缘政治不确定性持续加剧，半导体附属设
备及关键零部件仍处于国产替代的黄金期。
   目前市场主要温控设备供应商包括国外厂商 ATS、SMC 和国内厂商京仪装备，
主要竞争对手的简要情况如下：
公司名称            基本情况               主要产品和服务        率情况
                                             市占率      排名
         国内公司，成立于 2016 年，上海证
         券交易所科创板上市公司（股票代
         码：688652），主要从事半导体专用   半导体专用温控设
京仪装备     设备的研发、生产和销售，主营产品      备、半导体专用工      35.73%   1
         包括半导体专用温控设备、半导体专      艺废气处理设备等
         用工艺废气处理设备和晶圆传片设
         备。
         加拿大公司，成立于 1998 年，全球
         知名温控解决方案提供商。ATS 公司
                               单通道、双通道、
ATS 公司   温控系统行业经验丰富，其标准产品                    18.60%   2
                               三通道热交换系统
         及定制产品被广泛应用于半导体、微
         电子、光伏、激光以及食品饮料行业
         日本公司，成立于 1959 年，东京证   温控器、压缩空气
         券交易所上市公司（股票代码：        净化元件、气动辅
SMC 公司                                       10.13%   3
         设计及生产活动               型元件
   温控设备关键指标为温控范围、温控精度及冷却能力等，目前公司温控设
备上述关键指标与行业主要主流产品关键指标接近，已具备替代国外供应商的
技术储备。具体详见本问询回复“问题一、关于本次募投项目必要性”之“（二）
结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波
动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必
要性”之“2、本次募投项目相关产品市场竞争指标与行业主流产品整体接近，
本次募投项目实施有助于公司积极推进研发成果产业化”之“（3）温控设备与
行业主流产品关键指标对比情况”相关内容。
   截至本问询回复出具之日，公司的温控设备已获得 SEMI S 系列及 SEMI F
系列认证，并已与多家客户开展技术交流。公司将通过本次募投项目的实施，
提升公司在行业下游客户中的影响力，同时积极与相关客户进行技术交流及验
证测试，争取在客户端完成相关产品的国产替代。
  （4）本次募投项目的实施有助于公司在国际贸易摩擦背景下提升量产能力，
加快国产替代进程，有利于维护国内半导体产业链的安全
  在国际贸易形势日趋复杂、贸易摩擦不断加剧的大背景下，半导体产业供
应链面临着前所未有的挑战，关键技术与产品的供应稳定性受到严重威胁。在
此关键时刻，公司拟通过本次募投项目实施，在半导体附属设备及关键零部件
领域逐步实现国产替代。
  公司本次募投项目主要产品工艺废气处理设备、真空设备及温控设备在技
术层面上达到国际同类产品水平，更在本土化响应速度上具备显著优势。本次
募投项目的实施，将使得公司在具备相关技术储备的基础上提升量产能力，进
一步加快国产替代进程，此举一方面可以保障国内半导体产业链各环节的设备
与技术供给，有效避免因国际形势变化导致的断供风险，维护产业链的连续性
与稳定性；另一方面，也将促进本土半导体产业上下游的协同发展，增强产业
集群的整体竞争力，对于提升国内半导体产业在全球产业链中的地位、保障国
家信息安全和产业安全有着深远的战略意义。
和行业供应商准入要求特点
  报告期内，公司工艺废气处理设备已实现量产并批量交付；公司真空设备
和温控设备的研发取得阶段性成果，已完成样机的研制，真空设备已完成小批
量试产。
  为实现工艺废气处理设备生产产线高度自动化升级，进一步提高产品生产
工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号，公司决定实施本次募投项目。同
时，公司考虑到真空设备、温控设备已完成研发，在生产工艺上与工艺废气处
理设备具有相通性，可以共用高精密机加工及机械装备和测试设备，因此本次
募投项目在工艺废气处理设备产线扩产的基础上，将加速真空设备和温控设备
等新产品的产业化，壮大公司国产半导体制程附属设备及关键零部件业务板块。
  半导体行业终端客户行业集中度高，下游厂商在全球具有较大的影响力，
其对产品的稳定性、可靠性、一致性要求极高，在成为其合格供应商前，需通
过严格的质量管理体系审核和产品性能检测认证。严格的质量管理体系审核具
体表现为客户通过对供应商进行验厂，检查供应商的生产能力与质量保证能力，
对生产环境、技术水准、工艺特征等方面进行严格考察审核，确保供应商具备
良好的生产能力、质量控制能力、环保安全意识等。公司通过现有产线进行真
空设备、温控设备的研发、测试及试产，在客户端加快技术交流、研发测试及
商业转化，待新产线建成时可以加快供应商评审、验厂工作，时间安排上具有
互补性和同步性。上述科学性规划，可以加快公司新产品的商业化落地，使得
新产线可以最快、最大发挥产能效应。
  公司通过本次募投项目的实施，有助于加快公司工艺废气处理设备新型号、
真空设备和温控设备等在客户端的供应商导入，符合半导体行业的建厂特点和
行业供应商准入要求。
  二、结合公司现有产品结构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新产
品或新业务，与公司现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、
下游客户等方面的区别与联系，公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力，
目前产品研发及验证测试进度，是否存在技术障碍，是否具有明确的销售渠道
及商业化安排，本次募集资金是否符合投向主业要求
  （一）结合公司现有产品结构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新
产品或新业务
  本次募投项目拟生产产品包括工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等，
其中工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，不涉及新产品或新业务；真
空设备和温控设备是公司秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略进行研发并拟量
产的新产品，其与公司现有业务主营产品工艺废气处理设备共同作用于半导体
制程设备反应腔的辅助控制，产品应用领域一致，三类设备具有协同效应，均
属于半导体制程附属设备，因此真空设备和温控设备不属于新业务。本次募集
资金使用符合投向主业的要求。
报告期内已量产并实现销售收入
    公司在集成电路、半导体显示产业工艺废气治理领域具有竞争优势和自主创
新能力，拥有多项自主研发的核心技术成果，现有业务产品主要包括绿色厂务系
统、设备及关键零部件产品、电子化学品材料。公司设备及关键零部件产品包括
半导体附属设备及关键零部件、工艺排气管道和中央废气治理设备，半导体附属
设备主要为工艺废气处理设备。
    本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，公
司本次募投项目拟生产工艺废气处理设备整机型号报告期内已实现量产收入
    因此，本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备不涉及新产品或新业务。
现有业务主营产品工艺废气处理设备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助
控制，产品应用领域一致，三类设备具有协同效应，均属于半导体制程附属设
备
    报告期内，本次募投项目拟生产产品真空设备和温控设备未形成销售收入。
本次募集资金投资项目产品中的真空设备及温控设备为公司基于“行业延伸+产
品延伸”发展战略进行的新产品拓展，与公司现有业务主营产品工艺废气处理设
备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，产品应用领域一致，三类设
备具有协同效应，均属于半导体制程附属设备。
    因此，本次募投项目拟生产产品真空设备和温控设备涉及新产品，但不涉
及新业务。
    （二）本次募投项目与公司现有业务的协同效应
    本次募集资金投资项目主要围绕公司主营业务进行，是公司响应行业发展趋
势，满足下游市场发展需求的重要举措，亦是对公司半导体附属设备及关键零部
件业务的进一步拓展和扩大，本次募投项目拟生产产品与公司现有业务的协同效
应如下：
  工艺废气处理设备、真空设备和温控设备共同作用于对半导体制程设备反应
腔的辅助控制，可使反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的
环境条件，是半导体制程中不可或缺的重要组成部分。
  公司募投项目相关产品工艺废气处理设备对半导体及新能源工艺制程腔排
出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气，以及生产车间某些
区域循环风中含有的一定量的挥发性 VOCs 气体进行源头处理，而中央废气治理
设备作为公司主要产品绿色厂务系统的重要组成部分，可针对生产车间及周围支
持设备内产生的粉尘类及酸性、碱性、有机物等有毒有害物质，进行中央端无害
化处理，从而满足相关工艺制程要求。真空设备与工艺废气处理设备相连，可使
反应腔体内部形成发生反应所必需的真空环境，并抽离工艺废气，传输至工艺废
气处理设备中进行无害化处理。温控设备与工艺制程腔相连，可对工艺制程腔进
行高精密的温度控制，以实现半导体工艺制程的控温需求。故本次募投项目产品
与公司现有产品具有产品应用的协同效应。
  本次募集资金投资项目实施后，公司将打造一个集研发、制造、销售和维保
服务为一体的国产先进半导体附属装备平台。基于公司现有业务的头部客户，公
司将通过本次募集资金投资项目的实施，进一步提升公司半导体附属设备及关键
零部件的生产能力、拓展产品品类。鉴于公司现有的工艺废气处理设备产品与本
次募集资金投资项目新增的真空设备及温控设备产品共同作用于对半导体制程
设备反应腔的辅助控制，本次募集资金投资项目的实施将增强公司为半导体龙头
客户提供半导体附属设备及关键零部件领域的全方位服务能力，增强客户黏性。
因此相关产品在销售端具有协同效应。
  此外，本次募集资金投资项目的实施将增强公司对半导体附属设备及关键零
部件产品的维保服务能力，增加公司客户拓展渠道。在本次募集资金投资项目的
终端客户领域与公司现有业务的客户领域相近的情况下，本次募集资金投资项目
在产品市场端与现有业务亦具有协同效应。
     工艺废气处理设备和真空设备、温控设备虽然部分核心技术因产品功能不同
原因导致差异，但在通用技术上具有相通性，均使用结构设计、机加工技术、仿
真分析设计以及流体技术等通用技术。此外，公司现有业务的部分核心技术与本
次募集资金投资项目产品亦具有相通性，如绿色厂务系统中的酸碱废气处理系统
和工艺废气处理设备的洗涤模块技术相通等。
     基于相关技术的相通性，公司在研发环节可以将现有业务积累的结构设计、
机加工技术、仿真分析设计及流体技术等通用技术直接应用或稍作改进用于本次
募集资金投资项目相关产品，以达到缩短产品研发周期、降低研发成本的技术协
同效应。同时，公司亦可以基于现有业务产品的技术经验积累持续拓展应用到本
次募集资金投资项目的研发中，持续发挥相关产品在技术端的协同效应。
     综上所述，公司现有业务与本次募集资金投资项目中的产品技术端具有较强
的协同效应，从而使得公司在实施本次募集资金投资项目时拥有较强的实施能力。
     工艺废气处理设备和真空设备、温控设备虽然核心装置的构成和设计不同，
但在生产工艺上具有相通性，均以高精密机加工、机械装配和测试等工艺为基础。
本次募集资金投资项目拟采购的高精密机加工及机械装备和测试设备主要为进
口设备，进一步提升生产工艺精度，具体如下：
                                      拟采购金额
序号         设备名称          品牌/型号   台数
                                       （万元）
                                   拟采购金额
序号        设备名称        品牌/型号   台数
                                    （万元）
     为满足公司主要客户的高精度、高稳定性的产品质量要求，公司拟采购的主
要高精密机加工及机械装备和测试设备均为经过多轮询比价后择优选择的国际
知名品牌产品。由于工艺废气处理设备和真空设备、温控设备的生产均可共用先
进的自动化机加工中心，因此相关产品在生产阶段可以合理控制成本，真空设备
及温控设备与公司现有工艺废气处理设备在生产时具有协同效应。
     （三）本次募投项目与公司现有业务在原材料、技术、工艺、应用领域、
下游客户等方面的区别与联系，公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力
     本次募投项目拟生产产品包括工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等，
其中工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，本次募投项目拟生产工艺废
气处理设备整机型号报告期内已实现量产收入 3.92 亿元。本次募投项目拟生产
的工艺废气处理设备是基于公司现有设备型号的技术升级，公司具备实施本次
募投项目的相关能力；真空设备和温控设备系公司围绕工艺废气处理设备在半
导体制程附属设备领域延伸的新产品。经过多年的研发技术积累，公司掌握了
真空设备和温控设备的关键技术，新产品已完成第三方机构认证，并已开展客
户测试验证工作或正在与客户开展技术交流。公司具备实施本次募投项目的相
关能力。
是基于公司现有设备型号的技术升级，公司具备实施本次募投项目的相关能力
     （1）本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品
     本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备共规划等离子水洗式、电加热
水洗式和燃烧水洗式等三大类设备，上述三大类工艺废气处理设备报告期内均
已实现量产并实现销售收入。因此，本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设
备与公司现有业务在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面不存在
较大差异，公司具备实施本次募投项目的相关能力。
     报告期内，公司工艺废气处理设备不同类别整机实现的收入情况如下：
募投项目规划                               报告期内合计
          是否量产         代表性客户
 产品大类                                收入（万元）
                 中芯国际、长江存储、北方华创、华润
等离子水洗式     是     微、中环半导体、天合光能、惠科股份    32,289.09
                         等
电加热水洗式     是           北方华创等           6,807.25
 燃烧水洗式     是     海科（嘉兴）电力科技有限公司等          84.00
  工艺废气处理设备技术原理为：1）利用不同能量方式产生一定高温环境，
工艺废气在设备内部高温反应腔内进行高温氧化反应，形成其他稳定化合物或
水溶性物质；2）该化合物或水溶性物质沉积至设备内部循环容器，排放至指定
厂务系统；其余气体经降温与水处理后形成低毒或无毒气体，排放至绿色厂务
处理系统中，从而实现对工艺废气的无害化处理。
  工艺废气处理设备早期以纯水洗式处理方式为主，后期因半导体不同工艺
气体类型特性对其处理要求及应用场景要求不同，行业内形成以等离子水洗式、
电加热水洗式和燃烧水洗式等为主的工艺废气处理方式。其中等离子水洗式是
利用高压电离氮气分子产生高温环境，对工艺废气进行无害化处理后进行排放；
电加热水洗式是利用电棒加热产生高温环境，对工艺废气进行无害化处理后进
行排放；燃烧水洗式是利用燃料燃烧产生高温环境，对工艺废气进行无害化处
理后进行排放。
  等离子水洗式工艺废气处理设备在工艺废气处理过程中无需额外添加燃料，
设备运行成本较低，同时能够显著降低 CO₂和 NOx 等副产物气体的产生，逐渐成
为行业的主流选择。报告期内，公司主要聚焦等离子水洗式工艺废气处理设备
的研发、生产和销售。
  燃烧水洗式工艺废气处理设备燃料主要是天然气，燃烧需要使用大量天然
气，设备运行成本较高，同时其燃烧后产生 NOx 等副产物，副产物需单独进行
处理。报告期内，燃烧水洗式工艺废气处理设备非公司主要的技术拓展方向和
销售方向。
  （2）本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是基于公司现有产品上进
行技术及结构升级，并进一步丰富产品细分型号
  本次募投项目拟采购国际先进的机加工设备和柔性制造线等自动化设备，
在公司现有产品上进行生产工艺升级，包括生产精度的升级和生产智能化的升
级，减少部分非自动化工序对设备生产精度的影响。同时，本次募投项目拟生
产产品工艺废气处理设备将进行管路及电控集成化设计升级，优化空间布局，
实现整体设备体积减小，响应客户设备小型化需求。
  本次募投项目将进一步丰富公司产品型号，公司报告期内工艺废气处理设
备主要销售型号为单腔等离子水洗式和单腔电加热水洗式等，本次募投项目达
产后公司将新增双腔等离子水洗式和双腔燃烧水洗式等型号的量产能力，进一
步提升公司产品的竞争力。
  本次募投项目拟生产的工艺废气处理设备产品型号和现有产品的区别情况
如下：
  产品大类    报告期内已实现销售型号      本次募投项目主要规划销售型号
                             单腔等离子水洗式、
 等离子水洗式    单腔等离子水洗式
                           双腔等离子水洗式（新增型号）
 电加热水洗式    单腔电加热水洗式          单腔电加热水洗式
 燃烧水洗式     单腔燃烧水洗式         双腔燃烧水洗式（新增型号）
 注：公司双腔等离子水洗式工艺废气处理设备在报告期期后已形成销售收入。
  双反应腔（以下简称“双腔”）的工艺废气处理设备较单反应腔（以下简称
“单腔”）的工艺废气处理设备主要区别是增加一套独立的反应腔处理系统，通
过结构优化设计等技术创新可以实现设备体积增加不超过二分之一但废气处理
量增加一倍的技术效果，显著降低设备生产加工成本，同时减少客户占地空间
和管理成本，是行业的主要发展趋势。因此，公司本次募投项目将结合客户需
求增加双腔等离子水洗式和双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备的量产能力。
  燃烧水洗式工艺废气处理设备适用范围广，覆盖半导体的刻蚀、薄膜、扩
散等工艺，因此其存量市场的替换空间大。公司布局燃烧水洗式工艺废气处理
设备可以兼顾不同客户的使用习惯和技术要求，提升公司全面、优质的综合解
决方案能力，同时可以丰富公司的产品矩阵、技术路线，符合公司打造国产先
进半导体附属装备平台和“行业延伸+产品延伸”的战略要求。因此，本次募投
项目将增加双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备的量产能力，进一步提升公司工
艺废气处理设备整体商业竞争力。
  截至本问询回复出具之日，公司双腔等离子水洗式工艺废气处理设备已形
成销售收入，公司双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备正在与行业龙头客户开展
技术交流工作。
品，公司已掌握真空设备的核心技术，真空设备已在客户处开展验证测试，公
司具备实施本次募投项目的相关能力
  本次募投项目拟生产产品真空设备是工艺废气处理设备的工艺段延伸产品，
真空设备可使反应腔体内部形成发生反应所必需的真空环境，并抽离工艺废气，
将工艺废气传输至工艺废气处理设备中进行无害化处理。
  公司真空设备采用自主研发的结构设计及控制系统，提供半导体制程所必
需的超洁净真空环境。公司于 2022 年开始真空设备研发立项，于 2023 年完成
首款干式真空泵产品研发，目前真空设备已完成第三方机构 SEMI F47 和 SEMI S
系列标准认证，正在开展客户验证测试工作。公司于 2023 年开始全面布局适用
于半导体行业清洁、中等和苛刻工艺制程的真空设备产品平台；同时和上市公
司卧龙电气驱动集团股份有限公司形成全面战略合作，合作开发国产水冷变频
器及高效永磁同步电机，进一步提升真空设备在占地面积、能耗和智能控制三
个方面的优势。
  公司目前已掌握真空设备的核心技术，利用转子与泵腔型线设计和控制分
析技术，设计真空泵、阀门、管路、控制器、传感器等，结合对真空泵的转速
控制、温度控制、氮气吹扫控制等，满足真空设备在高负载、大粉尘、强腐蚀
等苛刻工艺环境中的适用性，保障长期连续运行下的密封性和真空度；利用系
统及结构设计，在电机传动平稳性、可靠性基础上实现技术性能优化，降低半
导体制程的真空环境维持能耗。
  本次募投项目拟生产产品真空设备和工艺废气处理设备虽然核心技术和核
心生产工艺存在区别，但在原材料、工艺、技术、应用领域及下游客户方面均
具有相通性，公司在生产、技术及市场等方面均存在相关储备，因此公司在实
施本次募投项目时拥有较强的实施能力。本次募投项目拟生产产品真空设备和
工艺废气处理设备的区别与联系如下：
                                                  应用领域及
项目     原材料         生产工艺                技术
                                                   下游客户
                           两个产品都涉及气体流
                两个产品均涉及普通机 动的模拟和优化，可使用
      两个产品均涉    架，机壳类的加工（剪 计算流体动力学技术进             集成电路、半
相同点   及不锈钢、钣金   板、折弯、冲压等）、 行设计；两个产品都需要            导体显示、新
      等基础原材料    电控调试以及测试等工 高效的热管理技术，如热            能源
                序          交换器、冷却系统和温度
                           传感器等
                在部分核心组件的独特
                加工工序（例如火炬头
                加工等），同时其焊接
                和连接工艺需保证耐腐
                蚀性，常用特殊焊接材                        应用领域及
                料或涂层，并做表面处                        下游客户不
                                   泵系统（如旋片泵、分子
                理以增强耐腐蚀性；                         存在差异；在
                                   泵、低温泵）抽除气体，
                                   降低容器内压力，侧重于
      工艺废气处理    稳定运行，其对轴承、                        真空设备主
                                   高真空环境、密封性和洁
      设备会外采燃    密封、润滑等相关元器                        要使半导体
                                   净度，核心技术包括真空
      烧头等特有组    件清洁度要求较高（主                        制程设备反
                                   泵、密封和测量技术；
      件；真空设备会   要涉及精细化去毛刺尖                        应腔体内部
不同点                                2、工艺废气处理设备是
      使用轴承、电动   边工艺、超声波清洗工                        形成发生反
                                   通过物理、化学或生物方
      机、变频器驱动   艺、洁净组装工艺）；                        应所必需的
                                   法（如吸附、催化、燃烧、
      等独有零部件    3、为保证真空设备运行                       真空环境，并
                                   过滤）处理废气，侧重于
      以及防腐材料    中的低噪声、低振动和                        抽离工艺废
                                   废气净化、耐腐蚀和环保
                长期运行稳定，其对高                        气，传输至工
                                   合规，核心技术包括废气
                速旋转相关零部件精度                        艺废气处理
                                   处理、耐腐蚀材料和热交
                要求较高（主要涉及机                        设备中进行
                                   换技术
                械精加工工艺、动平衡                        无害化处理
                工艺等）；
                腐蚀性及抗侵蚀性质，
                其对于核心部件材料选
                择更为严苛
作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，公司已掌握温控设备的核心技术，
已与客户开展技术交流工作，具备实施本次募投项目的相关能力
     本次募投项目产品温控设备、真空设备及工艺废气处理设备共同作用于半
导体制程设备反应腔的辅助控制，温控设备可对半导体制程反应腔进行高精密
的温度控制，以实现半导体工艺制程的控温需求。
     公司于 2023 年开始温控设备研发立项，重点开展对半导体机台高精度液冷
温控设备进行研发，于 2023 年 5 月开始搭建测试平台，于 2023 年下半年实现
精度±0.1℃的精准控制能力，于 2024 年 6 月实现-20℃低温控制能力，于 2024
年第三季度实现+170℃的高温控制能力，并完成-45℃超低温控制的研发测试。
目前，公司温控设备已完成第三方机构 SEMI F47 和 SEMI S 系列标准认证，正
在与客户开展技术交流工作。
     公司目前已掌握温控设备的核心技术，温控设备使用双变频技术，实现对
半导体工艺设备生产环境±0.1℃的精准控制；同时，通过结构设计优化，运用
多通道和设备紧凑布局设计，在大负载状态、超低温或超高温等特殊状态实现
快速温度控制，实现节能降耗，具有较高性价比。
     本次募投项目拟生产产品温控设备和工艺废气处理设备虽然在核心技术和
核心生产工艺存在区别，但在原材料、工艺、技术、应用领域及下游客户方面
均具有相通性，公司在生产、技术及市场等方面均存在相关储备。因此，公司
在实施本次募投项目时拥有较强的实施能力。本次募投项目拟生产产品温控设
备和工艺废气处理设备的区别与联系如下：
                                              应用领域及
项目       原材料          生产工艺           技术
                                               下游客户
      两个产品均涉及机壳类    两个产品均存在精密
      的钣金材料、通用机加    机加工工艺需求（数     两者都涉及流场精
      工件等基础原材料；     控机床加工、精密磨     确控制技术、自动化   集成电路、半
相同点   2、温控设备的换热器以   削等）以保证尺寸精     控制技术、传感器与   导体显示、新
      及工艺废气处理设备中    度和表面粗糙度，均     检测技术以及模块    能源
      等离子火炬的阳极均对    涉及电控调试以及测     化设计等技术
      黄铜有较高需求       试等工序
不同点   1、工艺废气处理设备对   1、温控设备生产工艺    1、温控设备的控温   应用领域及
                                                应用领域及
项目        原材料         生产工艺           技术
                                                 下游客户
      原材料的要求侧重于耐    对于部件及管道的保     技术主要为控制腔      下游客户不
      腐蚀性；          温及保压要求高；      体内部温度，与其他     存在差异；在
      要求侧重于低放气率     生产工艺不同，但需     逻辑存在明显差异；     温控设备主
      （如不锈钢、铝合金）    考虑废气的化学性      2、温控设备通常需     要对半导体
      以及高导热性（如铜、    质，涉及焊接、防腐     要极高的控制精度      制程设备反
      铝合金等）         处理、过滤材料安装     和稳定性，需要 PID   应腔进行高
                    等工艺           控制、模糊控制等高     精密的温度
                                  级控制算法来实现      控制，以实现
                                  精确的温度调节       半导体工艺
                                                制程的控温
                                                需求
和制造经验
     公司管理和研发团队长期专注于半导体工艺废气治理，持续进行产品线的研
发和技术创新，在半导体附属设备及关键零部件等方面均已形成深厚的技术积淀。
     截至 2024 年 9 月 30 日，发行人及其子公司已经取得专利证书的专利权共
件著作权 40 项。在半导体附属设备及关键零部件领域，公司持续加大研发投入，
逐步完成工艺废气处理设备、真空设备及温控设备等半导体附属设备和关键零部
件的国产化研制，积累了丰富的技术储备，具备了规模化的生产能力。
     综上所述，公司已具备实施本次募投项目的相关能力。
     （四）目前产品研发及验证测试进度，是否存在技术障碍，是否有明确的
销售渠道及商业化安排，本次募集资金是否符合投向主业要求
     本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备、真空设备和温控设备均已完
成内部研发，形成产品样机，其中工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，
报告期内已量产并实现销售收入，已完成第三方机构验证和客户验证，截至 2025
年 2 月 28 日在手订单合计金额为 8,373.74 万元；真空设备已完成第三方机构
验证，正在开展客户验证工作，不存在量产的技术障碍；温控设备已完成第三
方机构验证，正与客户开展技术交流工作，不存在量产的技术障碍。针对真空
设备和温控设备的商业化安排，因其与工艺废气处理设备共同作用于半导体制
程设备反应腔的辅助控制，产品应用领域和终端客户相同，公司利用工艺废气
处理设备的销售渠道正在积极开拓商业化安排。目前公司正在与行业知名客户
开展战略合作协议或意向性协议签署沟通工作。
  本次募投项目总投资金额为 46,203.51 万元，其中工程建设投资 38,434.81
万元，以募集资金投入金额 35,000.00 万元，募集资金用途全部为生产相关的
投资，主要包括场地建造、场地装修和软硬件设备投资等，募集资金用途符合
投向主业要求；本次募投项目基本预备费和铺底流动资金合计金额为 7,768.70
万元，全部以自有资金投入。本次募投项目投资未规划研发投入，后续的研发
投入以公司自有资金形式开展。
报告期内已量产并实现销售收入，已完成第三方机构验证和客户验证，截至 2025
年 2 月 28 日在手订单合计金额为 8,373.74 万元，不存在技术障碍，已有明确
的销售渠道及商业化安排
  本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备的研发进度情况如下：
         本次募投项目主要规    是否完成     是否完成第三   是否已有订单/
 产品大类
           划销售型号       研发      方机构验证    完成客户验证
         单腔等离子水洗式        是       是        是
等离子水洗式
         双腔等离子水洗式        是       是        是
电加热水洗式   单腔电加热水洗式        是       是        是
 燃烧水洗式    双腔燃烧水洗式        是       是        否
  注：双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备是两套单腔燃烧水洗式工艺废气处理设备通过
结构优化设计等技术进行集成，实现设备体积增加不超过二分之一但废气处理量增加一倍
的技术效果。双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备关键工艺与单腔燃烧水洗式工艺废气处理
设备一致，差异点在气流分配和温度控制，公司已经掌握了气流分配和温度控制等相关差
异点技术。公司已实现单腔燃烧水洗式工艺废气处理设备的生产及销售，已完成双腔燃烧
水洗式工艺废气处理设备样机开发，双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备的量产和销售不存
在技术障碍。
  在复杂的国际形势下，保障供应链安全、实现关键技术的自主可控已成为
我国半导体产业发展的核心任务。报告期内，公司积极开展技术研发攻关，潜
心解决“卡脖子”难题，已逐步积累了深厚的技术实力，完成工艺废气处理设
备在各技术路线和各应用场景布局，具备高度自产能力。在技术路线布局方面，
公司先后成功研发等离子水洗式、电加热水洗式、燃烧水洗式等机型，实现了
技术路线的全面掌握；在应用场景布局方面，公司实现了半导体外延、薄膜沉
积、扩散、刻蚀等工艺段的全覆盖，持续解决客户的工艺需求和行业痛点；在
自产能力方面，工艺废气处理设备已实现高度自产和机加工，并能够针对客户
的特定需求定制化开发产品。
  随着半导体工艺制程的不断演进与特色工艺的不断创新，下游客户对制程
附属设备的要求越来越多样化、智能化、复杂化和集成化。公司将秉持“量产
一批、研发一批、预研一批”的研发战略，聚焦客户和行业的特定需求，持续
引领技术创新，为行业发展持续赋能，塑造竞争新优势。
  截至本问询回复出具之日，公司工艺废气处理设备新产品研发主要聚焦客
户的需求，其进度情况如下：
                                               本次募投项目
产品大类   产品型号    研发型号和现有型号的差异点        研发进度       效益测算是否
                                                包括该产品
               EPI 制程具有易燃易爆高氢、压
               力敏感的特点；             已完成第三方
燃烧水洗           WBWA 在现有机型基础上增加前    机构认证，通过
        WBWA                                     否
 式             置水洗模块及后置干燥模块，在      客户验证，已形
               压力波动及防爆方面，较现有机      成订单收入
               型有显著提升
  截至本问询回复出具之日，公司工艺废气处理设备新产品的预研主要聚焦
行业的需求，其进度情况如下：
                                               本次募投项
                                  行业客户   研发进   目效益测算
产品型号      预研型号和现有型号的差异点
                                  交流情况    度    是否包括该
                                                产品
一种适用   相比单一的工艺废气处理设备，真空+工艺
于半导体   废气处理专用一体机设备通过深度集成真
                                  已与行业   公司暂
外延制程   空设备与废气处理模块，实现工艺废气的
                                  知名客户   未完成
减压腔的   快速捕集与即时净化，解决传统分体设备                        否
                                  开展技术   研发工
真空+工   效率低、占地大的痛点。
                                  交流     作
艺废气处   真空与工艺废气处理设备联动，可实时匹
理专用一   配气体流量波动，动态调节设备功率并预
体机     警微粒沉积，延长设备维护周期。
       目前，世界范围内仅 Edwards 公司有相关
       应用案例，相关设备和研发技术的自主知
       识产权化进程迫在眉睫。
三方机构验证，正在开展客户验证工作，不存在量产技术障碍，公司利用工艺
废气处理设备的销售渠道正在积极开拓真空设备商业化安排
  本次募投项目拟生产产品真空设备的研发进度情况如下：
         本次募投项目主要规划         是否完       是否完成第三   是否已有订单/完成
产品大类
            销售型号            成研发       方机构验证      客户验证
         抽速为 1,800m³/h 的多
罗茨真空泵    级罗茨真空泵机组（第          是          是      正在开展客户验证
             一代）
 注：公司干式真空泵是抽速为 1,800m³/h 的多级罗茨真空泵机组第一代产品。
  公司目前已掌握真空设备的核心技术，利用转子与泵腔型线设计和控制分
析技术，设计真空泵、阀门、管路、控制器、传感器等，结合对真空泵的转速
控制、温度控制、氮气吹扫控制等，满足真空设备在高负载、大粉尘、强腐蚀
等苛刻工艺环境中的适用性，保障长期连续运行下的密封性和真空度；利用系
统及结构设计，在电机传动平稳性、可靠性基础上实现技术性能优化，降低半
导体制程的真空环境维持能耗。
  公司利用工艺废气处理设备的销售渠道正在积极开拓真空设备商业化安排，
目前公司正在与行业知名客户开展战略合作协议或意向性协议签署沟通工作。
  公司在真空设备方向也秉持“量产一批、研发一批、预研一批”的研发战
略，聚焦客户和行业的特定需求，持续引领技术创新。
  截至本问询回复出具之日，公司真空设备新产品研发主要聚焦客户的需求，
其进度情况如下：
                                                    本次募投项
产品                                                  目效益测算
     产品型号      研发型号和现有型号的差异点                研发进度
大类                                                  是否包括该
                                                     产品
罗茨   抽速为    针对现有第一代产品进行升级，在保证               内部研发阶     否
真空    1,800m³/h   真空泵的抽速、极限真空度不低于市场     段，暂未形成
 泵    的多级罗        同类进口品牌的基础上，对真空泵的结     样机产品
      茨真空泵        构进行优化，比第一代产品降低产品重
      机组（第二       量 15%以上；减小产品外形尺寸，不大
        代）        于同类进口品牌产品的外形尺寸，以利
                  于实现国产化替代；同时，通过优化结
                  构设计，提高产品的运行可靠性、适应
                  恶劣工况的能力，如耐粉尘能力，实现
                  设计降本。
                                    已形成样机
      多级爪式        适用于集成电路以及半导体显示行业 产品，已通过
爪式
      真空泵机        大流量工艺制程，采用优化后的爪形结 第 三 方 机 构
真空                                                    否
      组（4550      构，模块化设计、自主研发电控系统， 认证，已与客
 泵
      型号）         提高产品性能与可靠性。       户开展技术
                                    交流工作
  注：罗茨真空泵内部装有两个向相反方向同步旋转的叶形转子，转子与转子、转子与
泵壳间形成具有极小间隙而又不相互接触的密闭空间，通过转子的旋转运动、以极小的压
缩比将气体从泵的入口输送到出口；多级爪式真空泵是通过两根轴上的多个爪形转子在泵
腔内旋转，形成周期性的容积变化，实现气体的吸入、隔离、压缩和排气，多级爪式真空
泵具有较高的压缩比和粉尘处理能力。
     截至本问询回复出具之日，公司真空设备新产品预研主要聚焦行业的需求，
其进度情况如下：
                                                     本次募投项
                                        行业客
产品                                             研发    目效益测算
      产品型号         预研型号和现有型号的差异点        户交流
大类                                             进度    是否包括该
                                         情况
                                                      产品
      抽速为         适用于集成电路以及半导体显示行
     的多级罗茨        现有产品基础上拓展转速范围，快速
     真空泵机组        推出产品面对市场需求。
                                       目 前 暂   公 司
                  适用于集成电路以及半导体显示行
罗茨                                     未 与 行   暂 未
                  业苛刻工艺制程如 CVD（化学气相沉
真空                                     业 客 户   完 成    否
       抽速为        积）、金属刻蚀等。在现有产品基础
 泵                                     开 展 技   研 发
                                       术交流     工作
     多级罗茨真        采用优化的多级罗茨机械结构以及
      空泵机组        转子轴系结构，在提高抽速和极限真
                  空度的同时，降低装配难度和制造成
                  本，提高运行可靠性和可维修性。
                 用于集成电路以及半导体显示行业
     多级爪式真
                 大流量工艺制程如 PECVD(物理气相
爪式    空泵机组
                 沉积)、ALD（原子层沉积）。采用优
真空   （3050 型
                 化的多级爪式结构，模块化设计、自
 泵   号/6050 型
                 主研发的电控系统与驱动系统，提高
       号）
                 产品性能、可靠性与智能化。
                 通过研发设计高效率的涡轮分子泵
       抽速为
                 转子并优化磁悬浮轴承，开发磁悬浮
涡轮   2000L/s 的
                 涡轮分子泵，实现磁悬浮技术的稳定
 泵   磁悬浮涡轮
                 性和可靠性。设计并制造出具有自主
       分子泵
                 知识产权的磁悬浮涡轮分子泵。
                 开发一套在吸附效果、运行能耗、运
     小型氦制冷
低温               行稳定性等效果达到预期水平的系
     机驱动的低
 泵               统，并使该系统适用于半导体和光显
      温泵
                 真空工艺段的使用要求。
三方机构验证，正在与客户开展技术交流工作，不存在量产技术障碍，公司利
用工艺废气处理设备的销售渠道正在积极开拓温控设备商业化安排
     本次募投项目拟生产产品温控设备的研发进度情况如下：
                                                   本次募投项目效
                 是否完成   是否完成第三          是否已有订单/完
     产品类别                                          益测算是否包括
                  研发     方机构验证           成客户验证
                                                     该产品
半导体专用温控设                                正在与客户开展
                   是       是                         是
 备（热交换型）                                 技术交流工作
                        正在开展验证
半导体专用温控设                                正在与客户开展
                   是    工作，预计近期                      是
备（液冷温控型）                                 技术交流工作
                        取得验证证书
     公司目前已掌握温控设备的核心技术，温控设备使用双变频技术，实现对
半导体工艺设备生产环境±0.1℃的精准控制；同时，通过结构设计优化，运用
多通道和设备紧凑布局设计，在大负载、超低温或超高温等特殊状态实现快速
温度控制，实现节能降耗，具有较高性价比。
     公司利用工艺废气处理设备的销售渠道正在积极开拓温控设备商业化安排，
目前公司正在与行业知名客户开展战略合作协议或意向性协议签署沟通工作。
     截至本问询回复出具之日，公司半导体附属设备及关键零部件在第三方机构
的验证测试进度情况如下：
                              第三方机构     第三方机构
序号    产品类别   对应的主要产品                                   测试结果
                                名称      测试时间
             等离子水洗工艺废
                                                     符合 SEMI F47、
                                                     SEMI S 系列标准
             单腔、双腔等型号）
             燃烧水洗工艺废气
      工艺废气                    ECMG、上海
             处理设备（包括单                                符合 SEMI F47、
             腔、双腔、WBWA 等                             SEMI S 系列标准
                               有限公司
                型号）
             电加热工艺废气处                                符合 SEMI F47、
                理设备                                  SEMI S 系列标准
             罗茨真空泵（抽速
                              米格实验室、
             为 1,800m³/h 的多                          符合 SEMI F47、
                              上海欣项电子     多次通过
             级罗茨真空泵机组                                SEMI S 系列标准
                第一代）
             爪式真空泵（4550       上海欣项电子                 符合 SEMI F47、
                                         多次通过
                型号）           科技有限公司                 SEMI S 系列标准
             半导体专用温控设                   2024 年 7 月   符合 SEMI F47、
                 备                         31 日      SEMI S 系列标准
     半导体行业作为高端制造行业，不仅投资额巨大，对于设备的安全性要求
极其严苛。为了降低危险，半导体行业采用非常多类别的防制与管理措施。SEMI
（国际半导体产业协会的简称）标准是半导体、平板显示器、微机电系统、光
伏和高亮度 LED 行业的自愿性技术标准。SEMI 标准旨在为半导体生产设备提供
环境、健康、安全方面的导则，内容涵盖半导体设备安装指导、废气处理、液
体加热系统、通风排气、人机工程、危险评估、生产设备净化、安全指导手册、
防火安全、安全联锁系统电子设计、电离辐射、激光辐射等级等，被广泛应用
于半导体产品的生产、测试、集成。其中最典型的措施是在采购设备系统时，
将 SEMI S 安规认证、SEMI F47 电压暂降列为必备的规格要求。
     SEMI 认证是对半导体设备可靠性、安全性和稳定性等方面的检测与认定。
SEMI 认证得到国际晶圆大厂普遍认可，是国际通行且被产业链广泛认可的通行
证。获得认证的产品在市场上更具竞争力，能赢得客户信任，有助于拓展市场
份额，尤其是在全球半导体市场中，认证是企业实力和产品质量的重要体现。
    综上所述，发行人目前产品研发及验证测试均在正常周期范围内，相关进度
正在稳步推进，且部分产品已获得第三方认证机构颁发的认证证书，不存在明显
技术障碍。
    针对本次募集资金投资项目的工艺废气处理设备、真空设备及温控设备，公
司已有明确的销售渠道及商业化落地安排。
     （1）本次募集资金投资项目中工艺废气处理设备产品已取得批量订单
    报告期内，本次募集资金投资项目相关产品工艺废气处理设备已完成半导体
和新能源行业龙头企业的测试验证，并已取得批量订单，相关完成测试验证的企
业包括中芯国际、长江存储、北方华创、华润微、中环半导体等多家半导体行业
龙头企业和天合光能等多家新能源行业企业。
    截至 2025 年 2 月 28 日，公司与本次募集资金投资项目相关产品工艺废气处
理设备在手订单合计 8,373.74 万元，在手订单对应工艺废气处理设备台数为 334
台。
     截至本问询回复出具之日，公司双腔等离子水洗式工艺废气处理设备已形
成销售收入，公司双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备正在与行业龙头客户开展
技术交流工作。
     （2）本次募集资金投资项目中真空设备及温控设备产品客户验证测试工作
持续推进
    截至本问询回复出具之日，本次募集资金投资项目中真空设备及温控设备产
品在客户处验证测试具体情况如下：
序
      客户名称     对应的主要产品      开始时间         验证测试结果
号
                                      已完成性能测试验证工作，正在
                                          验证周期内
                                    已在客户处开展验证测试，尚在
                                       正常验证周期内
                                    已完成性能测试验证工作，正在
                                        验证周期内
                                    相关产品已完成内部验证测试，
                                      已与客户开展技术交流
                                    相关产品已完成内部验证测试，
                                      已与客户开展技术交流
                                    相关产品已完成内部验证测试，
                                      已与客户开展技术交流
                                    相关产品已完成内部验证测试，
                                      已与客户开展技术交流
                                    相关产品已完成内部验证测试，
                                      已与客户开展技术交流
注：本次募集资金投资项目中真空设备及温控设备测试验证情况系截至本问询回复出具之
日情况。
    截至本问询回复出具之日，针对本次募集资金投资项目的工艺废气处理设备，
公司已有明确的在手订单，公司同目标客户的合作意向较为明确，量产和商业化
实现性较好。
    针对公司的真空设备产品，公司真空设备样机已经发往部分客户处进行验证
测试，因验证周期较长的原因，相关样机均在客户处持续验证测试中，测试进展
符合预期，暂未收到验证测试不通过的相关通知。真空设备客户验证工作一般分
为性能测试验证和可靠性测试验证等验证工作。其中，性能测试验证主要对真
空设备开展启动性、抽速、极限真空压力及极限真空功率等独立指标的性能测
试验证。可靠性测试验证主要将真空设备与客户产线设备开展衔接，在连续运
行一段时间后，检查真空设备的性能是否可靠稳定。性能测试验证和可靠性测
试验证完成后，公司将与客户开展商务合同洽谈工作。
    目前，公司已完成部分客户的性能测试验证工作，截至目前正在开展该部
分客户的可靠性测试验证工作。
    公司研发的温控设备已完成内部验证测试并已和潜在客户开展技术交流，拟
于近期将样机发往客户处进行验证测试。同时，公司部分真空设备及温控设备产
品已向部分客户提供报价单及签署试用订单，相关商业化进展持续推进中。
    公司本次募集资金投资项目产品主要应用于半导体制程及新能源领域，下游
行业景气度较高，市场需求旺盛。公司相关产品均已有明确的销售渠道及目标客
户，工艺废气处理设备已与部分目标客户签订了订单或供货协议，真空设备验证
测试进度符合预期，温控设备已和潜在客户开展技术交流，具有较好的商业可实
现性。
    综上所述，公司已具备相关半导体附属设备产品所需的各项技术储备和制造
经验，具备实施本次募投项目的相关能力；相关产品研发及验证测试进展顺利，
不存在明显的技术障碍；公司工艺废气处理设备已与多家客户签署订单或供货协
议，真空设备与温控设备亦与潜在客户进行商业化洽谈或技术交流，相关产品具
有明确的销售渠道及目标客户，商业化落地不存在重大不确定性。
    本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，真
空设备和温控设备与公司现有业务具有协同效应，在原材料、技术、工艺、应用
领域、下游客户等方面存在协同性，紧密围绕发行人现有业务实施。因此，本次
募集资金符合投向主业要求。
    三、结合本项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发展情况、上下
游供需情况、同行业公司产能建设情况、发行人市场占有率、客户验证进展或
预计订单情况等，说明本项目新增产能规模的合理性及具体产能消化措施
    （一）结合本次募投项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发展情
况、发行人市场占有率等说明本项目新增产能规模的合理性及具体产能消化措
施
    本次可转债募集资金投资项目计划生产产品主要包括工艺废气处理设备、真
空设备以及温控设备，为提高项目投资效益，本次募投项目工艺废气处理设备生
产产线的募集资金投入是新购高度自动化设备并利用公司部分现有设备进行新
产线建造，进一步提高产品生产工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号；本
次募投项目的真空设备和温控设备生产设备为新购置的生产产线。
    考虑到产线投产时间、客户验证时间、产品研发进度等因素，本次募集资金
投资项目拟分年逐步达产，项目实施产品的产能规划和销售规划情况如下：
                                                                            单位：台/年
        公司 2024 年     建设第二年     建设第三年     建设第四年     建设第五年
 项目
        度产能情况         （2025 年度） （2026 年度） （2027 年度） （2028 年度）
工艺废气
处理设备
真空设备              -          240                 600               900          1,200
温控设备              -           60                 150               225            300
 注：公司 2024 年度产能情况为年化数据。
 本次募集资金投资项目拟投入的产品收入预计情况如下：
                                                                            单位：万元
        公司 2024 年     建设第二年     建设第三年     建设第四年     建设第五年
 项目
         度数据          （2025 年度） （2026 年度） （2027 年度） （2028 年度）
工艺废气
处理设备
真空设备              -      1,486.73            3,716.81          6,823.01       9,809.73
温控设备              -       927.08             2,248.17          3,271.08       4,230.60
 注：公司 2024 年度产能情况为年化数据。
分市场规模、公司预计市场占有率、开拓客户数量、客户需求及产线产能调试
等因素测算，因此本次工艺废气处理设备销售规划具有合理性并具有明确的市
场消化安排
  （1）本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量是基于
细分市场规模及预计市场占有率进行测算
  本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备所处下游市场为持续增长的
半导体晶圆制造市场，工艺废气处理设备的销售规划数量是公司根据细分市场
规模及市场占有率进行测算的结果，具体数据如下：
                                    建设第二         建设第三           建设第四        建设第五
           项目                       年（2025       年（2026         年（2027      年（2028
                                     年度）          年度）            年度）        年度）
  国内新增晶圆产能预计数量
   （换算 8 吋,万片）（A）
      新增晶圆产能预计增长率                       14%             14%           13%        12%
每新增万片晶圆产能预计新增工艺废气
  处理设备需求量（台）（B）
新增晶圆产能预计工艺废气处理设备需
   求总数（台）（C=A*B）
      公司预计市场占有率（D）         6.00%       8.00%     10.00%    12.00%
公司市场规模对应的销量（台）
             （E=C*D）            750    1,140      1,610     2,164
 公司募投项目对应产品的销量（台）               480      800      1,280     1,600
    注 1：2025 年度国内新增晶圆产能预计数量及新增晶圆产能预计增长率来源于《SEMI
报告：全球半导体晶圆厂产能预计 2024 年增长 6%，2025 年增长 7%》，公司根据 2025 年度
国内新增晶圆产能预计数量及预计增长率结合市场情况合理预测 2026 年度、2027 年度和
    注 2：每新增万片晶圆产能预计新增工艺废气处理设备需求量来源于华西证券股份有限
公司《京仪装备(688652.SH):半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产》
研报内容。
    注 3：公司预计市场占有率系根据公司战略规划制定的市场占有率提升计划。
    注 4：上述测算数据仅包含集成电路领域市场，公司工艺废气处理设备产品亦可用于半
导体显示及新能源等领域。
    注 5：上述测算仅考虑市场新机需求，未考虑存量机型替换需求。
   （2）本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量是基于
公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试进行测算
   本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备拟开发客户持续进行产能扩
产，工艺废气处理设备销售规划数量是基于公司预计开拓客户数量及客户需求、
产线产能调试进行测算，具体数据如下：
                                                          单位：台
                       建设第二       建设第三年        建设第四       建设第五
下游领        下游客户
                       年（2025     （2026 年      年（2027     年（2028
 域          名称
                        年度）        度）           年度）        年度）
                             -          200        300         300
                             -          500        500         500
集成电                          -          500        500         500
         已申请豁免披露
 路                           -          200        400         400
                             -          200        400         400
半导体                        345            -          -              -
         已申请豁免披露
 显示                        234            -          -              -
                                -            240        -               -
     客户需求数量合计               1,209          2,540    2,600        2,600
     公司预计中标系数                0.40           0.40     0.50            0.65
公司根据中标系数测算的销售数量               484          1,016    1,300        1,690
 公司募投项目对应产品的销量                480            800    1,280        1,600
  注：上述测算数据仅包含集成电路及半导体显示领域市场，公司工艺废气处理设备产
品亦可用于新能源等领域。
  公司预计开拓客户数量及客户需求与下游客户的产能扩张整体趋势一致，
根据华西证券股份有限公司《京仪装备(688652.SH):半导体专用温控/废气处理
设备龙头，最受益先进制程扩产》研报内容和公开市场披露信息，国内主要晶
圆厂 2023 年至 2025 年扩产计划如下：
                  规划产能（万        晶圆尺寸
  公司名称     工厂地点                                状态       投资金额
                   片/月）          (吋)
            上海       10               12       在建      88.7 亿美元
            深圳        4               12       在建      23.5 亿美元
            北京       10               12       在建       76 亿美元
            天津       10               12       在建       75 亿美元
            无锡       8.3              12      计划中       67 亿美元
                                             在建（二     一期二期合计
            武汉       20               12
                                              期）       240 亿美元
                                             在建（二     二期三期合计
            合肥       24               12
                                              期）       1,500 亿元
            上海     未披露               未披露       在建           未披露
 已申请豁免披露
            绍兴      12.75             8        在建      175.64 亿元
            宁波        3               8        在建       39.9 亿元
                                                      二期三期合计
            广州        6               12       在建
            北京        4               12       在建           75 亿元
            武汉        5               12       在建           280 亿元
            厦门        8               12       在建           120 亿元
            杭州        3               12       在建           39 亿元
            上海        6               12       在建           155 亿元
            上海        3               12       在建      超 120 亿元
                 青岛        3/2            8/12        在建          150 亿元
                 合肥         4              12         在建          165 亿元
                                                                一期二期合计
                 杭州         6              12         在建
    （3）本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量目前已
有意向性订单支持
    本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量目前已有意
向性订单支持。
模及公司预计市场占有率、公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试
等因素测算，因此本次真空设备销售规划具有合理性并具有明确的市场消化安
排
    （1）本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量是基于细分市场
规模及公司预计达成的市场占有率目标进行测算
    本次募投项目计划生产产品真空设备所处下游市场为持续增长的半导体晶
圆制造市场，真空设备的销售规划数量是公司根据细分市场规模及市场占有率
进行测算的结果，具体数据如下：
                                 建设第二           建设第三        建设第四      建设第五
            项目                   年（2025         年（2026      年（2027    年（2028
                                  年度）            年度）         年度）      年度）
     国内新增晶圆产能预计数量
       （8 吋当量,万片）
     国内新增晶圆产能预计数量
    （由 8 吋换算 12 吋,万片）（A）
      新增晶圆产能预计增长率                    14%            14%         13%       12%
每新增万片 12 吋晶圆产能预计新增真
  空设备需求量（台）（B）
新增晶圆产能预计真空设备需求总数
    （台）（C=A*B）
      公司预计市场占有率（D）                 1.00%          2.00%       2.50%     3.00%
公司市场规模对应的销量（台）
             （E=C*D）                 317            724       1,022     1,374
公司募投项目对应产品的销量（台）                     240            600         900     1,200
    注 1：2025 年度国内新增晶圆产能预计数量及新增晶圆产能预计增长率来源于《SEMI
报告：全球半导体晶圆厂产能预计 2024 年增长 6%，2025 年增长 7%》，公司根据 2025 年度
国内新增晶圆产能预计数量及预计增长率结合市场情况合理预测 2026 年度、2027 年度和
    注 2：每新增万片晶圆产能预计新增真空设备需求量来源于《中国科学院沈阳科学仪器
股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》。
    注 3：公司预计市场占有率系根据公司战略规划制定的市场占有率提升计划。
    注 4：上述测算数据仅包含集成电路领域市场，公司真空设备产品亦可用于半导体显示
及新能源等领域。
    注 5：上述测算仅考虑市场新机需求，未考虑存量机型替换需求。
   （2）本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量是基于公司预计
开拓客户数量及客户需求、产线产能调试进行测算，具体数据如下：
                                                       单位：台
                        建设第二       建设第三      建设第四      建设第五
下游领        下游客户
                        年（2025     年（2026    年（2027    年（2028
 域          名称
                        年度）         年度）       年度）       年度）
                               -       600       900       900
                               -     1,500     1,500     1,500
集成电                            -     1,500     1,500     1,500
         已申请豁免披露
 路                             -       600     1,200     1,200
                               -       600     1,200     1,200
半导体                          700         -         -         -
         已申请豁免披露
 显示                          100         -         -         -
                               -       700         -         -
      客户需求数量合计             3,635     7,600     7,800     7,800
      公司预计中标系数              0.10      0.10      0.15      0.20
 公司根据中标系数测算的销售数量             364       760     1,170     1,560
  公司募投项目对应产品的销量              240       600       900     1,200
  注：上述测算数据仅包含集成电路及半导体显示领域市场，公司真空设备产品亦可用
于新能源等领域。
   （3）本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量目前已有意向性
订单支持
    本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量目前已有意向性订单
支持。
模及公司预计市场占有率、公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试
等因素测算，因此本次温控设备销售规划具有合理性并具有明确的市场消化安
排
    （1）本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量是基于细分市场
规模及公司预计达成的市场占有率目标进行测算
    本次募投项目计划生产产品温控设备所处下游市场为持续增长的半导体晶
圆制造市场，温控设备的销售规划数量是公司根据细分市场规模及市场占有率
进行测算的结果，具体数据如下：
                         建设第二      建设第三        建设第四      建设第五
          项目             年（2025    年（2026      年（2027    年（2028
                          年度）       年度）         年度）      年度）
    国内新增晶圆产能预计数量
     （换算 8 吋,万片）（A）
      新增晶圆产能预计增长率            14%       14%         13%       12%
每新增万片晶圆产能预计新增温控设备
    需求量（台）（B）
 新增晶圆产能预计温控设备需求总数
     （台）（C=A*B）
    公司预计市场占有率（D）           0.50%     1.20%       1.50%     1.80%
公司市场规模对应的销量（台）
             （E=C*D）          63       171         242       325
 公司募投项目对应产品的销量（台）             60       150         225       300
    注 1：2025 年度国内新增晶圆产能预计数量及新增晶圆产能预计增长率来源于《SEMI
报告：全球半导体晶圆厂产能预计 2024 年增长 6%，2025 年增长 7%》，公司根据 2025 年度
国内新增晶圆产能预计数量及预计增长率结合市场情况合理预测 2026 年度、2027 年度和
    注 2：每新增万片晶圆产能预计新增温控设备需求量来源于华西证券股份有限公司《京
仪装备(688652.SH):半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产》研报内容。
    注 3：公司预计市场占有率系根据公司战略规划制定的市场占有率提升计划。
    注 4：上述测算数据仅包含集成电路领域市场，公司温控设备产品亦可用于半导体显示
及新能源等领域。
    注 5：上述测算仅考虑市场新机需求，未考虑替换需求。
  （2）本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量是基于公司预计
开拓客户数量及客户需求、产线产能调试进行测算，具体数据如下：
                                                单位：台
                  建设第二      建设第三      建设第四      建设第五
下游领       下游客户
                  年（2025    年（2026    年（2027    年（2028
 域         名称
                  年度）        年度）       年度）       年度）
                        -       200       300       300
                        -       500       500       500
集成电                     -       500       500       500
        已申请豁免披露
 路                      -       200       400       400
                        -       200       400       400
半导体                   234         -         -         -
        已申请豁免披露
 显示                    30         -         -         -
                        -       240         -         -
      客户需求数量合计      1,209     2,540     2,600     2,600
      公司预计中标系数       0.05      0.10      0.15      0.15
公司根据中标系数测算的销售数量        60       254       390       390
 公司募投项目对应产品的销量         60       150       225       300
  注：上述测算数据仅包含集成电路及半导体显示领域市场，公司温控设备产品亦可用
于新能源等领域。
  （3）本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量目前已有意向性
订单支持
  本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量目前已有意向性订单
支持。
素综合进行测算
  （1）本次募投项目工艺废气处理设备的运维数量是根据公司销售的工艺废气处理设备数量并结合质保期、运维系数、产线产能
等因素综合进行测算，具体如下：
                                                                                                                  单位：台
       公司 2024   建设第二年      建设第三年       建设第四年       建设第五年        建设第六年       建设第七年       建设第八年       建设第九年       建设第十年
项目     年度产能及     （2025 年    （2026 年     （2027 年     （2028 年      （2029 年     （2030 年     （2031 年     （2032 年     （2033 年
        销售情况      度）         度）          度）          度）           度）          度）          度）          度）          度）
工艺废气
处理设备
整机销售
 数量
募投项目
生产产品
过质保期                97         275         467         690         1,024       1,472       1,792       1,920       1,920
拟运维数
  量
                            年度销量合       年度销量合       年度销量合        年度销量合       年度销量合       年度销量合       年度销量合       年度销量合
计算基础    不适用      量乘 0.4 系
                            计乘 0.4 系    计乘 0.4 系    计乘 0.4 系     计乘 0.4 系    计乘 0.4 系    计乘 0.4 系    计乘 0.4 系    计乘 0.4 系
                   数测算
                              数测算         数测算         数测算          数测算         数测算         数测算         数测算         数测算
本次募投
项目规划
工艺废气                90         225         450         675          900        1,350       1,800       1,800       1,800
处理设备
运维数量
  注：公司工艺废气处理设备质保期一般为 2 年，本次募投项目规划工艺废气处理设备运维数量系公司已实现销售的产品运维数量。
  （2）本次募投项目真空设备的运维数量是根据公司销售的真空设备数量并结合质保期、运维系数、产线产能等因素综合进行测
算，具体如下：
                                                                                                              单位：台
       公司 2024   建设第二年     建设第三年     建设第四年      建设第五年        建设第六年       建设第七年       建设第八年       建设第九年       建设第十年
 项目    年度产能及     （2025 年   （2026 年   （2027 年    （2028 年      （2029 年     （2030 年     （2031 年     （2032 年     （2033 年
        销售情况      度）        度）        度）         度）           度）          度）          度）          度）          度）
真空设备
整机销售      -        240       600       900        1,200        1,200       1,200       1,200       1,200       1,200
 数量
募投项目
生产产品
过质保期                -         -         48         168          300         420         480         480         480
拟运维数
  量
        不适用                           量合计乘      年度销量合        年度销量合       年度销量合       年度销量合       年度销量合       年度销量合
计算基础                -         -
                                         算        数测算          数测算         数测算         数测算         数测算         数测算
本次募投
项目规划
              -       -     20    100   200   300    400                                            400         400
真空设备
运维数量
  注：公司真空设备质保期一般为 2 年，本次募投项目规划真空设备运维数量系公司预计销售的产品运维数量。
   （二）本次募投项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及下游发展情况
   随着中国半导体产业的持续扩张，半导体附属设备及关键零部件行业市场规
模有望持续增长。根据华安证券测算，2023 年-2025 年中国大陆集成电路及半导
体显示废气治理市场空间预计分别为 28.2 亿元、36.9 亿元及 42.6 亿元；根据东
吴证券研究所预测，2023 年-2025 年中国（含中国台湾地区）半导体真空泵市场
规模分别为 79 亿元、81 亿元及 86 亿元。根据智研咨询数据，2023 年中国半导
体专用温控设备的市场规模为 16.94 亿元。
   本次募投项目产品是半导体制程工艺的配套附属设备及关键零部件，广泛应
用于集成电路、半导体显示和新能源等领域。
   全球集成电路产业的格局正在发生变化，行业需求中心和产能中心逐步向中
国大陆转移，长江存储、中芯国际、华虹半导体及燕东微等一批中国半导体公司
崛起，推动国产半导体设备产业链快速发展。
   根据国海证券研究所数据，2023 年中国集成电路市场规模约为 12,276.9 亿
元；根据沙利文 2023 年 12 月出具《中国及全球集成电路市场研究报告》数据，
未来，在 5G 商用、电动车、消费电子、物联网等行业的驱动下，预计 2027 年
全球集成电路市场规模将达到 36,320.6 亿元，预计 2027 年中国集成电路市场规
模约为 15,078.2 亿元。
   从投资规模看，根据 CINNO Research 数据，2023 年中国半导体产业项目投
资金额达 11,701 亿人民币，同比下降 22.2%；其中 2023 年中国半导体产业晶圆
制造投资金额约为 3,962 亿人民币，投资占比约为 33.9%，投资金额同比增长
   从产能方面看，根据 SEMI 数据，国内各大晶圆厂仍处于扩产周期，在 2025
年前仍在进行产线扩建，2025 年大陆晶圆产能将达到 1,010 万片/月（约当 8 英
寸），约合全球产能的三分之一。在政府激励措施和芯片国产化政策的推动下，
预计未来产能将持续增长。
笔记本电脑等终端销售疲弱，导致上游半导体存储芯片、模拟芯片等需求不振，
行业景气承压。进入 2024 年以后，随着终端厂商和供应链企业积极推进库存去
化，叠加 AI 驱动行业创新，刺激手机、PC 开启新一轮换机，半导体行业开始复
苏。
  根据东莞证券研究所数据，2024 年上半年，中国半导体板块实现营业收入
净利润实现同比、环比增长，且盈利能力有所回升。展望未来，半导体行业在
AI 发展和国产替代的双重加持下有望延续复苏趋势，板块业绩有望实现逐季改
善。
  半导体显示产业是国家战略性新兴产业。随着半导体显示产业的快速发展，
在被显示企业视为“下一代显示屏技术”的 MiniLED 和 MicroLED 领域，中国
企业的创新与落地也在不断推进。根据 CINNO Research 统计数据显示，2023 年
中国(含中国台湾)光电显示产业内投资资金主要流向显示面板、显示材料及
Mini/Micro LED(MLED)领域，其中面板投资金额约 1,586 亿人民币，占比约为
  在碳中和的推动下，国内外光伏装机量大幅提升，下游需求旺盛拉动光伏厂
商的资本开支。根据国家能源局数据显示：2024 年全国光伏新增装机量为 277GW。
根据东吴证券研究所测算，国内光伏拉晶真空泵市场 2022 年规模为 13 亿元；而
国内光伏电池片真空设备市场 2023-2025 年预计规模分别为 12 亿元、23 亿及 28
亿元。彭博新能源财经（BNEF）在《2024 年第三季度全球光伏市场展望》报告
中预计 2024 年全球将新增 592GW 的光伏装机量，较 2023 年的 444GW 增长 33%。
光伏装机量的进一步提升将继续拉动对真空设备的市场需求。
导体相关公司列入“实体清单”。同时，BIS 新规对 24 种半导体制造设备实施新
管控，包括蚀刻、沉积、光刻等设备。截至 2024 年底，美国商务部工业和安全
局（BIS）已将超过 300 家中国半导体相关企业列入“实体清单”，其中包括诸多
芯片制造企业，如中芯国际等。相关企业在采购美国原产或含有美国技术的制程
设备及关键零部件时会受到更严格的审查和限制，甚至无法采购。面对外部限制，
中国芯片制造企业也同步加大对国产设备的采购和研发投入，提高技术水平和产
品质量。
     （三）本次募投项目拟生产产品或提供服务同行业公司产能建设和发行人市
场占有率情况
  国内半导体工艺废气处理设备及关键零部件市场由几家国际大型供应商主
导，该国际大型供应商在技术、工艺水平、客户资源和品牌影响力等方面具有先
发优势，在全球市场占据重要地位，市场集中度较高。
  随着国内大型半导体企业受到美欧多国家的政策限制，以发行人、京仪装备
及中科仪为代表的半导体附属设备及关键零部件本土厂商凭借本地化的服务、灵
活高效的运维处理和更突出的性价比等优势，正在逐渐取代海外厂商的供应份额。
  报告期内，根据公司工艺废气处理设备销售收入及市场数据进行分析测算，
公司工艺废气处理设备市场占有率情况如下：
                                            单位：万元
              项目                      2022 年度
            中国市场规模                          152,292.36
         发行人对应产品销售收入                            17,345.47
       京仪装备同类型产品市场占有率                             15.57%
         发行人国内市场占有率                              11.39%
  注：因可比公司京仪装备未披露 2023 年度及 2024 年度市场占有率情况，此处选择 2022
年度相关数据作为对比参考。
  公司工艺废气处理设备市场占有率低于京仪装备，本次募集资金投资项目实
施后，公司将提升相关产品的生产能力，提升产品竞争力从而提升公司产品市占
率。
  本次募投项目相关产品国内市场同行业上市公司产能建设情况如下：
                                                                   单位：台
          京仪装备        京仪装备          中科仪（2020        中科仪 IPO       发行人募投
  项目     （2023 年度    IPO 募投项        年度年化产           募投项目规         项目达产后
          产量）        目规划产能            量）             划产能           产能
工艺废气处
理设备
温控设备         2,233       1,150                  -             -      300
真空设备             -             -            4,302      20,040       1,200
  注：1、以上数据均来源于可比公司年度报告、招股说明书等公开资料；2、中科仪 2021
年度、2022 年度及 2023 年度产能数据暂未公开。
  由上表可知，在半导体行业国产替代进程稳步发展的情况下，国内半导体附
属设备及关键零部件厂商扩产积极。
  京仪装备 2023 年度工艺废气处理设备产量为 702 台，公司募投项目达产后
工艺废气处理设备产能为 1,600 台/年，大于京仪装备扩产后产量，而温控设备产
能低于京仪装备 2023 年度产量，真空设备产能低于中科仪年度产量。
  综上所述，在半导体行业国产替代进程稳步发展的情况下，国内半导体附属
设备及关键零部件生产厂商正在积极扩产寻求更好的市场机会，公司也将通过本
次募投项目的实施把握市场机遇，从而进行合理的产能消化；本项目有利于增强
行业产品竞争力，进一步提高市场占有率，同时针对真空设备及温控设备加速进
入市场具有积极影响，因此本项目新增产能规模具有合理性。
     （四）本次募投项目拟生产产品或提供服务验证进展及预计订单情况
  本次募投项目相关产品正在积极开展验证工作，具体进展详见本题回复之
“二”之“（四）”内容。
  截至 2025 年 2 月 28 日，公司与本次募集资金投资项目相关产品工艺废气处
理设备在手订单合计 8,373.74 万元，在手订单对应工艺废气处理设备台数为 334
台。
  截至本问询回复出具之日，公司真空设备产品仍在客户处进行验证测试中，
验证测试进度仍在正常周期范围内，不存在验证测试失败的情况；公司温控设备
产品已完成第三方机构的测试认证，已与潜在客户开展技术交流，暂未开展客户
处验证。同时，随着下游客户的需求的增加，验证测试客户数量预计将同步增加，
为公司本次募投项目的产能消化提供助力。
    综上所述，公司工艺废气处理设备在手订单情况良好，在短期内能够合理地
消化本次募投项目新增产能；此外，公司真空设备验证测试持续进行中，公司将
在积极推进验证测试进度的同时寻求更多的市场及客户资源，从而使得公司新增
产能能够合理消化；公司将积极开展温控设备的技术交流工作，积极拓展潜在客
户资源。通过本次募集资金投资项目的实施，公司将持续满足下游客户需求，同
时提高公司产能消化效率。
    （五）本次募投项目拟生产产品或提供服务产能消化措施具备可行性和合理
性
    公司已经具备本次募投项目相关半导体附属设备及关键零部件所需的技术、
制造经验与市场销售渠道等储备，并将发挥品牌优势及产品质量优势，保障产能
消化效率，同时优化产品创新设计，增强产品竞争力，不断加大市场开拓力度，
因此公司产能消化措施具备可行性和合理性。
造经验、市场销售渠道等储备
    公司管理和研发团队长期专注于半导体工艺废气治理，持续进行产品线的研
发和技术创新，在半导体附属设备及关键零部件等方面均已形成深厚的技术积淀。
同时，公司持续加大研发投入，逐步完成工艺废气处理设备、真空设备及温控设
备等半导体附属设备和关键零部件的国产化研制，积累了丰富的技术储备，具备
了规模化的生产能力。
    针对本次募集资金投资项目的工艺废气处理设备、真空设备，公司均已有明
确的市场销售渠道及商业化落地安排，具体内容详见本审核问询函回复问题 1 之
“二、结合公司现有产品结构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新产品或
新业务，与公司现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游
客户等方面的区别与联系，公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力，目前
产品研发及验证测试进度，是否存在技术障碍，是否具有明确的销售渠道及商业
化安排”内容。
    公司系中国高科技制造产业知名的绿色科技服务商。经过多年积累，公司建
立了完善的质量控制体系，依靠稳定的产品质量，获得了半导体行业优质客户的
广泛认可，建立了良好的口碑和品牌优势。
   公司产品是客户生产工艺不可分割的组成部分。公司稳定的产品质量为客户
的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境提供了有力保障，为公司保
持稳固的行业地位和开拓市场提供了坚实基础。公司对产品研发设计、加工制造、
系统集成及运维管理实施全过程标准化的管理和控制。公司或产品通过了 FM
Approvals 4922、ISO9001:2015 质量管理体系认证、ISO14001 环境管理体系认证、
SEMI 系列产品认证、CE 认证等一系列国内、国际质量认证，并获得了客户的
普遍认可与好评，是集成电路、半导体显示、新能源等高科技制造行业知名企业
的优秀供应商和合作单位。
   综上所述，公司的品牌优势及产品质量优势将保障公司产能消化效率。
   工艺废气处理设备、真空设备和温控设备共同作用于半导体制程设备反应腔
的辅助控制，为半导体工艺环节创造所需的环境条件。为完善先进半导体附属设
备及关键零部件平台搭建，充分发挥装备与零部件产品的协同性，公司不断丰富、
延伸产品链。
   公司积极推进半导体附属设备及关键零部件业务市场拓展与研发验证工作，
通过产品升级与拓类，匹配产业深度转型升级下的“高科技、高效能、高质量”
要求。截至本问询回复出具之日，公司已发布多款工艺废气处理设备、真空设备、
温控设备新产品，为下游客户提供更多自主设备选择。其中，工艺废气处理设备
完成燃烧+水洗机型的研发，弥补公司在半导体 CVD 制程的设备空白；公司针
对客户的 CVD 工艺生产过程中粉尘堵塞导致 PM 周期（预防性维护周期）短等
痛点，定向研发的 PW3000 机型能够安全稳定运行。同时，公司运维服务将逐步
打开进口设备涉及的零部件和 PM 运维市场。
   此外，为更好的提升产能消化效率，公司将进一步完善市场拓展体系。基于
广东盛剑、湖北盛剑以及新加坡盛剑等子公司，公司将更好的发挥地域化优势，
通过更加灵活的维保服务探索潜在客户，从而在公司“以销定产”的销售模式下
逐步提升产能消化效率。
  四、结合盛剑半导体业务开展具体情况，分析本次通过盛剑半导体实施募投
项目的背景，前期引入榄佘坤企管及员工持股平台的原因及合理性，对本次实施
募投项目的具体影响，上述机构的股权结构及股东情况，与公司的具体关系，是
否存在退出安排、是否实缴出资，未同比例提款借款的主要考虑
  （一）本次通过盛剑半导体实施募投项目的背景及业务开展的具体情况
  盛剑半导体自设立以来主要从事半导体附属设备及关键零部件的研发、生产
及销售等业务，业务定位为“国产先进半导体附属设备平台”，系发行人半导体
附属装备业务的承接主体。
  在研发、生产方面，目前发行人半导体制程附属装备的设计及生产制造由盛
剑半导体实施，盛剑半导体已就本次募投项目中的温控设备及真空设备取得相关
核心技术，已依托其现有技术开展募投项目产品的研发及试生产，部分真空设备
型号产品亦已完成验证测试。
  在销售方面，半导体业务的下游客户由盛剑半导体进行开拓，相关产品已在
市场中取得较好的声誉和市场竞争力。
  在资产和人员方面，盛剑半导体有独立的生产产线，有研发部门、生产部门、
销售部门构成的完整组织架构。
  因此，盛剑半导体具备实施本次募集项目的研发、生产和销售能力，对于发
行人未来在半导体附属设备领域继续拓展具有重要战略意义，发行人通过盛剑半
导体实施募投项目具备必要性和合理性。
  （二）盛剑半导体前期引入榄佘坤企管及员工持股平台的原因及合理性，对
本次实施募投项目的具体影响
  盛剑半导体引入外部投资者主要系按照公司战略发展规划，主要为增强盛剑
半导体资本实力，优化股权结构。而盛剑半导体引入员工持股平台勤顺聚芯及勤
顺汇芯旨在充分调动从事半导体业务员工的积极性、主动性和创造性，促进员工
与企业共同成长和发展，推动盛剑半导体管理及业务长期、持续、稳健的发展。
  因此，盛剑半导体前期引入榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯具备合理性，
符合盛剑半导体的战略发展规划，不会对本次实施募投项目造成不利影响。
     （三）盛剑半导体其他股东的股权结构及股东情况，与公司的具体关系，是
否存在退出安排、是否实缴出资，未同比例提款借款的主要考虑
     截至本问询回复出具之日，榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯均为有限合伙
企业，其出资结构及相关合伙人情况，合伙人与公司的具体关系具体如下：
     （1）榄佘坤企管的股权结构及与公司的具体关系
                      认缴合伙份额             出资比例               是否存在
序号    合伙人名称/姓名                                      合伙人类型
                       （万元）               （%）               关联关系
      上海颐成投资管理有
         限公司
     （2）勤顺聚芯的股权结构及与公司的具体关系
序    合伙人名称/      认缴合伙份额      出资比例
                                          合伙人类型       与公司的具体关系
号      姓名         （万元）       （%）
序    合伙人名称/   认缴合伙份额       出资比例
                                      合伙人类型   与公司的具体关系
号      姓名      （万元）        （%）
     （3）勤顺汇芯的股权结构及与公司的具体关系
序    合伙人名称/   认缴合伙份        出资比例
                                      合伙人类型   与公司的具体关系
号      姓名     额（万元）         （%）
     截至本问询回复出具之日，榄佘坤企管、勤顺聚芯及勤顺汇芯均不存在关于
退出盛剑半导体的相关安排。
     根据勤顺聚芯、勤顺汇芯及榄佘坤企管入股盛剑半导体时签署的《关于上海
盛剑半导体科技有限公司之增资协议》，榄佘坤企管应在上述增资协议签署后 30
日内或盛剑半导体另行通知的支付时间之前，将认购价款全部汇入盛剑半导体指
定账户；勤顺聚芯以及勤顺汇芯根据其合伙协议的约定收到合伙人足额出资后及
时将认购价款汇入盛剑半导体指定账户。
     截至本问询回复出具之日，榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯均已完成对盛
剑半导体出资的实缴，盛剑半导体股权结构不存在重大不确定性。
     截至本问询回复出具之日，榄佘坤企管除持有盛剑半导体股权外，未开展其
他业务，其合伙人出资额合计金额即为其对盛剑半导体的出资额，榄佘坤企管资
金为盛剑半导体的财务性投资者，实力有限，因此未同比例提款借款。
     勤顺聚芯、勤顺汇芯为员工持股平台，除执行事务合伙人外，勤顺聚芯、勤
顺汇芯其他合伙人为盛剑半导体业务的经营管理团队及核心人员，对本次募投项
 目的顺利实施具有积极作用，其入股盛剑半导体具有必要性及合理性，该等合伙
 人资金实力有限，勤顺聚芯、勤顺汇芯其他合伙人在已实缴其认缴出资额后，短
 期内难以再同比例增资及借款，故后续不再同比例增资和提供借款。
      综上，本次募投项目实施主体盛剑半导体未同比例提款借款不存在导致盛剑
 半导体以明显偏低成本占用发行人资金的情形，不存在损害发行人利益的情形。
      五、前次募集资金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的
 比例是否超过 30%
      （一）公司前次募集资金投向变更前用于非资本性支出占募集资金总额的比
 例为 59.61%，相关比例已超过 30%
      根据公司首次公开发行招股说明书披露内容，公司前次募集资金非资本性支
 出合计为 36,700.50 万元（包括补充流动资金 27,758.99 万元），占募集资金总额
 比例为 59.61%，具体情况如下：
                                                                  单位：万元
                  环保装备智能                新技术研发              上海总部运营中心
                   制造项目                  建设项目                建设项目
                                                                     补充流
类别        项目                          募集资                  募集资
               募集资金                                                  动资金
                            占比        金投资    占比            金投资  占比
               投资金额
                                       金额                   金额
资本性   工程建
支出    设费用
      工程建
      设其他       3,290.45              2,158.11              527.42
      费用
非资本
      基本预                   47.48%                20.12%               15.88%   27,758.99
性支出              197.40                232.96                74.32
      备费
      铺底流
      动资金
     合计        12,528.27   100.00%   11,881.25   100.00%   3,790.36   100.00%   27,758.99
      因此，公司前次募集资金投向变更前募集资金用于非资本性支出占募集资金
 总额的比例超过 30%。
      （二）公司前次募集资金投向变更后用于非资本性支出占募集资金总额的比
 例为 60.78%，相关比例与前次募集资金投向变更前比例差异不大
      公司于 2022 年 2 月 25 日召开 2022 年第一次临时股东大会，审议通过《关
 于调整部分募集资金投资项目实施内容及募集资金投入计划的议案》，同意公司
      调整环保项目实施内容及相应总投资金额、调整环保项目及“新技术研发建设项
      目”的募集资金拟投入金额。公司“环保装备智能制造项目”的总投资金额由
      至 9,228.27 万元，减少 3,300.00 万元；“新技术研发建设项目”的总投资金额不
      变，原计划投入募集资金 11,881.25 万元增加至 15,181.25 万元，增加 3,300.00 万
      元。
          截至 2023 年 7 月，公司前次募集资金投资项目已全部建设完毕，达到可使
      用状态。
          截至前次募集资金账户注销之日，公司前次募集资金投向变更后用于非资本
      性支出占募集资金总额的比例为 60.78%（考虑前次募集资金投资项目结余资金
      全部为非资本性支出），相关比例与前次募集资金投向变更前比例差异不大，具
      体如下：
                                                                                 单位：万元
                环保装备智能                 新技术研发                上海总部运营中心
                 制造项目                  建设项目                   建设项目               结项转
               募集资                                          募集资                  永久补         补充流
类别        项目                        募集资金
               金实际                                          金实际                  充流动         动资金
                    占比              实际使用           占比             占比
               使用金                                          使用金                   资金
                                     金额
                额                                            额
资本性   工程建
支出    设费用
      工程建
      设其他       800.11               2,654.34                540.19
      费用
非资本
      基本预                  24.11%                  20.62%               15.89%   4,729.47   27,758.99
性支出              59.00                291.05                  71.11
      备费
      铺底流
      动资金
     合计        4,851.48   100.00%   15,276.45    100.00%    3,847.39   100.00%   4,729.47   27,758.99
          综上所述，公司前次募集资金投向变更前后，实际募集资金投资用于非资本
      性支出占募集资金总额的比例均超过 30%，变更前后实际募集资金非资本性支出
      占比相差不大。
  六、中介机构核查情况
  （一）保荐机构核查程序及核查意见
  针对上述问题，保荐机构执行了以下核查程序：
  （1）查阅发行人本次募投项目可行性研究报告、发行人年度报告，了解关
于本次募投项目具体建设内容、生产产品及相关产品在报告期内的生产、销售以
及产能利用率等方面的具体情况，分析公司开展本次募投项目的主要考虑及必要
性；查阅了行业报告等行业资料，结合行业市场竞争情况分析公司开展本次募投
项目的主要考虑及必要性。
  （2）查阅发行人年度报告，了解公司现有产品结构及收入情况，分析本次
募投项目产品与公司现有业务的对比；访谈发行人业务负责人，了解本次募投项
目产品与公司现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客
户等方面的区别与联系以及相关产品目前研发及验证测试进度情况，分析公司实
施本次募投项目的相关能力；查阅了发行人员工花名册、专利及资质证书明细，
分析发行人关于具备实施本次募投项目相应人员、技术、经验等方面的储备；访
谈了发行人与本次募投项目产品相关的业务负责人，了解本次募投项目产品的研
发及验证测试进度，分析相关产品的技术障碍、销售渠道以及商业化安排，从而
论证本次募投项目符合投向主业要求。
  （3）查阅了本次募投项目产品的行业分析报告及市场公开数据，了解本项
目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发展情况、上下游供需情况并测算了
发行人市场占有率；查阅了同行业公司的公开资料以及官网网站，了解同行业可
比公司的产能建设情况；访谈了发行人与本次募投项目产品相关的业务负责人，
了解客户验证进展以及预计订单情况；查阅了公司关于工艺废气处理设备、真空
设备及温控设备验证测试流程的说明。
  （4）查阅了公司针对盛剑半导体增资扩股并引入榄佘坤企管及员工持股平
台的相关公告，查阅了盛剑半导体与榄佘坤企管及员工持股平台所签署的投资协
议、员工持股平台的合伙协议；查阅了相关机构的出资凭证；访谈了榄佘坤企管
的主要合伙人，了解其投资盛剑半导体的原因、股权结构、股东情况及与公司的
具体关系。
  （5）查阅发行人前次募集资金银行账户银行存款日记账，分析前次募集资
金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例。
  经核查，保荐机构认为：
  （1）公司开展本次募投项目综合考虑了公司发展战略落实、研发成果产业
化、市场竞争情况及公司报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况等因素，
具有必要性。
  （2）本次募投项目涉及新产品，不涉及新业务；本次募投项目产品与公司
现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面存在
协同性；公司已具备实施本次募投项目的相关能力，目前产品研发及验证测试进
度不存在技术障碍，同时具有明确的销售渠道及商业化安排，本次募集资金符合
投向主业要求。
  （3）本次募投项目新增产能规模测算具有合理性，公司制定具体产能消化
措施。
  （4）公司本次募投项目的实施符合《监管规则适用指引——发行类第 6 号》
第 8 条的相关规定，具体情况如下：
《监管规则适用指引——发行类第 6 号》第 8 条具体规定      本次募投项目
一、为了保证发行人能够对募投项目实施进行有效控制，
原则上要求实施主体为母公司或其拥有控制权的子公司。
但是，以下两种情形除外：
（一）拟通过参股公司实施募投项目的，需同时满足下列       符合该条款规定。
要求：1、上市公司基于历史原因一直通过该参股公司开展      本次募投项目由公司拥有控制
主营业务；2、上市公司能够对募集资金进行有效监管；3、     权的子公司盛剑半导体实施。
上市公司能够参与该参股公司的重大事项经营决策；4、该
参股公司有切实可行的分红方案。
（二）国家法律法规或政策另有规定的。
二、通过新设非全资控股子公司或参股公司实施募投项目
的，保荐机构及发行人律师应当关注与其他股东合作原因、      不适用，本次募投项目非通过
其他股东实力及商业合理性，并就其他股东是否属于关联       新设非全资控股子公司或参股
方、双方出资比例、子公司法人治理结构、设立后发行人       公司实施
是否拥有控制权等进行核查并发表意见。
三、通过非全资控股子公司或参股公司实施募投项目的，       符合该条款规定。
应当说明中小股东或其他股东是否同比例增资或提供贷        1、本次募投项目由公司非全资
《监管规则适用指引——发行类第 6 号》第 8 条具体规定   本次募投项目
款，同时需明确增资价格和借款的主要条款（贷款利率）。 控股子公司盛剑半导体实施，
保荐机构及发行人律师应当结合上述情况核查是否存在损 具体实施方式为公司向盛剑半
害上市公司利益的情形并发表意见。           导体提供借款形式，盛剑半导
                           体其他股东不进行同比例借
                           款。
                           募投项目实施的借款的年化利
                           率为每笔借款的借款日（提款
                           日）全国银行间同业拆借中心
                           最近一次公布的贷款市场报价
                           利率（LPR），借款利息根据每
                           笔借款的实际借款额和借款天
                           数计算。
                            保荐机构及发行人律师已结合
                           上述情况进行核查，并发表明确
                           意见，具体见本题回复之“六、
                           中介机构核查情况”之“ （一）保
                           荐机构核查程序及核查意见”之
                           “2、核查意见”之“（5）
                                       ”内容。
                           符合该条款规定。
                           募投项目实施主体盛剑半导体
                           的基本情况，募投项目实施主
                           体通过增资引入部分董事、监
                           事和高级管理人员的原因、背
                           景、必要性和合规性、相关利
四、发行人通过与控股股东、实际控制人、董事、监事、 益冲突的防范措施；通过该公
高级管理人员及其亲属共同出资设立的公司实施募投项目 司实施募投项目的原因、必要
的，发行人和中介机构应当披露或核查以下事项：     性和合理性。
（一）发行人应当披露该公司的基本情况，共同设立公司 2、上述与关联自然人共同投资
的原因、背景、必要性和合规性、相关利益冲突的防范措 的关联交易，已经发行人第二
施；通过该公司实施募投项目的原因、必要性和合理性； 届董事会第二十三次会议及第
（二）共同投资行为是否履行了关联交易的相关程序及其 二届监事会第十七次会议审议
合法合规性；                     通过，独立董事已发表了事前
（三）应当核查并对上述事项及公司是否符合《公司法》 认可意见及同意实施的独立意
第一百四十八条的规定、相关防范措施的有效性发表意见。 见，具有合法合规性。
                           合上述情况进行核查，并发表
                           明确意见，具体见本题回复之
                           “六、中介机构核查情况”之
                           “（一）保荐机构核查程序及核
                           查意见”之“2、核查意见”之
                           “（6）
                              ”内容。
  （5）本次募投项目由公司非全资控股子公司盛剑半导体实施，具体实施方
式为公司向盛剑半导体提供借款形式，盛剑半导体其他股东不进行同比例借款，
主要原因是盛剑半导体其他股东资金实力有限；公司和盛剑半导体关于本次募投
项目实施的借款的年化利率为每笔借款的借款日（提款日）全国银行间同业拆借
中心最近一次公布的贷款市场报价利率（LPR），借款利息根据每笔借款的实际
借款额和借款天数计算，公司本次募投项目实施方式不存在损害上市公司利益的
情形。
  （6）公司已在《募集说明书》之“第六节 合规经营与独立性”之“五、关
联方及关联交易情况”之“（二）关联交易”披露募投项目实施主体的基本情况，
募投项目实施主体通过增资引入部分董事、监事和高级管理人员的原因、背景、
必要性和合规性、相关利益冲突的防范措施；上述与关联自然人共同投资的关联
交易，已经发行人第二届董事会第二十三次会议及第二届监事会第十七次会议审
议通过，独立董事已发表了事前认可意见及同意实施的独立意见，具有合法合规
性；公司通过增资引入部分董事、监事、高级管理人员行为符合《公司法》第一
百四十八条的规定，公司已制定相关利益防范措施，相关利益防范措施具有有效
性。
  （7）前次募集资金投向变更前后，实际募集资金投资用于非资本性支出占
募集资金总额的比例均超过 30%，变更前后实际募集资金非资本性支出占比无重
大差异。
     （二）发行人律师核查程序及核查意见
  针对问题（4），发行人律师履行了如下核查程序：
  （1）取得并查阅了榄佘坤企管、颐成投资、勤顺聚芯以及勤顺汇芯的工商
档案、公司章程/合伙协议，并对前述主体的出资人情况进行了网络核查；
  （2）取得并查阅了勤顺聚芯、勤顺汇芯及榄佘坤企管入股盛剑半导体时签
署的《关于上海盛剑半导体科技有限公司之增资协议》及现行有效的《上海盛剑
半导体科技有限公司章程》；
  （3）取得并查阅了发行人关于盛剑半导体增资相关的公告；
  （4）取得并查阅了榄佘坤企管的合伙人的调查问卷，对榄佘坤企管的执行
事务合伙人委派代表进行访谈；
  （5）取得并查阅了勤顺聚芯、勤顺汇芯的有限合伙人与发行人或其下属公
司签订的劳动合同，取得并查阅了发行人关于该等自然人于公司任职情况的书面
确认；
  （6）取得并查阅了榄佘坤企管、勤顺聚芯及勤顺汇芯各自合伙人向其出资
的凭证，以及榄佘坤企管、勤顺聚芯及勤顺汇芯向盛剑半导体支付投资款项的凭
证；
  （7）对发行人半导体附属装备业务的主要负责人进行访谈；
  （8）取得并查阅了盛剑半导体报告期内的主要采购合同、主要销售合同；
  （9）取得了盛剑半导体各股东，包括发行人、榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤
顺汇芯的书面确认。
  经核查，发行人律师认为：
  发行人通过盛剑半导体实施募投项目具备必要性和合理性。盛剑半导体前期
引入榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯具备合理性，不会对本次实施募投项目造
成不利影响。截至补充法律意见书（一）出具之日，榄佘坤企管的出资人与发行
人不存在关联关系；勤顺聚芯、勤顺汇芯的出资人为发行人全资子公司或发行人
员工；榄佘坤企管、勤顺聚芯及勤顺汇芯均不存在关于退出盛剑半导体的相关安
排；榄佘坤企管、勤顺聚芯以及勤顺汇芯均已完成对盛剑半导体出资的实缴。榄
佘坤企管、勤顺聚芯以及勤顺汇芯后续不向盛剑半导体提供同比例借款的安排具
有合理的原因。
     （三）申报会计师核查程序及核查意见
  针对问题（5），申报会计师履行了如下核查程序：
  查阅发行人前次募集资金银行账户银行存款日记账，分析前次募集资金投向
变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例。
  前次募集资金投向变更前后，实际募集资金投资用于非资本性支出占募集资
金总额的比例均超过 30%，变更前后实际募集资金非资本性支出占比无重大差异。
      问题 2：关于融资规模和效益测算
      根据申报材料，1）发行人本次募集资金不超过 5 亿元，其中用于“国产半
导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）”3.5 亿元、用于补充公司流动资金
            （1）建筑工程费、设备购置及安装费等具体内容及测算过程，
      请发行人说明：
建筑面积、设备购置数量的确定依据及合理性，建筑单价、设备单价以及安装费
与公司已投产项目是否存在明显差异；
                （2）本次募投项目实质上用于补流的规模
及比例，是否存在置换董事会前投入的情形；
                   （3）结合公司资产负债情况、现有
资金规模、未来现金流入净额、各项资本性支出等，说明本次融资规模的合理性；
（4）效益预测中产品价格、成本费用等关键指标的预测过程及依据，与公司现
有水平及同行业可比公司的对比情况。
      请保荐机构及申报会计师根据《监管规则适用指引—发行类第 7 号》第 5 条、
《证券期货法律适用意见第 18 号》第 5 条进行核查并发表明确意见。
      【回复】
      一、本次募投项目建筑工程费、设备购置及安装费等具体内容及测算过程，
建筑面积、设备购置数量的确定依据及合理性，建筑单价、设备单价以及安装费
与公司已投产项目是否存在明显差异
      本次募集资金投资项目“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）”
建设内容主要包括购置土地、投资建设新厂房、引进先进的生产设备及生产系统
等，拟通过建造高度自动化的生产线，打造先进国产半导体制程附属设备平台，
建设国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地，以进一步扩大设备及关键
零部件产品的生产能力，并同步提升运维服务能力。
      本次募集资金投资项目的建设总投资为 46,203.51 万元，其中建筑工程费
                                                           单位：万元
                                募集资金拟使              募集资金拟使  是否为资
序号       项目名称    投资总额
                                  用金额               用金额占比   本性支出
                                    募集资金拟使              募集资金拟使      是否为资
序号         项目名称      投资总额
                                      用金额               用金额占比       本性支出
          合计          46,203.51             35,000.00     100.00%      -
      （一）本次募投项目建筑工程费具体内容、测算过程、建筑面积确定依据及
合理性、建筑单价与公司已投产项目是否存在明显差异
      本次募投项目拟投资建设四幢建筑物，分别为主厂房 1 幢、宿舍楼及食堂 1
幢、门卫室 1 幢和配电所 1 幢，总建筑面积为 47,050 平方米。
      本次募投项目计划场地建设投资共 28,725.81 万元，其中土地购置费为
地购置费主要包括土地出让合同款及相关契税、印花税，场地建造费主要内容为
工程建设投入和工程建设其他费用，场地装修费主要包括洁净室装修和一般装修。
      本次募投项目场地建造费中各项费用根据向相关单位询价、公司历史建设经
验并依据工程量大小及计费标准测算得出，具体如下：
 序号                  项目                                  金额（万元）
 序号                    项目                                 金额（万元）
                  合计                                             22,985.51
      本次募投项目场地装修费主要包括洁净室装修和一般装修投入，具体如下：
序号        工程名称     面积（平方米）             总金额（万元）             单价（万元/平方米）
      本次募投项目主厂房内部规划有测试间，用于产品测试，规划面积为 5,000
平方米，装修标准较高，为洁净室级别装修标准，因此装修单价按照 2,500 元/
平方米测算；主厂房内部规划有其他公共区域 4,000 平方米，外加厂区内规划有
宿舍区 6,608 平方米，装修标准为一般装修，装修单价按照 1,000 元/平方米测算。
      本项目拟建设厂区的具体面积规划如下：
序号               建筑名称                      建筑面积(平方米)           建设用途
               总建筑面积                               47,050        -
      本项目的建筑面积依据拟建设产能生产工艺所须产线设备的占地面积、生产
流程的布局、生产经营所必须的配套设施面积等综合考虑对所需场地面积的需求，
并考虑容积率、绿地率等多方面的要求进行规划，最终确定建设规划以及厂房设
计图，建筑面积能够满足生产需求，具备合理性。
  （1）本次募投项目建设及装修单价与公司已投产项目比较情况
                                                               单位：万元/平方米
    本次募投项目（位于嘉定区）                           公司总部大厦（位于嘉定区）
                       建设和装修合计                                    建设和装修合
建设单价     装修单价                         建设单价          装修单价
                          单价                                       计单价
  本次募投项目建设用地和公司总部大厦均位于上海市嘉定区，本次募投项目
建设设施和公司总部大厦均为混凝土结构。本次募投项目建设及装修单价与公司
同在嘉定区的总部大厦的建设及装修单价数据接近，差异较小。
  （2）本次募投项目建设及装修单价与上海地区同类型项目比较情况
                                                                       建设单价
        融资                             总建设面积             建设投资
公司简称                  项目名称       地点                                    （万元/平
        类型                             （平方米）             （万元）
                                                                        方米）
                     单片湿法工艺模
                     组、核心零部件
至纯科技    再融资                      上海         48,700.65      28,765.00          0.59
                     研发及产业化项
                        目
                     上海临港研发及
芯源微     再融资                      上海         53,644.75      26,360.90          0.49
                      产业化项目
                     中微临港产业化
                                 上海        180,000.00     140,000.00          0.78
                       基地项目
中微公司    再融资
                     中微临港总部和
                                 上海        105,000.00     108,000.00          1.03
                      研发中心项目
                     雅创汽车电子总
雅创电子    再融资                      上海         28,500.00      24,400.00          0.86
                      部基地项目
                     碳化硅半导体材
天岳先进    IPO                      上海         92,998.46      86,000.00          0.92
                       料项目
  同行业上市公司在上海地区的募投项目的建设单价在 0.49 万元/平方米至
     （二）本次募投项目设备购置及安装费具体内容、测算过程、设备购置数量
的确定依据及合理性、设备单价及安装费与公司已投产项目是否存在明显差异
     公司本次募投项目产品的工艺原理为通过机加工、预组装、总装以及测试等
工序，最后制造成符合客户要求的半导体附属装备以及核心零部件，故本项目中
拟购置的软硬件设备主要用于产线搭建和生产管理。
     本次募集资金投资项目计划投入软硬件设备购置费（含安装费）9,709.00 万
元，其中硬件设备购置及安装共计投资 9,439.00 万元，软件购置及安装共计投资
序                                    单   数    单价       总金额
        设备名称            品牌/型号
号                                    位   量   （万元）     （万元）
                    硬件设备合计                            9,439.00
     车削加工中心+机器人自动
          线
                     软件合计                             270.00
                     软硬件总计                            9,709.00
     本次募集资金投资项目设备数量根据项目产能规划、生产工艺流程需要及历
史项目生产经验等拟定；公司针对单价高于 100 万的设备进行了市场询价，询价
设备总投资占本次软硬件投资总额的 66.80%。其他单价较低的设备参照相同或
类似规格/型号设备的市场价格并结合公司历史采购经验得出。
  本次募集资金投资项目中工艺废气处理设备生产产线的募集资金投入是新
购高度自动化设备并利用公司部分现有设备进行新产线建造，进一步提高产品生
产工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号，主要购置设备与已投产项目购置
的设备是互补关系，暂不存在可比性；本次募投项目的真空设备和温控设备生产
设备为新购置的生产产线，暂不存在可比性。
  从单位产能设备投资金额角度分析，本项目募集资金投资项目投资强度与现
有产线的对比情况如下：
                                            单位产能设备投
  项目            主要产品              投资额（万元）
                                            资（万元/台）
         工艺废气处理设备（等离子水洗式单
 现有产线                            1,744.12      2.96
         腔、电加热水洗式单腔）
         （1）工艺废气处理设备（电加热水
         洗式单腔；等离子水洗式单、双腔；
         燃烧水洗式双腔）
本次募投项目                          11,453.12      3.69
         （2）真空设备
         （3）温控设备
         （4）运维所需零部件
  注：本次募投项目为技改项目，原有产线设备将迁入本项目，表中投资额包括本次募投
项目技改投资 9,709.00 万元以及历史产线设备原值对应投资额 1,744.12 万元。
  本次募集资金投资的项目主要产品与现有产线存在显著差异。具体而言，工
艺废气处理设备将从现有型号升级为更复杂、附加值更高的新型号，如燃烧水洗
式双腔和等离子水洗式双腔等。同时，真空设备和温控设备均为全新产品，产品
和机型的变化导致本项目的生产设备与现有产线存在较大差异。此外，本次募集
资金投资项目实施后，生产运维所需的零部件未纳入本项目的整机产能计算中，
从而进一步增加了单位产能设备投资额。
  本次募投项目实施后将作为公司国产半导体制程附属设备及关键零部件的
研发平台，为工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等产品的产业化及新产品
的研发提供保障，因此公司本次募投项目选取的产线生产设备生产精度和自动化
程度较高，相应设备价格更高。
  综上所述，由于本次募投项目产品种类、生产设备类型和工艺流程等方面存
在明显差异，致使设备单价与公司现有产线存在一定差异；而零部件运维对产能
的占用，使得本项目的单位产能设备投资额高于公司现有产线，具备合理性。
    二、本次募投项目实质上用于补流的规模及比例，是否存在置换董事会前投
入的情形
    （一）本次募投项目实质上用于补流的规模及比例
    本次向不特定对象发行可转换公司债券募集资金总额不超过 50,000.00 万元
（含 50,000.00 万元），扣除发行费用后，募集资金拟用于以下项目：
                                                            单位：万元
序                             拟使用募集资         募集资金用于        募集资金用于
       项目名称      投资总额
号                              金投入金额         资本性支出         非资本性支出
    国产半导体制程附属
    目（一期）
       合计         61,203.51      50,000.00     35,000.00     15,000.00
    本次向不特定对象发行可转债募集的资金中实质上用于补流的规模为
    （二）本次募投项目是否存在置换董事会前投入的情形
    本次募投项目中的“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）”
于董事会前投入的资金为 3,429.50 万元（土地购置费），该费用未列入本次募集
资金投资构成中。公司未来也不会将董事会前投入的资金土地购置费 3,429.50 万
元进行置换。
    因此，公司不存在置换董事会前投入资金的情形。
    三、结合公司资产负债情况、现有资金规模、未来现金流入净额、各项资本
性支出等，说明本次融资规模的合理性
    （一）公司资产负债情况
    报告期内，公司合并口径的资产负债率为 38.35%、45.19%、53.76%及 55.62%，
公司正处于快速发展阶段，债务融资规模的逐渐扩大，使得资产负债率逐步提升。
截至 2024 年 9 月，公司短期借款余额 42,693.84 万元，一年内到期的非流动负债
余额 3,858.79 万元，长期借款余额 25,342.34 万元，公司有息负债超过 7 亿元。
   本次募投项目补充流动资金可以降低财务风险和经营风险，优化财务结构，
有效避免因资金期限错配问题造成的偿债压力，有利于保障公司现有项目和在建
项目顺利开展，以更低的成本扩大规模，实现公司的长期发展战略。
   （二）结合现有资金规模、未来现金流入净额、各项资本性支出等，说明本
次融资规模的合理性
   考虑到公司未来三年预计经营活动现金流量净额、现金分红以及满足公司日
常经营等需要，公司未来三年存在资金缺口合计约为 52,689.00 万元，具体测算
如下：
                                                单位：万元
              资金用途                   计算公式       金额
截至 2024 年 9 月 30 日货币资金余额                    ①   32,007.02
截至 2024 年 9 月 30 日银行承兑汇票保证金等受限资金            ②   14,948.60
截至 2024 年 9 月 30 日可自由支配资金             ③=①-②     17,058.42
未来三年预计经营活动现金流量净额                            ④            -
未来三年预计现金分红金额                                ⑤    5,211.43
最低货币资金保有量                                   ⑥   44,262.58
已审议投资项目资金需求（不含本次募投项目）                       ⑦   20,273.41
总体资金需求合计                             ⑧=⑤+⑥+⑦    69,747.42
总体资金缺口/剩余（缺口以负数表示）                   ⑨=③+④-⑧    -52,689.00
   在财务管理实践中企业通常会考虑其现金流的稳定性和可持续性，为了能应
对可能的经营风险、市场波动或突发的资金需求，企业会倾向于保持一定水平的
现金储备。
   如选取公司最近一期各月平均经营性现金流出金额的三倍作为最低货币资
金保有量，根据计算结果，公司最低货币资金保有量为 44,262.58 万元。
   如选取公司最近一期各月末最低货币资金余额的三倍作为最低货币资金保
有量，根据计算结果，公司最低货币资金保有量为 44,430.32 万元。
   如选取以最近一年年度付现成本及货币资金周转次数进行测算最低货币资
金保有量，根据计算结果，公司最低货币资金保有量为 76,744.45 万元。
   基于谨慎性原则，公司选取上述三种测算结果中最低值作为最低货币资金保
有量测算结果，即 44,262.58 万元。
   三个月的经营活动现金流出在实践中通常被认为能够覆盖企业短期内的大
部分运营成本和潜在的紧急支出，从而为企业提供一定的财务缓冲，结合公司日
常经营活动现金需求量较大的情况，公司选取最近一期各月平均经营性现金流出
金额的三倍作为最低货币资金保有量具有合理性。
影响较大，使得公司 2021 年至 2023 年平均经营活动现金流量净额存在小于零
的情形。公司预计未来业务发展将保持稳健，基于资金缺口测算谨慎性原则，预
计未来三年经营活动现金流量净额合计为 0。
   根据《公司章程》，公司每年以现金方式分配的利润不少于当年实现的可供
分配利润的 10%。根据公司最近一年归属于上市公司股东的净利润为基础进行计
算，假设公司未来三年归属于上市公司股东的净利润保持不变，则公司未来三年
预计归属于上市公司股东的净利润合计 52,114.32 万元。
   假设公司未来三年现金分红比例为 10%，公司未来三年预计现金分红金额为
   公司于 2022 年 8 月 23 日召开第二届董事会第十四次会议，审议通过《关于
投资电子专用材料研发制造及相关资源化项目的议案》，公司拟在合肥新站区管
委会辖区内购置土地投资建设“上海盛剑电子专用材料研发制造及相关资源化项
目”，项目总投资 3 亿元。
   截至 2024 年 9 月 30 日，该项目已投入资金 9,726.59 万元，尚需投入资金
   近年来，公司业务持续快速发展。随着业务规模的迅速扩大，公司仅依靠内
部经营积累和间接融资已经较难满足业务持续快速扩张对资金的需求。本次公司
拟将募集资金中的 15,000.00 万元用于补充流动资金，符合公司所处行业发展现
状及公司业务发展需求。“补充流动资金”项目实施后，公司营运资金需求将得
到有效满足，资产结构更加稳健，可提升抗风险的能力，保障公司的持续稳定发
展，具备必要性和合理性。
  综上所述，报告期内公司资产负债率逐步提升。截至 2024 年 9 月，公司有
息负债超过 7 亿元；同时，根据公司现有资金规模、未来现金流入净额、各项资
本性支出等进行合理测算，公司未来三年存在资金缺口合计约为 52,689.00 万元。
本次募投项目实施后，可以降低公司财务风险和经营风险，故本次募集资金投资
项目融资规模具有合理性。
  四、本次募投项目效益预测中产品价格、成本费用等关键指标的预测过程及
依据，与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况
  （一）本次募投项目收入预测过程
  本次募投项目测算期为 10 年，收入主要来源于半导体附属装备及核心零部
件产品的生产及销售，以及后续运维服务收入，主要产品包括工艺废气处理设备、
真空设备和温控设备等多个系列的产品。
  营业收入的预测系根据各系列产品每年的销售情况、产能释放情况与各系列
产品的预测综合单价等因素确定。
  本次募投项目达产后可实现 1,600 台工艺废气处理设备、1,200 台真空设备
和 300 台温控设备的供应能力，运维服务能力按照 1,800 套工艺废气处理设备运
维服务能力和 400 套真空设备运维服务能力规划。
  本次募投项目中，预测销售数量按照当年产量即为当年销量进行假设，预测
产品单价基于公司历史同类产品的单价数据、竞争对手的公开数据、券商研究报
告数据、未来市场竞争预测等综合确定。本次募投项目营业收入预测如下：
产品类型     项目      第一年        第二年         第三年         第四年         第五年
   总收入（万元）             -   17,889.47   30,227.65   48,202.99   60,591.34
工艺废气   总收入（万元）         -   15,475.66   24,262.67   38,108.89   46,551.01
处理设备   （1）产品收入（万元）            -   15,077.43    23,316.87   36,311.88   43,990.26
       （2）运维收入（万元）            -     398.23        945.80    1,797.01    2,560.74
        总收入（万元）               -    1,486.73     3,716.81    6,823.01    9,809.73
真空设备   （1）产品收入（万元）            -    1,486.73     3,716.81    6,769.91    9,557.52
       （2）运维收入（万元）            -            -           -       53.10      252.21
温控设备   产品收入（万元）               -     927.08      2,248.17    3,271.08    4,230.60
产品类型        项目         第六年         第七年          第八年         第九年         第十年
   总收入（万元）            61,501.20   63,083.39    64,498.06   64,498.06   64,498.06
        总收入（万元）       47,233.87   48,612.40    49,844.98   49,844.98   49,844.98
工艺废气
       （1）产品收入（万元） 43,990.26      43,990.26    43,990.26   43,990.26   43,990.26
处理设备
       （2）运维收入（万元）     3,243.61    4,622.14     5,854.71    5,854.71    5,854.71
        总收入（万元）       10,036.73   10,240.39    10,422.48   10,422.48   10,422.48
真空设备   （1）产品收入（万元）     9,557.52    9,557.52     9,557.52    9,557.52    9,557.52
       （2）运维收入（万元）      479.20      682.87        864.96      864.96      864.96
温控设备   产品收入（万元）        4,230.60    4,230.60     4,230.60    4,230.60    4,230.60
  注：以上所示第一年为 2024 年，第二年为 2025 年，以此类推，下同。
  （1）工艺废气处理设备销售收入
产品类型    项目（不含税）        第一年         第二年          第三年         第四年         第五年
       产品收入（万元）               -   15,077.43    23,316.87   36,311.88   43,990.26
工艺废气
       销量（台）                  -     480.00       800.00     1,280.00    1,600.00
处理设备
       综合单价（万元/台）             -        31.41      29.15       28.37       27.49
产品类型    项目（不含税）        第六年         第七年          第八年         第九年         第十年
       产品收入（万元）       43,990.26   43,990.26    43,990.26   43,990.26   43,990.26
工艺废气
       销量（台）           1,600.00    1,600.00     1,600.00    1,600.00    1,600.00
处理设备
       综合单价（万元/台）        27.49         27.49      27.49       27.49       27.49
  公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了工艺废气处理设备产品
的销售计划。第一年项目建设，第二年产线完成技改并投产开始贡献收入。基于
谨慎性考虑，预计第二年产能释放率为 30%，第三年为 50%，第四年为 80%，
第五年完全达产为 100%。随着公司在行业内竞争力不断提升，产能按照逐步释
放，具备合理性。
  工艺废气处理设备产品机型包括电加热水洗式、等离子水洗式、燃烧水洗式
等多种类型，面向 CVD 工艺和 ETCH 工艺等不同工艺制程的多领域客户，由于
技术差异，产品单价各有不同。
  故采用以下方式测算未来工艺废气处理产品的综合单价：
  A、已有机型基于公司历史产品价格，新机型综合考虑本次募投项目产品特
点、相关客户市场需求、产品成本等因素进行定价，确定各类机型产品第一年的
预计销售价格，价格区间在最低 18 万至最高 70 万（含税价）之间；
  B、以第一年的价格为基准，考虑销售规模逐年放大及国产替代加速等因素，
按照第二年至第五年，全部机型单价按照每年同比下降 6%、6%、3%、3%预测
未来每年的单价，至第五年本次募投项目满产后，单价稳定；
  C、根据下游主要客户未来 2-3 年内的项目投资计划，预测主要客户对不同
机型的采购量，以及公司能够获取的市场份额，根据各自机型预测目标销量/总
销量得出未来 2-3 年不同机型的产品结构权重，根据该权重*单价，计算出工艺
废气处理设备产品的综合平均单价。
  （2）工艺废气处理设备运维收入
产品类型    项目（不含税）     第一年        第二年          第三年        第四年        第五年
       运维收入（万元）            -    398.23       945.80    1,797.01   2,560.74
工艺废气
       运维量（套）              -        90.00    225.00     450.00     675.00
处理设备
       运维单价（万元/套）          -         4.42      4.20       3.99       3.79
产品类型    项目（不含税）     第六年        第七年          第八年        第九年        第十年
       运维收入（万元）     3,243.61   4,622.14     5,854.71   5,854.71   5,854.71
工艺废气
       运维量（套）        900.00    1,350.00     1,800.00   1,800.00   1,800.00
处理设备
       运维单价（万元/套）      3.60          3.42      3.25       3.25       3.25
  工艺废气处理设备运行过程中存在损耗，需要定期进行维修保养，公司提供
一定质保期限内的运维服务，超出质保期后，客户仍存在运维需求，公司为客户
提供的运维服务会形成收入。
  随着公司工业废气处理设备销售量不断积累，预计本次募投项目测算期内运
维量会持续增加，从第二年的 90 套逐步提升至第八年的 1,800 套。
  基于同类产品市场报价及公司获取合理利润的定价，确定第二年运维单价为
     （1）真空设备产品收入
产品类型     项目（不含税）     第一年        第二年         第三年        第四年        第五年
        产品收入（万元）            -   1,486.73    3,716.81   6,769.91   9,557.52
真空设备    销量（台）               -    240.00      600.00     900.00    1,200.00
        综合单价（万元/台）          -        6.19      6.19       7.52       7.96
产品类型     项目（不含税）      第六年        第七年         第八年        第九年        第十年
        产品收入（万元）     9,557.52   9,557.52    9,557.52   9,557.52   9,557.52
真空设备    销量（台）        1,200.00   1,200.00    1,200.00   1,200.00   1,200.00
        综合单价（万元/台）      7.96         7.96      7.96       7.96       7.96
  公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了真空设备产品的销售计
划。第一年项目建设，第二年真空设备产线投产并贡献收入。基于谨慎性考虑，
预计第二年产能释放率为 20%，第三年为 50%，第四年为 75%，第五年完全达
产为 100%。随着公司在行业内竞争力不断提升，产能按照逐步释放，具备合理
性。
  真空设备可用于半导体领域和光伏领域，产品单价不同，半导体专用真空设
备对技术要求较高，其产品对应单价亦高于光伏领域专用真空设备。
  根据公司的产品规划，公司第二年率先开始量产光伏领域用真空设备，项目
第二年产品单价为 6.19 万元/台，随后开始量产半导体领域用真空设备，并且随
着半导体领域真空设备销售比重的提升，预计产品综合单价也会不断提高，基于
谨慎性考虑，预计第五年真空设备实现价格稳定，为 7.96 万元/台。
  （2）真空设备运维服务收入
产品类型     项目（不含税）     第一年           第二年       第三年        第四年        第五年
        运维收入（万元）           -             -         -      53.10     252.21
真空设备    运维量（套）             -             -         -      20.00     100.00
        运维单价（万元/套）         -             -         -       2.65       2.52
产品类型     项目（不含税）     第六年           第七年       第八年        第九年        第十年
        运维收入（万元）     479.20        682.87    864.96      864.96     864.96
真空设备    运维量（套）       200.00        300.00    400.00      400.00     400.00
        运维单价（万元/套）     2.40          2.28      2.16        2.16       2.16
  真空设备运行过程中存在损耗，需要定期进行维修保养，公司提供一定质保
期限内的运维服务，超出质保期后，客户仍存在运维需求，公司为客户提供的运
维服务会形成收入。
  随着公司真空设备销售量不断积累，预计本次募投项目测算期内运维量会持
续增加，基于谨慎考虑，预计第四年开始出现真空设备运维需求，为 20 套，至
第八年逐步提升至 400 套。
  基于同类产品的市场报价及公司获取合理利润的定价，确定第四年运维单价
为 2.65 万元/套，并基于谨慎性原则，假设第五年至第八年，按照每年服务单价
有 5%的降幅，第八年后单价稳定在 2.16 万元/套。
  温控设备收入测算过程及关键数据如下：
 产品类型     项目（不含税）     第一年          第二年       第三年        第四年        第五年
         产品收入（万元）              -    927.08   2,248.17   3,271.08   4,230.60
 温控设备
         销量（台）                 -     60.00    150.00     225.00     300.00
 产品类型    项目（不含税）     第一年         第二年        第三年        第四年        第五年
        综合单价（万元/台）          -      15.45      14.99      14.54      14.10
 产品类型    项目（不含税）     第六年         第七年        第八年        第九年        第十年
        产品收入（万元）     4,230.60    4,230.60   4,230.60   4,230.60   4,230.60
 温控设备   销量（台）         300.00      300.00     300.00     300.00     300.00
        综合单价（万元/台）     14.10       14.10      14.10      14.10      14.10
  （1）产品销量测算过程
  公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了项目产品的销售计划。
第一年项目建设，第二年温控设备产线投产并贡献收入。基于谨慎性考虑，预计
第二年产能释放率为 20%，第三年为 50%，第四年为 75%，第五年完成达产为
  （2）产品单价测算过程
  预计第二年开始量产温控设备，单价为 15.45 万元/台，基于谨慎性考虑，并
考虑到销售规模放大及国产替代加速等因素，第三年至第五年期间按照每年单价
降低 3%，第五年达产后温控设备价格稳定，为 14.10 万元/台。
  综上所述，本次募投产品及服务测算过程中公司充分考虑了下游客户需求规
划、未来产品结构等多方面的情况，单价测算体现出合理性。对于新机型、新产
品及新业务，均按照相对缓慢的节奏规划产能的释放，并充分考虑了规模效益和
国产替代带来的产品单价保守性下调因素，测算过程具有谨慎性。
    （二）本次募投项目成本费用预测过程
    本次募投项目成本费用预测过程如下：
                                                                                                                           单位：万元
序号       项目     第一年      第二年         第三年         第四年           第五年         第六年         第七年         第八年         第九年          第十年
  （1）材料费
  本次募投项目材料费参照 2022-2023 年公司工艺废气处理设备业务的材料费
占收入的比重水平，基于谨慎性原则，按照未来毛利率有所下降、材料费占收入
比重有所提升考虑，按照 57.5%的收入占比测算未来材料费。
  （2）生产、运维人工费
  本次募投项目人工费主要包括生产人工费和质保期之外的运维人工成本。计
算期工资及福利参考公司现有岗位人员工资福利水平并考虑每年 5%的上浮计算。
  （3）折旧与摊销
  本次募投项目折旧按平均年限法计算，房屋及建筑物折旧年限按 20 年计算，
残值率为 5%；机器设备折旧年限按 10 年计算，残值率为 5%，其他机器设备折
旧年限按 5 年计算，残值率为 5%。土地使用权按 20 年摊销，残值率为 0%；软
件按 5 年摊销，残值率 0%，装修是产线的重要组成部分，与产线折旧年限保持
一致，按 10 年摊销，残值率为 0%。
  （4）其他费用
  本次募投项目其他费用包括燃料及动力、加工费、通讯费、办公费、修理费
等其他费用，参照 2022-2023 年公司工艺废气处理设备业务的其他费用占收入的
比重水平，基于谨慎性原则，按照 0.6%的收入占比测算未来其他费用。
  （1）销售费用：参考公司 2023 年的销售费用率数据，按本次募投项目预测
营业收入的同等比例计算销售费用，并与本次募投项目可测算的销售费用（本项
目销售、分摊质保期内运维人员工资）比较，取孰高值。
  （2）管理费用：参考公司 2023 年的管理费用率数据，按本次募投项目预测
营业收入的同等比例计算管理费用，并与本次募投项目可测算的管理费用（本项
目管理人员工资、土地使用权摊销）比较，取孰高值。
  （3）研发费用：基于谨慎性原则，考虑到新机型、新设备的研发投入较大，
本次募投项目研发费用率取 13%（高于公司 2023 年的研发费用率数据 5.59%），
按本次募投项目预测营业收入的同等比例计算研发费用，并与本次募投项目可测
算的研发费用（本项目研发人员工资）比较，取孰高值。
  城市维护建设税按免抵税额与实际缴纳流转税税额的 7%计缴；教育费附加
按免抵税额与实际缴纳流转税税额的 5%计缴；地方教育费附加按免抵税额与实
际缴纳流转税税额的 2%计缴；企业所得税税率按 15%测算。
  （三）本次募投项目与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况
  （1）工艺废气处理设备
  公司本次募投项目与现有同类产品的单价和型号情况比较如下：
                                                     单位：万元/台
                      公司本次募投项目               公司现有同类产品
       项目
                   建设第二年         建设达产年     2022 年度    2023 年度
 工艺废气处理设备
   平均单价
                                                     该机型在该期
        单腔电加热
                             是               是       间非主要出货
         水洗式
                                                       机型
是否为当    单腔等离子
                             是               是          是
年主要出     水洗式
 货机型    双腔等离子      是，该机型为本次募投项目
                                           该机型在该期间未生产销售
         水洗式         拟量产的新机型
        双腔燃烧水      是，该机型为本次募投项目
                                           该机型在该期间未生产销售
          洗式         拟量产的新机型
  公司工艺废气处理设备细分类型包括燃烧水洗式、等离子水洗式、电加热水
洗式等不同机型，在技术指标、适用场景等方面对比情况如下：
  项目               技术指标                       适用场景
                                      可覆盖半导体的刻蚀工艺、薄膜工艺、
            废气处理量 400-1600slm；废气
燃烧水洗式                                 扩散工艺，具体依据客户厂务条件及制
            处理效率>99%
                                      程选择
                                      主要覆盖半导体的刻蚀工艺，在薄膜工
            废气处理量 400-800slm；废气处
等离子水洗式                                艺、扩散工艺也开始应用，具体依据客
            理效率>99%
                                      户厂务条件及制程选择
电加热水洗式      废气处理量 600-800slm；废气处      主要覆盖半导体的薄膜工艺、扩散工艺，
  项目            技术指标                       适用场景
         理效率>99%              具体依据客户厂务条件及制程选择
  工艺废气处理设备不同技术路线类型之间的主要区别是产生高温环境的能
量方式不同，相互之间不存在迭代或替代关系。
  本次募投项目拟扩产的工艺废气处理设备达产年单价为 27.49 万元/台，高于
均单价之间的差异主要是因为产品结构变化导致。2022 年公司主要出货机型是
单腔电加热水洗式和单腔等离子水洗式，2023 年由于下游需求的变化，主要出
货机型为单价更高的单腔等离子水洗式，单价相对较低的单腔电加热水洗式机型
出货量较少。
  本次募投项目中拟扩产的工艺废气处理设备机型覆盖了单腔等离子水洗式、
单腔电加热水洗式、双腔等离子水洗式、双腔燃烧水洗式等多种机型。双腔机型
的售价通常更贵，预计双腔机型出货量占比提升将抬升公司未来产品的平均单价，
故第二年产品单价高于公司产品的历史均价，而基于谨慎性原则，考虑销售规模
放大及国产替代加速等因素，按照第二年至第五年，各类机型单价同比下降 6%、
  根据京仪装备公告资料，其 2022 年工艺废气处理设备单价 55.33 万元/台，
收入结构中双腔燃烧水洗式 63.13%、单腔燃烧水洗式收入占比 24.05%、单腔等
离子水洗式收入占比 12.45%，其他类型收入占比 0.36%。与同行可比公司京仪
装备相比，本次募投项目拟扩产的工艺废气处理设备单价低于京仪装备产品单价，
主要是因为机型不同，不具备可比性。
  （2）温控设备
  温控设备属于公司新开发的半导体附属设备，无历史单价数据，本次募投项
目之温控设备的预测单价如下：
                                                  单位：万元/台
                                    公司本次募投项目
           项目
                                  第二年             达产年
温控设备平均单价                                15.45           14.10
   按照技术路线划分，市场中半导体专用温控设备可以分为热交换器类型（覆
盖＞20℃温度区间）、单级压缩类型（覆盖-45℃至 120℃温度区间）、复叠类型
（覆盖-120℃至 40℃温度区间）、热电类型（覆盖-10℃至 80℃温度区间）。
 项目           技术指标                   适用场景          单价
     温控区间：20℃~120℃
                              半导体工艺制程对温度区间为
热交换器 温控精度：±0.05℃~±0.2℃（空载）                  约 10 万元
     制冷能力：6-30kW
     温控区间：-45℃~90℃            半导体工艺制程对温度区间为
单级压缩 温控精度：±0.05℃~±0.2℃（空载）    -45℃~-20℃及-20℃以上的情 约 20 万元
     制冷能力：3-28kW                      况下适用
     温控区间：-70℃~40℃
                              半导体工艺制程对温度区间为
 复叠 温控精度：±0.1℃~±0.2℃（空载）                    约 40 万元
                               -70℃以上的情况下适用
     制冷能力：3-15kW
     温控区间：-10℃至 80℃           半导体工艺制程对温度区间为
热电类型                                        约 20 万元
     温控精度：±0.01℃到±0.1℃之间       20℃以上的情况下适用
   半导体专用温控设备不同技术路线类型的主要参数区别是温度范围不同，相
互之间不存在迭代或替代关系，此外相关产品根据通道数量的不同还进一步细分
为单通道、双通道、三通道等多种类型，不同类型的技术指标和适用场景如下：
 项目               技术指标                      适用场景
       温控区间：-70℃~120℃
       温控精度：±0.05℃~±0.2℃(空载)         工艺制程要求单独控制其他工艺
单通道
       制冷能力：5kW@-40℃,3kW@-10℃，Up     设备下电极、腔体壁面的情形
       to30kW@30℃
       温控区间：-70℃~120℃
                                     工艺制程要求控制其他工艺设备
       温控精度：±0.05℃~±0.2℃(空载)
双通道                                  上下电极或切换控制工艺机台下
       制冷能力：8.5kW@-60℃,3kW@-10℃,Up
                                     电极、腔体壁面的情形
       to21kW@30℃
       温控区间：-45℃~170℃
                                     工艺制程要求切换或混合控制下
       温控精度：±0.05℃~±0.2℃(空载)
三通道                                  电极，单独控制上电极、重要部
       制冷能力：6kW@-40℃,4kW@-10℃，Up
                                     件的情形
       to30kW@30℃
   本次募集资金投资项目中温控设备产品预测价格为 14.10 万元/台，低于同行
可比公司京仪装备的综合单价，主要原因是产品结构差异导致。
   根据京仪装备的公开资料，2020-2022 年期间，Y 系列-单通道产品收入占比
单价为 23.45 万元/台。温控设备具体型号的单价也有差异，如其单通道产品
Y-8050SC 型号价格约 12-17 万元/台；单通道产品 Y-8020SC 型号价格约 8-9 万
元/台；双通道产品 Y-8010DC 型号价格约 18-20 万元/台。
     温控设备根据技术路线和通道数量的不同单价差异较大，本次募集资金投资
项目中温控产品预测单价为 14.10 万元/台，具备合理性。
     （3）真空设备
     真空设备属于公司的关键零部件产品，无历史单价数据，本次募投项目之真
空设备的预测单价如下：
                                                             单位：万元/台
          公司募投项目
项目                                         行业单价
      第二年        达产年
                          信息来源（1）：根据浙商证券研究报告，12 吋晶圆领域干
                          式真空泵单价为 12 万元/台；8 吋晶圆领域干式真空泵为 8
                          万元/台。
                          信息来源（2）：根据中科仪 IPO 招股书资料，其 2020 年
真空
设备
                          信息来源（3）：根据中科仪 IPO 招股书资料，其测算行业
                          市场空间时，集成电路领域干式真空泵测算均价为 10 万元
                          /台；光伏领域干式真空泵测算均价为 7 万元/台。
     本次募投项目建设第二年率先投产光伏领域的真空设备产品，预计单价为
升，预计第五年为 7.96 万元/台，随后价格趋于稳定，与行业同类产品单价信息
比较，该单价具备合理性。
     本次募集资金投资项目主要产品及服务主要为工艺废气处理设备、真空设备、
温控设备及相应的运维服务，生产同类产品的企业主要包括京仪装备、中科仪等。
     本次募投项目毛利率情况与公司历史数据及同行业可比公司对比数据如下：
     公司                                           毛利率水平
类型               项目/业务板块
     简称                              2023 年       2022 年        均值
            半导体专用工艺废气处理设备                42.06%     46.51%       44.29%
     京仪     半导体专用温控设备                    39.21%     43.17%       41.19%
可比   装备     维护、维修等服务                     21.96%     20.03%       21.00%
公司
            综合毛利率                        38.35%     39.98%      39.17%
     中科     干式真空泵                        37.09%     29.91%       33.50%
      公司                                            毛利率水平
类型              项目/业务板块
      简称                                 2023 年       2022 年       均值
      仪     维修及维护等服务                       44.97%       37.13%      41.05%
            综合毛利率                          37.40%       32.60%      35.00%
           可比公司综合毛利率平均值                    37.88%       36.29%      37.09%
      历史
            工艺废气处理设备业务                              已申请豁免披露
      业务
            第五年达产，收入构成如下：
公司    本次    工艺废气处理设备收入占比
      募投    72.60%真空设备收入占比                                   35.00%（达产年）
      项目    15.77%温控设备收入占比
     本次募投项目达产年毛利率与报告期内可比上市公司综合毛利率均值 35.61%
相比并无明显差异，差异部分主要是因为业务结构、同类产品机型不同，具备合
理性。
     本次募集资金投资项目的期间费用率具体如下：
              募集资金投       公司 2023 年度期     京仪装备 2023 年        中科仪 2023 年度
     项目
              资项目费率        间费用费率          度期间费用费率             期间费用费率
销售费用率             4.57%          4.57%              11.75%          8.22%
管理费用率             4.03%          4.03%               7.97%          7.65%
研发费用率            13.00%          5.59%               8.29%          9.94%
净利率              12.73%          9.06%              16.05%          8.27%
  注：因中科仪 2023 年度持有金融资产和金融负债产生的公允价值变动损益以及处置金
融资产和金融负债产生的损益较高，故选择中科仪 2023 年度扣除非经常性损益影响后净利
率进行比较；根据公告文件，中科仪 2023 年度净利润为 60,000.85 万元，归属于挂牌公司股
东的扣除非经常性损益后的净利润 7,045.80 万元。
     本次募投项目的销售和管理费用率参照母公司 2023 年水平具备合理性。其
一，公司长期服务于集成电路、半导体显示、新能源等领域，积累了众多客户，
本次募投项目产品的下游客户群体与母公司现有的客户资源高度重合，现有客户
资源及渠道可实现有效利用与转化。其二，在长期业务开展过程中，公司已构建
起一套成熟的服务体系，在销售、客户服务以及管理等方面均形成了相对成熟的
流程与模式。
     本次募投项目测算研发费用率高于可比公司，主要因为募投项目中存在工艺
废气处理设备新机型、真空设备、温控设备等新产品，新产品后续仍有持续迭代
需求，故研发投入维持较高水平具有合理性。
  可比公司京仪装备、中科仪并未披露相关同类型产品募投项目的内部收益率
数据，故选取半导体设备或零部件行业上市公司募投项目作为参照。
                                             内部收益率
同行业公司          项目名称                产品类型
                                              （税后）
                                 阶半导体湿法工艺
        单片湿法工艺模组、核心零部件研发
至纯科技                             模块、单片式腔体、     11.24%
             及产业化项目
                                   高纯度阀等
        至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北
至纯科技                             清洗设备、零部件      10.33%
            方产业基地项目
                                 炉管及涂胶显影设
至纯科技    启东半导体装备产业化基地二期项目                       18.40%
                                    备
        年产 1,000 台（套）半导体测试分选机
 金海通                             测试分选机零件       10.16%
             机械零配件及组件项目
长川科技      转塔式分选机开发及产业化项目           分选机         12.52%
        半导体装备产业化基地扩产项目（四
北方华创                             各类半导体设备       16.21%
               期）
               同行业公司平均                        13.14%
  本次募集资金投资项目税后内部收益率为 12.16%，与可比项目平均水平不
存在明显差异。
  综上所述，公司本次募集资金投资项目效益预测中产品价格、成本费用等关
键指标的预测过程严谨、测算依据合理，相关指标未明显偏离公司现有业务及同
行业可比公司平均水平。
  五、中介机构核查情况
  （一）核查程序
  针对上述问题，保荐机构及申报会计师执行了以下核查程序：
  （1）查阅了本次募投项目可行性研究报告、募投项目投资测算表，了解本
次募投项目建筑工程费、设备购置及安装费的具体内容及测算过程并分析建筑面
积、设备购置数量的合理性；获取了公司已投产项目的建筑施工合同及设备采购
台账；
  （2）查阅了本次募投项目可行性研究报告、募投项目投资测算表，了解本
次募投项目实质上用于补流的规模及比例；查阅了公司公开披露文件及国家税务
总局上海市嘉定区税务局一所开具的中央非税收入统一票据，了解发行人本次募
投项目在董事会前投入的情况；
  （3）查阅了公司报告期内的资产负债表、现金流量表、项目投资计划表、
募投项目投资测算表，分析本次融资规模的合理性；
  （4）查阅公司报告期内的利润表、募投项目投资测算表并查阅了同行业上
市公司公开披露资料，对比本次募投项目预计毛利率、期间费用率等关键指标，
分析本次募投项目测算的合理性。
  （二）核查意见
  经核查，保荐机构及申报会计师认为：
  （1）本次募投项目场地建造费中各项费用根据向相关单位询价、公司历史
建设经验并依据工程量大小及计费标准测算得出，建筑面积依据拟建设产能生产
工艺所须产线设备的占地面积、生产流程的布局、生产经营所必须的配套设施面
积等综合考虑对所需场地面积的需求，并考虑容积率、绿地率等多方面的要求进
行规划，最终确定建设规划以及厂房设计图，建筑面积能够满足生产需求；建筑
单价、设备单价以及安装费与公司已投产项目不存在明显差异，具备合理性。
  （2）本次募投项目实质上用于补流的规模为 1.5 亿元，占拟募集资金总额
的比例为 30%，不存在置换董事会前投入的情形。
  （3）截至报告期末，公司有息负债超过 7 亿元，本次募投项目补充流动资
金可以降低财务风险和经营风险；公司未来现金流入净额、各项资本性支出系根
据公司历史情况并结合预见性较强的资本性支出进行合理测算。募集资金到位后，
公司营运资金需求将得到有效满足，资产结构更加稳健，可提升抗风险的能力，
保障公司的持续稳定发展，具备必要性和合理性。
  （4）效益预测中产品价格、成本费用等关键指标主要根据公司历史实际发
生情况及未来预计情况进行合理预测。其中，价格及收入预测系根据各系列产品
各年的销售情况、产能释放情况与各系列产品的预测综合单价等因素确定；成本
费用系根据公司历史成本费用平均占比确定，相关测算与公司现有水平不存在重
大差异，与可比公司相关指标的平均值不存在重大差异，相关测算结果、依据及
过程具有谨慎性、合理性。
   （5）公司本次募投项目的实施符合《监管规则适用指引——发行类第 7 号》
 第 5 条及《证券期货法律适用意见第 18 号》第 5 条的相关规定，具体情况如下：
《监管规则适用指引——发行类第 7 号》第 5 条具体规定   保荐机构及申报会计师核查意见
                           符合该条款规定。
                           公司已结合可研报告、内部决策文
                           件或其他同类文件的内容，披露效
一、对于披露预计效益的募投项目，上市公司应结合可研 益预测的假设条件、计算基础及计
报告、内部决策文件或其他同类文件的内容，披露效益预 算过程。
测的假设条件、计算基础及计算过程。发行前可研报告超 截至本问询回复出具之日，本次募
过一年的，上市公司应就预计效益的计算基础是否发生变 投项目可研报告出具日虽然超过一
化、变化的具体内容及对效益测算的影响进行补充说明。 年，但该项目预计效益的计算基础
                           至今未发生重大不利变化，不会对
                           本募投项目效益测算产生重大不利
                           影响。
                           符合该条款规定。
                           发行人本次募投项目内部收益率及
二、发行人披露的效益指标为内部收益率或投资回收期的，
                           投资回收期的测算过程以及所使用
应明确内部收益率或投资回收期的测算过程以及所使用的
                           的收益数据合理，发行人已在募集
收益数据，并说明募投项目实施后对公司经营的预计影响。
                           说明书中披露本次发行对公司经营
                           管理和财务状况的预计影响。
                           符合该条款规定。
三、上市公司应在预计效益测算的基础上，与现有业务的
                           公司已与现有业务的经营情况进行
经营情况进行纵向对比，说明增长率、毛利率、预测净利
                           纵向对比并与可比公司的经营情况
率等收益指标的合理性，或与同行业可比公司的经营情况
                           进行横向对比，本次募投项目相关收
进行横向比较，说明增长率、毛利率等收益指标的合理性。
                           益指标具有合理性。
                           符合该条款规定。
四、保荐机构应结合现有业务或同行业上市公司业务开展
                           保荐机构及发行人会计师已结合上
情况，对效益预测的计算方式、计算基础进行核查，并就
                           述情况进行核查，并发表明确意见，
效益预测的谨慎性、合理性发表意见。效益预测基础或经
                           具体见本题回复之“五、中介机构核
营环境发生变化的，保荐机构应督促公司在发行前更新披
                           查情况”之“
                                （二）核查意见”之“
                                         （4）
                                           ”
露本次募投项目的预计效益。
                           内容。
 《证券期货法律适用意见第 18 号》第 5 条具体规定    保荐机构及申报会计师核查意见
（一）通过配股、发行优先股或者董事会确定发行对象的
向特定对象发行股票方式募集资金的，可以将募集资金全
                                符合该条款规定。
部用于补充流动资金和偿还债务。通过其他方式募集资金
                                本次向不特定对象发行可转债募集
的，用于补充流动资金和偿还债务的比例不得超过募集资
                                的资金中实质上用于补流的规模为
金总额的百分之三十。对于具有轻资产、高研发投入特点
的企业，补充流动资金和偿还债务超过上述比例的，应当
                                金总额 50,000.00 万元的 30%。
充分论证其合理性，且超过部分原则上应当用于主营业务
相关的研发投入。
                                不适用。
（二）金融类企业可以将募集资金全部用于补充资本金。
                                公司非金融类企业。
（三）募集资金用于支付人员工资、货款、预备费、市场       符合该条款规定。
推广费、铺底流动资金等非资本性支出的，视为补充流动       公司本次募投项目除补充流动资金
资金。资本化阶段的研发支出不视为补充流动资金。工程       外，不存在其他非资本性支出的情
施工类项目建设期超过一年的，视为资本性支出。          况。
（四）募集资金用于收购资产的，如本次发行董事会前已       不适用。
完成资产过户登记，本次募集资金用途视为补充流动资金； 公 司 本 次 募 投 项目 不 用于 收 购 资
如本次发行董事会前尚未完成资产过户登记，本次募集资 产。
金用途视为收购资产。
                           符合该条款规定。
                           公司已于相关申请文件中披露本次
（五）上市公司应当披露本次募集资金中资本性支出、非 募集资金中资本性支出、非资本性
资本性支出构成以及补充流动资金占募集资金的比例，并 支出构成以及补充流动资金占募集
结合公司业务规模、业务增长情况、现金流状况、资产构 资金的比例，已充分考虑公司业务
成及资金占用情况，论证说明本次补充流动资金的原因及 规模、业务增长情况、现金流状况、
规模的合理性。                    资产构成及资金占用情况等因素。
                           公司本次补充流动资金的原因及规
                           模具有合理性。
                           符合该条款规定。
                           经核查，保荐机构和申报会计师认
                           为：公司本次募投项目的资本性支
                           出为场地建造及装修、软硬件设备
                           购置，非资本性支出为补充流动资
                           金。公司本次募集资金投资构成中
                           除补充流动资金外，不存在其他非
（六）保荐机构及会计师应当就发行人募集资金投资构成
                           资本性支出，本次募集资金中补充
是否属于资本性支出发表核查意见。对于补充流动资金或
                           流动资金项目金额合计 15,000.00 万
者偿还债务规模明显超过企业实际经营情况且缺乏合理理
                           元，占本次募集资金总额比例未超
由的，保荐机构应当就本次募集资金的合理性审慎发表意
                           过 30%。此外，基于公司未来三年
见。
                           的累计营运资金缺口情况，本次补
                           充流动资金的规模小于缺口规模，
                           具备合理性。本次募投项目的实施
                           能够使得公司营运资金需求得到有
                           效满足，资产结构更加稳健，抗风
                           险的能力提升，保障公司的持续稳
                           定发展，具备必要性和合理性。
  问题3.1：关于业务及经营情况
  根据申报材料，1）公司主营业务收入包括绿色厂务系统、设备及关键零部
件以及电子化学品材料三大类，下游客户主要包括集成电路、半导体显示和新能
源领域，报告期内，公司营业收入分别为123,302.97万元、132,847.68万元、
收入占比分别为35.82%、27.67%和41.27%，公司收入以安装调试验收为确认时
点，报告期内存在期后与客户竣工决算时根据实际工作量调整收入的情形。4）
公司期间费用以销售费用、管理费用和研发费用为主，公司销售人员人均薪酬较
高，销售费用率、管理费用率和研发费用率低于同行业平均水平。5）报告期内，
公司前五大客户收入占比持续提升，分别为60.11%、59.00%、69.89%及70.07%。
  请发行人说明：
        （1）结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争
情况，产品销量、售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因，与
同行业公司的对比情况及差异原因；
               （2）公司各业务类别收入的确认标准及具体
依据、凭证，是否与合同约定相符，存在差异的原因及合理性，是否符合行业惯
例，是否存在提前确认收入情形，公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，
公司会计处理是否符合《企业会计准则》相关规定；
                      （3）结合公司报告期内四季
度确认收入的主要项目情况，包括但不限于收入金额、对应客户、工期、合同签
署时间、验收竣工时间、回款情况等，说明公司四季度收入占比较高的原因及合
理性，与同行业可比公司是否存在较大差异，是否存在收入跨期情形；
                              （4）公司
各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是否匹配，与同行业
可比公司的差异情况及合理性；公司销售人员人均薪酬较高的原因，公司业务订
单的获取方式，相关业务获取过程是否合法合规；
                     （5）公司主要客户背景、企业
性质、成立时间、注册资本、员工人数，以及与公司的合作情况、是否存在关联
关系，相关销售规模与客户需求的匹配情况。请保荐机构及申报会计师进行核查
并发表明确意见，说明核查方法、核查比例及核查依据。
  【回复】
  一、结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争情况，产品销量、
售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因，与同行业公司的对比
情况及差异原因
  （一）结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争情况，产品销
量、售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因
  公司围绕半导体制造领域需求与痛点展开布局，对工艺排气管道和中央废气
治理设备等设备进行集成化布局和定制化设计形成绿色厂务系统整体解决方案，
并进一步形成工艺废气处理设备、真空设备、温控设备、电子化学品材料等延伸
产品，构建丰富的产品矩阵。具体如下：
    半导体制造领域需求            系统类产品            延伸产品
半导体制造过程中持续产生以含氟、氯、   绿 色 厂 务 系统 - 工 艺   工艺废气处理设备
硅等元素多组分复合型有毒有害废气，危   废气治理系统
害性大且处理难度高，需先在洁净室配置   （集成了工艺排气管            真空设备
适合气体特性的源头控制设备进行预处    道和中央废气治理设
理，再排入配套的大型工艺废气治理系统   备，该等设备亦存在            温控设备
进行中央治理               单独销售的情形）
半导体制造过程需大量使用电子化学品材
料，通过化学品供应系统输送至使用点。   绿 色 厂 务 系统 - 化 学
制程工艺中产生的部分废液具备较高经济   品供应（CDS）与回收        电子化学品材料
价值，可通过回收系统进行循环再生利用   系统（SRS）
以减少排放，节约材料成本
  公司的“绿色厂务系统-工艺废气治理系统”由工艺排气管道、中央废气治
理设备等大量设备经过集成化设计、定制化布局而成；工艺排气管道由公司自主
研发并生产，内壁喷涂高抗腐蚀性的氟涂料，具备优异的耐热、耐腐蚀、低摩擦
等特性。中央废气治理设备包括沸石转轮、蓄热式/直燃式焚化炉、洗涤塔、预
过滤器、深度冷凝器等，核心设备均由公司自主设计或生产制造。工艺废气治理
系统覆盖客户的生产工艺全过程，同步进行废气收集、处理及排放，有力保障了
客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境，是客户生产工艺不可
分割的组成部分。自2012年公司首次整体承接半导体工艺废气治理系统项目以
来，公司客户已覆盖集成电路、半导体显示及新能源行业的领军企业，市场地位
稳固。
  由于工艺废气组分复杂、特性各异，在分析与处理剧毒、易爆等特殊废气时，
仅使用中央治理技术无法满足先进半导体制程工艺要求，需对复杂工艺废气进行
源头控制。为此，公司针对该应用场景开发了 L/S 设备等工艺废气处理设备，
该类设备一端与半导体制程设备相连，通过真空设备抽取半导体制程设备内产生
的废气并进行分解；另一端与中央治理系统相连，将分解后的气体排至中央处理
装置并进行后续处理。2018年，公司成功研制单腔等离子水洗机型并实现销售。
目前，基于对下游行业发展需求的把握和自身在半导体工艺废气治理系统的深耕
积累，公司产品已实现先进半导体工艺段全面覆盖。
  真空设备及温控设备共同作用于对半导体制程设备反应腔的辅助控制，可使
反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是半导体
制程中的重要设备。其中，温控设备可对反应腔进行高精密的温度控制，以实现
半导体工艺制程的控温需求；真空设备可使反应腔体内部形成发生反应所必须的
真空环境，抽离工艺废气并传输至工艺废气处理设备中进行无害化处理。公司基
于半导体制程设备反应腔废气处理的技术积累和设计经验，开发了真空设备和温
控设备。目前，公司在真空设备和温控设备方面已取得技术突破并形成充足技术
储备，产品研发和验证测试工作均顺利开展。
  公司的“绿色厂务系统-化学品供应与回收系统”包括两个相关联化学品系
统，即化学品供应系统和回收系统。化学品供应系统主要作用是将化学品/研磨
液自包装容器输送至使用点的工艺系统，包含充装、加压、存储、调配、纯化及
分配等功能，适用于无机酸碱类和有机溶剂类化学品；回收系统利用化学分离工
程基本原理，将半导体制程所排放废液中有效成分回收并提纯利用，同时确保回
收提纯后品质达到原液标准，可以对半导体制程工艺中产生的废液循环再生利用
以减少排放，同时助力客户节约材料成本。2017年，公司开始拓展化学品供应
与回收系统业务。报告期内，公司已成功实施多个化学品供应与回收系统项目。
基于化学品供应与回收系统技术的积淀，公司积极布局延伸电子化学品材料研发
制造业务，规划产品聚焦于剥离液、刻蚀液、清洗液等；公司电子化学品材料下
游应用领域包括集成电路、半导体显示等，主要用于显影、刻蚀、清洗等制造工
艺。目前，针对半导体显示领域的剥离液已经投产并实现收入，刻蚀液已完成研
发并等待验证测试。
  公司绿色厂务系统、设备及关键零部件、电子化学品材料三类业务形成的产
品矩阵具有较强的协同效应，三类业务的关联及差异如下：
   三类业务的关联和协同效应              三类业务的差异
（1）在产品应用领域方面：公司设备及关键   （1）在经营模式方面：公司的绿色厂务系统
零部件和电子化学品材料均应用于集成电     业务主要通过招投标、竞争性谈判获取，客
路、半导体显示、新能源等领域的制程工艺，   户包括总包建设单位和终端客户；设备及关
并与绿色厂务系统有机结合；          键零部件业务主要通过竞争性谈判、招投标
（2）在客户特点方面：公司三类业务为半导   获取，客户包括总包建设单位和终端客户；
体客户提供半导体工艺制程工艺废气治理、    电子化学品材料采用直接面对终端客户的直
温度控制、电子化学品材料等全方位服务。    销模式。
公司以绿色厂务系统建设为载体，与设备和    （2）在收入确认方面：公司的绿色厂务系统
          三类业务的关联和协同效应                                    三类业务的差异
     材料的销售共享客户资源，客户粘性较强；                    业务和设备及关键零部件业务的收入确认方
     （3）在技术和生产方面：公司三类业务具有                   式类似，如存在安装、调试义务，公司根据
     技术相通性，亦可共用先进的自动化机加工                    合同约定完成相应工作并取得安装、调试验
     中心等设备，提升公司的平台化技术实力和                    收单据后确认收入；如无安装调试义务，公
     生产能力。                                  司在发货后取得客户确认的到货验收单据或
                                            签收单时确认收入。电子化学品材料业务在
                                            发货后取得客户确认的到货验收单时确认收
                                            入。
       综上所述，公司绿色厂务系统、设备及关键零部件、电子化学品材料均系公
     司紧紧围绕半导体制程工艺开展的业务，三者在产品应用领域、客户特点、技术
     和生产等方面具有极强的关联性，在经营模式和收入确认等方面存在一定差异。
       （1）绿色厂务系统的收入变动与其在不同应用领域的表现有关
       公司绿色厂务系统主要应用于集成电路、半导体显示和新能源等领域，报告
     期内公司绿色厂务系统收入变动与其在不同应用领域的表现有关，具体如下：
                                                                          单位：万元
项目
        金额         比例          金额         比例        金额         比例         金额          比例
 集成
 电路
半导体
 显示
新能源
及其他
合计     66,750.19   100.00%   121,572.07 100.00%    86,719.36   100.00%   93,871.03   100.00%
       报告期初，公司产品在半导体显示领域客户收入占比较高，2021年至2023
     年，公司在半导体显示领域的收入金额和占比出现一定下降，主要原因系：半导
     体显示行业存在一定周期性特征，2021年下半年开始，随着需求增长放缓，面
     板价格开始回调；2022年以来公共卫生事件、国际局势动荡、全球通胀等影响
     消费预期，使得下游需求回落，半导体显示相关项目投产减少。2023年第三季
     度，消费电子产品出货量环比改善，半导体显示领域市场有一定程度回暖，2024
     年1-9月，公司在半导体显示领域的营业收入继续回升。
       公司在报告期前已积极布局集成电路和新能源领域。在集成电路领域，公司
          积极开拓中芯国际、华虹半导体、北方华创、格科微、卓胜微等行业龙头客户，
          实现了重要客户与关键项目的不断突破。集成电路领域项目产线普遍投入巨大，
          单个项目工期较长，收入金额较大，项目技术设计和安装施工等各方面要求较高，
          公司2021年度和2022年度是下游应用领域从半导体显示切换到集成电路关键时
          期，市场竞争力尚待进一步增强，公司2022年度收入项目数量有所减少；同时，
          员调配、材料及设备供应和运输等受到了一定程度的不利影响，导致项目实施进
          度放缓。因此2022年度集成电路领域项目的收入金额下降；2023年，随着相关
          不利因素影响逐渐消退，项目施工建设恢复至正常状态，使得2023年公司集成
          电路领域收入金额和收入占比大幅提升。在新能源领域，公司积极服务于隆基绿
          能、天合光能等行业龙头客户，2021年至2023年，受益于国内光伏行业的快速
          发展，公司新能源领域收入金额上升。
            （2）不同领域项目数量、体量的差异使得绿色厂务系统销售收入总额变动
            报告期内，公司不同领域绿色厂务系统项目数量和单位项目收入情况如下：
                                                                           单位：个、万元
项   应用领       2024年1-9月               2023年度                 2022年度                 2021年度
目    域       数额         占比        数额           占比        数额           占比        数额           占比
    集成电
      路
项   半导体
目                 24   38.71%           26     32.50%          65     56.52%          54     45.76%
     显示
数   新能源
量                  9   14.52%           10     12.50%          16     13.91%          15     12.71%
    及其他
    合计            62   100.00%          80   100.00%          115   100.00%          118   100.00%
    集成电
单          1,515.67          /   1,866.31           /   1,100.05           /     985.42           /
      路
位   半导体
项            748.38          /     823.59           /     501.42           /     669.76           /
     显示
目   新能源
收            537.19          /   1,804.10           /   1,045.36           /     627.90           /
    及其他
入
    平均     1,076.62          /   1,519.65           /     754.08           /     795.52           /
    集成电
收     路
入   半导体
合    显示
计   新能源
    及其他
项   应用领       2024年1-9月                 2023年度                   2022年度                  2021年度
目     域
     合计    66,750.19   100.00%    121,572.07     100.00%    86,719.36     100.00%   93,871.03   100.00%
            从单位项目收入来看，集成电路项目的单位项目收入通常比半导体显示项目
          高，主要原因系集成电路领域项目产线普遍投入巨大，单个项目工期较长，项目
          执行难度和要求更高，因此单位项目合同金额较大。
          半导体显示行业整体资本性支出存在一定的周期性波动，2022年度半导体显示
          平均单位项目收入由2021年的669.76万元下降至501.42万元；同时，受公共卫
          生事件等客观因素影响，公司主要绿色厂务系统项目的现场施工建设、人员调配、
          材料及设备供应和运输等受到了一定程度的不利影响，导致项目实施进度放缓，
          工期较长的集成电路领域交付验收项目数量占比由 2021年的 41.53%下降至
          系统收入较上年下降。
          加，集成电路生产基地项目工艺排气系统等部分项目收入超过1亿元，同时随着
          外部相关不利因素影响逐渐消退，项目施工建设恢复至正常状态，公司集成电路
          领域项目数量占比由29.57%提升至55.00%，当期集成电路领域单位项目收入由
          至1,519.65万元，使得绿色厂务系统收入较上年上升。
            综上所述，公司不同应用领域单位收入差异较大，项目之间不具有可比性。
          不同应用领域项目数量和体量的差异使得绿色厂务系统销售收入总额变动。
            报告期内，公司绿色厂务系统毛利率情况如下：
             项目
                         毛利率        变动         毛利率      变动       毛利率       变动       毛利率
          绿色厂务系统         29.73%     6.01%      23.71%   -1.61%   25.33%    -1.62%     26.94%
            （1）公司的绿色厂务系统业务为高度定制化业务，单个收入项目单价和单
          位成本相差较大，因此绿色厂务系统业务的产品销量、售价及成本变动等因素不
具有量化可比性
  公司的绿色厂务系统业务以定制化的方案设计、加工制造、系统集成及运维
管理为主要生产模式。
  公司半导体行业客户的大部分生产线位于洁净厂房中，公司根据不同客户的
产品工艺流程、废气成分、空间布局等因素，定制化设计治理方案、设备选型、
控制系统、排放布局等，以实现绿色厂务系统与客户工艺设备的深度整合，并安
全稳定地自动化运行。
  因此，公司绿色厂务系统业务的产品销量、售价及成本变动等因素不具有量
化可比性。
  （2）公司的绿色厂务系统业务变动受下游应用领域及市场竞争情况影响，
部分规模较大项目的毛利率波动对业务毛利率影响较大
过程中采取有竞争力的价格影响毛利率
  公司绿色厂务系统业务目前的竞争企业主要是少数国际知名供应商和拥有
完整的设计、生产、服务能力的国内大型供应商。产品为非标准化定制产品，主
要通过招投标和竞争性谈判的方式承接项目，通过公开方式进行市场化定价，中
标价格受到市场竞争、客户类型、项目规模等因素影响。
年下半年开始，随着需求增长放缓，面板价格开始回调；2022年以来国际局势动
荡、全球通胀等影响消费预期，使得下游需求回落，半导体显示相关项目投产减
少，半导体显示领域毛利率受行业周期影响存在一定下滑；②公司在此期间从半
导体显示领域切入集成电路领域，市场开拓过程中采取有竞争力的价格获取更多
订单。
造成一定影响
  公司绿色厂务系统业务毛利率除了受到行业整体发展趋势影响外，具体还会
受到项目成本的影响。项目成本主要为直接材料、直接人工、折旧摊销等，受原
  材料价格波动、项目执行周期、合同内容与合同变更等因素影响。
  成本存在一定上升，上述原因综合使得公司绿色厂务系统毛利率下降。
     报告期各期，公司绿色厂务系统成本主要包括原材料（不锈钢、涂层风管等）
  和设备（风机等）等，其成本占比超过70%，主要原材料采购单价情况如下：
物料类别      单位
                 采购单价 变动幅度 采购单价 变动幅度 采购单价 变动幅度                                      采购单价
不锈钢卷/板    元/kg       13.58    -8.88%      14.91    -19.76%       18.58    10.74%         16.78
 氟材料      元/kg     356.05     5.23%      338.34      2.79%      329.17     3.30%        318.66
 电气元件     元/件        17.05   -29.56%      24.20     45.74%       16.61   -36.86%         26.30
 仪器仪表     元/件      882.33    -20.44%    1,109.05    43.24%      774.27     6.36%        727.97
 阀类产品     元/件        24.99   -31.17%      36.31    -31.37%       52.90    59.90%         33.09
合计采购金额
           /                 38.94%                38.78%                 38.32%      32.77%
  占比
     由上表可知，公司报告期内不锈钢卷/板以及氟材料的平均采购单价存在一
  定波动。公司2022年度不锈钢卷/板采购单价上涨以及2023年度氟涂料采购单价
  上涨均使得绿色厂务系统单位成本存在一定上升。2024年1-9月，随着公司业务
  规模增大，公司在采购价格谈判上更具有优势，部分设备及材料采购价格存在一
  定下降，其中不锈钢卷/板、电气元件、仪器仪表、阀类产品等的采购单价存在
  一定下降，带动绿色厂务系统单位成本下降。
  低单位生产成本和节省产品物流运输费用，影响毛利率数据
  强属地化配套，新建广东惠州基地和湖北孝感基地，通过引入新型生产设备提升
  产品生产效率并减少材料损耗，有效降低单位生产成本、节省产品物流运输费用。
     报告期内，公司营业收入按客户注册地拆分的区域分布构成情况如下表所示：
                                                                              单位：万元
  项目
         金额      比例          金额        比例          金额        比例          金额        比例
  华东 26,885.89   27.06%   88,899.71    48.69%   37,766.45    28.43%   71,298.25    57.82%
项目
      金额       比例        金额         比例          金额       比例        金额         比例
华北 32,153.65   32.36%   35,277.46   19.32%   28,472.76   21.43%   18,437.29   14.95%
华南 32,705.21   32.91%   27,471.19   15.04%   26,053.06   19.61%    2,602.42    2.11%
   由上表可知，公司华南区域的业务收入占比由2023年度的15.04%提升至
东惠州生产基地、湖北孝感生产基地可辐射华南、华北区域，在单位成本降低的
基础上，有效降低产品物流运输费用。
   报告期内，公司绿色厂务系统毛利率相对稳定，该业务类型单个项目金额较
大，毛利率亦受单个项目影响较大。
   公司绿色厂务系统业务由于项目竞争环境、公司战略布局和设计生产情况等
因素，毛利率存在一定波动，具有合理性。
   公司设备及关键零部件可分为半导体附属设备及关键零部件、工艺排气管道、
中央废气治理设备等三类业务。半导体附属设备及关键零部件主要包括 L/S 设备、
LOC-VOC 设备、真空设备、温控设备；工艺排气管道主要包括不锈钢涂层风管；
中央废气治理设备主要包括沸石转轮、蓄热式焚化炉、直燃式焚化炉等。
   （1）公司半导体附属设备及关键零部件收入和毛利率变动分析
   报告期内，公司销售的半导体附属设备及关键零部件主要包括 L/S 设备和
LOC-VOC 设备。
   L/S 设备和 LOC-VOC 设备均系用于处理半导体生产制造过程中产生的有毒
有害气体，主要的不同是 L/S 设备通常与半导体制程设备相连，对半导体制程腔
排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，通
过高温氧化、还原反应，降低有毒物质浓度，设备复杂程度和控制精密程度相对
较高；LOC-VOC 设备通常部署于半导体工厂洁净室，对洁净室循环风中一定量
的挥发性 VOCs 气体进行吸附后排放，设备复杂程度和控制精密程度相对较低。
因此，L/S 设备的毛利率通常高于 LOC-VOC 设备。
  L/S 设备根据工艺废气处理方式的不同可分类为电加热水洗式、等离子水洗
式、燃烧水洗式等多种类型。由于技术和零部件差异，通常等离子水洗式设备产
品的单价高于电加热水洗式和燃烧水洗式，公司2018年即完成单腔等离子水洗
机型的研制开发并实现销售，等离子水洗式设备是报告期内公司销售的主力机型。
研发和市场重心移至 L/S 设备，L/S 设备销量提升所致。2022年，公司 L/S 设备
销售单价下降，主要原因系公司着力开拓 L/S 设备市场，获取了北方华创、中
芯国际、惠科股份等行业龙头客户的批量订单，其中电加热水洗式机型出货量大
幅增加，该机型售价较公司主力机型等离子水洗式略低。
影响，产品订单量存在一定下降所致；同时，当期主要出货机型为单价更高的等
离子水洗式，其销售数量占比超过90%，使得当期 L/S 设备销售单价大幅提升。
上述因素总体使得当期 L/S 设备销售收入下降。
当期 L/S 设备销售收入上升。
  报告期内，L/S 设备和 LOC-VOC 设备销售占比变动是导致整体毛利率变动
的主要原因。
  报告期内，公司 LOC-VOC 设备客户主要分布在半导体显示领域，L/S 设备客
户主要分布在集成电路、半导体显示和新能源领域。2022年起，受半导体显示
领域下游需求回落，相关项目投产减少影响，公司调整战略布局，将研发和市场
重心移至 L/S 设备，LOC-VOC 设备销售占比随着市场情况和公司布局变化逐步下
降。随着公司在集成电路领域市场开拓力度及影响力的提升，L/S 设备销售占比
大幅提升。
  ①2022年毛利率变动分析
较高的 L/S 设备销售收入快速增长所致，L/S 设备销售收入占比由55.90%提升至
更新升级；同时 L/S 设备订单量增长，产量上升使得 L/S 设备成本摊薄，综合
使得 L/S 设备平均单位成本下降，毛利率大幅上升。
钢卷/板等大宗原材料采购价格存在一定上升，叠加公共卫生事件导致的物流困
难等因素，公司与客户协商适当上调了产品价格，产品毛利率较2021年保持稳
定。
  ②2023年毛利率变动分析
整体毛利率波动与 L/S 设备毛利率波动有关。
性维护周期）短等痛点，定向研发 PW3000机型。该产品能够显著提升客户的生
产稼动率（设备实际使用效率指标），产品附加值和定价较高，使得当期 L/S 设
备平均毛利率上升；此外，由于当期销售单价和单位成本较低的电加热水洗式销
售数量占比下降，也使得整体销售单价和单位成本均有所上升。
较小，主要原因系当期公司计划降低 LOC-VOC 设备相关原材料和零部件库存，
使得2023年销售单价较低，毛利率较低。
  ③2024年毛利率变动分析
设备毛利率下降，主要原因系集成电路行业投资持续旺盛，设备销量提升，受客
户议价等因素影响，公司对批量相对较大的订单适当降价，销售平均单价略有下
降，使得毛利率略有下降。
  （2）公司工艺排气管道收入和毛利率变动分析
升。工艺排气管道销售单价的变动与原材料价格变动关联度较大，具体分析见下
文毛利率分析。
   公司工艺排气管道型号规格较多，生产工艺亦存在一定差异，其单价波动与
市场竞争情况、成本加成情况、不同型号销售占比等因素有关；工艺排气管道成
本中材料占比较高，因此其单位成本波动与不锈钢卷/板、氟材料等原材料的采
购价格因素、不同型号销售占比有关。
   报告期内，工艺排气管道主要原材料不锈钢卷/板、氟材料的采购单价变动
如下：
                                                                  单位：元/kg
物料名称
         采购单价      变动比例      采购单价      变动比例        采购单价      变动比例      采购单价
不锈钢卷/板     13.58    -8.88%     14.91   -19.76%       18.58    10.74%      16.78
 氟材料      356.05    5.23%     338.34       2.79%    329.17     3.30%     318.66
   由上表可知，2022年，不锈钢卷/板材料的采购价格大幅上升，使得工艺排
气管道2022年单位成本大幅上升；同时，受公共卫生事件影响，人工成本和制造
成本存在一定上升；公司根据原材料价格变化情况和市场竞争情况适当调高了工
艺排气管道单价，但由于单价上升幅度低于单位成本上升幅度，产品毛利率下降。
格小幅上升，公共卫生事件影响减弱，综合使得工艺排气管道单位成本下降，公
司根据原材料价格变化情况和市场竞争情况适当下调了工艺排气管道单价，工艺
排气管道毛利率上升。
   （3）公司中央废气治理设备收入和毛利率变动分析
   公司中央废气治理设备主要系沸石转轮、蓄热式焚化炉、直燃式焚化炉等设
备，该部分业务收入受客户项目定制化方案需求影响较大，产品型号较多，计量
单位不同，因此各期单价和单位成本不具有可比性。报告期内，该类产品收入占
比较小，公司主要根据单位成本并加上合理毛利定价，毛利率保持稳定。
多斯市源盛光电有限责任公司（京东方集团下属子公司）、咸阳彩虹光电科技有
限公司（彩虹股份集团下属子公司）等客户，使得订单量增加，带动销售收入提
升。另一方面，公司电子化学品材料销售单价存在一定下降，主要系公司仍处于
市场开拓阶段，采取了具有竞争力的报价策略所致。
  报告期内，公司电子化学品材料毛利率变动情况如下：
    项目        2024年1-9月      2023年度             2022年度       2021年度
 单价（万元/吨）                        已申请豁免披露
单位成本（万元/吨）                       已申请豁免披露
   毛利率            -17.48%             7.64%              -            -
  公司电子化学品材料2023年起形成收入，2024年1-9月毛利率为负，主要原
因系：（1）2024年1-9月，由于公司仍处于市场开拓阶段，故采取了具有竞争力
的报价策略，使得2024年1-9月平均单价下降；
                       （2）2024年1-9月主要原材料单乙
醇胺和二乙二醇丁醚价格存在一定上涨；同时该业务仍处于市场开拓和产能爬坡
阶段，产能未完全释放，单位产品的制造成本较2023年度增加，使得产品单位成
本较高，毛利率为负。公司将积极加强技术研发和市场开拓以改善产品毛利率。
  （二）公司各业务毛利率与同行业公司的对比情况及差异原因
  报告期内，公司绿色厂务系统业务毛利率存在一定的波动，主要由于绿色厂
务系统业务存在定制化的差异，使得毛利率水平受到项目具体情况有所不同，设
备及关键零部件毛利率与同行业可比公司较为接近，电子化学品材料收入及毛利
占比较小。
  报告期内，公司绿色厂务系统业务与同行业上市公司可比业务的毛利率对比
情况如下：
    公司名称           相关业务           2023年度         2022年度      2021年度
    正帆科技          电子工艺设备               27.56%      27.66%      24.81%
    至纯科技         系统集成及材料               36.25%      36.40%      38.17%
         对比企业算术平均数                     31.91%      32.03%      31.49%
     本公司          绿色厂务系统               23.71%      25.33%      26.94%
注：由于同行业公司未披露2024年1-9月按业务分类的毛利率情况，故此处未比较2024年1-9
月按业务分类的毛利率情况。
科技，主要原因系公司与同行业公司下游应用领域有所差异，客户需求、项目需
求、施工情况均有不同，因此毛利率水平根据项目具体情况有所不同。
  公司可比上市公司正帆科技、至纯科技具体业务情况如下：
可比公司             可比业务                          下游行业
      为集成电路、太阳能光伏、光纤通信和生物医药等行
                                            集成电路、太阳能光伏、
正帆科技  业提供制程关键系统与装备、关键材料和专业服务等
                                            光纤通信和生物医药
      综合服务。
      为集成电路制造企业及泛半导体产业提供高纯工艺
至纯科技                                        集成电路
      系统的设计、安装、测试调试服务。
  数据来源：上市公司定期报告
  正帆科技可比业务系高纯气体和湿化学品供应系统，客户群是泛半导体行业
的 FAB 制造厂商，该系统是将客户生产过程中所需的高纯气体、湿化学品和先
进材料供应至客户的工艺机台设备。上述业务的销售模式、客户群与公司接近，
因此其毛利率与公司毛利率接近。
  至纯科技可比业务系集成电路制造企业及泛半导体产业提供高纯工艺系统
的设计、安装、测试调试服务。高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设
备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成，其中专用设备主要包括高
纯特气设备、高纯化学品供应设备等，至纯科技已实现较高的自产率，使得整体
系统项目的采购成本降低，毛利率较高。
  报告期内，公司设备及关键零部件业务毛利率与同行业上市公司可比业务毛
利率的对比情况如下：
 公司名称           相关业务              2023年度    2022年度    2021年度
 京仪装备     半导体专用工艺废气处理设备            42.06%    46.51%    48.09%
  中科仪           干式真空泵              37.09%    29.91%    13.56%
        对比企业算术平均数                  39.58%    38.21%    30.83%
         “设备及关键零部件”之“半导
  本公司                           已申请豁免披露
          体附属设备及关键零部件”
注：由于同行业公司未披露2024年1-9月按业务分类的毛利率情况，故此处未比较2024年1-9
月按业务分类的毛利率情况。
  公司半导体附属设备及关键零部件的毛利率整体高于同行业公司平均水平。
公司半导体附属设备及关键零部件产品毛利率在2021年和2022年低于京仪装备，
率相对较低的 LOC-VOC 设备，公司2022年起根据市场情况调整了战略布局，将
研发和市场重心移至 L/S 设备；随着 L/S 设备在客户验证通过后取得批量订单，
L/S 设备销量占比大幅提升，使得整体毛利率提升。因此，公司2021年毛利率低
于京仪装备，2022年毛利率与京仪装备接近。
体附属设备及关键零部件毛利率略有上升，主要系下游应用领域略有不同所致。
京仪装备客户应用领域相对集中，2023年设备毛利率下降主要系毛利率较高的产
品销量有所减少所致。公司主要客户包括集成电路、半导体显示和新能源领域客
户，2023年，公司针对客户的 CVD 工艺生产过程中粉尘堵塞导致 PM 周期（预
防性维护周期）短等痛点，定向研发 PW3000机型。该产品能够显著提升客户的
生产稼动率，产品附加值较高，毛利率较高，使得整体毛利率上升。
  中科仪主要产品系干式真空泵，而公司真空设备产品目前尚未形成收入，因
此公司毛利率与中科仪毛利率存在一定差异，具有合理性。
  综上所述，公司主要业务绿色厂务系统和设备及关键零部件的毛利率与同行
业公司对比存在一定差异，差异具有合理性。
  二、公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证，是否与合同约定相
符，存在差异的原因及合理性，是否符合行业惯例，是否存在提前确认收入情形，
公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，公司会计处理是否符合《企业会计
准则》相关规定
  （一）公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证，否与合同约定相
符，存在差异的原因及合理性
  报告期内，公司产品主要包括绿色厂务系统、设备及关键零部件产品、电子
化学品材料等三类，具体收入确认标准及具体依据、凭证如下：
收入                   收入确认原则和收入确认   收入确认具体
          合同约定
分类                       标准         依据、凭证
收入                       收入确认原则和收入确认   收入确认具体
            合同约定
分类                           标准         依据、凭证
      根据公司与客户签订的合同约定，
                         如存在安装、调试义务，
      公司负有安装、调试义务的，公司
                         公司根据合同约定完成相
      在安装、调试完毕后由客户进行项                  由客户确认的
绿色                       应工作并取得安装、调试
      目验收；如无安装调试义务，公司                  安装、调试验收
厂务                       验收单据后确认收入；如
      在发货至客户指定地点并由客户对                  单据、到货验收
系统                       无安装调试义务，公司在
      设备数量、质量进行检测，公司在                    单据
                         发货后取得客户确认的到
      取得客户确认的到货验收单据时确
                         货验收单据时确认收入。
      认收入。
      根据公司与客户签订的合同约定，
                         如存在安装、调试义务，
      存公司负有安装、调试义务的，公
                         公司根据合同约定完成相
设备    司在完成设备安装、调试后，由客                  由客户确认的
                         应工作并取得安装、调试
及关    户进行验收；如无安装调试义务的，                 安装、调试验收
                         验收单据后确认收入；如
键零    公司将设备发货至客户指定地点并                  单据、客户签收
                         无安装调试义务，公司在
部件    由客户对设备数量、质量进行检测，                    单
                         发货后取得客户确认的签
      检测合格后客户在公司送货单上签
                         收单时确认收入。
      收确认。
电子    根据公司与客户签订的合同约定，
化学    公司将产品运输至客户指定地点并    在发货后取得客户确认的
                                       客户签收单
品材    检验合格后客户在公司送货单上签    到货验收单时确认收入。
料     收确认。
 由上表可知，公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证与合同约定
相符。
     （二）公司收入确认是否符合行业惯例
 公司收入确认政策符合行业惯例，同行业可比上市公司主要收入确认政策如
下：
 公司                   收入确认政策
        该公司收入确认的具体方法如下：
        以产品交付并经验收合格作为风险和报酬的转移时点（即取得验收单）确认销
        售收入，收入确认依据为签订的合同、签收单及验收报告。
        为客户提供系统维护、维修、检查以及人员培训等服务，以已提供给客户并经
        客户验收后作为风险和报酬的转移时点（即取得服务验收报告）确认销售收入，
        收入确认依据为签订的合同、服务验收报告。
正帆科技
        以产品已交付客户并经客户验收合格作为风险和报酬的转移时点（取得客户签
        署的送货单（签收单）时确认收入）确认销售收入，收入确认依据为签订的合
        同、签收单。
        除电子工艺设备和生物制药设备以外，以产品交付并经验收合格作为风险和报
        酬的转移时点（即取得验收单）确认销售收入，收入确认依据为签订的合同、
        签收单及验收报告。
 公司                 收入确认政策
      该公司销售产品及销售产品与设计、安装、调试一起签订的合同属于在某一时
      点履行的履约义务。
      收入确认的方法为：对于没有安装调试要求的产品销售，以货物签收作为收入
      确认的依据；对于销售产品与设计、安装、调试等一起签订的合同，以客户验
至纯科技
      收作为收入确认的依据。
      本公司电子大宗气体业务，公司气体销售业务自通过双方指定的交付点后完成
      所有权转移。公司在每月取得客户确认的气体结算确认单、已收取价款或取得
      收款权利且相关的经济利益很可能流入时确认收入。
      该公司销售商品属于在某一时点履行的履约义务，对于需要本公司安装及客户
      验收的商品，本公司将货物运送至指定地点并进行安装调试，经客户验收后货
      物控制权转移至客户，本公司在收到客户验收单时确认收入；对于无需本公司
      安装的商品，本公司将货物运送至指定地点，经过客户签收后货物控制权转移
京仪装备
      至客户，本公司在收到客户签收单时确认收入。
      该公司为客户提供设备维护等服务，属于在某一时段内履行的履约义务，本公
      司在服务期间内按照履约进度确认收入。本公司为客户提供设备维修等服务，
      属于在某一时点履行的履约义务，本公司在服务完成时确认收入。
      公司根据与客户签订的销售合同或订单约定的交货方式，将货物发送给客户，
      合同未约定验收条款，于相关产品交付并经客户签收后确认收入；合同约定验
中科仪   收条款，相关产品交付客户并进行验收，经客户验收合格后确认收入。
      对于维修及维护等服务业务，于干式真空泵、真空科学仪器设备维修及维护等
      服务完成并交付，经客户验收合格后确认收入。
  来源：可比公司公开披露的年度报告。
  由上表可知，公司收入确认的确认标准及具体依据、凭证与同行业公司一致，
符合行业惯例。
  （三）公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，公司会计处理是否符合
《企业会计准则》相关规定
  公司在验收后调整收入存在以下几种情形：1、竣工决算审计调整：部分项
目合同定价系综合单价制，客户约定项目竣工时由第三方进行结算审计，合同价
款以最终审定金额为准，公司依据竣工决算审计报告的审定金额等调整收入；2、
合同变更结算调整：由于项目规模较大、施工环境较为复杂，施工周期长，施工
过程中可能发生设计变更、材料变更、工程量增加等情况，使得项目实际工作量
发生变化，影响最终收入确认金额，公司依据合同变更指令单、追加结算单等调
整收入。
  公司验收即完成合同约定的履约义务，在取得客户的完工验收单时确认收入，
按照合同金额作为“最佳估计数”确认收入金额；上述调整收入情形属于项目交
付服务成果、控制权转移后新发生的情形，调整收入计入结算当期。
  根据公开披露信息，类似行业中类似业务中亦存在竣工结算调整收入为系统
集成业务的惯例，具体如下：
公司名称   相关业务                      处理方式
               公司在系统集成项目通过验收时确认收入，确认收入时审计结算
               工作通常尚未完成，因此公司根据合同、补充合同、联系单等项
               目资料并结合项目情况，以预计最可能实现的收入金额对项目进
       城市基础设   行收入确认。
中控信息   施数智化系   待项目审计结算后，根据审计结算金额对收入预估金额进行调
       统集成     整。若审计结算完成与项目通过验收时间在同一年度内，则公司
               审计结算调整不涉及跨年收入调整；若不在同一年度，则公司根
               据审计结算金额对以前年度已确认的项目收入进行调整，将合同
               调整的金额计入当期收入。
               公司在项目验收时确认项目收入，通常公司确认收入时，审计结
               算工作尚未完成，因此公司根据合同、补充合同、联系单等项目
               资料并结合项目实际情况，以预计最可能实现的收入金额对项目
               进行收入确认。
               待项目审计结算后，若审计结算金额与公司确认的项目收入金额
       智慧城市信   存在差异，公司根据审计结算是否与项目验收在同一年度，对审
华是科技   息化系统集   计结算调整进行如下会计处理：（1）审计结算与项目验收在同一
       成       年度：若公司项目合同金额在审计结算中发生调整，且与项目验
               收发生在同一年度，则公司以审计结算的金额作为项目的收入确
               认金额，不涉及跨年度收入调整。（2）审计结算发生在项目验收
               以后年度：若公司审计结算调整发生在项目验收以后年度，则公
               司根据审计结算金额对以前年度已确认的项目收入进行调整，将
               合同调整的金额计入当期收入，并调整相应的应收账款。
  根据《企业会计准则》规定，对于已履行的履约义务，其分摊的可变对价后
续变动额应当调整变动当期的收入，该调整事项不会影响公司收入确认的准确性。
因此，公司在竣工决算时点调整收入的会计处理符合《企业会计准则》相关规定。
                                                      单位：万元
                            合同金额           对收入的影
  客户            项目                                    调整依据
                            （含税）            响金额
绵阳惠科光电科   薄膜晶体管液晶显示器件工                                竣工决算审计
 技有限公司      艺废气工程项目                                     调整
中国电子系统工
                                                      竣工决算审计
程第四建设有限   合肥蓝科晶合二厂排气项目          1,820.00    -349.66
                                                        调整
  公司
中国电子系统工
          集成电路研发制造用厂房及                                竣工决算审计
程第四建设有限                         2,736.90    -442.88
             配套设施项目                                     调整
  公司
                              合同金额            对收入的影
  客户           项目                                           调整依据
                              （含税）             响金额
厦门士兰集科微                                                    竣工决算审计
          酸碱废气处理装置扩容项目               772.67     -148.52
电子有限公司                                                       调整
              合计                               -1,067.40      -
                                                           单位：万元
                             合同金额             对收入的影
  客户           项目                                           调整依据
                             （含税）              响金额
厦门天马显示科   半导体显示工艺排气系统项                                     竣工决算审计
 技有限公司          目                                            调整
中国电子系统工
          集成电路示范线（一期）无尘                                    竣工决算审计
程第四建设有限                           2,132.11      -220.96
              室系统工程                                          调整
  公司
陕西隆基乐叶光                                                    竣工决算审计
             涂层风管项目               1,850.00      -355.28
伏科技有限公司                                                      调整
              合计                               -2,977.98      -
                                                           单位：万元
                             合同金额             对收入的影
  客户           项目                                           调整依据
                             （含税）              响金额
                                                           竣工决算审计
西安奕斯伟硅片
           酸碱废气供货及安装项目            1,994.83       147.66    调整、合同变更
 技术有限公司
                                                            结算调整
厦门士兰集科微                                                    合同变更结算
          酸碱废气处理装置扩容项目             607.00        146.61
 电子有限公司                                                      调整
              合计                                 294.27       -
                                                           单位：万元
                             合同金额             对收入的影
  客户           项目                                           调整依据
                             （含税）              响金额
武汉天马微电子                                                    竣工决算审计
           多晶硅工艺排气系统项目            6,798.00      -187.56
 有限公司                                                        调整
绵阳惠科光电科   薄膜晶体管液晶显示器件工艺                                    合同变更结算
 技有限公司        废气工程项目                                         调整
南通深南电路有                                                    合同变更结算
            多层印制电路板项目             4,557.99       494.64
  限公司                                                        调整
              合计                                 464.13       -
  综上所述，公司报告期各期收入调整金额占当期营业收入比例较低，依据充
分，公司会计处理符合《企业会计准则》相关规定。
  三、结合公司报告期内四季度确认收入的主要项目情况，包括但不限于收入
金额、对应客户、工期、合同签署时间、验收竣工时间、回款情况等，说明公司
四季度收入占比较高的原因及合理性，与同行业可比公司是否存在较大差异，是
否存在收入跨期情形
  （一）报告期各期第四季度确认收入前五大项目情况
                                                                                                             单位：万元
                                                                                                     累计回款金
  项目名称       客户         合同金额（含税）          合同签署时间       收入金额                工期             验收时间                   备注
                                                                                                       额
                                                                    合同约定工期：系统
                        合同包含二期和多
集成电路生产基地项                                                           调试完2024/3/30前；
            客户 B        个子项，合计金额          2023年6月       17,488.08                         2023年12月   17,897.85   /
 目工艺排气系统                                                            二期以发包商与供应
                                                                        商协商为准
半导体显示生产线项  厦门天马光电子                                                     合同约定为：
  目（一标段）     有限公司                                                    2023/6/15-2024/1/9
           天和（上海）半
显示面板生产线项目                                                              合同约定为：
           导体制程排气工             8,868.83   2023年6月        7,736.13                         2023年12月    6,747.96   /
 工艺排气系统工程                                                            2023/6/25-2024/1/9
            业有限公司
集成电路模拟特色工 世源科技工程有                                                     合同约定为：
艺生产线项目（三期）   限公司                                                    2023/7/4-2023/12/17
           中国电子系统工
集成电路一期项目工                                                             合同约定为：
           程第二建设有限             7,133.68   2023年9月        6,312.99                         2023年12月    4,820.14   /
  艺排气工程                                                             2023/9/10-2024/1/30
              公司
                   合计                                   50,276.83            /               /          /        /
            占第四季度收入比重                                    66.72%              /               /          /        /
  注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。
                                                                                                            单位：万元
                      合同金额                                                                  累计回款
  项目名称        客户                  合同签署时间      收入金额                工期             验收时间                       备注
                      （含税）                                                                   金额
                                                           合同约定系统运行
集成电路生产基地项
              客户 C    16,980.00   2022年9月      15,377.65   时间：2022/12/31之        2022年12月   14,635.54   /
 目工艺排气系统
                                                           前
光伏产业园机电工程   楷德电子工程设                                        合同约定交付使
  扩能项目       计有限公司                                         用：2022/12/30前
            深圳市华星光电
                                                           合 同 约 定 为 ：
显示器件生产线项目   半导体显示技术    2,501.67   2022年8月       2,213.87                         2022年12月   2,376.59    /
              有限公司
            中国电子系统工                                        合同约定为分批到
晶圆代工生产线项目                                                                                               设备及关键
            程第二建设有限   17,450.00   2022年11月      1,609.25   货，最晚不得迟于              2022年12月   16,327.50
 工艺排气系统工程                                                                                               零部件收入
               公司                                          2023/5/30
                                                           原合同工期：2022
半导体产业化建设项   江苏卓胜微电子                                        年 4 月 21 日 至 2022
   目二期       股份有限公司                                        年8月15日：追加合
                                                           同工期：未约定
                合计                             29,872.77            /               /          /             /
            占第四季度收入比重                            81.26%             /               /          /             /
 注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。
                                                                                                          单位：万元
                         合同金额                                                                 累计回款金
  项目名称         客户                    合同签署时间      收入金额                 工期           验收时间                    备注
                         （含税）                                                                   额
                                                                  合同约定为：
半导体显示工艺排气   厦门天马显示科技有
  系统项目         限公司
            信息产业电子第十一                                             合同约定为：
集成电路特色工艺研
            设计研究院科技工程     7,980.00   2021年7月          7,092.96   2021/6/25-2021/   2021年12月    7,024.54     /
 发与产业化项目
             股份有限公司                                                   12/12
半导体产业化建设项   江苏卓胜微电子股份     2,977.71   2021年6月          2,635.14    合同约定为：           2021年11月
    目         有限公司        1,259.87   2021年9月          1,114.93                     2021年12月
                                                                  合同约定为分
            中国电子系统工程第                                            批到货，最晚不
工艺排气系统三期                  3,200.00   2021年11月         2,831.86                     2021年12月    3,200.00     /
             二建设有限公司                                              得迟于2021年
                                                                                                          设备及关
            北京北方华创微电子
年度框架采购协议                  3,158.96   2021年11月         2,795.54   按照订单交货            2021年12月    3,141.19   键零部件
             装备有限公司
                                                                                                           收入
                 合计                                  35,390.78          /             /          /          /
             占第四季度收入比重                                80.13%            /             /          /          /
  注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。
  由上表可知，部分项目约定工期未强制要求在年底前完工，但项目仍在年
底验收，主要原因系：1、公司绿色厂务系统系半导体生产产线洁净室的关键系
统之一，若公司分包项目绿色厂务系统无法交付验收，则整个半导体产线建设
的其他分包系统施工调试、设备搬入安装等工作将难以进行。为确保总体项目
按时完成，总包商或终端客户会要求公司提前完成工作，避免生产投产延期。2、
项目工期是发包方依据标准工程量和普通承包方产能计算的平均水平，公司绿
色厂务系统的核心设备（工艺排气管道和中央废气处理设备等）产能充足，安
装调试人员工作经验丰富，使得项目工期缩短。3、根据行业惯例，大部分项目
实施现场存在春节前提前放假，春节后重新招工的情形，因此为避免元旦至春
节期间的额外人工成本，公司倾向于在年底前提高项目执行效率，提前完成交
付和验收工作。
  （二）公司四季度收入占比较高的原因及合理性
  报告期内，公司营业收入按季节划分的数据如下：
                                                                  单位：万元
 项目
       营业收入          占比       营业收入          占比       营业收入           占比
第一季度    26,365.11    14.44%    18,940.76    14.26%    17,614.31     14.29%
第二季度    50,861.39    27.85%    36,226.87    27.27%    26,916.32     21.83%
第三季度    30,012.98    16.44%    40,916.47    30.80%    34,604.56     28.06%
第四季度    75,360.34    41.27%    36,763.58    27.67%    44,167.77     35.82%
 合计    182,599.81   100.00%   132,847.68   100.00%   123,302.97    100.00%
  报告期内，公司第四季度收入占比较高，收入确认呈现一定季节性特征，主
要系绿色厂务系统收入具有季节性特征所致。2021年至2023年，公司绿色厂务
系统收入占总体销售收入的比例均超过60%。
  公司绿色厂务系统收入具有一定季节性特征，主要原因系：
                           （1）公司绿色厂
务系统业务执行进度受下游客户立项及投资建设节奏影响，收入确认与客户项目
实施及验收密切相关。主要客户系央企、国企与上市公司，普遍存在上半年项目
招标或集中开工，下半年尤其是第四季度进行项目具体实施并验收结算的情形；
（2）公司绿色厂务系统系半导体生产产线洁净室的关键系统之一，若公司分包
项目绿色厂务系统无法交付验收，则整个半导体产线建设的其他分包系统施工
调试、设备搬入安装等工作将难以进行。为确保总体项目按时完成，总包商或
终端客户会要求公司在年底前提前完成工作，避免生产投产延期。（3）根据行
业惯例，大部分项目实施现场存在春节前提前放假，春节后重新招工的情形，
因此为避免元旦至春节期间的额外人工成本，公司倾向于在年底前提高项目执
行效率，提前完成交付和验收工作。
   因此，公司绿色厂务系统业务收入以及总体销售收入具有第四季度收入占
比较高的特征具有合理性。
废气处理设备销售收入对总体销售收入的季度收入分布影响增大，同时当期受
公共卫生事件等客观因素影响，公司主要项目的现场施工建设、人员调配、材
料及设备供应和运输等受到了一定程度的不利影响，全年绿色厂务系统收入占
主营业务收入的比例由76.31%下降至65.40%。2022年，青岛芯恩 Fab-C 项目（工
艺废气处理设备）集中在第三季度交付验收，使得第三季度销售收入较高，第
四季度销售收入占比降低。若仅考虑绿色厂务系统收入，2022年第四季度收入
占全年绿色厂务系统收入的比例为33.66%，呈现第四季度收入占比较高的特征。
   此外，随着公司业务规模逐步扩大，能够参与及承接的单个项目规模也逐渐
变大，部分合同金额较大的项目验收亦对收入分布产生一定影响。报告期各期第
四季度收入主要项目分析详见本题回复之“三”之“（一）报告期各期第四季度
确认收入前五大项目情况”内容。
   综上所述，公司存在四季度收入占比较高的情形，具有合理性。
   （三）与同行业可比公司不存在较大差异，不存在收入跨期情形
   报告期内，公司第四季度收入分布与同行业可比公司对比情况如下：
 年份       季度    盛剑科技      正帆科技        至纯科技      京仪装备      中科仪
         第一季度    14.44%    10.71%      24.88%    24.39%
         第二季度    27.85%    24.35%      22.08%    33.56%
         第三季度    16.44%    27.81%      22.82%    23.45%
         第四季度    41.27%    37.13%      30.22%    18.61%
 年份       季度    盛剑科技      正帆科技        至纯科技      京仪装备      中科仪
         第一季度    14.26%    13.39%      17.96%    24.78%
         第二季度    27.27%    21.48%      18.76%    33.53%
         第三季度    30.80%    31.83%      26.42%    22.56%
         第四季度    27.67%    33.30%      36.86%    19.13%
         第一季度    14.29%     9.36%      11.09%    23.52%
         第二季度    21.83%    33.53%      33.08%    26.25%
         第三季度    28.06%    24.35%      17.37%    27.92%
         第四季度    35.82%    32.75%      38.46%    22.31%
   公司第四季度收入占比较高主要系绿色厂务系统的交付验收通常在四季度
完成，使得第四季度收入占比较高。系统类收入占比较高的正帆科技、至纯科
技的收入季节性特征与公司接近，具体如下：
   正帆科技的主营业务包括高纯气体和湿化学品供应系统、泛半导体工艺设
备模块与子系统等系统类业务。一方面，该类业务受春节放假影响，第一季度
的开工与项目验收相对较少，项目招投标手续或商务谈判一般在春节后陆续开
展且项目实施及客户验收存在时间周期；另一方面，正帆科技所处行业惯例为
第四季度对项目验收，导致公司第四季度营业收入占比相对较高。上述季节性
特征与公司接近。
   至纯科技的主营业务包括高纯工艺系统业务。至纯科技的收入确认具有季
节性特点，受传统春节假期影响，第一季度的开工与签约量相对较低，由于下
游行业工程建设和设备安装等主要集中在下半年尤其是第四季度，因此高纯工
艺系统业务收入经常确认在下半年尤其是第四季度。上述季节性特征与公司接
近。
   京仪装备主营业务系半导体专用设备销售，半导体专用设备的收入季节性主
要受客户产线建设、采购和验收进度的影响。京仪装备主要客户相对集中，客
户根据各自产线规划及建设进度等综合考量后开展固定资产投资，并进行设备
安装和验收，采购行为具有集中性且时间点不均匀，同时设备安装和验收进度
亦受产线整体建设进度、验收要求不同等多种因素影响而有所变化，导致了其
各季度经营业绩存在一定波动。报告期内，公司主营业务中设备及关键零部件
收入占比较低，因此京仪装备上述季节性特征与公司不同，具有合理性。
  综上，公司收入确认季节性特征和同行业可比公司不存在重大差异，公司不
存在收入跨期的情形。
  四、公司各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是否
匹配，与同行业可比公司的差异情况及合理性；公司销售人员人均薪酬较高的
原因，公司业务订单的获取方式，相关业务获取过程是否合法合规
  （一）公司各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是
否匹配，与同行业可比公司的差异情况及合理性
  报告期内，公司销售费用主要构成及变动情况如下：
                                                                         单位：万元
 项目                占收                   占收                  占收                 占收
         金额                  金额                   金额                 金额
                   入比                   入比                  入比                 入比
职工薪酬    3,944.14   3.97%    5,018.40    2.75%    4,050.78   3.05%   2,183.22   1.77%
业务招待费    878.41    0.88%    1,361.49    0.75%     600.11    0.45%    860.96    0.70%
 差旅费      58.53    0.06%     109.18     0.06%     101.30    0.08%     68.82    0.06%
股份支付      62.61    0.06%       6.91     0.00%      19.67    0.01%     23.08    0.02%
销售服务费     73.12    0.07%       8.38     0.00%     694.46    0.52%    285.46    0.23%
 办公费       5.54    0.01%       3.70     0.00%      30.03    0.02%     41.50    0.03%
售后维护费          -        -   1,660.53    0.91%    1,157.75   0.87%    792.06    0.64%
 其他      376.09    0.38%     178.93     0.10%     255.12    0.19%    183.98    0.15%
 合计     5,398.45   5.43%    8,347.52   4.57%     6,909.23   5.20%   4,439.09   3.60%
  公司销售费用主要包括职工薪酬、业务招待费和售后维护费等，这三类销售
费用合计占比在90%左右。
  （1）公司销售费用之职工薪酬及变动情况
  报告期内，公司销售费用中列示的职工薪酬主要包括两大类人员：专职销售
人员和销售支持人员。专职销售人员的主要职责包括市场调查、制定销售策略、
开拓新的区域市场及潜在新客户、与客户进行商业谈判并完成销售订单的签署、
维护客户关系、追踪客户回款和订单执行情况等。销售支持人员主要是项目人员，
在项目验收后负责项目跟踪服务、技术检查、及时响应及配合客户需求等服务，
其薪酬按照项目进行归集计入销售费用。
  报告期各期，公司专职销售人员及销售支持人员数量如下：
                                                                           单位：人
   项目         2024年1-9月               2023年度               2022年度         2021年度
专职销售人员                    14                   14                12              10
销售支持人员                    233                  224              176              99
 注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数
   专职销售人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的销售人员人次/当期月份数
  公司销售收入规模逐年增长，专职销售人员随之递增。同时，随着开工项目
数量逐年增多，为更好的服务客户，提高客户满意度，销售支持人员数量整体增
加，2023年增长较快，主要系当年完工项目较多所致。
  报告期内，公司销售支持人员与服务项目数量匹配关系如下：
                                                               单位：人、个、人/个
    项目            2024年1-9月                2023年度          2022年度         2021年度
销售支持人员                          233             224             176              99
服务项目数量                          85               77                 61           37
项目平均服务人数                        2.7             2.9                 2.9         2.7
 注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数
  报告期内，剔除销售支持人员数量及其薪酬后，公司专职销售人员人均薪酬
情况如下：
         项目           2024年1-9月             2023年度          2022年度        2021年度
专职销售人员总薪酬（万元）                   499.93         464.79          355.84       208.26
专职销售人员数量（人）                           14              14             12        10
专职销售人员年均薪酬（万元）                   35.71          33.20           29.65        20.83
 注：专职销售人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的销售人员人次/当期月份数
  报告期内，公司专职销售人员人均薪酬呈逐年递增趋势，主要系公司为更好
的激励销售人员提高了相应的薪资水平，2022年专职销售人员年均薪酬增长较大，
主要系公司招募了资深销售人员，定级薪酬较高所致。2024年1-9月，公司专职
销售人员人均薪酬较高，主要系新加坡子公司当年新入职销售人员薪酬较高所致。
  报告期内，公司销售支持人员人均薪酬情况如下：
      项目          2024年1-9月          2023年度      2022年度         2021年度
销售支持人员总薪酬（万元）        3,444.21         4,553.61    3,694.94       1,974.97
销售支持人员数量（人）              233              224            176          99
销售支持人员年均薪酬（万元）         14.78            20.33           20.99      19.95
  注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数
  报告期内，公司同行业上市公司的销售人员薪酬情况如下：
                                                                单位：万元
       公司名称              2023年度             2022年度              2021年度
    正帆科技（上海市）                   28.06             35.90              39.58
    至纯科技（上海市）                   31.64             25.29              37.72
     中科仪（苏州市）                   23.41             14.06              23.65
    京仪装备（北京市）                   16.20             10.60              12.18
       平均值                      24.83             21.46              28.28
  平均值（剔除京仪装备数据）                 27.70             25.08              33.65
    公司（专职销售人员）                  33.20             29.65              20.83
  注1：人均薪酬=销售费用之薪酬金额/（（期末销售人员数量+期初销售人员数量）/2）
                                          ；
  注2：京仪装备销售人员中包括销售及技术支持人员，公开数据未披露其销售人员具体
人员构成，京仪装备技术支持人员主要在客户现场提供服务，在客户现场驻场并向客户推介
产品并与客户对接产品需求、配合客户进行产品验证、在客户现场装机、跟踪产品验收等工
作。
人员薪酬略高于公司；2022年，正帆科技和至纯科技销售人员平均薪酬均有所下
降，主要系相关年度上述公司新招聘销售人员较多所致，具体情况如下：
      项目         2023年12月31日          2022年12月31日         2021年12月31日
  正帆科技销售人员数量                  109                 61                     49
正帆科技新增销售人员数量                    48                12                        -
  至纯科技销售人员数量                  135                 149                    95
至纯科技新增销售人员数量                  -14                 54                        -
了部分业内资深销售人员，销售人员平均薪酬提升。公司销售人员平均薪酬与正
帆科技和至纯科技接近。
  报告期内，中科仪与京仪装备销售人员平均薪酬低于本公司。其中，中科仪
总部位于苏州市，其销售人员薪酬低于公司。京仪装备销售人员数量较多，包括
部分售后支持人员，使得其销售人员薪酬低于公司。
   综上所述，公司销售人员人均薪酬与同行业可比公司不存在重大差异。
   （2）公司销售费用之业务招待费及变动情况
   报告期内，公司业务招待费占比较高，2022年业务招待费较低主要系卫生事
件使得业务招待减少所致，2023年，随着公共卫生事件的缓解，公司加大客户开
拓力度，使得业务招待费增加。
   （3）公司销售费用之售后维护费及变动情况
   公司售后维护费为公司根据合同约定及业主需求为已完工的项目履行合同
维保义务所发生的费用，企业会计准则应用指南2024年明确了关于保证类质保费
用的列报规定，公司于2024年起将原列报于销售费用的售后质保期维护费计入主
营业务成本。随着公司业务规模扩大，相关安装及售后维护费用增加。
   因此，公司销售费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模
匹配一致。
   （4）公司销售费用与同行业可比上市公司比较情况
   报告期内，公司可比上市公司销售费用明细占收入比情况如下：
                     正帆       至纯       京仪                       盛剑
 期间         项目                                  中科仪     平均值
                     科技       科技       装备                       科技
         职工薪酬及股份支付   0.88%    1.36%     3.73%   3.52%   2.37%   2.75%
         业务招待费及差旅费   0.25%    1.11%     1.73%   1.08%   1.04%   0.81%
         市场推广及展览费    0.08%    0.41%     0.16%   0.00%   0.16%   0.00%
         售后服务费及质保费   0.19%    0.00%     5.90%   2.96%   2.26%   0.91%
            其他       0.32%    0.41%     0.24%   0.66%   0.41%   0.10%
            合计       1.73%    3.28%    11.75%   8.22%   6.25%   4.57%
                     正帆       至纯       京仪                       盛剑
 期间         项目                                  中科仪     平均值
                     科技       科技       装备                       科技
         职工薪酬及股份支付   0.87%    1.24%     2.55%   2.18%   1.71%   3.06%
         业务招待费及差旅费   0.31%    0.61%     1.34%   0.67%   0.74%   0.53%
         售后服务费及质保费   0.24%    0.00%     5.70%   3.84%   2.45%   0.87%
            其他       0.32%    0.39%     0.19%   0.45%   0.34%   0.21%
               合计             1.77%      2.72%    10.14%     7.14%     5.44%     5.20%
                               正帆        至纯        京仪                            盛剑
 期间            项目                                            中科仪       平均值
                               科技        科技        装备                            科技
         职工薪酬及股份支付             1.06%     1.72%     1.65%      2.94%     1.84%    1.79%
         业务招待费及差旅费             0.31%     0.78%     1.32%      1.58%     0.99%    0.76%
         市场推广及展览费              0.11%     0.55%     0.88%      0.00%     0.39%    0.23%
         售后服务费及质保费             0.30%     0.00%     4.95%      6.02%     2.82%    0.64%
               其他              0.44%     0.50%     0.22%      0.63%     0.45%    0.18%
               合计             2.22%      3.55%     9.02%     11.18%    6.49%     3.60%
   报告期内，公司与同行业可比公司销售费用构成均以职工薪酬为主，其余主
要费用包括维修服务费、业务招待费、差旅费等，各可比公司由于各年度业务开
展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。
   报告期内，公司销售费用占收入比例高于正帆科技和至纯科技，主要原因系
正帆科技和至纯科技收入规模较大，规模效应使得其单位销售费用带来的收入提
升，其销售费用占收入比例较小。公司销售费用占收入比例低于京仪装备和中科
仪，主要原因系京仪装备和中科仪销售收入中设备收入占比高，使得售后服务费
及质保费占收入的比例较高。
   报告期内，公司管理费用主要构成及变动情况如下：
                                                                           单位：万元
  项目                 占收                  占收                  占收                  占收
           金额                 金额                   金额                  金额
                     入比                  入比                  入比                  入比
 职工薪酬     3,552.72   3.58%   3,705.77    2.03%    2,753.65   2.07%    2,475.04   2.01%
折旧及摊销      736.37    0.74%   1,035.23    0.57%     261.44    0.20%     206.79    0.17%
中介咨询费      495.73    0.50%    625.57     0.34%     564.75    0.43%     495.23    0.40%
 股份支付      461.23    0.46%     25.16     0.01%     333.99    0.25%     211.03    0.17%
业务招待费      275.21    0.28%    420.95     0.23%     370.05    0.28%     225.05    0.18%
 租赁费       339.39    0.34%    383.59     0.21%     233.72    0.18%     161.70    0.13%
 办公费       292.82    0.29%    773.14     0.42%     410.39    0.31%     254.70    0.21%
 差旅费       103.27    0.10%    239.94     0.13%     128.67    0.10%      64.96    0.05%
  其他       171.09    0.17%    141.64     0.08%     193.64    0.15%     242.02    0.20%
 合计     6,427.83   6.47%   7,351.00     4.03%   5,250.30   3.95%   4,336.52    3.52%
  公司管理费用主要包括职工薪酬、折旧及摊销、中介咨询费、办公费与业务
招待费等，其中职工薪酬金额占收入比最高。
  （1）公司管理费用之职工薪酬及变动情况
  报告期内，公司管理费用的职工薪酬主要包括管理人员及中后台行政人员等
人员的薪酬，其中2023年增长较多主要系当年新招聘人员较多所致。
  报告期内，公司管理费用人均薪酬如下：
        项目                 2024年1-9月        2023年度         2022年度        2021年度
管理费用人员总薪酬（万元）                 4,013.95          3,730.93     3,087.64         2,686.07
管理费用人员数量（人）                           117           110            90              72
管理费用人员年均薪酬（万元）                   34.31            34.07        34.31            37.57
  注：管理人员总薪酬包括薪酬及股份支付费用；管理费用人员数量=（期末人员数量+
期初人员数量）/2
  报告期内，公司管理费用中人均薪酬较高，主要系管理人员薪酬较高且公司
实施股权激励产生股份支付费用所致。2024年1-9月，人均薪酬较高主要系当年
发生一定离职补偿费用所致。
  （2）公司管理费用之折旧及摊销及变动情况
系2022年底嘉定研发中心及配套办公基地建设工程达到预定可使用状态，公司管
理和研发等部门搬入新办公室，使得折旧摊销及办公费用增加。
  （3）公司管理费用之股份支付费用及变动情况
锁条件，股份支付费用相应减少所致。
  因此，公司管理费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模
匹配一致。
  （4）公司管理费用与同行业上市公司比较情况
  报告期内，公司可比公司管理费用明细及占收入比重情况如下：
                 正帆       至纯        京仪                       盛剑
 期间       项目                                 中科仪     平均值
                 科技       科技        装备                       科技
         职工薪酬及
          股份支付
         折旧及摊销   0.74%    2.07%      0.71%   0.44%   0.99%   0.57%
         中介咨询费
         业务招待费
          及差旅费
          其他     0.92%    2.48%      1.07%   2.16%   1.66%   0.71%
          合计     7.44%   10.73%      7.97%   7.65%   8.45%   4.03%
                 正帆       至纯        京仪                       盛剑
 期间       项目                                 中科仪     平均值
                 科技       科技        装备                       科技
         职工薪酬及
          股份支付
         折旧及摊销   1.07%    1.66%      0.47%   0.21%   0.86%   0.20%
         中介咨询费
         业务招待费
          及差旅费
          其他     1.11%    3.40%      0.71%   1.41%   1.66%   0.63%
          合计     9.82%   10.15%      7.73%   6.89%   8.65%   3.95%
                 正帆       至纯        京仪                       盛剑
 期间       项目                                 中科仪     平均值
                 科技       科技        装备                       科技
         职工薪酬及
          股份支付
         折旧及摊销   1.22%    1.65%      0.70%   0.56%   1.03%   0.17%
         中介咨询费
         业务招待费
          及差旅费
          其他     1.11%    3.14%      0.69%   2.64%   1.90%   0.53%
          合计     9.87%   9.57%       9.25%   7.16%   8.96%   3.52%
   报告期内，公司与同行业可比上市公司管理费用构成均以职工薪酬为主，其
余主要费用包括折旧摊销费用、股份支付费用、办公费等，各可比上市公司由于
各年度业务开展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。
   公司严格管控各项费用开支，报告期内，公司管理费用占收入比重低于同行
业可比公司平均值，主要由于公司管理费用中职工薪酬支出占收入比重低于可比
公司。报告期内，公司精简中后台人员，提高人效，因此管理费用中的中后台人
员薪酬支出占收入比重较低。
  报告期内，公司研发费用主要构成及变动情况如下：
                                                                                 单位：万元
项目                  占收                      占收                     占收                 占收
          金额                   金额                      金额                   金额
                    入比                      入比                     入比                 入比
直接材料     3,005.65   3.02%     6,066.10      3.32%     4,512.59     3.40%   3,287.55    2.67%
职工薪酬     2,481.51   2.50%     3,239.43      1.77%     2,165.04     1.63%   1,836.91    1.49%
股份支付       71.53    0.07%           9.77    0.01%      269.78      0.20%    166.55     0.14%
折旧与摊
 销
 其他       388.64    0.39%       412.67      0.23%      200.02      0.15%    184.26     0.15%
合计       6,627.59   6.67%    10,215.76     5.59%      7,333.12    5.52%    5,618.64   4.56%
  报告期内，公司研发费用主要为直接材料和职工薪酬，2021年至2023年呈明
显增长趋势，主要原因系：
           （1）为推动公司技术迭代和产品升级，公司通过持续
加大研发投入，以保持产品的市场竞争力，公司研发人员数量持续增加，职工薪
酬随之增长；（2）公司秉持“行业延伸+产品延伸”的发展战略，进一步深化在
半导体产业链的延伸布局，加大在半导体附属设备及关键零部件相关领域的研发
及验证测试投入。
  因此，公司研发费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模
匹配一致。
  报告期内，公司可比公司研发费用明细及占收入比情况如下：
                         正帆            至纯           京仪                                盛剑
 期间           项目                                             中科仪           平均值
                         科技            科技           装备                                科技
           直接材料             2.14%      3.42%         1.79%       3.96%     2.83%      3.59%
           职工薪酬             3.30%      1.95%         5.01%       4.28%     3.63%      1.77%
           股份支付             0.15%      0.00%         0.00%       0.00%     0.04%      0.01%
          折旧与摊销             0.48%      1.12%         0.60%       0.16%     0.59%      0.23%
              其他            0.48%      0.63%         0.89%       1.54%     0.88%      0.00%
              合计            6.55%      7.11%         8.29%       9.94%     7.97%      5.59%
                         正帆            至纯           京仪                                盛剑
 期间           项目                                             中科仪           平均值
                         科技            科技           装备                                科技
         职工薪酬    2.76%     2.07%         4.29%       3.71%      3.21%     1.63%
         股份支付    0.05%     0.00%         0.00%       0.00%      0.01%     0.20%
         折旧与摊销   0.12%     1.11%         0.55%       0.10%      0.47%     0.15%
          其他     0.37%     1.12%         0.89%       2.11%      1.12%     0.00%
          合计     5.54%    6.32%          7.29%       8.61%     6.94%      5.52%
                 正帆       至纯         京仪                                   盛剑
 期间       项目                                       中科仪        平均值
                 科技       科技         装备                                   科技
         直接材料    1.40%     2.16%         1.07%       5.39%      2.51%     2.78%
         职工薪酬    2.28%     2.37%         4.20%       4.48%      3.33%     1.49%
         股份支付    0.00%     0.00%         0.00%       0.00%      0.00%     0.14%
         折旧与摊销   0.07%     0.67%         0.63%       0.21%      0.39%     0.15%
          其他     0.51%     1.72%         0.65%       1.90%      1.19%     0.00%
          合计     4.26%    6.93%          6.55%     11.98%      7.43%      4.56%
  报告期内，公司与同行业可比公司研发费用构成均以职工薪酬和直接材料为
主，其余主要费用包括折旧摊销费用和股份支付费用等，各公司由于各年度业务
开展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。
  报告期内，公司研发费用占收入比重与正帆科技接近，略低于其余上市公司，
主要受收入结构影响。其中，中科仪和京仪装备研发费用占收入比例较高，主要
系其收入规模较小所致。
  报告期内，公司财务费用情况如下：
                                                                       单位：万元
         项目              2024年1-9月         2023年度         2022年度        2021年度
利息费用净额                       1,006.29            824.20      425.57       154.60
其中：利息费用总额                    1,111.10            831.69      467.42       219.36
减：利息资本化                        104.81                 -       41.85        64.76
减：财政贴息                               -             7.49            -             -
利息收入（收益以“-”填列）               -240.72         -366.29         -521.48     -675.84
汇兑损益（收益以“-”填列）                 113.10            -18.05      -201.19       81.59
手续费支出                           -3.64            268.89       96.71       116.14
         合计                    875.02            708.75      -200.39     -323.51
  报告期内，公司财务费用分别为-323.51万元、-200.39万元、708.75万元和
   报告期内，公司利息费用呈一定上升趋势，主要系公司根据业务发展和项目
建设需求，借入银行借款所致。公司财务费用各项明细波动及占比情况，与公司
经营情况及业务规模匹配一致。
   报告期内，公司可比公司财务费用占收入比重情况如下：
                    正帆       至纯        京仪                         盛剑
 期间        项目                                   中科仪      平均值
                    科技       科技        装备                         科技
         利息费用净额     0.68%    4.81%     0.55%    0.41%    1.61%    0.45%
         利息收入（收益以
                    -0.52%   0.00%     -0.82%   -0.73%   -0.52%   -0.20%
          “-”填列）
          “-”填列）
          手续费支出     0.09%    0.37%     0.01%    0.04%    0.12%    0.15%
           合计       0.37%    5.87%     -0.34%   -0.32%   1.39%    0.39%
                    正帆       至纯        京仪                         盛剑
 期间        项目                                   中科仪      平均值
                    科技       科技        装备                         科技
         利息费用净额     0.67%    3.57%     0.58%    0.08%    1.22%    0.32%
         利息收入（收益以
                    -0.49%   0.00%     -0.08%   -0.67%   -0.31%   -0.39%
          “-”填列）
          “-”填列）
          手续费支出     0.08%    0.12%     0.05%    0.05%    0.07%    0.07%
           合计       0.28%    2.78%     0.35%    -0.55%   0.71%    -0.15%
                    正帆       至纯        京仪                         盛剑
 期间        项目                                   中科仪      平均值
                    科技       科技        装备                         科技
         利息费用净额     0.20%    3.51%     0.46%    0.00%    1.04%    0.13%
         利息收入（收益以
                    -0.46%   0.00%     -0.05%   -0.40%   -0.23%   -0.55%
          “-”填列）
          “-”填列）
          手续费支出     0.06%    0.10%     0.02%    0.08%    0.06%    0.09%
           合计       -0.20%   3.77%     0.68%    -0.32%   0.98%    -0.26%
   报告期内，公司与同行业可比公司财务费用构成均以利息费用为主，其余主
要费用包括利息收入和汇兑损益，各公司由于各年度业务开展情况的不同，从而
导致费用结构略有差异。
           （二）公司销售人员人均薪酬较高的原因，公司业务订单的获取方式，相
      关业务获取过程是否合法合规
           报告期内，公司销售费用中列示的职工薪酬主要包括两大类人员：专职销售
      人员和销售支持人员，专职销售人员人均薪酬与同行业可比公司不存在重大差异，
      不存在人均薪酬较高的情形。具体详见本题回复之“四”之“（一）”之“1、公
      司销售费用主要构成及变动情况”内容。
           报告期内，公司的系统类业务通过招投标和商务谈判获取，公司的设备类业
      务主要通过商务谈判获取。报告期内，公司主营业务收入中通过招投标和商务谈
      判获取的业务对应的收入金额和占比情况如下：
                                                                                         单位：万元
    项目
             金额         占比           金额           占比            金额           占比         金额           占比
    招投标    48,122.22    48.43%     45,072.66     24.68%        58,228.36     43.83%    43,106.19     34.96%
商务谈判       51,245.29    51.57%    137,527.15     75.32%        74,619.32     56.17%    80,196.77     65.04%
    合计     99,367.51   100.00%    182,599.81    100.00%       132,847.68   100.00%    123,302.97   100.00%
           公司以非招投标方式获取的项目均不属于《中华人民共和国招投标法》规定
      的必须采用招投标采购的情形，相关业务获取过程合法合规。
           五、公司主要客户背景、企业性质、成立时间、注册资本、员工人数，以
      及与公司的合作情况、是否存在关联关系，相关销售规模与客户需求的匹配情
      况
           报告期内，公司主要客户为大型央企、国企和上市公司等，主要客户成立时
      间较长，注册资本金额和员工人数规模较大，与公司合作期间较长，公司与主要
      客户均不存在关联关系，相关销售规模与客户需求相匹配。
           报告期内，公司各期前五大客户的基本情况如下：
序                       企业                      注册资本                                               是否存在
          客户名称                   成立时间                           员工人数          与公司合作情况
号                       性质                      （万元）                                               关联关系
     中国电子系统工程
     第四建设有限公司
     中国电子系统工程
     第二建设有限公司
         技有限公司      公司                                       （2009年与京东方集
                                                               团开始合作）
     益科德（上海）有
       限公司
                    国有
                    企业
                    国有
                    企业
                    国有
                    企业
     北京北方华创微电       上市
      子装备有限公司       公司
     武汉华星光电技术       上市
       有限公司         公司
     楷德电子工程设计       民营
       有限公司         企业
     厦门天马光电子有       国有
       限公司          企业
                                                              微电子集团合作）
     厦门天马显示科技       国有
       有限公司         企业
                                                              微电子集团合作）
     信息产业电子第十
              上市
              公司
     工程股份有限公司
        注：员工人数数据来源为企查查公示信息。
           上述主要已上市客户或其控股股东发布的定期披露数据中披露的最近一年
      收入情况如下：
                                                                     单位：亿元
                                                                 发行人2023 销售与
     序                   企业                            2023年度
             客户名称              股票简称         股票代码                 年对其销售 需求是
     号                   性质                              收入
                                                                  收入     否匹配
        中国电子系统工程 上市
        第四建设有限公司 公司
        北京京东方创元科 上市
          技有限公司   公司
        中国电子系统工程 上市
        第二建设有限公司 公司
        北京北方华创微电 上市
        子装备有限公司   公司
        武汉华星光电技术 上市
           有限公司   公司
        信息产业电子第十
                  上市
                  公司
        工程股份有限公司
        注：上述列示公司主要客户均系上市公司全资或控股子公司，由于无法获取其公开渠道
      数据，故此处列示收入为上市公司合并口径收入。
   结合公司主要客户中已上市公司公开披露的数据来看，公司主要客户的销售
额与客户需求及客户自身规模匹配一致。
   六、中介机构核查情况
   （一）核查程序
   针对上述问题，保荐机构和申报会计师执行了以下核查程序：
况；查阅下游应用领域市场情况，分析各业务收入及毛利率的变动原因；查阅同
行业公司可比业务的毛利率情况，分析差异原因；
入确认政策是否符合企业会计准则的规定；
符合行业惯例；
发行人会计处理是否符合企业会计准则的规定，核查竣工结算调整单据比例为
律，查看企业收入确认季节分布是否符合行业特征；
开票、回款资料等，询问并检查约定工期与验收时间存在较大偏差的原因，检查
项目回款情况；对销售收入执行截止测试程序，核查是否存在收入跨期或提前确
认收入的情形。报告期各期截止测试程序核查比例分别为30.91%、31.69%、40.95%
和42.07%；
断是否与发行人经营情况及业务规模相匹配；查询同行业可比公司的各类费用构
成情况，分析差异情况及合理性；
行人业务订单的获取方式，判断相关业务获取过程的合法合规性；
阅客户披露的财务数据，分析相关销售规模与客户需求的匹配情况。
  （二）核查意见
  经核查，保荐机构和申报会计师认为：
业公司对比及差异情况具有合理性。
合行业惯例，不存在提前确认收入情形；公司竣工决算时点调整收入的规模较小，
依据具有合理性，会计处理符合《企业会计准则》相关规定。
较大差异，公司不存在收入跨期情形。
同行业可比公司存在的差异情况具有合理性；销售人员人均薪酬较高的原因具有
合理性，公司业务订单的获取方式主要包括招投标和商务谈判，相关业务获取过
程合法合规。
有匹配性。
   问题3.2：关于业务及经营情况
   根据申报材料，1）报告期各期末，公司应收账款账面价值分别为68,698.98
万元、100,637.72万元、132,674.02万元及122,027.79万元，1年以上的应收账款余
额占比分别为25.58%、37.87%、39.02%及46.53%，公司应收账款周转率低于同
行业平均水平，公司部分应收账款客户存在涉诉或破产情形。2）报告期各期末，
公 司 存 货 账 面 价 值 分 别 为 18,273.70 万 元 、 34,951.62 万 元 、 65,506.15 万 元 及
货周转率高于同行业平均水平。3）报告期各期末，公司固定资产账面价值分别
为8,951.54万元、33,337.01万元、38,902.05万元和38,467.85万元，以房屋建筑物
与机械设备为主。公司在建工程、使用权资产余额最近一期规模增长。4）报告
期各期末，公司持有一定规模的有息借款和货币资金，其中有息借款以短期借款、
一年内到期非流动负债、长期借款为主，货币资金主要系银行存款和银行承兑汇
票受限保证金。5）报告期内，公司资产负债率分别为38.35%、45.19%、53.76%、
定差异。
         （1）公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、
   请发行人说明：
信用政策及账龄情况，分析公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提
升的原因及合理性，公司应收账款周转率低于同行业平均水平的原因，部分总承
包项目实际按照背靠背条款执行的背景及原因，对结算周期的具体影响；
                               （2）报
告期内公司应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因，以及涉诉、破产、
逾期情况，是否已出现较大信用风险，对于该类客户的坏账计提情况及依据，结
合同行业可比公司计提，分析公司坏账准备计提是否充分；
                         （3）公司存货规模持
续增长的原因，在订单覆盖充足情况下，库龄超过1年存货的形成背景、尚未结
转的合理性，公司存在大额合同履约成本的原因，相关设备尚未安装或完成调试
的影响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约定周期是否存在差异；结合公
司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明公司存货跌价计提是否充分，与
同行业公司是否存在较大差异；
             （4）公司固定资产规模持续增加的原因，相关折
旧摊销政策与同行业公司是否存在较大差异；公司在建工程和使用权资产变动原
因，在建工程中相关项目情况，建设进度是否符合预期，是否存在延期转固情形；
（5）公司同时持有一定规模货币资金及有息负债的原因及合理性，利息收入及
支出与存贷款规模是否匹配，公司受限资金规模与银行承兑汇票、借款规模等是
否匹配；
   （6）报告期内公司经营活动产生的现金流净额波动较大、与净利润差异
较大的原因，结合公司资产负债情况、未来偿债安排等，说明公司后续是否存在
短期偿债风险。请保荐机构及申报会计师进行核查并发表明确意见，说明核查方
法、核查比例及核查依据。
  【回复】
  一、公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、信用政策及
账龄情况，分析公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提升的原因
及合理性，公司应收账款周转率低于同行业平均水平的原因，部分总承包项目
实际按照背靠背条款执行的背景及原因，对结算周期的具体影响
  （一）公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、信用政策
及账龄情况
  报告期各期末，公司应收账款前五名客户情况如下：
                                                         单位：万元
   项目
应收账款余额前五
 名合计金额
应收账款期末余额    139,723.18     148,790.69     111,407.17     74,618.98
前五名应收账款余
额合计占余额比例
  公司应收账款主要客户为报告期各期末应收账款余额前五名客户，其各期应
收账款期末余额占公司应收账款总额的比例在40%以上。
  截至2024年9月30日，发行人应收账款账面余额前五名情况如下表：
                                                                                                    单位：万元
           应收账款账面        2024年1-9月                                                      期后回款金       期后回款比
  客户名称                                   交易内容         信用政策      1年以内        1年以上
             余额           销售金额                                                            额           例
中国电子系统工程                               绿色厂务系统、设     收款节点+收
第二建设有限公司                               备及关键零部件        款比例
中国电子系统工程                               绿色厂务系统、设     收款节点+收
第四建设有限公司                               备及关键零部件        款比例
北京北方华创微电                                            收到发票之后
子装备有限公司                                                90日
楷德电子工程设计                               绿色厂务系统、设     收款节点+收
  有限公司                                 备及关键零部件        款比例
                                                    收款节点+收
  客户E         6,406.74     22,292.95    绿色厂务系统                   6,406.74           -    3,975.90     62.06%
                                                      款比例
   合计        56,045.89     43,195.58      /                 /   32,753.94   23,291.95   32,469.22     57.93%
 注：期后回款情况统计至2025年2月28日。
                                                                                                    单位：万元
           应收账款账面        2023年度销                                                        期后回款金       期后回款比
 客户名称                                   交易内容          信用政策      1年以内        1年以上
             余额            售金额                                                            额           例
中国电子系统工程                             绿色厂务系统、设备      收款节点+收
第二建设有限公司                              及关键零部件          款比例
中国电子系统工程                             绿色厂务系统、设备      收款节点+收
第四建设有限公司                              及关键零部件          款比例
北京北方华创微电                                            收到发票之后
子装备有限公司                                                90日
           应收账款账面        2023年度销                                                            期后回款金       期后回款比
 客户名称                                   交易内容          信用政策          1年以内        1年以上
             余额            售金额                                                                额           例
楷德电子工程设计                              绿色厂务系统、设备     收款节点+收
  有限公司                                 及关键零部件        款比例
                                                    收款节点+收
  客户B         7,554.30    17,488.08    绿色厂务系统                        7,554.30           -    7,554.30    100.00%
                                                     款比例
   合计        65,447.46    98,626.85       /                     /   47,221.89   18,225.57   60,308.62     92.15%
 注：期后回款情况统计至2025年2月28日。
                                                                                                        单位：万元
            应收账款         2022年度销                                                            期后回款金       期后回款比
 客户名称                                   交易内容          信用政策          1年以内        1年以上
            账面余额           售金额                                                                额           例
北京北方华创微电                                            收到发票之
 子装备有限公司                                             后90日
中国电子系统工程                              绿色厂务系统、设备     收款节点+收
第二建设有限公司                               及关键零部件        款比例
厦门天马显示科技                                            收款节点+收
   有限公司                                              款比例
中建凯德电子工程                              绿色厂务系统、设备     收款节点+收
  设计有限公司                               及关键零部件        款比例
中国电子系统工程                              绿色厂务系统、设备     收款节点+收
第四建设有限公司                               及关键零部件        款比例
  合计         44,694.62    44,254.98       /                 /       30,797.03   13,897.60   44,694.62    100.00%
 注：期后回款情况统计至2025年2月28日。
                                                                                                    单位：万元
           应收账款账面        2021年度销                                                        期后回款金       期后回款比
 客户名称                                   交易内容          信用政策      1年以内        1年以上
             余额            售金额                                                            额           例
中国电子系统工程                              绿色厂务系统、设备     收款节点+收
第二建设有限公司                               及关键零部件        款比例
信息产业电子第十
                                                    收款节点+收
一设计研究院科技      7,418.36     9,926.64    绿色厂务系统                    7,418.36           -    6,545.31     88.23%
                                                     款比例
工程股份有限公司
北京北方华创微电                                            收到发票之
 子装备有限公司                                             后90日
绵阳惠科光电科技                              绿色厂务系统、设备     收款节点+收
  有限公司                                 及关键零部件        款比例
厦门天马显示科技                                            收款节点+收
  有限公司                                               款比例
  合计         36,096.31    57,833.41       /                 /   29,418.87    6,677.44   35,223.26     97.58%
 注：期后回款情况统计至2025年2月28日。
  报告期各期末，公司应收账款前五名客户合计金额分别为36,096.31万元、
分别为48.37%、40.12%、43.99%及40.11%，报告期内总体保持稳定，应收账款
余额和销售规模匹配。公司应收账款主要客户销售产品包括绿色厂务系统、设备
及关键零部件等，均为公司主要产品。
  公司按照项目主体与客户签订合同，并将应收账款结算方式在合同中明确约
定。公司绿色厂务系统、设备及关键零部件业务主要采用“收款节点+收款比例”
的里程碑式收款方式。合同款项一般由预付款、到货款、验收款、质保金等构成。
  （二）公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提升的原因及合
理性
  报告期内，公司营业收入及应收账款结构如下：
                                                                  单位：万元
     项目     2024年9月30日
                               日                 日                 日
应收账款余额        139,723.18     148,790.69        111,407.17         74,618.98
营业收入           99,367.51     182,599.81        132,847.68         123,302.97
应收账款余额
占营业收入比          140.61%          81.48%              83.86%          60.52%
例
  公司2022年末和2024年9月末的应收账款余额占当期营业收入比例均存在
较大上升的情形，公司应收账款余额及占营业收入的比例与公司产品销售情况、
客户情况、经营特点有关。
                                                                   单位：万元
              应收账款余                             期末应收账款余额
                           当期收入金
     客户名称     额较上年增                                   一年以内         一年以上
                             额             总额
                加                                      金额           金额
北京北方华创微电
子装备有限公司
楷德电子工程设计
有限公司
            应收账款余                          期末应收账款余额
                        当期收入金
   客户名称     额较上年增                               一年以内        一年以上
                          额           总额
              加                                  金额          金额
武汉华星光电技术
有限公司
客户 C        4,724.56    15,377.65   4,724.56    4,724.56           -
深圳市华星光电半
导体显示技术有限    2,245.10     4,961.55   3,493.10    2,193.98    1,299.11
公司
  由上表可知，2022年末公司应收账款余额大幅增加，其中北京北方华创微
电子装备有限公司增加金额较大，主要系公司向该客户销售的 L/S 设备大幅增
加所致。2022年，公司着力开拓 L/S 设备市场，获取了北方华创、中芯国际、
惠科股份等行业龙头客户的批量订单，L/S 设备销售收入由上年的9,057.95万元
增加至16,390.46万元。北方华创是国内半导体设备龙头企业，系公司战略合作
客户，在京东方、燕东微、青岛芯恩等项目中均采购本公司产品，回款受下游
客户回款等因素影响存在一定延迟，使得应收账款余额较上期末大幅增加。
  此外，楷德电子工程设计有限公司、武汉华星光电技术有限公司、客户 C、
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司等公司应收账款余额增加较多，主要
系当期该等客户项目验收，销售收入较大所致。
                                                            单位：万元
            应收账款余                          期末应收账款余额
                        当期收入金
   客户名称     额较上年增                               一年以内        一年以上
                          额           总额
              加                                  金额          金额
中国电子系统工程
第二建设有限公司
中国电子系统工程
第四建设有限公司
客户 B        7,554.30    17,488.08   7,554.30    7,554.30           -
天和（上海）半导体
制程排气工业有限    5,761.97     7,736.13   5,767.47    5,767.47           -
公司
厦门天马光电子有
限公司
  由上表可知，2023年末应收账款较2022年末变动金额较大的客户中，期末
应收账款余额大部分为一年以内金额，因此其应收账款余额增加主要来源于当
期收入金额的增加。2023年，随着公共卫生事件等相关不利因素影响逐渐消退，
项目施工建设恢复至正常状态，同时随着下游投资力度加大，公司承接集成电
路领域项目规模也有所增加，集成电路生产基地项目工艺排气系统等部分项目
收入超过1亿元，带动当期绿色厂务系统收入由2022年度的86,719.36万元提升
至121,572.07万元。中国电子系统工程第二建设有限公司、中国电子系统工程
第四建设有限公司系知名半导体厂务建设总包商，报告期内公司与该等客户合
作数十个项目，收入和应收账款增长较快。
                                                         单位：万元
            应收账款余                        期末应收账款余额
                       当期收入金
   客户名称     额较上年增                             一年以内       一年以上
                         额          总额
              加                                金额         金额
客户 E        6,406.74   22,292.95   6,406.74   6,406.74          -
北京京东方创元科
技有限公司
益科德（上海）有限
公司
天颂建设集团有限
公司太原分公司
北京七星华创集成
电路装备有限公司
  由上表可知，2024年9月末应收账款较2023年末变动较大金额主要来源于当
期收入。公司终端客户受项目进度安排、下游客户回款等因素影响，通常四季
度回款比例较高（2021年至2023年第四季度销售商品提供劳务收到的现金流占
全年现金流的比例平均为45.85%），因此2024年9月末应收账款余额较高具有一
定合理性；同时受下游客户招投标、预算制定，施工安排的影响，公司项目主
要集中在下半年尤其是第四季度验收，总体呈现第四季度收入相对较高的特征。
上述因素综合使得公司2024年9月末应收账款占当期营业收入比例较高。
  综上所述，公司应收账款规模提升主要系报告期内 L/S 设备、绿色厂务系
统收入增长所致，与公司业务发展情况匹配。2024年9月末应收账款余额较高，
主要系公司下游客户回款和项目验收具有季节性所致。公司在2024年四季度及
   报告期各期末，公司账龄1年以上的应收账款余额占比分别为25.58%、
   公司账龄1年以上的应收账款余额占比较高主要原因如下：①部分总包商在
合同中约定了背靠背支付条款，或虽未约定背靠背支付条款但按照上述方式执
行，使得总包商的回款时间依赖于终端客户对总包商的付款时间。由于部分终
端客户受宏观经济、行业景气度、经营情况和项目整体进度等因素影响，使得
其向总包商支付款项进度不及时，进而导致总包商向公司回款延缓。②公司承
接的部分项目系国有资金投资项目，项目投资规模较大，部分合同条款约定的
里程碑付款条件包括项目需要整体联合调试、政府审核审计等。该类付款条件
在实际执行过程受项目规模等因素影响存在未及时完成的情形，导致公司回款
延缓。③部分合同中包含部分质保金款项（通常为合同金额的3%-10%）。该等质
保金款项根据合同约定，于质保期（通常为在验收完成后2年）结束后支付。质
保期间，该等款项计入合同资产，待质保期结束后转入应收账款。由于账龄连
续计算，该款项账龄往往超过1年，且该款项受请款流程等因素影响，进一步导
致1年以上应收账款金额增大。
   公司管理层对应收账款回款问题一直高度重视，也在积极采取相应措施进
行应对（例如每周开专题会议督促应收账款回款进度、把应收账款回款作为销
售人员的重要 KPI 考核指标）。未来，公司将针对账龄1年以上的项目加大催收
力度，降低应收账款的信用风险。
   公司账龄1年以上的应收账款余额对应的客户主要是国企、央企和上市公司，
公司截至2024年9月30日账龄1年以上的应收账款余额中客户为国企、央企和上
市公司的应收账款余额占比合计为71.92%，该部分客户资信情况较好，经营规
模较大，出现不可回收的风险较小；公司截至2024年9月30日账龄1年以上的应
收账款余额中客户为非上市民企的应收账款余额占比合计为28.08%，整体坏账
计提比例24.33%，具体结构如下：
                                                    单位：万元
             截至2024年9月30日      截至2024年9月30日   截至2024年9月30日
  客户性质
             一年以上应收账款余         一年以上应收账款对      一年以上应收账款对
                  额                应的坏账计提金额               应的坏账计提比例
     国央企          22,294.90                  3,758.08                  16.86%
    非上市民企         18,252.37                  4,441.64                  24.33%
    上市公司          24,463.47                  5,762.56                  23.56%
     合计           65,010.74                 13,962.27                  21.48%
     公司截至2024年9月30日客户性质为非上市民企的账龄1年以上应收账款余
额18,252.37万元，但该应收账款对应的客户集中度高，相关客户为行业知名半
导体显示或集成电路企业、知名半导体行业总包商，经营规模较大，与公司合
作时间长，出现不可回收的风险较小，具体如下：
                                                                   单位：万元
                                       截至2024年9月
                   截至2024年9月
    非上市民企客户名称     30日一年以上应                                        客户性质
                                       上市民企应收账
                    收账款余额
                                         款余额占比
楷德电子工程设计有限公司              6,473.78               35.47%       知名总包商
益科德（上海）有限公司               2,233.63               12.24%       知名总包商
    长沙惠科光电有限公司            1,791.32                9.81%   惠科光电集团成员
绵阳惠科光电科技有限公司              1,563.70                8.57%   惠科光电集团成员
西安欣芯材料科技有限公司                981.35                5.38%   西安奕斯伟子公司
           合计           13,043.78                71.46%            -
     报告期各期末，公司账龄1年以上的应收账款的主要客户情况如下：
     （1）公司截至 2024 年 9 月 30 日账龄 1 年以上应收账款的主要客户情况
                                                                   单位：万元
序                     1年以上应收         期后回款        期后回款
           客户名称                                                   客户背景
号                      账款余额           金额          比例
     中国电子系统工程第二                                               中电系统总包
     建设有限公司                                                   商
     楷德电子工程设计有限
     公司
     北京北方华创微电子装                                               上市公司北方
     备有限公司                                                    华创之子公司
     中国电子系统工程第四                                               中电系统总包
     建设有限公司                                                   商
     武汉华星光电技术有限                                               TCL科技集团成
     公司                                                       员
           合计          27,279.01   11,703.80        42.90%    -
        注：上述回款金额系按照项目统计，期后回款金额截至 2025 年 2 月 28 日。
        （2）公司截至 2023 年 12 月 31 日账龄 1 年以上应收账款的主要客户情况
                                                                      单位：万元
序                     1 年以上应收        期后回款              期后回款
               客户名称                                                   客户背景
号                       账款余额          金额                比例
        北京北方华创微电子装                                                上市公司北方华
        备有限公司                                                     创之子公司
                                                                  知名集成电路制
                                                                  造企业
        武汉华星光电技术有限                                                TCL 科技集团成
        公司                                                        员
        中国电子系统工程第二
        建设有限公司
                                                                  惠科光电集团成
                                                                  员
               合计        24,268.11   14,742.87          60.75%    -
        注：上述回款金额系按照项目统计，期后回款金额截至 2025 年 2 月 28 日。
        （3）公司截至 2022 年 12 月 31 日账龄 1 年以上应收账款的主要客户情况
                                                                      单位：万元
序                      1年以上应收        期后回款              期后回款
               客户名称                                                   客户背景
号                       账款余额          金额                比例
                                                                  上市公司天马
         厦门天马显示科技有
         限公司
                                                                  业
         中国电子系统工程第                                                中电系统总包
         二建设有限公司                                                  商
         信息产业电子第十一
                                                                  无锡市国资委
                                                                  下属总包商
         股份有限公司
         益科德（上海）有限公
         司
         中国电子系统工程第                                                中电系统总包
         四建设有限公司                                                  商
               合计        18,100.79   13,942.44          77.03%    -
        注：上述回款金额系按照项目统计，期后回款金额截至 2025 年 2 月 28 日。
        （4）公司截至 2021 年 12 月 31 日账龄 1 年以上应收账款的主要客户情况
                                                                      单位：万元
序                     1 年以上应收        期后回款              期后回款
               客户名称                                                   客户背景
号                       账款余额          金额                比例
        中国电子系统工程第二
        建设有限公司
序                 1 年以上应收        期后回款          期后回款
        客户名称                                                 客户背景
号                   账款余额          金额            比例
    绵阳惠科光电科技有限                                           惠科光电集团成
    公司                                                   员
                                                         惠科光电集团成
                                                         员
    上海环境卫生工程设计                                           上海市国资委下
    院有限公司                                                属总包商
                                                         中国建筑工程股
    中建三局第一建设工程
    有限责任公司
                                                         总包商
        合计           10,945.87   10,741.20      98.13%   -
    注：上述回款金额系按照项目统计，期后回款金额截至 2025 年 2 月 28 日。
    由上文可知，公司各期末账龄 1 年以上应收账款中，部分总承包商客户因约
定或实际执行背靠背条款结算，回款情况受终端客户回款情况影响较大；部分
终端客户回款情况则受项目进度、市场情况、宏观经济环境、项目整体联合调
试、第三方审计审核等因素影响，导致回款存在一定延迟。
    虽然上述客户存在回款延迟的情形，但上述终端客户和总承包商客户的集团
背景实力较为雄厚，终端客户中包括华星光电、惠科光电、天马微电子等半导
体显示领域龙头企业和客户 C、北方华创等集成电路知名企业，总包商客户中包
括中电系统、楷德电子工程设计有限公司等知名半导体厂务建设企业，整体信
用度和经营情况较好；上述客户与公司合作年限较长且持续有回款，因此应收
账款损失风险较低。
    综上所述，公司1年以上账龄增长较大主要系背靠背条款、付款条件未按时
完成、部分质保款回款较慢等原因导致，未回款客户主要系国央企、上市公司、
行业知名半导体显示/集成电路企业、知名半导体行业总包商等，经营规模较大，
信用良好，与公司合作时间长，出现不可回收的风险较小。公司管理层对应收
账款回款问题一直高度重视，也在积极采取相应措施进行应对。公司已根据会
计政策计提坏账准备，公司整体应收账款坏账准备计提充分。
    （三）公司应收账款周转率低于同行业平均水平的原因
    报告期各期，公司与同行业可比公司的应收账款周转率如下：
  公司名称   2024年1-9月        2023年度        2022年度     2021年度
  正帆科技          2.17             3.25       4.10        4.44
  至纯科技          0.99             1.39       1.84        1.91
  京仪装备          2.69             3.54       3.42        2.99
  中科仪         未披露                5.66       5.12        3.64
  平均值           1.95             3.46       3.62        3.25
  盛剑科技          0.78             1.57       1.57        2.31
 注：同行业可比公司数据来源于公开披露的定期报告。
  从应收账款周转率来看，公司应收账款周转率低于正帆科技、京仪装备和中
科仪，与至纯科技接近。
  正帆科技和至纯科技的系统类业务与公司绿色厂务系统业务接近。正帆科技
提供制程关键系统与装备、关键材料和专业服务等综合服务，除集成电路领域客
户外，太阳能光伏、光纤通信和生物医药等行业客户回款相对较快。至纯科技提
供高纯工艺系统的设计、安装、测试调试服务，与公司业务接近，主要客户系集
成电路领域客户。根据其公开信息披露，因为半导体行业整体受国际环境影响，
整体客户回款不达预期，半导体设备类业务项目交付及回款均有不同程度的延迟。
因此至纯科技的应收账款周转率表现与公司接近。
  中科仪及京仪装备的产品以半导体专用设备为主，项目周期短，验收之后回
款速度较快，因此应收账款周转率较高。
  综上，公司应收账款周转率低于正帆科技、京仪装备和中科仪等同行业公司，
与至纯科技接近具有合理性。
  （四）部分总承包项目实际按照背靠背条款执行的背景及原因，对结算周
期的具体影响
  公司客户中，总承包商客户应收账款占比较大，报告期各期均超过50%。部
分总承包项目合同中约定“合同项下的合同价款来源于业主对客户的工程款支付，
业主不能按约定支付给客户的，客户应付公司款项的期限相应顺延，且不承担相
应的违约责任”。部分总承包商客户虽未约定，但按照上述方式执行。
  上述约定的原因系：公司业务集中在集成电路、半导体显示、新能源等领域，
         项目周期长、复杂程度高、项目合同金额较大；项目最终业主通常为国有企业、
         上市公司，内部审批流程较复杂付款周期较长。总承包单位为了减小其资金压力
         和降低经营风险，通常在合同约定背靠背结算条件，或者虽未约定背靠背条款但
         实际中执行该条款，具有合理性，符合行业惯例。
           报告期内，公司客户中执行背靠背付款方式的客户和非背靠背付款的客户
         的应收账款和收入占比如下：
                                                                                 单位：万元
项   客户       2024年1-9月                 2023年度                 2022年度                 2021年度
目   性质      金额          占比         金额            占比        金额          占比          金额         占比
    非背
应          59,776.66    42.78%   57,744.31      38.81%   55,418.27    49.74%     33,189.52   44.48%
    靠背
收   背靠
账          79,946.53    57.22%   91,044.97      61.19%   55,990.29    50.26%     41,429.46   55.52%
    背
款
    合计    139,723.18   100.00%   148,789.29    100.00%   111,408.57   100.00%    74,618.98   100.00%
    非背
销          57,296.57    57.66%   55,644.57      30.47%   70,046.83    52.73%     60,106.57   48.75%
    靠背
售   背靠
收          42,070.94    42.34%   126,955.24     69.53%   62,800.85    47.27%     63,196.40   51.25%
    背
入
    合计     99,367.51   100.00%   182,599.81    100.00%   132,847.68   100.00%   123,302.97   100.00%
           报告期内，客户回款周期差异较大，客户的回款周期除了受终端客户回款情
         况影响外，还受到客户资金预算分配、内部请款流程快慢等因素影响，因此，单
         个客户的回款周期并非仅仅受到背靠背结算方式的影响。综合主要客户和主要项
         目的回款周期来看，背靠背结算客户的应收账款回款周期平均较长，平均比非背
         靠背结算客户的应收账款回款周期长7个月左右。
           二、报告期内公司应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因，以及
         涉诉、破产、逾期情况，是否已出现较大信用风险，对于该类客户的坏账计提
         情况及依据，结合同行业可比公司计提，分析公司坏账准备计提是否充分
           （一）报告期内公司应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因
           报告期内，公司应收账款回款情况如下：
                                                                                 单位：万元
             项目              2024年9月          2023年12月       2022年12月           2021年12月
    应收账款余额      139,723.18      148,790.69   111,407.17    74,618.98
    期后回款金额      55,729.95       82,628.81    75,300.78    67,170.44
     回款比例          39.89%          55.53%       67.59%       90.02%
  注：上述期后回款系统计截至2025年2月28日，各期末应收账款余额对应项目的回款金
额。
     公司与客户签订合同，约定分阶段付款，部分客户存在因预算管理、资金安
排、付款审批流程复杂、背靠背结算等原因，导致回款较慢，部分客户大额未回
款的具体情况参见本题回复之“一”之“（二）”之“2、账龄1年以上应收账款占
比提升的原因及合理性”。
     （二）部分客户涉诉、破产、逾期情况，是否已出现较大信用风险，对于
该类客户的坏账计提情况及依据
     报告期各期末，公司将债务人信用状况明显恶化、未来回款可能性较低、已
经发生信用减值等信用风险特征明显不同的应收账款单独进行减值测试。
     由于公司客户主要系半导体行业内的头部厂商，公司业务单个项目规模较大，
受客户项目立项、审批、实施进度安排及资金安排的影响，回款存在延迟。公司
在与主要客户的销售合同中约定的收款方式如下：
序号   客户名称                     合同约定                           备注
     中国电子
             本合同所有付款将在甲方收到发包人相应款项后，按照如下
     系统工程                                                 存在背靠背
     第四建设                                                 条款
             上价款支付方式必须以发包人资金到位为前提条件。
     有限公司
             预付款、到货款、调试款、质保款均在满足一定条件后支付。
     中国电子    本合同项下的合同价款来源于业主对甲方的工程款支付,甲
     系统工程    方支付价款的前提是乙方已经交付甲方有效合格的发票及 存在背靠背
     第二建设    付款相关文件，且买卖合同价款的支付比例必须滞后于甲方 条款
     有限公司    从业主的收款比例。业主不能按约定支付给甲方的，甲方应
             付乙方款项的期限相应顺延，且不承担相应的违约责任。
     北京京东
     方创元科
     技有限公
     司
     益 科 德
             月进度款工程完成款、验收测试合格款、质保金均在满足特                   存在背靠背
             定条件及收到业主（终端客户）付款后支付。                         条款
     有限公司
序号   客户名称              合同约定                 备注
            预付款、重要设备材料到场款、工程进度款、设备材料安装
            及调试款、工程竣工验收款、结算款、保修金均在满足特定
            条件后支付。发包方（客户）完成款项审批程序通知分包单
            才能提交合格增值税专用发票，发包方收到合格增值税专用
            发票后10个工作日内以银行转账方式向分包单位支付上述
            款项。
            预付款、工程进度款、竣工验收款等均在满足特定条件后支
            付。发包方（客户）完成款项审批程序通知分包单位开具发
            合格增值税专用发票，发包方收到合格增值税专用发票后无
            赎期以转账方式向分包单位支付上述款项。
            预付款、重要设备材料到场款、工程进度款、设备材料安装
            及调试款、工程竣工验收款、结算款、保修金均在满足特定
            条件后支付。发包方（客户）完成款项审批程序通知分包单
            才能提交合格增值税专用发票，发包方收到合格增值税专用
            发票后10个工作日内以银行转账方式向分包单位支付上述
            款项。
            甲方（客户）收到乙方（盛剑科技）的货物并全部验收完成
     北京北方   之后，①乙方于下月10日前将上月已发货物的全额增值税专
     华创微电   用发票交付于甲方，甲方于收到发票当月完成记账，甲方自     实际执行背
     子装备有   记账完成的次月一日起90日内支付全款。②若乙方于下月10   靠背条款
     限公司    日之后交付发票到甲方，则甲方于收到发票的次月完成记
            账，甲方自记账完成的次月一日起90日内支付全款。
     武汉华星
            预付款、到货款、验收款、结算款、质保款均在满足特定条
            件后支付。
     有限公司
            预付款、到货款、验收款、质量保证金均在满足特定条件后
            支付。甲方（客户）对投标人（盛剑科技）的所有付款均是
            建立业主（终端客户）支付甲方工程款为前提下发生的。若
     楷德电子
            有由于业主未按时支付甲方工程款或未完全支付甲方工程      存在背靠背
            款、而导致甲方无法向乙方付款的情况，此情况属于甲乙双     条款
     有限公司
            方共同承担项目建设风险，甲乙双方一致同意在业主按照项
            目承包合同支付工程款后甲方向乙方支付本合同约定的款
            项，不视为甲方违约。
     厦门天马
            预付款、工程验收款、质量保证金均在满足特定条件后支付。
            工程进度款根据双方审核的工程量每月一支付。
     限公司
     厦门天马
            预付款、工程验收款、质量保证金均在满足特定条件后支付。
            工程进度款根据双方审核的工程量每月一支付。
     有限公司
序号    客户名称                        合同约定                    备注
             预付款、设备到货款、系统调试款、系统验收款、项目竣工
     信息产业
             验收款、工程结算款均在满足特定条件后支付。因归属于建
     电子第十
             设单位（终端客户）的原因，建设单位（终端客户）未及时
     一设计研                                           存在背靠背
     究院科技                                           条款
             能按照本购销合同约定足额向乙方支付相应时点的工程款
     工程股份
             时，乙方表示理解，不视为甲方违约，付款责任由建设单位
     有限公司
             承担，甲方不承担付款责任。
     由上表可知，报告期内公司主要客户主要采用“收款节点+收款比例”的里
程碑式收款方式，未明确约定信用期。为统一应收账款信用期管理，提高相关内
部控制制度的执行效率，公司将已达合同收款里程碑但尚未回款的款项视为逾期。
截至2025年2月28日，公司应收账款余额125,232.61万元，逾期金额26,276.89
万元，占比20.98%，上述逾期应收账款尚未回款主要原因系：
                             （1）部分客户受宏
观经济或经营情况变化、其下游客户回款情况等影响，回款能力减弱；
                              （2）公司
承接的部分项目系国有资本投资项目，该类客户预算管理制度和采购审批制度严
格，受上述客户项目立项、审批、实施进度安排及资金安排的影响，回款存在延
迟。公司已加强应收账款催收工作，逾期应收账款回款情况预计将逐步改善。
账计提情况及依据
     报告期内，出现较大信用风险（涉诉、破产等）的客户的坏账计提情况及依
据如下：
                                                   单位：万元
                                                     减值迹
     客户名称    账面余额       坏账准备              计提依据
                                                     象时间
                                  停产、资金链断裂等负面新闻，且
深圳柔宇显示 技
术有限公司
                                  户应收账款单项计提坏账准备。
                                  因该客户回款状况较差，公司多次
云谷（固安）科技                          催收未果，达成回款协议后客户未
有限公司                              执行。经管理层谨慎判断，对该客
                                  户应收账款单项计提坏账准备。
江苏省建筑工 程                          该客户回款状况较差，公司多次催
集团有限公司                            收未果，2023年客户进入破产重整。
                                  该客户回款状况较差，公司多次催
济宁神州轮胎 有
限公司
                                  收账款未收回。
      合计       998.24    893.24   -                   -
  由上表可知，公司关注客户涉诉、破产或很可能破产、以及发生重大财务困
难的情况，谨慎判断其可收回性，并对该类出现较大信用风险的应收账款单项计
提坏账准备。
  （三）结合同行业可比公司计提，分析公司坏账准备计提是否充分
  公司应收账款坏账计提政策与同行业可比公司对比如下：
       账龄        正帆科技            至纯科技             京仪装备         中科仪        盛剑科技
  由上表可见，公司应收款项坏账计提政策与同行业可比公司不存在明显差异。
  报告期各期末，公司应收账款坏账计提比例与可比上市公司的对比情况如下：
 名称      2024年9月30日         2023年12月31日         2022年12月31日          2021年12月31日
正帆科技           11.36%               9.45%                10.46%             11.23%
至纯科技           11.23%              14.15%                12.64%            14.30%
京仪装备           5.05%                5.12%                  6.37%            2.77%
中科仪            9.17%                9.74%                  8.95%            8.64%
平均值            9.20%                9.61%                  9.61%            9.24%
盛剑科技           11.80%              10.83%                  9.67%            7.93%
  由上表可知，报告期各期末，公司应收账款坏账准备计提比例为7.93%、
之间；2022年至2024年9月末，公司应收账款坏账计提比例均高于可比公司平均
值，坏账准备计提较为充分。
   三、公司存货规模持续增长的原因，在订单覆盖充足情况下，库龄超过1年
存货的形成背景、尚未结转的合理性，公司存在大额合同履约成本的原因，相
关设备尚未安装或完成调试的影响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约
定周期是否存在差异；结合公司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明
公司存货跌价计提是否充分，与同行业公司是否存在较大差异
   （一）公司存货规模持续增长的原因
   报告期各期末，公司存货账面价值分别为18,273.70万元、34,951.62万元、
及34.28%。
   报告期内，公司存货余额不断增加，主要原因系公司绿色厂务系统等业务在
集成电路领域及新能源领域持续拓展，在手订单持续增加，期末相关订单尚未执
行完成。
   报告期各期末，公司存货账面余额明细情况如下：
                                                     单位：万元
   项目
                账面余额                 跌价准备           账面价值
合同履约成本              56,615.42            628.56       55,986.87
库存商品                13,542.81               78.58     13,464.22
原材料                 18,137.87                   -     18,137.87
发出商品                   249.88                   -       249.88
委托加工物资                 499.16                   -       499.16
在产品                  2,674.48                   -      2,674.48
   合计               91,719.63            707.14       91,012.49
   项目
                账面余额                 跌价准备           账面价值
合同履约成本              37,623.76           1,182.27      36,441.49
库存商品                10,490.55            107.62       10,382.93
原材料                 14,915.30                   -     14,915.30
发出商品                   605.26                   -       605.26
委托加工物资                 199.53                   -       199.53
在产品             2,961.64                   -      2,961.64
  合计          66,796.04            1,289.89      65,506.15
  项目
           账面余额                 跌价准备           账面价值
合同履约成本        19,709.15             459.59       19,249.56
库存商品            9,295.00               49.95      9,245.05
原材料             5,639.89                   -      5,639.89
委托加工物资            458.50                   -       458.50
在产品               358.62                   -       358.62
  合计          35,461.16             509.54       34,951.62
  项目
           账面余额                 跌价准备           账面价值
合同履约成本         11,702.82                   -     11,702.82
库存商品            2,999.99               95.76      2,904.23
原材料             3,002.43                   -      3,002.43
委托加工物资            117.05                   -       117.05
在产品               547.17                   -       547.17
  合计          18,369.46                95.76     18,273.70
  公司存货中合同履约成本主要系绿色厂务系统业务已发生但尚未安装、调试
完成的存货和成本，该业务成本包括在安装过程中实际发生的直接材料、直接人
工和制造费用，其中设备及材料、劳务服务和制造费用均按项目归集。报告期内，
随着业务规模逐步扩大，公司能够参与及承接的单个项目规模也逐渐变大，部分
较大规模项目截至报告期末尚未验收，使得期末项目合同履约成本金额增大。
  公司库存商品主要包括半导体附属设备、工艺排气管道和中央废气治理设备
等。2022年，公司库存商品期末余额增长较大，主要原因是公司预计 L/S 设备的
市场需求将有所增加，考虑到设备生产需要一定的周期，为快速响应客户缩短交
货周期的需求，相应进行战略性备货。2023年末和2024年9月末，公司库存商品
期末余额增长，主要原因系：1、公司根据项目执行需求，工艺排气管道和中央
废气治理设备产品增加所致；2、公司2022年度为某集成电路生产项目进行备货，
但该项目由于客户自身原因延期启动，致使2023年末和2024年9月末对应存货余
额较高，相关备货产品主要构成为通用型标准化产品，公司已逐步开展上述备货
产品的模块改造及销售。
  公司原材料主要包括钢材、氟涂料、电气元件、阀类、仪器仪表等材料和风
机及配件、洗涤塔及配件、转轮及配件、储罐、电控盘柜等设备及配件，公司材
料、设备及配件采购主要用于设备及关键零部件的生产以及绿色厂务系统项目的
实施。由于公司绿色厂务系统业务定制化程度较高，因此原材料呈现品种丰富的
特点。随着报告期内公司收入规模的增长，公司原材料金额逐年提升。此外，公
司对氟涂料、润滑油脂等部分关键原材料进行备货，亦使得原材料金额上升。
  （二）在订单覆盖充足情况下，库龄超过1年存货的形成背景、尚未结转的
合理性
  报告期各期末，公司存货库龄情况如下：
                                                         单位：万元
  项目
         账面余额             跌价准备              1年以内         1年以上
合同履约成本     56,615.42               628.56    47,322.67     9,292.76
 库存商品      13,542.81                78.58     9,382.85     4,159.96
 原材料       18,137.87                    -    14,752.95     3,384.92
 发出商品          249.88                   -      249.88             -
委托加工物资         499.16                   -      499.16             -
 在产品          2,674.48                  -     2,674.48            -
  合计       91,719.63               707.14    74,881.99    16,837.64
  项目
         账面余额             跌价准备              1年以内         1年以上
合同履约成本     37,623.76          1,182.27       31,066.08     6,557.68
 库存商品      10,490.55               107.62     6,320.11     4,170.44
 原材料       14,915.30                    -    13,634.48     1,280.82
 发出商品          605.26                   -      605.26             -
委托加工物资         199.53                   -      199.53             -
 在产品          2,961.64                  -     2,961.64            -
  合计       66,796.04          1,289.89       54,787.10    12,008.94
  项目
         账面余额             跌价准备              1年以内         1年以上
 合同履约成本              19,709.15             459.59    15,083.08            4,626.07
  库存商品                9,295.00              49.95     9,150.83             144.17
   原材料                5,639.89                  -     5,354.10             285.80
 委托加工物资                458.50                   -      458.50                    -
   在产品                 358.62                   -      358.62                    -
   合计                35,461.16             509.54    30,405.13            5,056.03
   项目
                 账面余额             跌价准备              1年以内             1年以上
 合同履约成本              11,702.82                  -    10,638.74            1,064.08
  库存商品                2,999.99              95.76     2,584.58             415.41
   原材料                3,002.43                  -     2,468.59             533.84
 委托加工物资                117.05                   -      117.05                    -
   在产品                 547.17                   -      547.17                    -
   合计                18,369.46              95.76    16,356.13            2,013.33
   由上表可知，报告期各期末，公司库龄超过1年的存货系合同履约成本、库
 存商品和原材料。
 本主要系建设周期超过1年的绿色厂务系统业务项目
   截至2024年9月30日，公司库龄超过1年的前五大期末合同履约成本金额合计
 为5,726.43万元，占库龄超过1年的期末合同履约成本合计金额的比例为61.62%，
 公司已相应计提坏账准备568.62万元，具体情况如下：
                                                               单位：万元
         库龄1年以                                 截至2024年12   预计可变 存货跌价
项目名称                      原因及背景
         上的金额                                   月31日情况      现净值   准备
                     公司剥离液循环利用的产
剥离液循环                成品系客户产线的原材料，
                                               已于2024年12
利用系统包     3,238.27   由于客户产线一直处于产                            3,172.57          65.71
                                               月验收结转
 一期项目                能高峰，未给予公司充足时
                     间调试，故项目周期较长
                     公司剥离液循环利用的产
                                               尚未验收，预
剥离液循环                成品系客户产线的原材料，
                                               计2025年上半
利用系统包      818.42    由于客户产线一直处于产                                 801.81       16.61
                                               年能获得客户
 二期项目                能高峰，未给予公司充足时
                                                  验收
                     间调试，故项目周期较长
           库龄1年以                        截至2024年12   预计可变       存货跌价
项目名称                     原因及背景
           上的金额                          月31日情况      现净值        准备
薄膜晶体管                                   尚未结算，预
液晶显示器                 合同外变更追加，截至2024    计2025年上半
件工艺废气                   年9月30日尚未结算      年能获得客户
 工程项目                                      结算
                                        尚未结算，预
PC 集成电
                      合同外变更追加，截至2024    计2025年上半
路工艺废气        572.45                                 1,000.00         -
                        年9月30日尚未结算      年能获得客户
   包
                                           结算
                                        尚未结算，预
                      合同外变更追加，截至2024    计2025年上半
FAB-C 项目     317.84                                  330.00          -
                        年9月30日尚未结算      年能获得客户
                                           结算
     公司绿色厂务系统业务的建设周期因项目规模、项目现场条件、客户整体安
 排等不同而有所差异，整体而言，公司系统类业务从开工到完工基本在一年以内，
 少部分项目由于业主施工周期安排、现场协调等多因素影响，使得其建设周期超
 过一年。该等库龄超过1年的合同履约成本有合同和订单支持，公司对报告期末
 库龄超过1年的合同履约成本进行了减值测试，并相应计提坏账准备。截至报告
 期末上述合同履约成本尚未结转具有合理性。
 户项目延期影响，相关备货产品主要构成为通用型标准化产品，公司已逐步开
 展上述备货产品的模块改造及销售
 定的周期，为快速响应客户缩短交货周期的需求，相应进行战略性备货，公司2022
 年 L/S 设备销售收入较2021年大幅增长80.95%。其中，由于部分客户项目延期，
 部分批次的 L/S 设备备货延迟交付，截至报告期末形成库龄超过1年的库存商品。
 上述批次产品系等离子水洗式和电加热水洗式 L/S 设备，报告期内已部分通过
 模块化改造交付至其他项目。即使上述项目最终未能执行，公司能够通过对该
 批设备进行模块化改造以适配其他客户需求。
     公司对截至2024年9月30日库龄超过1年的库存商品中的 L/S 设备（占库龄
 超过1年的库存商品总额比例83.39%）进行减值测试，具体如下：
                                                          单位：万元
             项目                  存货账面余额         预计可变现净值           存货跌价准备
            库存商品                    3,468.92        6,349.86                   -
           由上表可知，上述库存商品的预计可变现净值大于账面余额，截至2025年2
         月28日，公司 L/S 设备的在手订单金额8,373.74万元，主要客户包括北方华创、
         长江存储等半导体领域龙头企业，因此，公司上述库龄超过1年的库存商品未计
         提存货跌价准备具有合理性。
         用润滑油脂、专用氟涂料等专用材料，属于公司战略型备货
           公司出于应对快速增长的订单需求、减少专用材料供应不及时的风险、产品
         起订量等因素考虑，对上述原材料进行战略性备货。该类原材料系易储存且可保
         存周期较长，后续生产可使用性相对高。因此，在订单覆盖充足情况下，库龄超
         过1年的原材料具有合理性。
           （三）公司存在大额合同履约成本的原因，相关设备尚未安装或完成调试
         的影响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约定周期是否存在差异
           公司各期末存在大额合同履约成本原因主要系项目合同金额较大，施工周期
         较长，截至报告期各期末尚未验收所致，不涉及纠纷或质量问题。
           报告期各期末，公司前五大合同履约成本情况如下：
                                                                        单位：万元
                                                     项目实际       合同约定 截至2024年12月
 期间       项目名称         金额            原因及背景
                                                      周期        预计周期       31日结转情况
                                                                          主合同验收完毕，
          FAB2 屋 面                                  2024.06-2             成本结转完毕，无
                                 截至2024年9月30日，项目仍               2024.06-2
          工艺排气系      15,583.73                       024.12               结存成本；变更追
                                      处于执行中                      025.03
          统项目                                       （预计）                  加部分暂未结算，
                                                                           尚未结转成本
月30日
          成都京东方
                                 截至2024年9月30日，项目仍    025年上      2024.08-2   项目执行中，尚未
          酸碱毒废气       4,165.46
                                      处于执行中         半年（预         025.04       结转成本
          系统包项目
                                                       计）
                                                  项目实际        合同约定        截至2024年12月
 期间       项目名称      金额             原因及背景
                                                   周期         预计周期         31日结转情况
                                                              自发包人
                                                              发出施工
                               公司剥离液循环利用的产成
                                                              指令之日
          剥离液循环                品系客户产线的原材料，由       2021.10-2               项目验收完毕，转
                                                              起150日
          利用系统包     3,336.26   于客户产线一直处于产能高        024.12                 入固定资产，无结
                                                  （预计）        历天（冬
          一期项目                 峰，未给予公司充足时间调                                 存成本
                                                               季停工
                                试，故项目周期较长
                                                               天）。
          DJ 集成电路              项目设计图纸变更导致项目                   完工最晚        项目验收完毕，成
          废气系统包     1,796.62   延期，截至2024年9月30日项                不晚于        本结转完毕，无结
          项目                       目仍执行中                       2024.8       存成本
          SP 集成电路
                               原合同内工程已于2024年9     2024.07-2               变更追加部分，暂
          废气系统包                                               未明确约
          项目（B 部                                  （预计）         定
                                 同外追加工程量                                     成本
          分）
                                                                          主合同验收完毕，
          SP 集成电路              该项目合同总金额较大，工
                                                                          成本结转完毕，无
          废气系统包                 程规模和工期较长，截至       2023.10-2   2023.10-2
          项目（A 部               2023年12月31日项目仍执行    024.09      024.12
                                                                          加部分暂未结算，
          分）                            中
                                                                           尚未结转成本
                                                                          主合同验收完毕，
                               该项目合同总金额较大，工
          SP 集成电路                                                         成本结转完毕，无
                                程规模和工期较长，截至       2023.10-2   2023.10-2
          废气系统包     3,325.86                                              结存成本；变更追
          项目                                                              加部分暂未结算，
                                        中
                                                                           尚未结转成本
                                                              自发包人
                                                              发出施工
                               公司剥离液循环利用的产成
                                                              指令之日
                                                              起150日       项目验收完毕，无
 月31日     利用系统包     3,268.00   于客户产线一直处于产能高        024.12
                                                              历天（冬          结存成本
          一期项目                 峰，未给予公司充足时间调       （预计）
                                                               季停工
                                试，故项目周期较长
                                                               天）。
          SP 集成电路              该项目合同总金额较大，工
                                                                          主合同验收完毕，
          废气系统包                 程规模和工期较长，截至       2023.10-2   2023.10-2
          项目（C 部               2023年12月31日项目仍执行    024.09      024.12
                                                                            结存成本
          分）                            中
                                                                          主合同验收完毕，
          SP 集成电路              该项目合同总金额较大，工
                                                                          成本结转完毕，无
          废气系统包                 程规模和工期较长，截至       2023.10-2   2023.10-2
          项目（B 部               2023年12月31日项目仍执行    024.09      024.12
                                                                          加部分暂未结算，
          分）                            中
                                                                           尚未结转成本
                                                   项目实际        合同约定        截至2024年12月
 期间       项目名称       金额             原因及背景
                                                    周期         预计周期         31日结转情况
                                                               自发包人
                                该项目系 BOT 项目，公司剥                发出施工
                                离液循环利用的产成品系客                   指令之日
          剥离液循环                                    2021.10-2               项目验收完毕，转
                                户产线的原材料，由于客户                   起150日
          利用系统包      3,131.54                       024.12                 入固定资产，无结
                                产线一直处于产能高峰，未       （预计）        历天（冬
          一期项目                                                               存成本
                                给予公司充足时间调试，故                    季停工
                                   项目周期较长                      105日历
                                                                天）。
                                                                           主合同验收完毕，
          PC 集 成 电                                                         成本结转完毕；变
                                合同外变更追加，截至2022      025年上      更追加部
          路工艺废气      1,772.06                                              更追加部分暂未
                                 年12月31日尚未结算       半年（预        分未约定
          包                                                                结算，尚未结转成
                                                      计）        工期
 月31日                                                                      主合同验收完毕，
                                                                           成本结转完毕，无
          集成电路系                 截至2022年12月31日项目仍   2022.11-2   2022.12-2
          统工程包                        在执行中          023.06      023.06
                                                                           加部分暂未结算，
                                                                            尚未结转成本
          薄膜晶体管                                    2021.07-2   合同外变
                                                                           变更追加部分暂
          液晶显示器                 合同外变更追加，截至2022      025年上      更追加部
          件工艺废气                  年12月31日尚未结算       半年（预        分未约定
                                                                              成本
          工程项目                                        计）         工期
                                 根据总包方要求工程量增                   合同外变
                                                                           项目结算完毕，成
          集成电路一                 加，使得项目周期延长，截       2021.11-2   更追加部
          期项目                   至2022年12月31日，尚未结    024.08     分未约定
                                                                             存成本
                                        算                        工期
                                                               合同外变
          半导体显示                                                            项目结算完毕，成
                                合同外变更追加，截至2021     2021.03-2   更追加部
          工艺排气系      1,572.04                                              本已经结转，无结
                                 年12月31日尚未结算        023.12     分未约定
          统项目                                                                存成本
                                                                 工期
          长沙惠科液                                                 021.12
                                二次配项目，执行周期长，                   （具体时        项目验收完毕，成
          晶显示器件                                    2020.10-2
          项目工艺废                                     022.06     间以机台
                                       行中                      到场时间          结存成本
          气项目
 月31日                            根据总包方要求工程量增                   合同外变
                                                                           项目结算完毕，成
          集成电路一                 加，使得项目周期延长，截       2021.11-2   更追加部
          期项目                   至2021年12月31日该工程仍    024.08     分未约定
                                                                             结存成本
                                      在执行中                       工期
          绵阳惠科液                                                 020.11
                                二次配项目，施工周期长，                   （具体时        项目验收完毕，成
          晶显示器件                                    2019.10-2
          项目工艺废                                     022.03
                                       行中                      到场时间          结存成本
          气项目
                                                                为准）
                                              项目实际
                                                合同约定 截至2024年12月
期间     项目名称     金额        原因及背景
                                               周期
                                                预计周期     31日结转情况
                                                进厂时
      半导体显示          二次配项目，施工周期长，                 间：    项目验收完毕，成
      排风工程施   508.51 截至2021年12月31日仍在执           2021.06 本已全部结转，无
      工项目                   行中                  总工期：       结存成本
       注：二次配项目，即公司根据客户合同指令追加供应的工艺排气管道等设备。对于该类
     项目，公司通常需根据客户的产线建设或制程工艺设备搬入及安装计划，分阶段执行交付，
     执行周期较长。
        由上表可知，公司各期末存在大额合同履约成本原因主要系项目合同金额较
     大，施工周期较长，截至报告期各期末尚未验收所致，不涉及纠纷或质量问题。
     公司项目实施周期与合同约定周期存在一定差异的原因主要系项目合同外变更
     追加，或根据客户产线建设或制程设备搬入及安装计划变更交付时间等原因所致，
     具有合理性。
        截至2024年12月31日，公司尚未结转的大额合同履约成本主要原因为：
                                          （1）
     该项目尚未验收，符合合同约定工期；（2）该项目发生合同变更追加，变更追
     加未明确约定工期，项目进度和工期符合公司预计实施工期。因此，公司期末
     未结转的合同履约成本整体上符合约定建设周期或预计实施工期。
        （四）结合公司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明公司存货跌
     价计提是否充分，与同行业公司是否存在较大差异
        公司的绿色厂务系统均为非标定制产品，以设计和管理为核心，通过系统集
     成的方式进行生产。公司的绿色厂务系统中产品具体型号较多，主要采用以销定
     产的生产模式。公司的设备及关键零部件、电子化学品材料类产品具体型号、规
     格较多，主要采用以销定产的生产模式，同时公司根据未来市场预期、原材料价
     格波动、生产计划排期等因素，进行适量的备货。
        报告期期末，公司在手订单情况充足，具体情况如下：
                                                            单位：万元
                           截至2024年9月30日余           截至2024年9月30日在手订
              项目
                                 额                   单金额（含税）
     合同履约成本（绿色厂务系统）                    56,615.42            89,113.78
     库存商品中的工艺排气管道及中央
         废气治理设备
库存商品中的工艺废气处理设备                      4,771.79                  5,597.80
 库存商品中的电子化学品材料                       325.60                    576.71
         合计                      64,962.46                  109,349.60
  截至2024年9月30日，公司库龄超过1年的存货系合同履约成本、库存商品和
原材料，公司库龄超过1年的合同履约成本主要系建设周期超过1年的绿色厂务系
统业务项目以及部分已完工项目追加指令且尚未决算的投入，均有合同和订单支
持；库龄超过1年的库存商品主要系根据客户项目备货的 L/S 设备，公司能够通
过对该批设备进行简单改造以适配其他客户需求；库龄超过1年的原材料主要系
设备及关键零部件生产过程中用到的专用润滑油脂、专用氟涂料等专用材料，该
类原材料系易储存且可保存周期较长。公司对存货根据其成本与可变现净值孰低
计量，并相应计提跌价准备。
  公司存货库龄情况详见本题回复之“三”之“（二）”内容。
                                                            单位：万元
                                        期后结转/              期后结转/
 项目       报表截止日      报表截止日余额
                                        销售金额               销售比例
合同履约
 成本
库存商品   2022年12月31日       9,295.00               6,265.24       67.40%
  注：期后结转销售金额系截至2024年9月30日累计结转/销售金额。
  公司2022年12月31日合同履约成本期后未结转的项目主要系剥离液循环利
用系统包项目，该项目周期较长，公司预计该项目将于2025年验收结转，该项目
涉及存货余额3,131.54万元，占期末合同履约成本余额比例为15.89%。公司2023
年12月31日合同履约成本期后未结转的项目主要系 SP 集成电路废气系统包项目，
该项目整体规模较大，项目实施周期较长，截至报告期末未结转具有合理性。
  公司2022年12月31日和2023年12月31日库存商品期后未结转的设备主要系
部分客户项目延期，使得公司生产的部分 L/S 设备库龄较长。即使上述项目最终
未能执行，公司能够通过对该批设备进行简单改造以适配其他客户需求。
  综上所述，公司存货期后结转情况良好，公司对存货根据其成本与可变现净
值孰低计量，并相应计提跌价准备。
  公司存货跌价准备计提会计政策如下：资产负债表日，存货采用成本与可
变现净值孰低计量。存货可变现净值是按存货的估计售价减去至完工时估计将
要发生的成本、估计的销售费用以及相关税费后的金额。（1）产成品、商品和
用于出售的材料等直接用于出售的商品存货，在正常生产经营过程中以该存货
的估计售价减去估计的销售费用和相关税费后的金额确定其可变现净值；（2）
需要经过加工的材料存货，在正常生产经营过程中以所生产的产成品的估计售
价减去至完工时估计将要发生的成本、估计的销售费用和相关税费后的金额确
定其可变现净值；计提存货跌价准备后，如果以前减记存货价值的影响因素已
经消失，导致存货的可变现净值高于其账面价值的，在原已计提的存货跌价准
备金额内予以转回，转回的金额计入当期损益。
其中，存在减值情形的库存商品、合同履约成本统计如下：
                                                             单位：万元
存货类             2024年9月       2023年12月         2022年12月     2021年12月
        项目
 别                 30日           31日              31日          31日
       账面余额        121.48            144.14       101.66       148.00
库存商
      预计可变现净值       42.90              36.52        51.71       52.24
 品
      存货跌价准备        78.58            107.62         49.95       95.76
       账面余额      5,615.27           6,378.38     1,347.82           -
合同履
      预计可变现净值    4,986.72           5,196.11      888.23            -
约成本
      存货跌价准备       628.56           1,182.27      459.59            -
  公司根据减值测试结果对可变现净值低于账面余额的存货计提跌价准备，
存货跌价准备计提充分。
     报告期各期末，公司与同行业可比公司存货跌价准备余额占存货余额的比例
情况如下：
      公司名称        2023年12月31日       2022年12月31日     2021年12月31日
      正帆科技                0.34%             0.87%           1.06%
      至纯科技                0.85%             0.74%           0.98%
      京仪装备                2.46%             2.65%           2.73%
      中科仪                10.14%            16.83%          26.94%
剔除中科仪的算术平均数               1.22%             1.42%           1.59%
      发行人                 1.97%             1.44%           0.52%
     根据中科仪披露的信息，中科仪因部分存货库龄较长、旧型号维修用零部件
较多、存在质保期内向客户提供备用泵等情形，其存货跌价准备比例较高。
     除中科仪外，公司存货跌价准备计提比例与同行业可比公司不存在明显差异。
公司2021年末存货跌价准备余额占存货余额的比例低于同行业（剔除中科仪的算
术平均数），主要是合同履约成本未出现减值迹象；2023年末存货跌价准备余额
占存货余额的比例高于同行业（剔除中科仪的算术平均数），主要是部分合同履
约成本出现减值迹象。
     综上所述，公司综合考虑在手订单、存货库龄情况，对存货采用成本与可变
现净值孰低计量，并相应计提存货跌价准备，公司存货跌价准备计提比例与同行
业可比公司不存在明显差异。
     四、公司固定资产规模持续增加的原因，相关折旧摊销政策与同行业公司
是否存在较大差异；公司在建工程和使用权资产变动原因，在建工程中相关项
目情况，建设进度是否符合预期，是否存在延期转固情形
     （一）公司固定资产规模持续增加的原因
     报告期内，公司固定资产变动情况如下表所示：
                                                      单位：万元
项目                                                       月31日期
       期末原值    变动比例    期末原值         变动比例   期末原值 变动比例      末原值
房屋及建筑物    29,347.86   1.23%    28,991.55     4.62%       27,710.79         306.59%        6,815.35
 机器设备     14,789.91   7.52%    13,756.00    64.33%        8,371.18          64.84%        5,078.29
 运输工具      1,073.01   3.74%     1,034.36    13.02%         915.23           58.86%           576.14
电子及其他设备    3,214.40   11.77%    2,875.90    93.32%        1,487.65         312.17%           360.93
  合计      48,425.19   3.79%    46,657.81    21.24%       38,484.85         199.94%     12,830.71
       由上表可知，2022年固定资产规模增加主要原因系公司 IPO 募投项目上海总
  部运营中心建设项目达到预定可使用状态，房屋及建筑物大幅增加；同时，公司
  IPO 募投项目环保装备智能制造项目等项目购进机器设备和电子及其他设备，综
  合使得固定资产规模大幅增加。2023年和2024年1-9月，公司固定资产继续增加，
  主要系公司继续购置机器设备、电子及其他设备用于满足设备及关键零部件和电
  子化学品材料等产品的生产和研发需求所致。
       （二）相关折旧摊销政策与同行业公司不存在较大差异
       公司固定资产折旧年限主要根据自身经营状况进行确定，并综合考虑行业内
  的普遍状况，具体折旧年限与同行业可比公司比较情况如下：
  类型       项目         正帆科技        至纯科技         京仪装备             中科仪              盛剑科技
          折旧方法        年限平均法      年限平均法               -        年限平均法             年限平均法
 房屋及建
         折旧年限（年）         20          20              -               40              20-30
  筑物
         残值率（%）          5            5              -               5                5
          折旧方法        年限平均法      年限平均法        年限平均法           年限平均法             年限平均法
 机器设备    折旧年限（年）        5-10         10          10              5-14                5-10
         残值率（%）          5            5              5               5                5
          折旧方法        年限平均法      年限平均法        年限平均法           年限平均法             年限平均法
 电子及其
         折旧年限（年）        3-5          3-5         3-5                 5-8              3-5
  他设备
         残值率（%）          5            5              5               5                5
          折旧方法        年限平均法      年限平均法        年限平均法           年限平均法             年限平均法
 运输工具    折旧年限（年）         4           4-7         10              5-10                 3-5
         残值率（%）          5            5              5               5                5
       注：同行业可比公司数据来源于公开披露的定期报告
       报告期内，公司固定资产折旧执行的会计估计与公司实际经营情况相符，固
  定资产折旧方法、折旧年限、残值率等与同行业公司不存在重大差异。
       （三）公司在建工程和使用权资产变动原因，在建工程中相关项目情况，
   建设进度是否符合预期，是否存在延期转固情形；
   固情形
       报告期内，公司主要在建工程项目变动情况具体如下：
                                                                        单位：万元
                             建设进度
                      计划建              2024年9月         2023年12       2022年12       2021年12
  项目      预算金额               是否符合
                      设周期                 30日           月31日          月31日          月31日
                              预期
国产半导体制程
附属设备及关键   60,000.00   24个月    是         10,733.15                -             -             -
 零部件项目
上海盛剑电子专
用材料研发制造
及相关资源化项
   目
嘉定研发中心及
配套办公基地建       -        -      是             1,453.78     384.09       2,498.09     16,126.96
  设工程
其他零星工程        -        -      -              107.17      123.54         95.53        619.75
 待安装设备        -        -      -             2,787.73     107.13        702.38         11.95
  合计          -        -      -         24,808.43        906.79       3,296.00     16,758.66
       由上表可知，2022年，公司在建工程金额减少，主要系嘉定研发中心及配套
   办公基地建设工程项目主要区域达到预定可使用状态转固所致；2023年，公司在
   建工程金额进一步减少，主要系嘉定研发中心及配套办公基地建设工程项目部分
   研发区域设备、装修等达到预定可使用状态转固所致；2024年1-9月，公司在建
   工程金额大幅增加，主要系国产半导体制程附属设备及关键零部件项目、上海盛
   剑电子专用材料研发制造及相关资源化项目等多个项目建设，项目投资金额较大，
   尚未达到可使用状态所致；此外，嘉定研发中心及配套办公基地新增部分区域改
   造施工，使得该项目在建工程增加。
       国产半导体制程附属设备及关键零部件项目系公司本次向不特定对象发行
   可转换公司债券募投项目之一，旨在建造高度自动化的生产线，打造先进国产半
   导体制程附属设备平台，建设国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地，
   以进一步扩大设备及关键零部件产品的生产能力，并同步提升运维服务能力；上
海盛剑电子专用材料研发制造及相关资源化项目系公司致力于化学品供应与回
收系统解决方案拓展力度，着眼于客户需求，持续精进工艺技术，推广循环经济
生产模式。
  综上所述，截至报告期末，公司主要在建工程正处于施工建设阶段，建设进
度符合预期，不存在延期转固情形。
  报告期内，公司使用权资产账面价值情况如下表所示：
                                                                 单位：万元
    项目
 湖北孝感新生产基地      10,082.91                    -              -            -
 广东惠州生产基地        1,263.07                    -              -            -
 江苏盛剑生产基地        1,813.78             1,777.21      2,271.89             -
电子化学品材料生产基地       629.73               150.35        267.76          81.40
 四川广汉生产基地               -               79.73         54.26         217.04
    其他                  -                    -        57.68         101.76
    合计          13,789.49             2,007.29      2,651.59        400.20
  由上表可知，公司2022年末较2021年末使用权资产账面价值有较大程度上升，
主要系公司租赁昆山工厂和孝感工厂导致，用于设备及关键零部件产能扩张；
建广东惠州基地和湖北孝感新基地，通过引入新型生产设备提升产品生产效率并
节省材料损耗，广东惠州基地和湖北孝感新基地厂房租赁使得当期使用权资产大
幅增加。
  五、公司同时持有一定规模货币资金及有息负债的原因及合理性，利息收
入及支出与存贷款规模是否匹配，公司受限资金规模与银行承兑汇票、借款规
模等是否匹配
  （一）公司同时持有一定规模货币资金及有息负债的原因及合理性
  最近一期末，公司同时持有货币资金32,007.02万元和有息负债83,156.72万元
（包括租赁负债）；货币资金中，非受限货币资金余额17,058.42万元。公司非受
限货币资金余额及有息负债余额情况如下：
                                                                   单位：万元
      项目          2024/9/30      2023/12/31      2022/12/31      2021/12/31
 非受限货币资金            17,058.42      50,064.22        40,100.77       48,680.24
  有息负债              83,156.72      41,813.87        19,874.31        6,252.24
非受限货币资金占
 有息负债比重
 注：此处有息负债包括短期借款、长期借款、一年内到期的非流动负债和租赁负债。
  由上表可知，公司存在公司最近一期末非受限货币资金余额较低而有息负债
余额较高的情形，主要原因系：
运维管理等业务，主要终端客户为国内半导体行业集团企业。半导体项目建设的
投资周期较长，整体付款周期相对较长，使得公司对营运资金需求较高，随着发
行人近年收入规模的逐渐增加，自有资金无法满足对营运资金的需求，因而通过
有息负债的方式满足部分资金需求。
发制造及相关资源化项目”“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目”等项
目，资金需求较高。
  综上所述，截至报告期末，公司同时持有一定规模货币资金及有息负债具有
一定合理性。
  （二）利息收入与存款规模匹配
  报告期内，公司利息收入与货币资金匹配情况如下：
                                                                   单位：万元
      项目          2024年1-9月       2023年度          2022年度          2021年度
财务费用-利息收入               240.72         366.29           521.48          675.84
年均货币资金余额             48,707.15      58,183.86        54,211.51       46,664.46
平均收益率                    0.66%         0.63%            0.96%           1.45%
 注1：年均货币资金余额=（期初货币资金余额+期末货币资金余额）/2；
 注2：2024年1-9月涉及的平均收益率指标计算均已年化处理。
  报告期内，中国人民银行公布的存款基准利率情况如下表所示：
 项目        活期存款
                     存款            存款            款         款          款
存款基准
 利率
  由上表可知，公司存款利息平均收益率高于人民银行公布的活期存款基准利
率，处于合理收益率区间。
  报告期内，公司货币资金主要用于日常经营管理流动资金收支及项目建设，
利息收入为流动资金、受限资金等产生的法定孳息。2021年度平均收益较其他三
年偏高，系2021年3月收到 IPO 募集资金，年均货币资金余额基数较低，同时当
期进行闲置资金现金管理，使得整体平均收益率偏高。2022年至2024年9月，公
司积极开展“上海盛剑电子专用材料研发制造及相关资源化项目”“国产半导体
制程附属设备及关键零部件项目”等项目，流动资金需求较高，使得整体平均收
益率下降。整体上看，发行人货币资金平均收益率、利息收入水平合理，货币资
金与利息收入匹配。
  （三）利息支出与贷款规模匹配
  报告期内，公司利息支出与有息负债规模匹配情况如下：
                                                                          单位：万元
    项目              2024年1-9月     2023年度        2022年度               2021年度
有息负债全部利息               1,111.10        831.69           467.42                219.36
有息负债平均余额              62,485.30     30,844.09      13,063.28                6,880.31
 平均资金成本率                 2.37%         2.70%            3.58%                 3.19%
  注1：有息负债平均余额=（期初有息负债余额+期末有息负债余额）/2；
  注2：2024年1-9月涉及的平均资金成本率指标计算均已年化处理；
  注3：有息负债全部利息包括租赁负债利息费用、借款利息支出等。
  报告期内，中国人民银行公布的一年期 LPR 情况如下表所示：
    项目               2024/9/30    2023/12/31    2022/12/31               2021/12/31
  一年期 LPR                 3.35%         3.45%            3.65%                  3.70%
  报告期内，公司综合平均资金成本率分别为3.19%、3.58%、2.70%和1.78%。
平均资金成本率整体呈下降趋势，与一年期 LPR 变化趋势一致。整体上看，发
行人平均资金成本率、利息支出水平合理，有息负债与利息支出匹配。
  （四）公司受限资金规模与银行承兑汇票、借款规模等匹配
  报告期内，公司受限资金为信用证保证金及孳息、银行承兑汇票保证金及孳
息、保函保证金及孳息、诉讼冻结款，公司受限资金未用于借款担保。
  公司银行承兑汇票保证金及孳息与银行承兑汇票规模匹配情况如下：
                                                                    单位：万元
   项目       2024/9/30       2023/12/31        2022/12/31          2021/12/31
银行承兑汇票保证金
  及孳息余额
期末应付票据余额     36,042.73        38,179.35           28,509.32           27,458.67
应付票据保证金比率      12.73%           12.39%              12.61%              10.24%
  报告期内，公司保证金金额与开具的票据金额比率维持在12%左右，公司需
缴纳保证金的银行承兑汇票与无需缴纳保证金的银行承兑汇票比例较为稳定，应
付票据保证金规模与票据支付规模相匹配。
  报告期内，公司信用证保证金及孳息与开立信用证规模匹配情况如下：
                                                                    单位：万元
    项目        2024/9/30       2023/12/31       2022/12/31         2021/12/31
信用证保证金及孳息
   余额
 开立信用证余额        20,000.00        20,000.00                    -                -
 信用证保证金比例           7.50%             7.50%                   -                -
  报告期内，公司缴纳信用证保证金金额根据开立信用证银行要求有所不同，
信用证保证金规模与开立信用证规模相匹配。
  六、报告期内公司经营活动产生的现金流净额波动较大、与净利润差异较
大的原因，结合公司资产负债情况、未来偿债安排等，说明公司后续是否存在
短期偿债风险
  （一）报告期内公司经营活动产生的现金流净额波动较大、与净利润差异
较大的原因
  报告期内，公司净利润和经营性现金流量净额之间的匹配情况如下：
                                                                    单位：万元
     项目             2024年1-9月            2023年度     2022年度           2021年度
         项目         2024年1-9月       2023年度       2022年度       2021年度
净利润                     9,187.82    16,542.13    13,031.11    15,235.10
加：资产减值准备                  75.39      1,175.90      -711.41      -303.03
信用减值损失                  1,681.55     5,263.37     4,936.25     2,912.57
固定资产折旧、油气资产折耗、
生产性生物资产折旧
使用权资产摊销                  986.69        883.48       717.63       296.02
无形资产摊销                   304.94        196.43       163.00       141.02
长期待摊费用摊销                 262.70        266.20        73.28             -
处置固定资产、无形资产和其
他长期资产的损失（收益以“-”           45.87          0.67             -        6.81
号填列）
固定资产报废损失（收益以“-”
号填列）
公允价值变动损失（收益以“-”
                                -            -            -       -72.90
号填列）
财务费用（收益以“-”号填列）         1,107.46       806.14       224.37       236.19
投资损失（收益以“-”号填列）           31.94         -46.03     -324.50      -461.74
递延所得税资产减少（增加以
                       -1,860.32     -1,058.61    -1,177.57     -285.03
“-”号填列）
递延所得税负债增加（减少以
“-”号填列）
存货的减少（增加以“-”号填
                      -25,506.34    -31,334.88   -17,187.46    -4,043.58
列）
经营性应收项目的减少（增加
                        -540.76     -41,143.77   -42,522.25   -28,058.63
以“-”号填列）
经营性应付项目的增加（减少
                      -28,730.69    45,521.22    23,476.93    16,297.31
以“-”号填列）
其他                      1,171.85       160.82       943.10       579.92
经营活动产生的现金流量净额         -38,921.71        22.75    -17,088.84    3,442.82
     报告期内，公司经营性净现金流分别为3,442.82万元、-17,088.84万元、22.75
万元和-38,921.71万元，低于各期净利润金额，主要原因系：
     一方面，公司收入和回款受下游客户立项及投资建设进度影响较大。2022
年，公司经营性应收项目增加较快，主要原因系公司向集成电路领域拓展，相关
项目和销售收入增加，该类项目受终端客户回款情况、客户内部请款流程等因素
影响，回款相对较慢，使得应收账款规模增长较快；同时公司因项目实施而向供
应商支付的现金上升，使得经营活动现金流出增加。2023年，公司积极催收应收
账款，并根据回款情况相应调整了上游供应商付款周期，使得经营活动产生的现
金流量净额转正。
  另一方面，随着公司2021年至2023年订单和经营业绩增长，公司存货余额增
加，存货对经营活动资金占用增大，减少了经营活动产生的现金流量净额。
性应付项目减少所致，其中存货增加主要系为响应下游客户需求适当备货，经营
性应付项目减少系备货等原因集中支付了部分供应商欠款。
  此外，公司2024年1-9月收入回款相对较少，主要由于下游客户结算周期存
在一定的季节性，下游在第四季度通常回款规模较大。同时又因备货等原因增加
部分付款，使得经营活动产生的现金流量净额为负。
  报告期内，公司积极催收应收账款，截至2025年2月28日，各期应收账款期
后回款情况如下：
                                                                 单位：万元
   项目
应收账款余额        139,723.18       148,790.69         111,407.17     74,618.98
期后回款金额        55,729.95        82,628.81          75,300.78     67,170.44
期后回款比例           39.89%           55.53%             67.59%        90.02%
  报告期内，公司应收账款期后催收情况良好，截至2025年2月28日，公司2024
年三季度末应收账款余额的期后回收率为39.89%。
  （二）结合公司资产负债情况、未来偿债安排等，说明公司后续是否存在
短期偿债风险
  报告期各期末，公司有息负债的构成情况如下表：
                                                                 单位：万元
   项目
  短期借款           42,693.84        34,688.72        15,971.93      4,504.25
一年内到期的长期借款          700.51             204.28         501.37       251.98
  长期借款           25,342.34         4,800.00           650.00      1,150.00
一年内到期的租赁负债        3,158.28             677.59         677.39       276.06
  租赁负债           11,261.75         1,443.29         2,073.61        69.95
     项目
     合计          83,156.72         41,813.88       19,874.30        6,252.24
  公司有息负债主要包括短期借款、长期借款及租赁负债等。报告期内，因公
司处于业务扩张期，报告期各期末，公司短期借款余额分别为4,504.25万元、
司经营规模的增长，公司对流动资金（包括应付供应商款项和应付职工薪酬等）
的需求上升，导致公司短期借款有所增加。
  报告期各期末，公司长期借款余额分别为1,150.00万元、650.00万元、4,800.00
万元和25,342.34万元，金额持续增加，主要系随着上海盛剑电子专用材料研发制
造及相关资源化项目、国产半导体制程附属设备及关键零部件项目建设推进，资
金需求量增加，长期借款提款额增加所致。
  截至2024年9月30日，公司长短期借款的余额合计为68,736.69万元，预计于
未来一年需要偿还的金额约为24,771.15万元，整体规模可控。
  报告期各期，公司主要偿债能力指标如下：
     项目
流动比率（倍）                1.56               1.57           1.79           2.23
速动比率（倍）                1.02               1.20           1.49           2.02
资产负债率（合并）           55.62%              53.76%        45.19%         38.35%
资产负债率（母公司）          54.41%              54.67%        45.26%         37.10%
     项目        2024年1-9月          2023年度          2022年度         2021年度
息税折旧摊销前利润（万
元）
利息保障倍数（倍）              9.34              22.79          31.18         79.86
  注：息税折旧摊销前利润＝利润总额+财务费用中的利息支出+折旧+摊销
  利息保障倍数=（利润总额+费用化利息支出）/（费用化利息支出+资本化利息支出）
  报告期各期末，公司流动比率分别为2.23倍、1.79倍、1.57倍和1.56倍，速动
比率分别为2.02倍、1.49倍、1.20倍和1.02倍，均呈下降趋势；公司资产负债率呈
一定上升趋势。公司于2021年上市并筹得募集资金，流动比率和速动比率较高，
随着报告期内公司营业收入规模的扩张以及厂房项目的建设，公司通过短期借款、
票据等方式补充流动资金，使得偿债能力指标存在一定下降。
  报告期内，发行人与同行业上市公司偿债能力指标比较如下：
        公司名称   2024年1-9月         2023年度     2022年度     2021年度
        正帆科技          1.37           1.36       1.39       1.72
        至纯科技          1.37           1.51       1.52       1.73
流动比率    京仪装备          2.23           3.28       1.81       2.14
        中科仪         未披露              3.57       2.66       1.89
        平均值           1.66           2.43       1.85       1.87
        发行人           1.56           1.57       1.79       2.23
        公司名称   2024年1-9月         2023年度     2022年度     2021年度
        正帆科技          0.68           0.65       0.81       1.04
        至纯科技          0.85           0.96       1.08       1.30
速动比率    京仪装备          1.18           2.15       0.79       1.22
        中科仪         未披露              2.82       2.16       1.40
        平均值           0.90           1.65       1.21       1.24
        发行人           1.02           1.20       1.49       2.02
        公司名称   2024年1-9月         2023年度     2022年度     2021年度
        正帆科技        62.57%         62.13%     59.47%     46.77%
        至纯科技        62.73%         57.49%     52.13%     45.92%
资产负债
        京仪装备        45.38%         32.41%     58.44%     49.44%
率（合并）
        中科仪         未披露            40.63%     44.24%     49.42%
        平均值        56.89%          48.17%     53.57%     47.89%
        发行人        55.62%          53.76%     45.19%     38.35%
  注：同行业可比公司数据来源于公开披露的定期报告。中科仪未披露2024年1-9月数据。
  报告期各期末，公司的流动比率、速动比率和合并资产负债率与同行业可比
公司整体接近，其中流动比率、速动比率除2021年外略低于可比公司平均值，资
产负债率除2021年外略高于可比公司平均值。主要原因系：2021年公司首次公开
发行募集资金到位，公司流动比率、速动比率较高；2022年起，随着公司业务扩
张以及固定资产投入，绿色厂务系统业务项目周期较长，对公司营运资本占用加
大，使得流动比率、速动比率有所下降，低于可比公司平均值。
   可比公司中，京仪装备2023年完成首次公开发行，募集资金到位使得其2023
年和2024年偿债能力指标较优。正帆科技和至纯科技2022年起业务规模扩张较快，
在执行订单备货及营运资金需求增加使得其2022年起流动比率、速动比率持续下
降，资产负债率持续上升。中科仪主要从事真空泵设备的研发生产和销售，业务
执行对营运资本占用相对较小，使得其偿债能力指标在报告期内保持稳定水平。
   （1）银行授信额度充足
   截至2024年12月31日，公司尚未使用的银行授信额度为13.22亿元，授信额
度主要来源于中国工商银行、中国银行、中国建设银行等主要国有银行和全国性
股份制银行。公司资信情况较好，尚未使用的银行授信额度充足。因此，即使未
来公司的业绩出现一定波动，公司持有的货币资金、应收账款、存货等流动资产
可以较快变现，充足的银行授信额度能够保障公司及时获取银行借款，满足公司
日常生产经营活动所需的周转资金，降低公司的经营风险，提升公司的偿债能力。
随着相关募投项目的落地投产，以及公司综合运用包括可转债在内的多种融资工
具，公司资本结构将得到持续改善，公司重大短期偿债风险及流动性风险较小。
别为4,500.00万元、15,923.54万元、55,578.94万元及48,031.91万元，公司偿还债
务支付的现金分别为6,100.00万元、4,750.00万元、33,150.00万元及19,325.35万元，
债务融资系公司筹资活动中重要的融资方式。另外，公司目前尚未使用的授信额
度，能够充分覆盖一年内到期的借款。
   （2）销售规模持续增长
   报告期内，公司实现营业收入分别为123,302.97万元、132,847.68万元、
趋势。发行人日常经营活动的资金需求预计也可通过经营活动产生的现金流入及
现有货币资金进行补充，未来的日常经营活动现金流可保持良性周转。
     （3）偿债风险
  针对公司的偿债风险，公司已经在募集说明书“第三节 风险因素”之“一、
与发行人相关的风险”之“（三）财务风险”之“4、偿债能力风险”进行充分披
露。
     七、中介机构核查情况
     （一）核查程序
  针对上述问题，保荐机构和申报会计师执行了以下核查程序：
动情况；获取主要客户应收账款的账龄、逾期和期后回款、坏账计提情况；通过公
开信息查询主要客户的涉诉、破产信息。
入情况及业务合同中的付款安排；了解报告期内主要客户的结算方式，核查各年度
主要客户的收入确认凭证和回款凭证等，判断客户的回款情况是否发生显著变化；
对主要客户的信用政策、回款情况进行分析，了解公司信用政策并分析报告期内应
收账款变动原因及一年以上未回款的原因。
背靠背结算项目与一般项目的回款周期，分析背靠背结算对公司结算周期的影响。
变动合理性以及应收账款坏账计提比率与同行业可比公司是否存在重大差异，分析
发行人应收账款坏账准备计提是否充分。
况；获取公司各报告期末在手订单情况，并与对应期末存货进行比较；查阅公司
库龄超过1年的存货明细，了解公司库龄超过1年存货的形成背景并分析尚未结转
的合理性，分析公司存在大额合同履约成本的合理性；查询可比上市公司存货跌
价准备计提情况，并与公司相关指标进行对比分析，核实公司存货跌价准备计提
是否充分；检查公司存货期后结转情况。
赁合同，分析公司固定资产、在建工程及使用权资产变动的原因；查阅同行业上市
公司折旧摊销政策，并与公司折旧摊销政策比对分析；分析公司在建工程变动的原
因，实地查看公司主要在建工程的施工状态，了解工程建设进度、预计转固时间，
判断是否存在延期转固情形。
币资金的存放情况、受限情况进行复核，银行函证核查比例为100%；查阅中国人
民银行存贷款利率等信息，结合中国人民银行公布的存贷款基准利率，分别对利息
收入与货币资金的匹配性、利息支出与有息负债的匹配性进行复核；查阅报告期内
公司有息负债明细和相关协议，分析有息负债利息支出的合理性；核查其他货币资
金对应的银行承兑汇票、信用证和保函的相关合同或协议，对票据开立、信用证开
立与保证金缴纳比例进行复核。
明细表，对现金流量表各项目的变动趋势进行分析；分析现金流量表中影响经营活
动现金净流量变动的因素，核实经营活动现金净流量波动的原因及合理性，分析经
营活动产生的现金流净额与净利润差异较大的原因以及合理性；查询同行业可比上
市公司偿债能力指标，结合公司资产负债情况及未来偿债安排，分析公司的短期偿
债能力及短期偿债风险。
  （二）核查意见
  经核查，保荐机构和申报会计师认为：
预算管理、资金安排、付款审批流程复杂、背靠背结算等原因回款较慢，使得账
龄1年以上应收账款占比提升。公司应收账款周转率低于正帆科技、京仪装备和
中科仪等同行业公司，与至纯科技接近具有合理性；部分总承包项目实际按照背
靠背条款执行的背景主要系总承包单位为了减小其资金压力和降低经营风险，符
合行业惯例，背靠背条款执行使得结算周期拉长。
背靠背结算等原因所致；部分客户存在逾期、涉诉、破产等特殊情况，公司对该
类信用状况明显恶化、未来回款可能性较低、已经发生信用减值等信用风险特征
明显不同的应收账款单独进行减值测试，计提坏账准备依据充分；公司与同行业
可比公司的坏账准备计提政策不存在重大差异，公司坏账准备计提充分。
年的存货形成背景、尚未结转的原因具有合理性；公司存在大额合同履约成本的
原因具有合理性，相关设备尚未安装或完成调试主要系项目合同外变更追加等原
因所致，不涉及纠纷或质量问题，部分项目与合同约定周期存在差异，具有合理
性；公司存货跌价计提充分，与同行业公司不存在较大差异。
备和电子及其他设备购入等所致，具有合理性，相关折旧摊销政策与同行业公司
不存在较大差异；公司在建工程变动主要系项目建设所致，在建工程中相关项目
建设进度符合预期，不存在延期转固情形。
项目建设资金需求较大，具有合理性，利息收入及支出与存贷款规模匹配，公司
受限资金规模与银行承兑汇票、借款规模等匹配。
主要系经营性应收项目的增加、存货的增加所致，原因具有合理性。公司短期偿
债风险较小。
   问题3.3：关于业务及经营情况
   根据申报材料，2021至2023年度，公司加权平均净资产收益率（扣非后）分
别为12.05%、8.61%及9.66%。
   请发行人结合最新业绩情况、折旧摊销、费用确认、减值计提等具体内容，
分析公司是否存在可能影响加权平均净资产收益率的因素，是否持续满足向不特
定对象发行可转债相关条件。
   请保荐机构及申报会计师进行核查并发表明确意见，说明核查方法、核查比
例及核查依据。
   【回复】
   一、报告期内公司业绩情况和最新业绩情况
   （一）最近三年及一期公司业绩情况
   报告期内，公司整体业绩经营情况较好，其中2021年至2023年度年均实现营
业收入规模为14.63亿元，年均实现净利润规模为1.49亿元，具体情况如下：
                                                               单位：万元
    项目        2024年1-9月         2023年度           2022年度        2021年度
   营业收入           99,367.51       182,599.81      132,847.68   123,302.97
   营业成本           70,446.14       134,026.16       95,637.24    89,746.06
  税金及附加             450.86              985.98       607.57       604.18
   销售费用            5,398.45         8,347.52        6,909.23     4,439.09
   管理费用            6,427.83         7,351.00        5,250.30     4,336.52
   研发费用            6,627.59        10,215.76        7,333.12     5,618.64
   财务费用             875.02              708.75       -200.39      -323.51
   其他收益            2,190.99         3,414.99         737.64       850.96
投资收益（损失以
                     -31.94              -7.06       264.45       295.20
 “-”号填列）
公允价值变动收益
（损失以“-”号填                 -                  -             -       72.90
    列）
信用减值损失（损失
                  -1,681.55        -5,263.37       -4,936.25    -2,912.57
 以“-”填列）
资产减值损失（损失
                     -75.39        -1,175.90         711.41       303.03
 以“-”填列）
   项目       2024年1-9月        2023年度            2022年度       2021年度
资产处置收益（损失
 以“-”填列）
  营业利润          9,544.07        17,932.65       14,087.86    17,484.70
 营业外收入              6.80              76.74        96.08          0.50
 营业外支出            179.52              49.19        34.00       121.00
  利润总额          9,371.34        17,960.19       14,149.94    17,364.20
 所得税费用            183.53         1,418.06        1,118.84     2,129.10
  净利润           9,187.82        16,542.13       13,031.11    15,235.10
归属于母公司股东
  的净利润
 非经常性损益         1,204.36         1,996.18        1,091.76     1,035.54
归属于母公司股东
的扣除非经常性损        7,942.66        14,548.05       11,939.35    14,199.56
 益的净利润
扣除非经常性损益
前加权平均净资产          5.66%              10.98%       9.40%       12.93%
  收益率
扣除非经常性损益
后加权平均净资产          4.92%              9.66%        8.61%       12.05%
  收益率
损益后的净利润呈现一定波动。
因系2021年下半年开始，随着需求增长放缓，面板价格开始回调；2022年以来国
际局势动荡、全球通胀等影响消费预期，使得下游需求回落，半导体显示相关项
目投产减少，半导体显示领域毛利率受行业周期影响存在一定下滑，因此当期公
司大力开拓集成电路和新能源领域客户，公司绿色厂务系统毛利率下降1.62个百
分点，同时销售费用率和研发费用率合计上升2.56个百分点。
净利润上升趋势基本一致，净利润增幅略低于营业收入的增幅主要原因系公司绿
色厂务系统毛利率下降1.61个百分点，同时研发费用率上升2.17个百分点。
强属地化配套，新建广东惠州基地和湖北孝感基地，通过引入新型生产设备提升
产品生产效率并节省材料损耗，有效降低单位生产成本、节省产品物流运输费用。
     报告期内，公司业务毛利率变动分析详见本问询回复之“问题3.1：关于业
务及经营情况”之“一”之“（一）”内容，公司期间费用率变动分析详见本问询
回复之“问题3.3：关于业务及经营情况”之“二”之“（二）”内容。
     （二）报告期内公司非经常性损益变动情况
     报告期内，公司非经常性损益整体对净利润影响较小，2021年至2023年年均
归属于母公司股东的非经常性损益净额为1,374.49万元，占归属于母公司股东的
净利润的比例平均为9.08%，具体明细如下：
                                                              单位：万元
           项目
非流动性资产处置损益，包括已计提资产减值
                               -197.63      -48.85            -      -6.81
准备的冲销部分
计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营
业务密切相关、符合国家政策规定、按照确定
的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府
补助除外
除同公司正常经营业务相关的有效套期保值
业务外，非金融企业持有金融资产和金融负债
                                      -     46.03      324.50      534.64
产生的公允价值变动损益以及处置金融资产
和金融负债产生的损益
单独进行减值测试的应收款项减值准备转回             192.54            -           -          -
因税收、会计等法律、法规的调整对当期损益
                                      -           -    175.67            -
产生的一次性影响
除上述各项之外的其他营业外收入和支出               -20.63      -0.01      -25.19    -120.50
其他符合非经常性损益定义的损益项目                16.40      18.58       15.49        6.92
小计                             1,392.35   2,328.96    1,299.89    1,258.28
减：所得税影响额                        157.47     327.24      208.13      222.74
少数股东损益影响额(税后)                    30.51       5.54             -          -
归属于母公司股东的非经常性损益净额              1,204.36   1,996.18    1,091.76    1,035.54
占归属于母公司股东的净利润的比例               13.17%     12.07%       8.38%       6.80%
     报告期内，公司非经常性损益金额占归属于母公司股东的净利润的比例相对
较小，对加权平均净资产收益率的波动影响较小，公司非经常损益主要来自于政
府补助。
  二、报告期内公司折旧摊销、费用、减值计提情况
  （一）报告期内公司折旧摊销情况
  报告期内，公司折旧摊销金额整体规模较小，对净利润的影响较小，其中公
司2021年度至2023年度平均折旧摊销金额为2,562.17万元，折旧摊销占营业收入
比例平均为1.68%，具体情况如下：
                                                                       单位：万元
 项目              占营业                占营业                  占营业                占营业
       金额        收入比      金额        收入比        金额        收入比      金额        收入比
                  例                  例                    例                  例
固定资
产折旧
使用权
资产折    986.69    0.99%    883.48      0.48%    717.63    0.54%    296.02    0.24%
 旧
无形资
产折旧
长期待
摊费用    262.70    0.26%    266.20      0.15%     73.28    0.06%          -   0.00%
摊销
 合计   3,946.64   3.97%   4,064.10    2.23%    2,222.59   1.67%   1,399.83   1.14%
  报告期内，公司折旧摊销金额随营业收入规模增长而持续增加，折旧摊销占
营业收入比重呈持续上升趋势。公司固定资产、无形资产和长期待摊费用增加主
要系公司为生产、研发所购置的厂房、设备、软件和装修等增加所致；公司使用
权资产增加主要系公司为生产、研发所租赁的厂房等增加所致。
转为固定资产，导致2022年和2023年折旧摊销金额较2021年大幅增长。
  公司折旧摊销金额影响最大的因素是固定资产折旧，公司固定资产折旧年限
主要根据自身经营状况进行确定，并综合考虑行业内的普遍状况，具体折旧年限
与同行业可比公司比较情况如下：
 类型         项目          正帆科技                 至纯科技        京仪装备          中科仪              盛剑科技
          折旧方法         年限平均法             年限平均法               -       年限平均法            年限平均法
房屋及建
        折旧年限（年）              20                 20           -            40             20-30
 筑物
        残值率（%）                5                 5            -               5                5
          折旧方法         年限平均法             年限平均法          年限平均法        年限平均法            年限平均法
机器设备    折旧年限（年）              5-10               10          10          5-14                 5-10
        残值率（%）                5                 5            5               5                5
          折旧方法         年限平均法             年限平均法          年限平均法        年限平均法            年限平均法
电子及其
        折旧年限（年）              3-5               3-5          3-5          5-8                 3-5
他设备
        残值率（%）                5                 5            5               5                5
          折旧方法         年限平均法             年限平均法          年限平均法        年限平均法            年限平均法
运输工具    折旧年限（年）               4                4-7          10          5-10                 3-5
        残值率（%）                5                 5            5               5                5
     注：同行业可比公司数据来源于公开披露的定期报告
      报告期内，公司固定资产折旧执行的会计估计与公司实际经营情况相符，固
 定资产折旧方法、折旧年限、残值率等与同行业公司不存在重大差异。
      （二）报告期内公司期间费用率变化
      报告期内，公司期间费用整体规模较大，对公司净利润影响金额较大，具体
 情况如下：
                                                                                    单位：万元
项目
          金额        费用率            金额         费用率         金额        费用率            金额          费用率
销售费用     5,398.45    5.43%        8,347.52      4.57%    6,909.23    5.20%        4,439.09        3.60%
管理费用     6,427.83    6.47%        7,351.00      4.03%    5,250.30    3.95%        4,336.52        3.52%
研发费用     6,627.59    6.67%    10,215.76         5.59%    7,333.12    5.52%        5,618.64        4.56%
财务费用      875.02     0.88%          708.75      0.39%     -200.39   -0.15%         -323.51        -0.26%
合计      19,328.89   19.45%    26,623.02       14.58%    19,292.26   14.52%       14,070.73    11.41%
     注：费用率=期间费用/营业总收入
 率呈上升趋势。
      报告期内，公司销售费用分别为4,439.09万元、6,909.23万元、8,347.52万元
和5,398.45万元，其中2021年至2023年呈逐年增长趋势，主要原因系：1、公司经
营规模扩大，销售人员增加，工资及福利费用随之增长；2、为增加销售规模，
公司加大客户开拓力度，导致业务招待费增加；3、随着公司业务规模扩大，相
关安装及售后维护费用增加。
  报告期内，公司管理费用分别为4,336.52万元、5,250.30万元、7,351.00万元
和6,427.83万元，其中2023年度管理费用增长较多，主要原因系：1、2022年底嘉
定研发中心及配套办公基地建设工程达到预定可使用状态，公司管理和研发等部
门搬入新办公室，使得折旧摊销及办公费用增加；2、公司业务规模增加，管理
人员职工薪酬增加。
  报告期内，公司研发费用分别为5,618.64万元、7,333.12万元、10,215.76万元
和6,627.59万元，其中，2021年至2023年呈明显增长趋势，主要原因系：1、为推
动公司技术迭代和产品升级，公司通过持续加大研发投入，以保持产品的市场竞
争力，公司研发人员数量持续增加，职工薪酬随之增长；2、公司秉持“行业延
伸+产品延伸”的发展战略，进一步深化在半导体产业链的延伸布局，加大在半
导体附属设备及关键零部件相关领域的研发及验证测试投入。
  报告期内，公司财务费用分别为-323.51万元、-200.39万元、708.75万元和
用一直保持在较低水平。2021年至2023年，公司利息费用呈一定上升趋势，主要
系公司根据业务发展和项目建设需求，银行借款增加所致。
  （三）报告期内公司减值计提情况
  报告期内，公司信用减值和资产减值整体对公司净利润影响较大，其中2021
年至2023年信用减值损失和资产减值损失平均金额为4,424.55万元，对净利润的
平均影响比例为-29.49%，具体情况如下：
                                                              单位：万元
     项目        2024年1-9月        2023年度           2022年度       2021年度
一、信用减值损失
应收票据坏账损失            -31.52               -8.75        -6.25        6.21
应收账款坏账损失          -1,578.73          -5,347.22    -4,849.44    -2,887.54
其他应收款坏账损失           -71.30              92.60       -80.56       -31.24
      项目      2024年1-9月        2023年度           2022年度       2021年度
二、资产减值损失
存货跌价损失及合同履约
                   -16.13            -780.35      -509.54       -95.76
成本减值损失
合同资产减值损失           -59.26            -395.54      1,220.95      398.79
      合计         -1,756.94          -6,439.27    -4,224.84    -2,609.53
  由上表可知，公司减值计提主要包括应收账款坏账损失、存货跌价损失及合
同履约成本减值损失和合同资产减值损失等。
  报告期内，公司信用减值损失主要系应收账款坏账准备。
  报告期内，公司应收账款坏账准备金额持续增长，主要原因系随着业务销售
规模提升，应收账款余额持续增长，使得按照账龄计提的应收账款坏账损失增加。
公司下游客户为大型国企、知名上市公司或行业龙头，信用状况较好，坏账风险
可能性较小。
  报告期内，公司应收款项坏账计提政策与同行业可比公司不存在明显差异，
应收账款坏账计提比例均高于可比公司平均值，不存在应计提未计提的信用减值
损失。
  公司应收账款的具体情况详见本问询回复“问题3.2”之“二、报告期内公
司应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因，以及涉诉、破产、逾期情况，
是否已出现较大信用风险，对于该类客户的坏账计提情况及依据，结合同行业可
比公司计提，分析公司坏账准备计提是否充分”内容。
  截至报告期末，公司存货状况良好，存货跌价准备计提充分，存货跌价准备
计提比例与同行业公司相比不存在较大差异，不存在应计提未计提的资产减值损
失。
  公司存货跌价损失及合同履约成本减值损失具体情况详见本问询回复“问题
过1年存货的形成背景、尚未结转的合理性，公司存在大额合同履约成本的原因，
相关设备尚未安装或完成调试的影响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约
定周期是否存在差异；结合公司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明公
司存货跌价计提是否充分，与同行业公司是否存在较大差异”内容。
  合同资产主要系尚未达到收款条件的质保金。2021年和2022年，公司合同资
产减值损失发生净转回，主要系部分质保金达到收款条件，转入应收账款或已回
款所致。公司按照信用风险特征组合计提减值准备，合同资产相关减值已充分计
提。
     三、分析公司是否存在可能大幅影响加权平均净资产收益率的因素，是否
持续满足向不特定对象发行可转债相关条件
  发行人2021年度、2022年度和2023年度净利润（扣除非经常性损益后孰低）
分别为14,199.56万元、11,939.35万元和14,548.05万元，最近三年持续盈利；发行
人2021年度、2022年度和2023年度加权平均净资产收益率（扣除非经常性损益后
孰低）分别为12.05%、8.61%和9.66%，平均值为10.11%。2024年1-9月加权平均
净资产收益率（扣除非经常性损益后孰低）为4.92%，按年化测算公司2024年度
加权平均净资产收益率（扣除非经常性损益后孰低）为6.56%。
  报告期内公司经营状况良好，业绩保持增长趋势；公司期间费用金额随营业
规模增长，与公司业务规模相匹配；公司折旧摊销政策、应收账款坏账和存货跌
价计提比例与同行业可比上市公司相比不存在较大差异，不存在可能大幅影响加
权平均净资产收益率的因素。
  公司客户群体较为稳定，结合公司以前年度收入确认分布情况，第四季度收
入通常占比较大；同时，截至2024年9月30日，公司在手订单金额合计109,349.60
万元（含税），因此，公司预计2024年度业务规模将保持稳健的态势。按扣除非
经常性损益前后孰低的净利润计算，2022-2024年加权平均净资产收益率平均值
预计不低于6%，将持续满足向不特定对象发行可转债的盈利要求。
  四、中介机构核查情况
  （一）核查程序
  针对上述问题，保荐机构和申报会计师执行了以下核查程序：
经常性损益具体内容以及折旧摊销、费用确认、减值计提等具体内容。
展变化情况、企业市场开拓能力等分析业绩变化情况。
  （二）核查意见
  经核查，保荐机构和申报会计师认为：
与业务规模增长匹配，不存在可能大幅影响加权平均净资产收益率的因素。
损益前后孰低的净利润计算，公司预计2022-2024年加权平均净资产收益率平均
值不低于6%，能够满足向不特定对象发行可转债的盈利要求。
  问题4：关于财务性投资
  根据申报材料，报告期末，公司其他权益工具投资为5,818.27万元，主要系
投资成都瑞波科光电有限公司、西安奕斯伟材料科技股份有限公司。
  请发行人说明：
        （1）相关对外投资标的在业务、技术等方面与公司主营业务
的具体关联及协同情况，是否属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投
资；
 （2）本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和拟投入的财务
性投资情况，是否从本次募集资金总额中扣除，结合相关投资情况分析公司是否
满足最近一期末不存在金额较大财务性投资的要求。
  请保荐机构及申报会计师根据《证券期货法律适用意见第18号》第1条进行
核查并发表明确意见。
  【回复】
  一、相关对外投资标的在业务、技术等方面与公司主营业务的具体关联及
协同情况，是否属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资
  截至报告期末，公司其他权益工具投资为5,818.27万元，主要为公司对成都
瑞波科和西安奕斯伟的股权投资。
  （一）成都瑞波科在业务、技术等方面与公司主营业务的具体关联及协同
情况，公司对其投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资
  成都瑞波科光电有限公司提供半导体显示领域的光学解决方案，该公司致力
于显示光学解决方案（OLED 位相延迟片等）的研究和生产，主要的技术方向为
显示屏表面处理技术、显示屏位相差膜和车载抬头显示光波导解决方案。
以提升公司产品在成都瑞波科后续业务合作的竞争力
  成都瑞波科是半导体行业新型显示科技企业，其“瑞波科总部及高机能半导
体材料研发制造基地项目”之一期拟建设光学膜生产线，光学膜生产线之首条产
线已于2024年上半年完成设备安装。
  成都瑞波科生产过程中会产生酸性废气、碱性废气和有机废气等工艺废气，
因此其生产经营中需绿色厂务系统进行工艺废气处理，本次投资可以提升公司产
品在成都瑞波科后续业务合作的竞争力。
  截至本问询回复出具之日，公司已与成都瑞波科全资子公司成都瑞波科材料
科技有限公司签署《战略合作框架协议》，双方约定成都瑞波科在其新工厂投建
和现有工厂改扩建前，优先与公司进行技术交流，优先采购公司绿色厂务系统
产品与服务。
客户基本一致，双方在客户渠道上可以进一步协同
  成都瑞波科主要客户为半导体显示公司，公司深耕半导体工艺废气治理领域
多年，持续服务于京东方、华星光电、惠科光电、天马微电子等业内领军企业，
成都瑞波科主要客户与公司在半导体显示领域主要客户基本一致，双方在客户渠
道上可以进一步协同。
  截至本问询回复出具之日，公司已与成都瑞波科全资子公司成都瑞波科材
料科技有限公司签署《战略合作框架协议》，双方约定将积极交流、分享丰富的
行业经验、优质的客户资源，促进双方业务的快速发展。
半导体显示材料的技术交流，提升公司在半导体显示材料的技术竞争力
  公司积极布局电子化学品材料业务，公司电子化学品材料主要规划聚焦于剥
离液、蚀刻液、清洗液等，下游应用领域包括集成电路、半导体显示等，主要用
于显影、蚀刻、清洗等制造工艺。
  成都瑞波科产品为半导体显示前端关键材料，本次投资可以加强双方在半导
体显示材料的技术交流，提升公司在半导体显示材料的技术竞争力。
  截至本问询回复出具之日，公司已与成都瑞波科全资子公司成都瑞波科材
料科技有限公司签署《战略合作框架协议》，双方约定在半导体附属设备及关键
零部件新产品开发、新技术探讨、客户验证、产品采购及售后运维服务体系搭
建等领域加强交流探讨与业务合作，促进各自技术与管理水平的进一步提升；
在半导体材料领域联合攻关、联合研发及共同开发进一步深化合作。
  因此，公司对成都瑞波科的投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的
产业投资。
   （二）西安奕斯伟在业务、技术等方面与公司主营业务的具体关联及协同
情况，公司对其投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资
   西安奕斯伟专注于12英寸硅片的研发、生产和销售，基于截至2024年三季度
末产能和2023年月均出货量统计，西安奕斯伟均为中国大陆最大的12英寸硅片厂
商，相应产能和月均出货量同期全球占比分别约为7%和4%。西安奕斯伟产品广
泛应用于 NAND Flash/DRAM/Nor Flash 等存储芯片、CPU/GPU/手机 SOC/嵌入
式 MCU 等逻辑芯片、电源管理、显示驱动、CIS 等多个品类芯片制造，最终应
用于智能手机、个人电脑、数据中心、物联网、智能汽车等终端产品。
本次投资可以提升公司产品在西安奕斯伟及其关联方业务合作的竞争力
   西安奕斯伟生产过程中会产生酸性废气、碱性废气、外延废气等工艺废气，
因此其生产经营中需绿色厂务系统进行工艺废气处理。西安奕斯伟控股股东为北
京奕斯伟科技集团有限公司，除12英寸硅片业务外，北京奕斯伟科技集团有限公
司其他业务为芯片研发设计及销售业务、板级系统封测业务、显示驱动芯片封测
业务等相关业务。报告期内，公司对西安奕斯伟及其关联方销售绿色厂务系统形
成收入情况如下：
                                                          单位：万元
    项目        2024年1-9月       2023年度         2022年度       2021年度
销售收入              1,665.49        3,310.59     1,376.29            -
   根据西安奕斯伟未来发展规划，其到2035年将打造2至3个核心制造基地、若
干座现代化的智能制造工厂，实现更优经济规模。
   公司深耕半导体工艺废气治理领域多年，持续服务于半导体领军企业，积累
了领先的设计能力、专业的管理团队及丰富的实战经验，奠定了公司在国内半导
体产业工艺废气治理领域较高的行业地位。本次投资可以提升公司产品在西安奕
斯伟及其关联方业务合作的竞争力。
   截至本问询回复出具之日，公司已与西安奕斯伟达成战略合作关系，如西
安奕斯伟后续有绿色厂务系统相关需求，双方将深入进行业务合作探讨。
一致，双方在客户渠道上可以进一步协同
  西安奕斯伟主要客户为集成电路晶圆代工厂商和存储 IDM 厂商，公司深耕
半导体工艺废气治理领域多年，持续服务于中芯国际、华虹半导体、格科微、卓
胜微、长电科技、士兰微电子等业内领军企业，西安奕斯伟主要客户与公司在集
成电路领域主要客户基本一致，双方在客户渠道上可以进一步协同。
体制造行业的技术竞争力
  基于国内明确的晶圆厂扩建计划，预计2026年中国大陆地区对12英寸硅片的
需求将超过300万片/月，占届时全球12英寸硅片需求的1/3，其中以中芯国际、华
虹集团、长江存储、长鑫存储为代表的全部内资晶圆厂12英寸硅片需求将超过260
万片/月。
  本次投资后，公司将加强双方在半导体制造行业的技术交流，提高公司在半
导体制造行业的技术竞争力。
  截至本问询回复出具之日，公司已与西安奕斯伟达成战略合作关系，西安
奕斯伟积极为公司半导体制程附属设备及关键零部件产品（工艺废气处理设备、
温控设备、真空设备等）提供应用场景、验证测试等便利条件；在半导体材料
方面，双方达成技术合作和产品联合开发意向。
  因此，公司对西安奕斯伟的投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的
产业投资。
  二、本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和拟投入的财
务性投资情况，是否从本次募集资金总额中扣除
次可转债发行的相关议案，本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前，发行
人不存在新投入和拟投入的财务性投资。
  （一）财务性投资及类金融业务认定标准
  根据《证券期货法律适用意见第18号》第1条的相关规定，财务性投资的认
定如下：
  （1）财务性投资包括但不限于：投资类金融业务；非金融企业投资金融业
务（不包括投资前后持股比例未增加的对集团财务公司的投资）；与公司主营业
务无关的股权投资；投资产业基金、并购基金；拆借资金；委托贷款；购买收益
波动大且风险较高的金融产品等。
  （2）围绕产业链上下游以获取技术、原料或者渠道为目的的产业投资，以
收购或者整合为目的的并购投资，以拓展客户、渠道为目的的拆借资金、委托贷
款，如符合公司主营业务及战略发展方向，不界定为财务性投资。
  （3）上市公司及其子公司参股类金融公司的，适用本条要求；经营类金融
业务的不适用本条，经营类金融业务是指将类金融业务收入纳入合并报表。
  （4）基于历史原因，通过发起设立、政策性重组等形成且短期难以清退的
财务性投资，不纳入财务性投资计算口径。
  （5）金额较大是指，公司已持有和拟持有的财务性投资金额超过公司合并
报表归属于母公司净资产的百分之三十（不包括对合并报表范围内的类金融业务
的投资金额）。
  （6）本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入和拟投入的财务
性投资金额应当从本次募集资金总额中扣除。投入是指支付投资资金、披露投资
意向或者签订投资协议等。
  （7）发行人应当结合前述情况，准确披露截至最近一期末不存在金额较大
的财务性投资的基本情况。
  根据《监管规则适用指引——发行类第7号》第1条的相关规定，除人民银行、
银保监会、证监会批准从事金融业务的持牌机构为金融机构外，其他从事金融活
动的机构均为类金融机构。类金融业务包括但不限于：融资租赁、融资担保、商
业保理、典当及小额贷款等业务。
  与公司主营业务发展密切相关，符合业态所需、行业发展惯例及产业政策的
融资租赁、商业保理及供应链金融，暂不纳入类金融业务计算口径。
  （二）本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和拟投入的
财务性投资情况，是否从本次募集资金总额中扣除
  公司于2024年1月22日召开第二届董事会第二十九次会议，审议通过本次向
不特定对象发行可转债的相关事项。自本次发行相关董事会决议日前六个月起至
今（即自2023年7月22日至今），经过逐项对照核查，公司不存在已实施或拟实施
的财务性投资与类金融业务，具体分析如下：
  公司主营业务为专注于半导体工艺废气治理系统及关键设备的研发设计、加
工制造、系统集成及运维管理，不属于类金融机构，未进行类金融业务。
  发行人不存在投资金融业务的情况。
  自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，发行人不存在与公司主营业
务无关的股权投资的情况。
  截至最近一期期末，公司对外投资情况如下表：
 出资时点           被投资方          持股比例     会计处理方法
  自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，发行人投资西安奕斯伟并持
有西安奕斯伟0.06%股权，投资金额为1,500.00万元，该项投资属于公司主营业务
相关的股权投资，具体分析详见本题回复之“一、相关对外投资标的在业务、技
术等方面与公司主营业务的具体关联及协同情况，是否属于围绕产业链上下游以
获取渠道为目的的产业投资”之“（二）西安奕斯伟在业务、技术等方面与公司
主营业务的具体关联及协同情况，公司对其投资属于围绕产业链上下游以获取渠
道为目的的产业投资”内容。
  发行人投资成都瑞波科的时间为2022年6月，在自本次发行相关董事会决议
日前六个月之日（即2023年7月22日）之前。
  因此，发行人上述股权投资均不属于本次发行相关董事会决议日前六个月起
至今与公司主营业务无关的股权投资，相关金额无需从本次募集资金总额中扣除。
  自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，发行人不存在设立或投资产
业基金、并购基金的情形。
  自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，发行人未发生拆借资金。
  自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，公司不存在将资金以委托贷
款的形式借予他人的情况。
  自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，公司不存在购买收益波动大
且风险较高的金融产品的情形。
  截至本问询回复出具之日，公司不存在拟实施财务性投资的相关安排。
  自本次发行董事会前六个月至本问询回复出具之日，公司不存在其他对外投
资情况，公司不存在拟实施的财务性投资。
  三、公司最近一期末不存在持有财务性投资情况，满足最近一期末不存在
金额较大财务性投资的要求
  公司最近一期末不存在持有财务性投资情况，截至最近一年末和最近一期末，
公司可能涉及财务性投资的主要会计科目情况如下：
                                               单位：万元
   项目      2024年9月30日         2023年12月31日   是否为财务性投资
 其他应收款             1,789.09             1,182.34       否
 其他流动资产            6,218.18             2,547.32       否
其他权益工具投资           5,818.27             4,318.27       否
其他非流动资产           11,354.25             6,577.43       否
  （1）其他应收款
  截至最近一年末和最近一期末，公司其他应收款具体如下：
                                                       单位：万元
   项目        2024年9月30日           2023年12月31日       是否为财务性投资
 保证金、押金            1,046.64              1,065.80      否
   备用金               858.53                157.38      否
   其他                 45.47                 49.41      否
 其他应收款余额           1,950.63              1,272.59      否
 减：坏账准备              161.54                 90.24      /
其他应收款账面净值          1,789.09              1,182.35      /
  其他应收款按款项性质分类主要为保证金、押金及备用金等，公司保证金、
押金主要系公司业务开展过程中根据要求提供的投标保证金、租赁押金等。备用
金主要系公司员工在拓展业务过程中如出差、业务招待等提前领用的备用资金。
因此，其他应收款不属于财务性投资。
  （2）其他流动资产
  截至最近一年末和最近一期末，公司其他流动资产具体如下：
                                                       单位：万元
   项目        2024年9月30日           2023年12月31日       是否为财务性投资
  预付费用               487.10               576.55       否
 待抵扣进项税            3,905.87              1,948.71      否
  预缴税费             1,825.22                22.06       否
   合计              6,218.18              2,547.32      /
  公司其他流动资产主要为增值税待抵扣进项税、预缴所得税、房租及其他，
其他流动资产不属于财务性投资。
  （3）其他权益工具投资
  截至最近一年末和最近一期末，公司其他权益工具投资具体情况如下：
                                                        单位：万元
   项目        2024年9月30日         2023年12月31日          是否为财务性投资
成都瑞波科光电有限
   公司
西安奕斯伟材料科技
 股份有限公司
   合计               5,818.27           4,318.27          /
光学解决方案（OLED 位相延迟片等）的研究和生产，主要的技术方向为显示屏
表面处理技术、显示屏位相差膜和车载抬头显示光波导解决方案。该公司研发的
高端光学膜主要应用于 LCD、OLED 等半导体显示领域，其与公司半导体显示
业务具有潜在的产业协同。
司主要从事12英寸硅单晶抛光片和外延片的研发、制造与销售。产品广泛应用于
电子通讯、新能源汽车、人工智能等领域所需要的存储芯片、逻辑芯片、图像传
感器、显示驱动芯片及功率器件等。其与公司集成电路业务具有潜在的产业协同。
  公司其他权益工具投资属于在半导体显示及集成电路领域或产业链上下游
的产业投资，系围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资。成都瑞波科光
电有限公司、西安奕斯伟材料科技股份有限公司与公司在渠道等方面具有协同作
用，符合公司主营业务及战略发展方向，不属于财务性投资。
  （4）其他非流动资产
  截至最近一年末和最近一期末，公司其他非流动资产情况如下：
                                                        单位：万元
   项目       2024年9月30日         2023年12月31日           是否为财务性投资
  合同资产            7,005.24            6,742.29          否
预付长期资产款           5,049.54             509.37           否
   合计            12,054.78            7,251.66          否
 减：减值准备            700.52              674.23           /
  账面净值           11,354.25            6,577.43          /
  公司其他非流动资产中，合同资产系已确认收入但尚未超过质保期且到期期
限一年以上的应收质保金款项；预付长期资产款系公司预付的设备等长期资产款
项。因此，公司其他非流动资产不属于财务性投资。
  综上所述，公司最近一期末及最近一年末不存在金额较大的财务性投资。
  四、中介机构核查情况
  （一）核查程序
  针对上述问题，保荐机构和申报会计师执行了以下核查程序：
—发行类第7号》第1条等关于财务性投资及类金融业务的相关规定及问答，了解
财务性投资（包括类金融业务）认定的要求并进行逐条核查。
决议日前六个月至今，发行人是否存在实施或拟实施财务性投资及类金融业务的
情况。
景和原因。
情况等。
  （二）核查意见
  经核查，保荐机构和申报会计师认为：
为目的的产业投资，符合公司主营业务及战略发展方向，不属于财务性投资。
实施或拟实施的财务性投资及类金融业务的情形，不涉及须扣减募集资金规模的
情形；发行人最近一期末不存在持有金额较大、期限较长的财务性投资的情形。
则适用指引——发行类第7号》第1条的相关规定，具体如下：
  《证券期货法律适用意见第18号》第1条              发行人情况
（一）财务性投资包括但不限于：投资类金融业务；
非金融企业投资金融业务（不包括投资前后持股比
                             截至报告期末，发行人不存在《证券期
例未增加的对集团财务公司的投资）；与公司主营
                             货法律适用意见第18号》第1条列示的
业务无关的股权投资；投资产业基金、并购基金；
                             财务性投资。
拆借资金；委托贷款；购买收益波动大且风险较高
的金融产品等。
（二）围绕产业链上下游以获取技术、原料或者渠
                             公司对外投资属于围绕产业链上下游
道为目的的产业投资，以收购或者整合为目的的并
                             以获取技术、原料或者渠道为目的的产
购投资，以拓展客户、渠道为目的的拆借资金、委
                             业投资，符合公司主营业务及战略发展
托贷款，如符合公司主营业务及战略发展方向，不
                             方向，不属于财务性投资。
界定为财务性投资。
（三）上市公司及其子公司参股类金融公司的，适
                             截至报告期末，发行人不存在参股类金
用本条要求；经营类金融业务的不适用本条，经营
                             融公司的情形。
类金融业务是指将类金融业务收入纳入合并报表。
（四）基于历史原因，通过发起设立、政策性重组
                             截至报告期末，发行人不存在基于历史
等形成且短期难以清退的财务性投资，不纳入财务
                             原因形成的财务性投资。
性投资计算口径。
（五）金额较大是指，公司已持有和拟持有的财务
性投资金额超过公司合并报表归属于母公司净资
                             发行人不存在财务性投资事项。
产的百分之三十（不包括对合并报表范围内的类金
融业务的投资金额）。
（六）本次发行董事会决议日前六个月至本次发行
                             自本次发行董事会决议日前六个月至
前新投入和拟投入的财务性投资金额应当从本次
                             今，发行人不存在实施或拟实施财务性
募集资金总额中扣除。投入是指支付投资资金、披
                             投资。
露投资意向或者签订投资协议等。
（七）发行人应当结合前述情况，准确披露截至最
近一期末不存在金额较大的财务性投资的基本情        发行人不存在财务性投资事项。
况。
《监管规则适用指引——发行类第7号》第1条              发行人情况
（一）除人民银行、银保监会、证监会批准从事金
融业务的持牌机构为金融机构外，其他从事金融活
                             截至报告期末，发行人不存在类金融业
动的机构均为类金融机构。类金融业务包括但不限
                             务。
于：融资租赁、融资担保、商业保理、典当及小额
贷款等业务。
（二）发行人应披露募集资金未直接或变相用于类
金融业务的情况。对于虽包括类金融业务，但类金
融业务收入、利润占比均低于30%，且符合下列条
件后可推进审核工作：
                             发行人本次募集资金不存在直接或变
新投入和拟投入类金融业务的金额（包含增资、借
                             相用于类金融业务的情形
款等各种形式的资金投入）应从本次募集资金总额
中扣除。
金到位36个月内，不再新增对类金融业务的资金投
入（包含增资、借款等各种形式的资金投入） 。
（三）与公司主营业务发展密切相关，符合业态所
                             截至报告期末，发行人不存在类金融业
需、行业发展惯例及产业政策的融资租赁、商业保
                             务。
理及供应链金融，暂不纳入类金融业务计算口径。
发行人应结合融资租赁、商业保理以及供应链金融
的具体经营内容、服务对象、盈利来源，以及上述
业务与公司主营业务或主要产品之间的关系，论证
说明该业务是否有利于服务实体经济，是否属于行
业发展所需或符合行业惯例。
（四）保荐机构应就发行人最近一年一期类金融业
务的内容、模式、规模等基本情况及相关风险、债
                            截至报告期末，发行人不存在类金融业
务偿付能力及经营合规性进行核查并发表明确意
                            务。
见，律师应就发行人最近一年一期类金融业务的经
营合规性进行核查并发表明确意见。
      问题 5.1：其他
      请公司在募集说明书中披露，持股 5%以上股东或董事、监事、高管是否参
与本次可转债发行认购。若参与，披露在本次可转债认购前后六个月内是否存在
减持上市公司股份或已发行可转债的情况或者安排；若不存在，出具承诺并披露。
      请保荐机构及发行人律师进行核查并发表明确意见。
      【回复】
      一、发行人持股 5%以上股东或董事、监事、高管参与本次可转债发行认购
情况
      截至本问询回复出具之日，除独立董事不参与本次可转债发行认购外，公司
持股 5%以上股东或董事、监事、高管均将在满足相关法律法规的要求，根据市
场情况决定是否参与公司本次可转换公司债券的认购，具体认购情况如下：
                                     是否参与本次可转债
序号         姓名          任职、身份
                                        发行认购
                  控股股东、实际控制人、董事长、总
                    经理、持股 5%以上的股东
  注：截至本问询回复出具之日，发行人持股 5%以上股东仅为发行人控股股东、实际控
制人张伟明。
      二、发行人持股 5%以上股东或董事、监事、高管减持情况
      截至本问询回复出具之日前六个月内，除因发行人实施 2021 年股权激励计
划限制性股票回购注销，章学春、聂磊、许云、韩香云、郁洪伟所持有的限售流
通股（股权激励股份）被动减少外，发行人持股 5%以上股东及发行人现任董事、
监事、高级管理人员不存在减持发行人股份的情形，亦不存在已披露的、减持期
间在本次可转债认购后六个月内的拟减持发行人股份的计划或安排。
  截至本问询回复出具之日，发行人不存在已发行的可转换公司债券。因此，
发行人持股 5%以上股东及发行人现任董事、监事、高级管理人员不存在减持发
行人已发行可转债的情形或安排。
  拟视情况参与本次可转债认购的人员已出具书面承诺，承诺如其决定认购本
次可转债的，其本人及其配偶、父母、子女自认购本次可转债之日起前六个月至
本次可转债发行完成后六个月内，不减持盛剑科技股份或其他具有股权性质的证
券。
     三、发行人持股 5%以上股东及董事、监事、高级管理人员关于本次可转债
发行认购的承诺的披露情况
  发行人已在募集说明书“重大事项提示”之“七、发行人持股 5%以上股东
及董事、监事、高级管理人员关于本次可转债发行认购事项的承诺”披露了发行
人持股 5%以上股东及董事、监事、高级管理人员关于本次可转债发行认购事项
的承诺情况，具体如下：
  “
     （一）视情况参与认购的相关主体及其承诺
     针对本次可转债发行认购事项，发行人控股股东、实际控制人、非独立董
事、监事、高级管理人员出具承诺如下：
     “1、本人将根据本次可转债发行时的市场行情及资金安排决定是否参与认
购本次可转债并严格履行相应信息披露义务。
证券法》《可转换公司债券管理办法》等法律法规关于股票及可转换公司债券交
易的规定，本人及本人配偶、父母、子女自认购本次可转债之日起前六个月至
本次可转债发行完成后六个月内，不减持盛剑科技股份或其他具有股权性质的
证券。
或其他具有股权性质的证券，因此获得的收益全部归盛剑科技所有，并依法承
担由此产生的法律责任。如给盛剑科技和其他投资者造成损失的，本人将依法
承担赔偿责任。”
     （二）不参与认购的相关主体及其承诺
     针对本次可转债发行认购事项，发行人独立董事出具承诺如下：
     “1、本人及本人配偶、父母、子女将不参与认购本次可转债，亦不会委托
其他主体参与认购本次可转债。
若本人及本人配偶、父母、子女违反上述承诺，因此获得的收益全部归盛剑科
技所有，并依法承担由此产生的法律责任。如给盛剑科技和其他投资者造成损
失的，本人将依法承担赔偿责任。”
  ”
     四、中介机构核查情况
     （一）核查程序
  针对上述问题，保荐机构和发行人律师执行了以下核查程序：
并对发行人持股 5%以上的股东及其现任董事、监事、高级管理人员进行网络核
查；
诺；
现任董事、监事、高级管理人员历史证券持有变更信息查询结果；
  （二）核查意见
  经核查，保荐机构和发行人律师认为：
的书面承诺，发行人现任独立董事不会参与认购本次可转债，发行人持股 5%以
上股东、现任董事（独立董事除外）、监事、高级管理人员将视情况参与本次可
转债发行认购；
计划限制性股票回购注销，作为激励对象的章学春、聂磊、许云、韩香云、郁洪
伟所持有的限售流通股（股权激励股份）被动减少外，发行人持股 5%以上股东
及发行人现任董事、监事、高级管理人员不存在减持发行人股份的情形，亦不存
在已披露的、减持期间在本次可转债认购后六个月内的拟减持发行人股份的计划
或安排。截至本问询回复出具之日，发行人不存在已发行的可转换公司债券。因
此，发行人持股 5%以上股东及发行人现任董事、监事、高级管理人员不存在减
持发行人已发行可转债的情形或安排。
次可转债认购及相关期间不减持事宜作出承诺，发行人已在《募集说明书》“重
大事项提示”之“七、发行人持股 5%以上股东及董事、监事、高级管理人员关
于本次可转债发行认购事项的承诺”披露该等承诺。
  问题 5.2：其他
  请发行人说明报告期内受到行政处罚的情况及整改措施，是否构成本次再融
资的法律障碍。
  请保荐机构及发行人律师结合《监管规则适用指引—发行类第 6 号》第 2 条
进行核查并发表明确意见。
  【回复】
  一、报告期内受到行政处罚的情况及整改措施，是否构成本次再融资的法
律障碍
  报告期内，公司存在 2 项行政处罚，分别为公司 2022 年因未采取措施消除
事故隐患的安全生产处罚和 2024 年因未及时开展外籍员工工作签证信息更新的
违规聘用外国人处罚。
  （一）公司因未采取措施消除事故隐患的安全生产处罚
作出《行政处罚决定书》（普 2220501059 号）
                          ，发行人因未采取措施消除事故隐
患，违反了《中华人民共和国安全生产法》第四十一条第二款的规定，根据《中
华人民共和国安全生产法》第一百零二条，应当立即消除或者限期消除事故隐患；
鉴于发行人积极完成整改，根据《中华人民共和国安全生产法》第一百零二条的
规定对其处以罚款三万元。
  公司已就前述行政处罚完成了整改并缴纳了罚款，具体整改措施如下：
  （1）公司相关部门召开专门会议安排整改事宜，并积极完成整改工作；
  （2）公司及时完成罚款缴纳，并已将相关电线、气瓶按照相关规定进行合
理摆放及实施符合相关规定的预防措施；
  （3）公司制定《项目现场预防及消除安全隐患实施细则》，并不定期对在实
施项目现场进行抽查，确保项目实施现场已做好预防及消除安全隐患的相关措施；
  （4）公司组织相关人员及供应商不定期进行学习及培训会议，加强学习《中
华人民共和国安全生产法》及公司安全生产相关制度细则。
  前述安全生产处罚整改完成后，公司未再出现因相同或相似情况受到安全生
产处罚。
  《中华人民共和国安全生产法》第一百零二条的规定：“生产经营单位未采
取措施消除事故隐患的，责令立即消除或者限期消除，处五万元以下的罚款；生
产经营单位拒不执行的，责令停产停业整顿，对其直接负责的主管人员和其他直
接责任人员处五万元以上十万元以下的罚款；构成犯罪的，依照刑法有关规定追
究刑事责任。
     ”
  《上市公司证券发行注册管理办法》第十条规定：“上市公司存在下列情形
之一的，不得向不特定对象发行股票：（四）上市公司或者其控股股东、实际控
制人最近三年存在贪污、贿赂、侵占财产、挪用财产或者破坏社会主义市场经济
秩序的刑事犯罪，或者存在严重损害上市公司利益、投资者合法权益、社会公共
利益的重大违法行为。”
  《<上市公司证券发行注册管理办法>第九条、第十条、第十一条、第十三条、
第四十条、第五十七条、第六十条有关规定的适用意见——证券期货法律适用意
见第 18 号》（以下简称“《证券期货法律适用意见第 18 号》”）第二条规定：“有
                                 （1）
以下情形之一且中介机构出具明确核查结论的，可以不认定为重大违法行为：
违法行为轻微、罚款金额较小；
             （2）相关处罚依据未认定该行为属于情节严重的
情形；
  （3）有权机关证明该行为不属于重大违法行为。违法行为导致严重环境污
染、重大人员伤亡或者社会影响恶劣等的除外。”
  鉴于行政处罚决定书中已认定发行人积极完成整改，且处罚金额不属于相关
法律规定罚则的上限，相关处罚依据未认定该行为属于情节严重的情形，因此上
述行政处罚所涉及的行为不构成重大违法违规行为，不会严重损害上市公司利益、
投资者合法权益、社会公共利益，不构成本次再融资的法律障碍。
    （二）公司因未及时开展外籍员工工作签证信息更新的违规聘用外国人处
罚
嘉(境)行罚决字202400062 号），公司子公司盛剑半导体因违规聘用外国人，根
据《中华人民共和国出境入境管理法》第八十条第三款之规定，给予盛剑半导体
罚款一万元的行政处罚。
    盛剑半导体已就前述行政处罚完成了整改并缴纳了罚款，具体整改措施如下：
    （1）公司总经办及人力资源部门召开专门会议安排整改事宜；
    （2）公司及时完成罚款缴纳，并已将相关外籍员工的签证事宜处理完毕；
    （3）公司制定《外籍员工入职业务办理流程》，并定期进行现有外籍员工的
签证情况的排查；
    （4）公司人力资源部组织相关人员进行培训会议，加强学习《中华人民共
和国出境入境管理法》《外国人在中国就业管理规定》及公司聘用外籍员工相关
制度细则。
    前述违规聘用外国人处罚整改完成后，公司未再出现因相同或相似情况受到
违规聘用外国人的处罚。
碍
    《中华人民共和国出境入境管理法》第八十条第三款规定：“非法聘用外国
人的，处每非法聘用一人一万元，总额不超过十万元的罚款；有违法所得的，没
收违法所得”。
    《证券期货法律适用意见第 18 号》第二条规定“有以下情形之一且中介机
构出具明确核查结论的，可以不认定为重大违法行为：（1）违法行为轻微、罚
款金额较小；（2）相关处罚依据未认定该行为属于情节严重的情形；（3）有权
机关证明该行为不属于重大违法行为。违法行为导致严重环境污染、重大人员伤
亡或者社会影响恶劣等的除外。”
  鉴于处罚金额较低，处罚依据法规中并未列明该等处罚属于情节严重的范畴，
且公司子公司针对该外国人的聘用已经完成整改，故上述行政处罚所涉及的行为
不构成重大违法违规行为，不会严重损害上市公司利益、投资者合法权益、社会
公共利益，不构成本次再融资的法律障碍。
     二、中介机构核查情况
     （一）核查程序
  针对上述问题，保荐机构和发行人律师执行了以下核查程序：
政处罚决定书》（普 2220501059 号）、发行人支付罚款的凭证；
理办公会议决议以及员工培训记录表，并对行政处罚涉及项目的负责人进行了访
谈；
行罚决字202400062 号）、发行人支付罚款的凭证以及盛剑半导体为该行政处
罚所涉外籍员工办理的外国人工作许可证；
事主管人员进行了访谈；
法》《中华人民共和国行政处罚法》《上市公司证券发行注册管理办法》《证券
期货法律适用意见第 18 号》等规定。
     （二）核查意见
  经核查，保荐机构和发行人律师认为：
的安全生产处罚以及因未及时开展外籍员工工作签证信息更新的违规聘用外国
人处罚，相关处罚均及时完成整改并缴纳罚款。
故隐患的安全生产处罚根据《证券期货法律适用意见第 18 号》第二条“（2）相
关处罚依据未认定该行为属于情节严重的情形”不认定为重大违法违规行为，公
司子公司违规聘用外国人处罚根据《证券期货法律适用意见第 18 号》第二条“（1）
违法行为轻微、罚款金额较小”不认定为重大违法违规行为。
罚所涉及的行为不构成严重损害发行人利益、投资者合法权益、社会公共利益的
重大违法行为，不会构成本次再融资的法律障碍。
 保荐机构关于发行人回复的总体意见：
 对本回复材料中的公司回复，本机构均已进行核查，确认并保证其真实、完
整、准确。
 （以下无正文）
（此页无正文，为上海盛剑科技股份有限公司《关于上海盛剑科技股份有限公司
向不特定对象发行可转换公司债券申请文件的审核问询函的回复》之签字盖章页）
                          上海盛剑科技股份有限公司
                              年   月   日
              发行人董事长声明
  本人已认真阅读上海盛剑科技股份有限公司本次审核问询函的回复的全部
内容，确认审核问询函的回复不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对上
述文件的真实性、准确性、完整性、及时性承担相应法律责任。
  发行人董事长：   ________________
                 张伟明
                                上海盛剑科技股份有限公司
                                    年   月   日
（此页无正文，为海通证券股份有限公司《关于上海盛剑科技股份有限公司向不
特定对象发行可转换公司债券申请文件的审核问询函的回复》之签字盖章页）
  保荐代表人签名：    ________________   ________________
                 胡盼盼                  周航宁
  法定代表人签名：   ________________
                 李   军
                                     海通证券股份有限公司
                                         年      月   日
                     声明
  本人已认真阅读上海盛剑科技股份有限公司本次审核问询函回复报告的全
部内容，了解报告涉及问题的核查过程、本公司的内核和风险控制流程，确认本
公司按照勤勉尽责原则履行核查程序，本次审核问询函回复报告不存在虚假记载、
误导性陈述或者重大遗漏，并对上述文件的真实性、准确性、完整性、及时性承
担相应法律责任。
  法定代表人签名：   ________________
                 李   军
                                海通证券股份有限公司
                                  年   月   日